JP2522007Y2

JP2522007Y2 - クリーンルーム装置

Info

Publication number: JP2522007Y2
Application number: JP1990094169U
Authority: JP
Inventors: 治郎柿崎
Original assignee: Takenaka Corp
Current assignee: Takenaka Corp
Priority date: 1990-09-06
Filing date: 1990-09-06
Publication date: 1997-01-08
Anticipated expiration: 2005-09-06
Also published as: JPH0453138U

Description

【考案の詳細な説明】「産業上の利用分野」本考案は、クリーンルーム装置に係るものである。

「従来の技術と考案が解決しようとする課題」従来のクリーンルーム装置として、第３図、第４図に
示すものが知られている。

このクリーンルーム装置は、クリーンルームＡの上下
に天井チャンバーＢと床下チャンバーＣを有し、境界部
に天井枠体Ｄと通風床Ｅを備え、その天井枠体Ｄに、ク
リーンルームＡ内の空気を導入して天井チャンバーＢへ
と送風する複数のファンユニットＦと、その送風空気を
清浄化してクリーンルームＡへと流出させる複数のフィ
ルターＧとを配列し、クリーンルームＡ内にて、それら
のファンユニットＦとフィルターＧとの境界部に間仕切
り壁Ｈを設けて、床下チャンバーＣから各ファンユニッ
トＦの吸込口へと通じる還流路Ｉを形成し、それらのフ
ァンユニットＦの背後に暖・冷風供給用の送風ダクトＪ
を配し、かつ、該送風ダクトを各ファンユニットＦへそ
れぞれ枝ダクトＫ及び送風量調整ダンパーＬを介して連
通させて成る。

しかし、この場合、送風ダクトＪ並びに風量調整ダンパーＬを備えた枝ダ
クトＫを要するため、かなりのコスト高となる上に、構
築に手数、時間がかかる。また、配置替えの際のフレキ
シビリティが悪い。

ファンユニットＦを境とする天井チャンバーＢとファ
ンユニット背後の空間との間に気流阻止手段を要するた
め、ファンユニットＦの取り付けが容易でなく、配置替
えも容易でない。

複数のファンユニットＦの内の幾つかを停止させた場
合、停止させたファンユニットＦを通じて天井チャンバ
ーＢ内の空気が還流路Ｉへと逆流する。したがって、ク
リーンルームＡ内の清浄度に悪影響を及ぼす。

等の問題点がある。

他に、ファン・フィルターユニットを用いた特開昭61
-243236号公報のものがあり、これには、区切られた天
井裏の空間に複数のファン・フィルターユニットを配
し、これらのファン・フィルターユニットの背後に、フ
ァン・フィルターユニットに対応させて開口部を設けた
空調用の送風ダクトを挿通させて、該送風ダクトを通じ
て各ファン・フィルターユニットに空調空気を供給する
ようにしたものが示されている。また、送風ダクトの各
開口部に風量調整ダンパーを設けて、各部の風量を調整
するようにしたものも示されている。

しかし、この場合には、送風ダクトに関しては、各ファン・フィルターユニッ
トへと分岐させる枝ダクトを要しないだけで、結局は、
送風ダクトや風量調整ダンパーを必要とし、やはり、コ
スト高を来し、構築に手数、時間がかかる。また、天井
枠体がないこともあって配置替えの際のフレキシビリテ
ィも悪い。

ファン・フィルターユニットでは、ユニット内でフィ
ルターの周りから空気が洩れた場合だけでなく、ユニッ
トの外周から空気が洩れた場合にも、この洩れ空気（フ
ィルターを通過しない汚れた空気）がフィルターで浄化
された空気に混入するため、クリーンルームへ供給する
清浄空気の清浄度が低下する。これを防ぐためには、ユ
ニット内でのフィルターの周りだけでなくユニット外周
でも気流阻止手段を要して、各ファン・フィルターユニ
ットの取り付けが容易でなく、配置替えも容易でない。

送風ダクトの各開口部に風量調整ダンパーを設けて
も、各開口部が天井裏の空間に開放されているため、そ
れらの風量調整ダンパーを調整するのでは、個々のファ
ン・フィルターユニットに供給される空調空気の風量を
適確に調整できない。

複数のファン・フィルターユニットの内の幾つかを停
止させた場合、停止させたファン・フィルターユニット
において、上流と下流の空気圧の関係から空気が出入し
て、クリーンルームへ供給する清浄空気の清浄度に悪影
響を与える。

等の問題点がある。

本発明は、それらの問題点を解決しようとするもので
ある。

「課題を解決するための手段」上記目的達成のため、本考案は、クリーンルーム１と
天井チャンバー２との境界部に設けた天井枠体３に、ク
リーンルーム１内の空気を導入して天井チャンバー２へ
と送風する複数のファンユニット４を配列するととも
に、その送風空気を清浄化してクリーンルーム１へと流
出させる複数のフィルター５を配列したクリーンルーム
装置において、それらのファンユニット４の背後に、天
井チャンバー２を区分して形成した共通の暖・冷風供給
空間21を設け、また、それらのファンユニット４の背面
にその暖・冷風供給空間21からの暖・冷風を導入する受
け口41を設け、かつ、各受け口に通風量調整ダンパー42
を設け、更に、それらのファンユニット４の送風口に逆
流防止ダンパー44を設けたことを特徴とする。

「作用」如上の構成であるから、暖・冷風供給空間21が従来の
送風ダクトＪ及び枝ダクトＫに代わり、また、各ファン
ユニット４の通風量調整ダンパー42が従来の枝ダクトの
通風量調整ダンパーＬに代わって作用し、支障なく暖・
冷風を供給することができる。

また、暖・冷風供給空間21では、その気圧がフィルタ
ー５側の天井チャンバー２内の気圧よりも高いため、フ
ァンユニット４を境とする暖・冷風供給空間21からフィ
ルター５側の天井チャンバー２へと流れるだけで、支障
を生じない。

各ファンユニット４への暖・冷風供給のバランス調整
は、通風量調整ダンパー42で行えばよい。

ランニング中のいずれかのファンユニット４を停止さ
せたときは、逆流防止ダンパー44が閉じて、天井チャン
バー２から還流路11への逆流は生じない。また、通風量
調整ダンパー42で受け口41を閉じることで、暖・冷風供
給空間21からは暖・冷風が流入しない。

「実施例」第１図、第２図は、本考案の実施例を示している。

図において、１は、クリーンルーム、２は、該クリー
ンルームの上の天井チャンバー、３は、クリーンルーム
と天井チャンバーとの間の天井枠体、４…は、該天井枠
体の適所に配列した複数のファンユニット、５…は、こ
れらのファンユニットに隣接させて天井枠体に配列した
複数のフィルター、６は、クリーンルームの下に設けた
床下チャンバー、７は、該床下チャンバー上の通風床、
８は、クリーンルーム内にて、ファンユニットとフィル
ターとの境界部に配した間仕切り壁、９は、各ファンユ
ニットの背後で天井枠体に装着した閉じ板、11は、クリ
ーンルームを間仕切り壁で仕切った還流路、21は、各フ
ァンユニットの背後にて天井チャンバーを区切って形成
した暖・冷風供給空間、41は、各ファンユニットの背面
に設けた暖・冷風導入用の受け口、42は、各受け口に設
けたスライド式の通風量調整ダンパー、43は、各ファン
ユニット内に設けたファン、44は、各ファンユニットの
送風口に設けた逆流防止ダンパーである。

この装置では、それらのファンユニット４のファン43
を作動させると、クリーンルーム１内の汚れた空気が床
下チャンバー６、還流路11及びファンユニット４を経て
フィルター５側の天井チャンバー２へと供給され、これ
が各フィルター５で清浄化されて、クリーンルーム１へ
と流下する。

また、暖・冷風供給空間21には外部から暖・冷風が供
給されるが、この暖・冷風は、各ファンユニット４内へ
とそれぞれの受け口41から流入して、各ファンユニット
４内の循環空気に混入される。この混入量は、風量調整
ダンパー42で調整すればよい。

各ファンユニット４の上面等に少々隙間22があって
も、暖・冷風供給空間21内の気圧がフィルター５側の天
井チャンバー２内よりも高いので、暖・冷風供給空間21
からのみ流出し、支障を生じない。

いずれかのファンユニット４のファン43を停止させる
と、これの逆流防止ダンパー44が閉じる。したがって、
他のファンユニット４を働かせたままであっても、つま
り、クリーンルームのランニング中に１つを停止させて
も、そのランニング状態を維持できる。

なお、ファンユニット４は、両側２列又はそれ以上に
してもよい。その場合は、同様にして背後にそれぞれ暖
・冷風供給空間21を設ける。また、ファンユニット４
は、天井枠体３に対し、上からのみならず、下から取り
付けるようにしてもよく、必要であれば、上下両方から
任意に取り付けできるようにしてもよい。

「考案の効果」本考案によれば、クリーンルーム１と天井チャンバー
２との境界部の天井枠体３に、クリーンルーム１内の空
気を導入して天井チャンバー２へと送風する複数のファ
ンユニット４を配列し、かつ、その送風空気を清浄化し
てクリーンルーム１へと流出させる複数のフィルター５
を配列したクリーンルーム装置において、配列したファ
ンユニット４の背後に、天井チャンバー２を区切った暖
・冷風供給空間21を形成し、各ファンユニット４の背面
に暖・冷風導入用の受け口41及び風量調整ダンパー43を
設け、かつ、各ファンユニット４の送風口に逆流防止ダ
ンパー44を設けたので、次の効果を奏する。

暖・冷風供給空間21と各ファンユニット４の背面に設
けた暖・冷風導入用の受け口41及び風量調整ダンパー43
とで、天井チャンバー２内における送風ダクトや枝ダク
トが不要となり、大幅にコストダウンでき、構築の手
数、時間を低減でき、しかも、配置替えのフレキシビリ
ティを良好にできる。

各ファンユニット４を境とする暖・冷風供給空間21と
フィルター５側の天井チャンバー２との間に少々の気流
洩れの隙間22が生じても、暖・冷風供給空間21の気圧が
フィルター５側の気圧よりも高いために、暖・冷風供給
空間21側（上流側）からフィルター５側（下流側）へと
気流が生ずるだけで支障はなく、したがって、ファンユ
ニット４の取り付けが容易となる。これにより配置替え
も容易となる。

複数のファンユニット４の内の幾つかを停止させて
も、停止させたファンユニット４の逆流防止ダンパー44
が受け口41を閉じるので、ファンユニット４を通じて天
井チャンバー２内の空気が還流路11へと逆流することは
ない。したがって、クリーンルーム１内の清浄度等に悪
影響を及ぼすこともない。

ファンユニット４に装着する通風量調整ダンパー42は
スライド式等の簡単なものにでき、その風量調整も、天
井チャンバー２内に入り込まずとも各ファンユニットご
とに下から簡単に、適確に行え、用途に合った吹き出し
温度を容易に調整できる。勿論、この調整は、ファンユ
ニット４を取り外しても容易に行える。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は、本考案の実施例を示し、第１図は、
構成要領截断平面図、第２図は、構成要領截断側面図、
第３図、第４図は、従来例で、第３図は、構成要領截断
平面図、第４図は、構成要領截断側面図である。１……クリーンルーム、２……天井チャンバー３……天井枠体、４……ファンユニット５……フィルター、６……床下チャンバー７……通風床、８……間仕切り壁９……閉じ板、11……還流路 21……暖・冷風供給空間、22……隙間 41……受け口、42……通風量調整ダンパー 43……ファン、44……逆流防止ダンパーＡ……クリーンルーム、Ｂ……天井チャンバーＣ……床下チャンバー、Ｄ……天井枠体Ｅ……通風床、Ｆ……ファンＧ……フィルター、Ｈ……間仕切り壁Ｉ……還流路、Ｊ……送風ダクトＫ……枝ダクト、Ｌ……風量調整ダンパー

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】クリーンルーム１と天井チャンバー２との
境界部に設けた天井枠体３に、クリーンルーム１内の空
気を導入して天井チャンバー２へと送風する複数のファ
ンユニット４を配列するとともに、その送風空気を清浄
化してクリーンルーム１へと流出させる複数のフィルタ
ー５を配列したクリーンルーム装置において、それらの
ファンユニット４の背後に、天井チャンバー２を区分し
て形成した共通の暖・冷風供給空間21を設け、また、そ
れらのファンユニット４の背面にその暖・冷風供給空間
21からの暖・冷風を導入する受け口41を設け、かつ、各
受け口に通風量調整ダンパー42を設け、更に、それらの
ファンユニット４の送風口に逆流防止ダンパー44を設け
たことを特徴とするクリーンルーム装置。