JPH0327536U - - Google Patents

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JPH0327536U
JPH0327536U JP8570589U JP8570589U JPH0327536U JP H0327536 U JPH0327536 U JP H0327536U JP 8570589 U JP8570589 U JP 8570589U JP 8570589 U JP8570589 U JP 8570589U JP H0327536 U JPH0327536 U JP H0327536U
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JP
Japan
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air
space
clean room
conditioned
conditioned space
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JP8570589U
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  • Ventilation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に従うクリーンルーム構築設備
の要部を示す略断面図、第2図は側壁に透明パネ
ルを使用した例を示す第1図と同様の略断面図、
第3図は第2図の透明パネル部分を拡大した断面
図である。 1……一般空調空間、2……クリーンルーム空
間、6……既設空調機、7……給気ダクト、8…
…空気吹出口、9……空気吸込口、10……シス
テム天井部、11……クリーンルーム空間を仕切
る側壁、11a……透明パネル、12……多孔板
床、13……天井フレーム枠、14……フアンフ
イルタユニツト、15……給気プレナム、16…
…排気プレナム、18……空気冷却器(ドライコ
イル)。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 空調された建物内空間(一般空調空間と呼
    ぶ)にこの一般空調空間の天井とは別のシステム
    天井を形成すると共に、このシステム天井の下方
    空間を側壁によつて一般空調空間から区分し、該
    システム天井には複数のフアンフイルタユニツト
    を水平方向に並設すると共にこれらフアンフイル
    タユニツトの上部空間に給気プレナムを形成し、
    この給気プレナムに一般空調空間の調和空気を導
    入したうえフアンフイルタユニツトを経て該側壁
    によつて区分されたシステム天井下方に空間(ク
    リーンルーム)に清浄空気を吹き出したあと再び
    一般空調空間に排出するようにしたクリーンルー
    ム構築設備であつて、一般空調空間から前記の給
    気プレナムに送気する通路にクリーンルーム内の
    冷房負荷を処理する空気冷却器を設置したことを
    特徴とするクリーンルーム構築設備。 (2) システム天井の下方空間(クリーンルーム
    )を一般空調空間から区分する側壁は、脱着可能
    な透明パネルによつて形成される請求項1に記載
    のクリーンルーム構築設備。 (3) 透明パネルは導電部材によつてアースされ
    ている請求項2に記載のクリーンルーム構築設備
    。 (4) 一般空調空間から区分されたクリーンルー
    ム空間の床部は、一般空調空間の床部より位置高
    の多孔板によつて形成され、この多孔板の下方に
    排気プレナムが形成され、この排気プレナムから
    一般空調空間に通ずる排気通路が形成されている
    請求項1,2または3に記載のクリーンルーム構
    築設備。
JP8570589U 1989-07-24 1989-07-24 Pending JPH0327536U (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6069441A (ja) * 1983-09-26 1985-04-20 Ryowa Chiyouon Kogyo Kk ス−パ−クリ−ンシステム
JPS6176837A (ja) * 1984-09-22 1986-04-19 Shinko Kogyo Kk 清浄作業室
JPS629135A (ja) * 1986-03-19 1987-01-17 Hitachi Ltd 空気調和装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6069441A (ja) * 1983-09-26 1985-04-20 Ryowa Chiyouon Kogyo Kk ス−パ−クリ−ンシステム
JPS6176837A (ja) * 1984-09-22 1986-04-19 Shinko Kogyo Kk 清浄作業室
JPS629135A (ja) * 1986-03-19 1987-01-17 Hitachi Ltd 空気調和装置

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