JPS6069441A - ス−パ−クリ−ンシステム - Google Patents
ス−パ−クリ−ンシステムInfo
- Publication number
- JPS6069441A JPS6069441A JP58176344A JP17634483A JPS6069441A JP S6069441 A JPS6069441 A JP S6069441A JP 58176344 A JP58176344 A JP 58176344A JP 17634483 A JP17634483 A JP 17634483A JP S6069441 A JPS6069441 A JP S6069441A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- tunnel
- clean
- system ceiling
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は清浄空気を送給するいわゆるクリーントンネル
に係り、省エネルギーを目的とする全外気の一次給気を
所要量に限り送給するシステムに関するものである。
に係り、省エネルギーを目的とする全外気の一次給気を
所要量に限り送給するシステムに関するものである。
（従来技術）
半導体製造工程において、その空調方式としてクリーン
トンネル方式が従来採用されている。その最も一般的な
ものを第１図について説明する。
トンネル方式が従来採用されている。その最も一般的な
ものを第１図について説明する。
建屋（１）内に設けられるクリーントンネル（２）は、
２個の側壁（３）と天井（７）および床部多孔板（８）
にて建屋内の空間を両側の保全部（４）と中央を通路部
（５）及びその両側を作業部（６）とする−室の３個の
空間に仕切っている。
２個の側壁（３）と天井（７）および床部多孔板（８）
にて建屋内の空間を両側の保全部（４）と中央を通路部
（５）及びその両側を作業部（６）とする−室の３個の
空間に仕切っている。
外気α〔はダクト（１υおよびフィルタ［＋２１を通過
して空気調和機（１３１に送られ、温湿度および除塵を
施こされて一次空調された空気は給気ダク）Ｑ４）を通
り、通路部（５）の上部のチャンバＱ５）および両側の
作業部チャンバ０９の一次空気は高性能フィルり０７）
で濾過され天井多孔板α旧こて層流に整流されて通路部
（５）に供給され、チャンバαｅの一次空気は送風機α
ωにて加圧され高性能フィルタレし吹出口Ｃυを通り層
流に整流されて通路部（５）より低い位置から作業用機
器（２２ａ）、、（２２ｂ）に供給される。
して空気調和機（１３１に送られ、温湿度および除塵を
施こされて一次空調された空気は給気ダク）Ｑ４）を通
り、通路部（５）の上部のチャンバＱ５）および両側の
作業部チャンバ０９の一次空気は高性能フィルり０７）
で濾過され天井多孔板α旧こて層流に整流されて通路部
（５）に供給され、チャンバαｅの一次空気は送風機α
ωにて加圧され高性能フィルタレし吹出口Ｃυを通り層
流に整流されて通路部（５）より低い位置から作業用機
器（２２ａ）、、（２２ｂ）に供給される。
作業用機器（２２ａ）を通過した空気の一部は側壁（３
）の下部の排気口（２３）を抜けその一部はチャンノ・
α６）の吸込口（２ａよりプレフィルタ（２５）を通過
して吸引され、作業部（６）への清浄空気の一部をなす
。
）の下部の排気口（２３）を抜けその一部はチャンノ・
α６）の吸込口（２ａよりプレフィルタ（２５）を通過
して吸引され、作業部（６）への清浄空気の一部をなす
。
チャンバＯＳよりの二次空気は矢印のように落下して床
部多孔板（８）を通り空気室（６）に入り、保全部（４
）への空気の一部と共に戻りタクト（２７）により空気
調和機（１３）に戻される。
部多孔板（８）を通り空気室（６）に入り、保全部（４
）への空気の一部と共に戻りタクト（２７）により空気
調和機（１３）に戻される。
作業部（６）の清浄度が最高で次に通路部（５）となり
送給される空気量の関係から作業用機器（２２ａ）。
送給される空気量の関係から作業用機器（２２ａ）。
（２２ｂ）には最も清純な空気だけが送られることとな
る。
る。
作業用機器のうち排気を必要とする機器（２２ａ）には
排ガスダクｌ−ｔ２８）を介して排気ファンＱすで外気
このような従来方式にあっては、ＩＣ製造工程では熱負
荷の発生が多く、かつ、偏在し変動するため温湿度環境
にバラツキを生ずることが多い。
排ガスダクｌ−ｔ２８）を介して排気ファンＱすで外気
このような従来方式にあっては、ＩＣ製造工程では熱負
荷の発生が多く、かつ、偏在し変動するため温湿度環境
にバラツキを生ずることが多い。
また、この熱負荷処理のための循環風量は必要な新鮮外
気量より大きくなるため、空気調和機により空調された
大風量の循環空気か必要となる。
気量より大きくなるため、空気調和機により空調された
大風量の循環空気か必要となる。
従って、空気調和機のサイズも大型となり給気ツク１−
１戻りタクト共に大型となるため設備費用はもとより、
ランニンクコストにも大きな影響をもたらす不都合なも
のであった。
１戻りタクト共に大型となるため設備費用はもとより、
ランニンクコストにも大きな影響をもたらす不都合なも
のであった。
（本発明の目的）
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、コ
ンパクトなりリーントンネル を提供するにある。
ンパクトなりリーントンネル を提供するにある。
（本発明の構成）
要するに本発明は、−次空気の供給は作業員のための新
鮮空気と室内を正圧に保持するための空気量の和だけを
送給するようにしたことを特徴とするものである。
鮮空気と室内を正圧に保持するための空気量の和だけを
送給するようにしたことを特徴とするものである。
（本発明の作用）
上記のような構成である本発明であるから、本発明にお
いてはクリーントンネルをモジュール化し、各モジュー
ル内にて発生する温湿度および清浄度は各モジュール毎
に解決させる機能を持たせて制御させている。
いてはクリーントンネルをモジュール化し、各モジュー
ル内にて発生する温湿度および清浄度は各モジュール毎
に解決させる機能を持たせて制御させている。
本発明の実施例）
本発明を実施例に基き図面に従って説明する。
第２図において建屋（１）内の空間はシステム天井Ｃ３
４１と２個の側壁（３）および床面多孔板（８）により
両側の保全部（４ｒ）中央の通路部（５）およびその両
側の作業部（６）に分割される。
４１と２個の側壁（３）および床面多孔板（８）により
両側の保全部（４ｒ）中央の通路部（５）およびその両
側の作業部（６）に分割される。
システム天井６１１は通路部（５）の上のチャンバａω
、作業部（６）の上のチャンバαｅを有し、チャンバ叫
には一次空調の給気タクト（至）が設けられ、保全部（
４）側の吸込口（２３）の前方にプレフィルタ（ハ）が
設けられ、内部には冷却コイル（至）、加熱コイルｔ３
υおよび高性能フィルタ（２０）が交換自在に設置され
、送風機部で加圧された後空気は高性能フィルタ（社）
、吹出ロＱυＸ！Ｚ総ア１１γ敞凄女廿うアＩじガフ田
胤５已ｔ９９ワ）／’）’）ｈＮに送られ、一部は高性
能フィルタ（１７）にて浄化されてチャンバ（１５１に
送られ天井多孔板賭にて層流整流されて通路部（５）に
送られ作業部（６）より高い所から供給される。
、作業部（６）の上のチャンバαｅを有し、チャンバ叫
には一次空調の給気タクト（至）が設けられ、保全部（
４）側の吸込口（２３）の前方にプレフィルタ（ハ）が
設けられ、内部には冷却コイル（至）、加熱コイルｔ３
υおよび高性能フィルタ（２０）が交換自在に設置され
、送風機部で加圧された後空気は高性能フィルタ（社）
、吹出ロＱυＸ！Ｚ総ア１１γ敞凄女廿うアＩじガフ田
胤５已ｔ９９ワ）／’）’）ｈＮに送られ、一部は高性
能フィルタ（１７）にて浄化されてチャンバ（１５１に
送られ天井多孔板賭にて層流整流されて通路部（５）に
送られ作業部（６）より高い所から供給される。
作業部（６）に送られる清浄空気は作業用機器（２２１
を通過し側壁（３）下部の排気口（ハ）を通り前記プレ
フィルタ（２ωを通り吹込口Ｑ（イ）よりチャンバα０
に戻り循環する。
を通過し側壁（３）下部の排気口（ハ）を通り前記プレ
フィルタ（２ωを通り吹込口Ｑ（イ）よりチャンバα０
に戻り循環する。
中央の通路部（５）に送られた空気は床部多孔板（８）
を通過して空気室（９）に入り、保全部（３）の床部多
孔板（８１より空気室（９）に入ったものと合体して循
環空気となる。
を通過して空気室（９）に入り、保全部（３）の床部多
孔板（８１より空気室（９）に入ったものと合体して循
環空気となる。
前記、建屋（１）内の空間は、通路部（５）、作業部（
６）０、空間よりは負圧にし汚れた空気の逆流を防ぐた
め排気タクＺ３′ＩＪ，排風ダクト（至）により常に一
部放出１７ている。
６）０、空間よりは負圧にし汚れた空気の逆流を防ぐた
め排気タクＺ３′ＩＪ，排風ダクト（至）により常に一
部放出１７ている。
作業用機器のうち強制排気を要するものについては従来
通り排カスダク）（２８）、排気ファン（２９１に依っ
ている。
通り排カスダク）（２８）、排気ファン（２９１に依っ
ている。
本発明の最大の特徴は一次空調空気の供給にある。外気
００）はダクトαＤよりフィルタ（１２１を経て空気調
和機０３）に送られ、−次空調後給気ダクＩ−０４）を
経て前記システム天井ｃ３４）のチャンバσｅに送給さ
れるものであるが、本発明の空気調和機０３）には戻り
ダクトの接続がなく当然戻り空気は送り込まれないので
ある。
００）はダクトαＤよりフィルタ（１２１を経て空気調
和機０３）に送られ、−次空調後給気ダクＩ−０４）を
経て前記システム天井ｃ３４）のチャンバσｅに送給さ
れるものであるが、本発明の空気調和機０３）には戻り
ダクトの接続がなく当然戻り空気は送り込まれないので
ある。
本発明は上述のような構成を有し、空気調和機０３）に
取入れられる外気の量は、作業員のための新鮮空気量と
通路部（５）および作業部（６）を正圧に保持するため
の空気量の和だけとしたものである。
取入れられる外気の量は、作業員のための新鮮空気量と
通路部（５）および作業部（６）を正圧に保持するため
の空気量の和だけとしたものである。
また、クリーントンネルはモジュール化して各モジュー
ル化で発生する温湿度の条件および塵埃度の条件は、そ
のモジュール毎にて解決させるため、チャンバ０６）内
に装置される冷却コイル（至）、加熱コイル（３Ｉ）お
よび高性能フィルタ（２０）は当該モジュールに設置さ
れる作業用機器（ハ）に応する容量の機器を交換自在に
数句けたものである。従って、極端な場合には冷却コイ
ル（３０）加熱コイル（３υは第３図のように取外して
も差支ない場合もある。
ル化で発生する温湿度の条件および塵埃度の条件は、そ
のモジュール毎にて解決させるため、チャンバ０６）内
に装置される冷却コイル（至）、加熱コイル（３Ｉ）お
よび高性能フィルタ（２０）は当該モジュールに設置さ
れる作業用機器（ハ）に応する容量の機器を交換自在に
数句けたものである。従って、極端な場合には冷却コイ
ル（３０）加熱コイル（３υは第３図のように取外して
も差支ない場合もある。
このような構成によるものであるから、本発明の実施例
では各モジュール毎の処理は当該モジュールにて行なわ
れ、必要最少限である作業員のための新鮮空気と、通路
部（５）および作業部（６）を正圧に保つための空気量
で良いこととなり、空気調和機側、給気ダク）（＋４１
のサイズは従来のものより極めて小型となり戻りダクト
の不要と相俟って設備費およびランニンクコストの低減
となる。
では各モジュール毎の処理は当該モジュールにて行なわ
れ、必要最少限である作業員のための新鮮空気と、通路
部（５）および作業部（６）を正圧に保つための空気量
で良いこととなり、空気調和機側、給気ダク）（＋４１
のサイズは従来のものより極めて小型となり戻りダクト
の不要と相俟って設備費およびランニンクコストの低減
となる。
（本発明の効果）
上記に詳述したように各モジュールにて発生する温湿度
および清浄条件を各モジュール化に解決することにより
クリーントンネル全体として多量の循環空気の取扱いが
不要となり設備費用およびランニンクコストの低減にな
ることはもちろん、各モジュール毎に生ずるバラツキも
解決するもので、効果の犬なるものがある。
および清浄条件を各モジュール化に解決することにより
クリーントンネル全体として多量の循環空気の取扱いが
不要となり設備費用およびランニンクコストの低減にな
ることはもちろん、各モジュール毎に生ずるバラツキも
解決するもので、効果の犬なるものがある。
第１図は従来使用されているクリーントンネルの構造お
よび空気流を示す図、第２図は本発明の実施例における
構造および空気流を示す図、第３図は特定モジュールに
おける冷却・加熱コイルの省略された場合を示す図であ
る。 （１）建屋、（２）・クリーントンネル、（３）・・・
側壁、（４）・・保全部、（５）・通路部、（６） 作
業部、（７）天井、（８）・・・床部多孔板、＋９１・
・空気室、（＋０１・・外気、圓・・・ダクト、［１２
１フィルタ、（＋３＋・・・空気調和機、（１４１・・
・給気タクト、（１５） 、αｅ チャンバ、αη・、
高性能フィルり、α訃・・天井多孔板、０優・・送風機
、（２［１１・・・高性能フィルタ、（２］）・吹出口
、（２２ａ）・・・排気を必要とする作業用機器、（２
２ｂ）・・排気を必要としない作業用機器、（２３）・
・・排気口、（２Ｉｉｌ 吸込口、（２５１・ プレフ
ィルり、（２６）照明、（２７）戻りダクト、（２樽・
・・排ガスダクト、翰・・・排気ファン、００）・・冷
却コイル、６υ・・加熱コイル、（３邊・・排気ダクト
、Ｃ３３１排風機、Ｃ（４）・・システム天井、＋３５
１・給気タクト。
よび空気流を示す図、第２図は本発明の実施例における
構造および空気流を示す図、第３図は特定モジュールに
おける冷却・加熱コイルの省略された場合を示す図であ
る。 （１）建屋、（２）・クリーントンネル、（３）・・・
側壁、（４）・・保全部、（５）・通路部、（６） 作
業部、（７）天井、（８）・・・床部多孔板、＋９１・
・空気室、（＋０１・・外気、圓・・・ダクト、［１２
１フィルタ、（＋３＋・・・空気調和機、（１４１・・
・給気タクト、（１５） 、αｅ チャンバ、αη・、
高性能フィルり、α訃・・天井多孔板、０優・・送風機
、（２［１１・・・高性能フィルタ、（２］）・吹出口
、（２２ａ）・・・排気を必要とする作業用機器、（２
２ｂ）・・排気を必要としない作業用機器、（２３）・
・・排気口、（２Ｉｉｌ 吸込口、（２５１・ プレフ
ィルり、（２６）照明、（２７）戻りダクト、（２樽・
・・排ガスダクト、翰・・・排気ファン、００）・・冷
却コイル、６υ・・加熱コイル、（３邊・・排気ダクト
、Ｃ３３１排風機、Ｃ（４）・・システム天井、＋３５
１・給気タクト。
Claims (1)
- （１）建屋内の空間内において、システム天井と２個の
側壁および床面でトンネル状空間を仕切るモジュール化
したクリーンＩ・ンネルにおいて、該システム天井は冷
却加熱装置と高性能フィルタおよび送風機を内蔵して所
要の清浄空気をトンネル内に送気するものであり、シス
テム天井には空気調和機より、全外気前一次空調された
給気を排気１゛量と加圧必要量の合計だけを供給し、空
気調和機には戻り空気を戻さないことを特徴とするスー
パークリーンシステム。 （２、特許請求の範囲＋１１の発明において、システム
天井に内蔵される冷却加熱装置および高性能フィルタは
、当該モジュール内にて生ずる温湿度および塵埃に対応
する容量の機器を交換自在に装置させることを特徴とす
るスーパークリーンシステ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58176344A JPS6069441A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | ス−パ−クリ−ンシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58176344A JPS6069441A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | ス−パ−クリ−ンシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069441A true JPS6069441A (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=16011945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58176344A Pending JPS6069441A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | ス−パ−クリ−ンシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069441A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109941U (ja) * | 1989-02-17 | 1990-09-03 | ||
| JPH0327536U (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-19 | ||
| CN104390268A (zh) * | 2014-10-31 | 2015-03-04 | 广东美的制冷设备有限公司 | 天花板空调器及该天花板空调器的送风方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP58176344A patent/JPS6069441A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109941U (ja) * | 1989-02-17 | 1990-09-03 | ||
| JPH0327536U (ja) * | 1989-07-24 | 1991-03-19 | ||
| CN104390268A (zh) * | 2014-10-31 | 2015-03-04 | 广东美的制冷设备有限公司 | 天花板空调器及该天花板空调器的送风方法 |
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