JPH029321Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、低い設備費と動力費のもとで作業域
の清浄度を高めるようにしたクリーン作業室（ク
リーントンネル）に関する。

半導体製造、電気機器製造、薬品製造、その他
の分野において極めて清浄度の高い作業域空間を
形成することが要求されるが、その一つの方式と
して、垂直壁の前に作業域を形成し、この作業域
だけに清浄空気を吹き出すクリーンフードを設置
する、いわゆるクリーントンネル方式がある。第
１図は、代表的なクリーントンネルの例を平面的
に示したものである。第１図において、ｒ、ｓ、
ｔはそれぞれメンテエリア３を挟んで形成した一
単位のクリーントンネルを示しており、各クリー
ントンネルｒ、ｓ、ｔには作業通路６の両側にク
リーンフード４が形成され、このクリーンフード
４において清浄な作業域が形成されるようになつ
ている。第２図は、第１図のＸ−Ｘ線の部分の断
面を拡大して示すと共に、これに空気処理系統を
挿入して従来のクリーントンネルの空気処理方式
の代表例を図解的に示したものである。

第２図に示すように、従来のクリーントンネル
においては、作業員がこのクリーントンネル内で
作業することからその作業環境を適切に維持する
ための空気調和と、所定の清浄度を必要とする作
業域のクリーン空間を清浄空気によつて形成する
こととは分離して対処していた。すなわち、下端
に開口部１を有する垂直壁２によつてその背後に
メンテエリア３を形成し、清浄空気の下向きの流
れを形成させるクリーンフード４を該垂直壁２の
前面上部に設置し、このクリーンフード４の下方
に作業台５を据付けると共にこの作業台５の前に
作業通路６を形成したクリーントンネルにあつて
は、作業台５の上部空間に清浄な作業域を形成す
るために、この作業域に向けて清浄空気を吹き出
すべく高性能フイルター（HEPAフイルター）
１０をクリーンフード４に取り付け、このクリー
ンフード４にメンテエリア３の空気をフアン１１
によつて送気していた。そして作業域を通過した
空気は垂直壁２の下部開口１を経てメンテエリア
３に戻り再びフアン１１によつてクリーンフード
４に循環させていた。一方、作業通路６を含むこ
のクリーントンネルの空気調和（作業員の作業環
境を維持するための空調）を図らねばならない
が、従来では前記の清浄空気の流れとは別系統
に、作業通路６に向けて空気吹出口１２より調和
空気を吹出す処方が通常採用されていた。この調
和空気はクリーントンネル外の空調機７で製造さ
れ、この調和空気は、やはりクリーントンネル内
の清浄度を一定レベルに維持するために高性能フ
イルター１３を通過させて浄化していた。

このように、従来のクリーントンネルでは作業
域の目的とする清浄化と、室全体の空気調和とは
一応分離して対処するのが通常であつたが、この
場合には、空気調和用の空気の吹出気流（第２図
の吹出口１２からの空気吹出気流）がクリーンフ
ード４からの清浄空気の吹出気流に影響を与えな
いようにすることが必要である。このために、ク
リーンフード４からの吹出速度を速くするか、ま
たは吹出口１２からの吹出速度を遅くしたり吹出
量を低くしたりするといつた運転の仕方をしなけ
ればならない。しかし、前者の処方では動力費が
嵩むことになつて不経済となるし、後者の処方で
は目標とするクリーントンネル内の空気調和を行
うための立ち上がりが遅くなり、満足な空調が出
来にくくなる。すなわち、この従来方式による場
合には、クリーンフード４から作業台へ向かう清
浄空気の流れを清浄域を維持するに必要な層流の
流れに形成することに限界が存在した。

本考案はこのような従来のクリーントンネルの
問題の解決を目的としたものであり、作業域の清
浄度を十分に維持しながら作業環境の空気調和を
低い設備費と動力費のもとで実施できるようにし
たクリーントンネル（作業室内に清浄な作業域を
特別に形成する清浄な作業室をいう）を提供する
ものである。

すなわち本考案は、第３図の実施例に示したよ
うに、下端に開口部１を有する垂直壁２によつて
その背後にメンテエリア３を形成し、清浄空気の
下向きの流れを形成させるクリーンフード４を該
垂直壁２の前面上部に設置し、このクリーンフー
ド４の下方に作業台５を据付けると共にこの作業
台５の前に作業通路６を形成したクリーントンネ
ルにおいて、 まず第一に、空調機７をクリーントンネルの外
に設置し、この空調機７で調和した調和空気をメ
ンテエリア３に給気する給気路８を設けると共に
メンテエリア３内の空気を濾過してから該クリー
ンフード４内に供給する送風路１８を設けた点、 そして、第二に、クリーンフード４の空気吹出
面を多孔板１５からなる空気吹出口に形成し、前
記の送風路１８に介装したフアン１９によつて該
クリーンフード４に送気するさいに、このフアン
１９の吐出側であつて且つクリーンフード４への
入口部にHEPAフイルター１４を取り付け、こ
のHEPAフイルター１４によつてクリーンフー
ド４内に供給される空気の供給速度を低下させる
と同時にクリーンフード４内に供給される気流を
均一化するようにした点、に基本的な特徴を有し
ている。

まず第一の特徴点について、より具体的に説明
すると、本考案においては、空調機７からクリー
ントンネルの作業空間への調和空気の直接の供給
を止め、また、クリーンフード４の空気吹出面に
高性能フイルターを取り付けることも止める。そ
して、これに代えて、空調機７からメンテエリア
３への給気路８を設けると共に、メンテエリア３
内の空気をクリーンフード４に浄化して供給する
ようにする。また、クリーンフード４からの吹出
口部分は、作業台５の上部の作業域空間の面積に
対応するよりも大きな開口面積としてここにパン
チングボード１５を取り付け、このパンチングボ
ード１５の開口部に垂れ壁１６を取り付けて作業
域への空気吹出流と作業通路６への空気吹出流と
に分流させる。そして、作業通路６への吹出空気
量をこのパンチングボード１５の開口率を調節す
ることによつて制御する。これは、パンチングボ
ード１５の孔を絞る絞り構造２１によつて簡単に
行うことができる。クリーントンネルの全体の排
気はメンテエリア３から排気路１７によつて空調
機７に還気として導くが、その一部は系外に排出
してもよい。

この構成により、空調機７で製造された調和空
調機は、一旦メンテエリア３に入り、送気路１８
を経てクリーンフード４に送られ、ここから作業
台５の上部の作業域と作業通路６に分流されなが
ら吹き出される。そして、垂直壁２の下部開口１
からメンテエリア３に戻され、フアン１９に吸気
されるか排気路１７に排気される。従つて、清浄
な作業域を形成するための浄化空気の吹出しと作
業環境を維持するための調和空気の吹出しとが同
時になされるので、つまり、クリーントンネルへ
の空気吹出はクリーンフードの単一吹出となつて
気流が互いに影響しあうことがなくなるので、作
業域に流れる清浄空気の流れは層流となり、従来
のようにこれを分離していた方式の場合に存在し
た既述の問題が回避され、低い動力費のもとで従
来と同等若しくはそれ以上の能力を持つクリーン
トンネルを形成することができる。また、クリー
ンフード４から作業台５の上部への作業域への浄
化空気の吹出量は、作業通路６への吹出量の調節
によつて一方を多くすれば他方が少なくなるとい
う逆の関係をもつて簡便に調整ができるので、作
業域を必要十分な清浄度に制御することが容易に
できるようになり、この点でも従来のクリーント
ンネルでは果たせなかつた機能を発揮する。

次に、第二の特徴点について説明する。本考案
においては、第２図の従来例のようにクリーンフ
ード４の空気吹出面に高性能フイルター
（HEPAフイルター）を設置するのではなく、ク
リーンフード４の空気吹出面には前述のように多
孔板（パンチングボード１５）だけを取り付け、
HEPAフイルター１５はクリーンフード４の空
気入口部（但しフアン１９の吐出側）に設置す
る。第４図および第５図はこのHEPAフイルタ
ー１４のクリーンフード４への取付け関係をより
具体的に示している。

第４図の場合は、横に長く延びたクリーンフー
ド４の中腹（背側面）に、このクリーンフード４
への空気入口部２０を設け、この中腹の空気入口
部２０にHEPAフイルター１４を取り付けた例
を示している。また、第５図は横に長く延びたク
リーンフード４の一方の側端に空気入口部２０を
設け、この側端の空気入口部２０にHEPAフイ
ルター１４を取り付けた例を示している。いずれ
にしても、クリーンフード４の空間内にフアン１
９から強制送風するさいに、このクリーンフード
４への空気入口部（クリーンフード４内の空間へ
の空気吹出口）にHEPAフイルターを取り付け
た構成を有し、この構成により、HEPAフイル
ター１４が抵抗体となつてクリーンフード４への
空気吹出流速が低下すると共に、フアン１９から
の吐出流が持つ動圧がクリーンフード４へ吹き出
されるさいには静圧に変換される。従つて、第２
図の従来例のように、フアン１１から直接クリー
ンフード４内に空気を吐出する場合に比べて、本
考案の場合には、クリーンフード４内の空気の流
れはその動圧が低く抑えられるので、クリーンフ
ード４の空気吹出面（パンチングボード１５）に
は、その全体の面積にわたつて、均等な圧が加わ
る傾向が増加し、これによつて、クリーンフード
４の吹出面の場所の違いによる吹出気流の変動が
減少して全面にわたつて均等な吹出流が得られ、
前記第一の特徴点と合わせて層流の生成が一層効
果的に行われる。

このように、本考案によると、従来のクリーン
トンネルでは成し得なかつた空調機送風動力の節
減がなされると共に層流の形成が確実になつて、
総合的には非常に合理的なクリーントンネルを形
成することができる。なお、本明細書においてト
ンネルという語を使用しているが、これは作業員
や生産品がこの中を出入する作業室というような
意味であり、その室の形状は長く延びたいわゆる
トンネル形状のものに限られず、短いものに対し
ても本発明は適用されるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はクリーントンネルの一般的な形状を平
面的に見た一部平面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ
線の断面を拡大してこの部分の空気処理系統を図
解的に示した従来のクリーントンネルの代表例の
略断面図、第３図は第２図と同様の関係をもつて
示した本考案のクリーントンネルの例を示す略断
面図、第４図は本考案のクリーントンネルにおけ
るクリーンフードの例を示す部分斜視図、第５図
は本考案のクリーントンネルにおけるクリーンフ
ードの他の例を示す部分斜視図である。 １……開口、２……垂直壁、３……メンテエリ
ア、４……クリーンフード、５……作業台、６…
…作業通路、７……空調機、８……給気路、１４
……高性能フイルター（HEPAフイルター）、１
５……パンチングボード、１６……垂れ壁、１８
……メンテエリアからクリーンフードへの送気
路、１９……フアン、２０……クリーンフードへ
の空気入口部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 下端に開口部１を有する垂直壁２によつてその
   背後にメンテエリア３を形成し、清浄空気の下向
   きの流れを形成されるクリーンフード４を該垂直
   壁２の前面上部に設置し、このクリーンフード４
   の下方に作業台５を据付けると共にこの作業台５
   の前に作業通路６を形成し、そしてクリーントン
   ネルの外に設置した空調機７からメンテエリア３
   に調和空気を供給するようにしたクリーントンネ
   ルであつて、 前記のクリーンフード４の空気吹出面を多孔板
   １５からなる空気吹出口に形成し、該メンテエリ
   ア３内の空気をフアン１９によつて該クリーンフ
   ード４に送気する空気路１８を設けると共にフア
   ン１９の吐出側であつて且つクリーンフード４へ
   の入口部にHEPAフイルター１４を取り付け、
   このHEPAフイルター１４によつてクリーンフ
   ード４内に供給される空気の供給速度を低下させ
   ると同時にクリーンフード４内に供給される気流
   を均一化するようにしたクリーントンネル。