JPH0646240U - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 室内の高度清浄域Ａに対し、その天井部から
高度清浄域Ａの全域に分散させて清浄空気を下向きに吹
き出し供給するとともに、室内において高度清浄域Ａに
隣接する低度清浄域Ｂに対し、その天井部から清浄空気
を下向きに吹出供給し、かつ、室内の床部６から室内空
気を排気する給排気手段４，５，６を設け、この給排気
手段４，５，６を、高度清浄域Ａが低度清浄域Ｂに対し
陽圧となるように高度清浄域Ａ及び低度清浄域Ｂ夫々の
給排気量収支を規定する構成とし、高度清浄域Ａと低度
清浄域Ｂとの境界部において天井部から垂壁１１を垂設
するクリーンルームにおいて、垂壁１１を剛体で形成し
て固設的に垂設し、前記の境界部において垂壁１１の下
縁部から可撓性のシート状体１２を垂下してある。 【効果】 両域にわたる作業者移動を容易にしながら、
高度清浄域について高い清浄度維持機能を確保する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、液晶基板、ハードディスク、ＬＳＩ等の製造、あるいは、薬品の製 造やバイオテクノロジー関連の製造工程等に用いるクリーンルームに関し、詳し くは、室内の高度清浄域に対し、その天井部から高度清浄域の全域に分散させて 清浄空気を下向きに吹き出し供給するとともに、室内において前記高度清浄域に 隣接する低度清浄域に対し、その天井部から清浄空気を下向きに吹出供給し、か つ、室内の床部から室内空気を排気する給排気手段を設け、この給排気手段を、 前記高度清浄域が前記低度清浄域に対し陽圧となるように前記高度清浄域及び低 度清浄域夫々の給排気量収支を規定する構成とし、前記高度清浄域と前記低度清 浄域との境界部において天井部から垂壁を垂設したクリーンルームに関する。

【０００２】

【従来の技術】

上記形式のクリーンルームは（図３参照）、高度清浄域Ａと低度清浄域Ｂとを 垂壁１１により区画する隔壁機能、及び、高度清浄域Ａへその天井部から分散さ せて下向きに吹き出し供給した清浄空気を垂壁１１により案内することで高度清 浄域Ａにおいて層流状の気流状態を形成・維持する整風機能、並びに、高度清浄 域Ａを低度清浄域Ｂに対し陽圧に保つことにより垂壁１１下方の両域連通部で高 度清浄域Ａ側から低度清浄域Ｂ側へ張り出す形態の空気流を生じさせる張り出し 空気流形成機能の夫々をもって、高度清浄域Ａへの塵埃侵入、及び、高度清浄域 での塵埃滞留を防止し、これにより、高度清浄域Ａの清浄度を低度清浄域Ｂより も高く維持するようにしたものであるが、従来、高度清浄域Ａと低度清浄域Ｂと の境界部では、同図３に示すように、剛体の垂壁１１を天井部から固設的に垂設 するだけであった（例えば、実開昭６１−１９７４２７号公報参照）。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、垂壁１１の下方への垂設長さを大きくして垂壁下縁位置を低くすれば 、上記の隔壁機能・整風機能・張り出し空気流形成機能のいずれの機能をも高く して、高度清浄域Ａにおける高清浄度維持をより確実に達成できるが、剛体であ る垂壁１１の下縁位置を低くすると、垂壁下方の両域連通部を介しての両域にわ たる作業者移動等が行いづらくなるため、垂壁１１の施設においてその下方への 垂設長さがある程度までに制限され、これに伴い、高度清浄域Ａに対する高清浄 度維持機能の向上もある程度までに制限されてしまう問題があった。

【０００４】 そして、このように清浄度維持機能が制限されることに対処して高い清浄度を 保つには、清浄空気の吹出供給及び室内空気の排気による室内換気回数を大きく しなければならず、このことからひいては、給排気装置の大型化による設備コス ト及びランニングコストの増大を招いていた。

【０００５】 本考案の目的は、簡単な改良により上記問題の効果的な解消を図る点にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案によるクリーンルームの特徴構成は、室内の高度清浄域に対し、その天 井部から高度清浄域の全域に分散させて清浄空気を下向きに吹き出し供給すると ともに、室内において前記高度清浄域に隣接する低度清浄域に対し、その天井部 から清浄空気を下向きに吹出供給し、かつ、室内の床部から室内空気を排気する 給排気手段を設け、この給排気手段を、前記高度清浄域が前記低度清浄域に対し 陽圧となるように前記高度清浄域及び低度清浄域夫々の給排気量収支を規定する 構成とし、前記高度清浄域と前記低度清浄域との境界部において天井部から垂壁 を垂設する構成において、 前記垂壁を剛体で形成して固設的に垂設し、前記境界部において前記垂壁の下 縁部から可撓性のシート状体を垂下してあることにあり、その作用・効果は次の 通りである。

【０００７】

【作用】

つまり、上記の特徴構成においては、天井部から固設的に垂設した剛体の垂壁 が、高度清浄域と低度清浄域とを区画する隔壁機能、及び、高度清浄域へその天 井部から分散させて下向きに吹き出し供給した清浄空気を案内して高度清浄域で 層流状の気流状態を形成・維持する整風機能を果たすことに加え、その垂壁の下 縁から垂下した可撓性のシート状体が同様の隔壁機能及び整風機能を清浄空気の 流れ方向で剛体の垂壁に続いて果たす。

【０００８】 そして、給排気手段における給排気量収支規定で高度清浄域が低度清浄域に対 し陽圧に維持されることにおいて、可撓性シート状体の下縁より下方の両域連通 部では、可撓性シート状体がその下縁側ほど低度清浄域側に位置するように気流 圧により多少傾斜する状態で、高度清浄域側から低度清浄域側へ張り出す形態の 空気流が生じる。

【０００９】

【考案の効果】

すなわち、本考案の特徴構成によれば、天井部から固設的に垂設する剛体垂壁 の下方への垂設長さはある程度までに制限して、その垂壁の下縁からは可撓性の シート状体を垂下することで、固設垂壁の下方を介しての両域間にわたる作業者 移動は容易にしながらも、固設の垂壁とそれに続く可撓性シート状体とによる隔 壁機能及び整風機能、並びに、シート状体下方の両域連通部で生じる低度清浄域 側への空気流張り出し機能により、高度清浄域への塵埃侵入、及び、高度清浄域 での塵埃滞留を効果的に防止し、これにより、高度清浄域の清浄度維持において 高い清浄度維持機能を確保できる。

【００１０】 また、可撓性シート状体が気流圧によりその下縁側ほど低度清浄域側に位置す る傾斜状態となることで、従前の如く固設的に設けた剛体垂壁の下縁で直ちに低 度清浄度域側への屈折流的な張り出し空気流が生じるに比べ、気流圧に応じた傾 斜姿勢となる可撓性シート状体の案内をもって、低度清浄度域側への張り出し空 気流を渦流の少ないより円滑なものとすることができ、これにより、渦流形成に よる両域境界部での塵埃滞留をも更に効果的に防止して、より高い清浄度維持機 能を確保できる。

【００１１】 そして、このように高い清浄度維持機能を確保できることで清浄度維持に必要 な室内換気回数を小さくすることができ、このことから給排気装置の小型化をも 達成できて、設備コスト及びランニングコストを節減できる。

【００１２】 ちなみに、高度清浄域と低度清浄域との境界部における構造として、天井部か ら固設的に垂設する剛体の垂壁を省略し、これに代え、可撓性のシートを高度清 浄域の天井部から両域境界部へ垂下することも考えられるが、この場合、可撓性 シートの動きによる気流経路変化が高度清浄域の上層部（すなわち、吹出部近傍 の上流側端）から生じ、これにより、高度清浄域における全体気流状態が大きく 変化するといったことが生じるため、かえって清浄度維持機能が低下する場合が ある。

【００１３】 これに対し、本考案の特徴構成によれば、高度清浄域の上層部では、天井部か ら固設的に垂設した剛体の垂壁により気流経路を固定化した状態で安定的に高度 清浄域の域内気流を案内するから、上記の如き高度清浄域における全体気流状態 の変化を防止でき、これにより、清浄度維持機能の向上を確実に達成できる。

【００１４】

【実施例】

次に実施例を説明する。

【００１５】 図１はトンネル状のクリーンルーム（いわゆるクリーントンネル）を示し、高 度の清浄雰囲気が要求される製造物を扱う高度清浄域Ａと、作業者用通路として の低度清浄域Ｂとを、室内において隣接状態でトンネル幅方向の一側と他側とに 振り分け配置し、それら各域Ａ，Ｂをトンネル長手方向に延設してある。

【００１６】 図中１は製造物を扱う作業台や加工装置等の設置機器である。

【００１７】 高度清浄域Ａの天井部、及び、低度清浄域Ｂの天井部には、それぞれ高性能フ ィルタ２，３により浄化した空気を各域Ａ，Ｂに対し下向きに吹出供給する吹出 口４，５を設けてあり、そして、低度清浄域Ｂ側の吹出口５については、多孔板 ５ａにより形成する吹出面を単なる平面状にして、清浄空気を単に下向きに吹き 出させるのに対し、より高い清浄度が要求される高度清浄域Ａの吹出口４につい ては、多孔板４ａにより形成する吹出面をその縁部に傾斜部分を有する屈折面に 形成し、これにより、平面視で高度清浄域Ａの全域に対し清浄空気を均等に分散 させる状態に吹き出させるようにしてある。

【００１８】 床６は、高度清浄域Ａ及び低度清浄域Ｂの夫々から床下方の排気チャンバ７へ の室内空気の排気を許す多孔床としてあり、排気チャンバ７へ回収した室内空気 は還気ダクト８を介し空調機９に戻して温湿度調整し、そして、この調整空気を 給気ダクト１０を介し各吹出口４、５に分配供給して、各域Ａ，Ｂに吹き出させ る。

【００１９】 また、高度清浄域Ａに対する清浄空気の吹出供給量Ｑｉａ、及び、低度清浄域 Ｂに対する清浄空気の吹出供給量Ｑｉｂの夫々は、各域Ａ，Ｂで夫々の所定の換 気回数を確保するように設定・調整するが、高度清浄域Ａの換気回数は低度清浄 域Ｂの換気回数よりも大として（例えば、高度清浄域Ａの換気回数を８０回／時 、低度清浄域Ｂの換気回数を５０回／時とする）、高度清浄域Ａにおける域内平 均風速を低度清浄域Ｂにおける域内平均風速よりも大きくする。

【００２０】 室内空気を排気する多孔床６については、高度清浄域Ａに対応する部分６ａに おける平均開口率、及び、低度清浄域Ｂに対応する部分６ｂにおける平均開口率 夫々の設定により、高度清浄域Ａに対する床部分６ａからの排気量Ｑｅａが高度 清浄域Ａに対する清浄空気の吹出供給量Ｑｉａよりも所定割合だけ小（Ｑｅａ＜ Ｑｉａ）になるように、かつ、低度清浄域Ｂに対応する床部分６ｂからの排気量 Ｑｅｂが低度清浄域Ｂに対する清浄空気の吹出供給量Ｑｉｂよりも所定割合だけ 大（Ｑｅｂ＞Ｑｉｂ）になるようにし、このように両域Ａ、Ｂの給排気量収支を 規定することで高度清浄域Ａを低度清浄域Ｂに対し所定差圧だけ陽圧に保つ。

【００２１】 つまり、清浄空気を高度清浄域Ａの全域に対しその天井部から均等に分散させ て吹出供給するとともに、床６から域内空気を排気することで、高度清浄域Ａに おける実質作業域部分Ａ’（高度清浄域Ａのうち天井部近傍を除いた部分）の気 流状態をその全域についてほぼ層流状の下向き気流状態に保ち、このことと大き な換気回数の確保、並びに、陽圧の維持をもって、高度清浄域Ａにおける実質作 業域部分Ａ’の清浄度を高く維持する。

【００２２】 高度清浄域Ａと低度清浄域Ｂとの境界部では、剛体の垂壁１１を天井部から固 設的に垂設してあり、また、その剛体垂壁１１の下縁高さは両域Ａ，Ｂにわたる 作業者移動の支障とならないように高度清浄域Ａにおける実質作業域部分Ａ’の 上縁部とし、これに対し、垂壁１１の下縁部からは塩化ビニルシート等の可撓性 シート状体１２を、その下縁と床６との間に所定高さ寸法の両域連通部を確保す るように垂下してある。

【００２３】 なお、可撓性のシート状体１２には透明のものを使用して、通路域としての低 度作業域Ｂから作業域としての高度清浄域Ａ内を目視できるようにする。

【００２４】 つまり、上記の構成で、天井部から固設的に垂設した剛体の垂壁１１が、高度 清浄域Ａと低度清浄域Ｂとを区画する隔壁機能、及び、高度清浄域Ａへその天井 部から分散させて下向きに吹き出し供給した清浄空気を案内して高度清浄域Ａに おける実質作業域部分Ａ’での層流状気流の形成・維持を促進する整風機能の夫 々を果たすことに加え、その垂壁１１の下縁から垂下した可撓性のシート状体１ ２が同様の隔壁機能及び整風機能を垂壁１１に続いて果たす。

【００２５】 そして、高度清浄域Ａが低度清浄域Ｂに対し陽圧に維持されることにおいて、 可撓性シート状体１２の下方における両域連通部では、高度清浄域Ａ側から低度 清浄域Ｂ側へ張り出す形態の空気流が生じ、また、可撓性シート状体１２がその 下縁側ほど低度清浄域Ｂ側に位置するように気流圧により多少傾斜することで、 その気流圧に応じた可撓性シート状体１２の傾斜姿勢をもって低度清浄域Ｂ側へ の張り出し空気流が渦流の少ないより円滑なものに案内され、これらのことによ り、高度清浄域Ａへの塵埃侵入、高度清浄域Ａでの塵埃滞留、並びに、渦流形成 による両域境界部での塵埃滞留が効果的に防止されて、高度清浄域Ａの清浄度維 持がより高度に達成される。

【００２６】 なお、本例においては上記の構成において高度清浄域Ａの換気回数を８０回／ 時程度とし、かつ、低度清浄域Ｂの換気回数を５０回／時程度とすることで、高 度清浄域Ａについては、粒径１．０μｍ以上の塵埃粒子が存在しない清浄度を確 保し、また、低度清浄域Ｂについては、１ｆ³ 中における粒径０．５μｍ以上の 塵埃粒子の存在が１００，０００個未満となる清浄度（いわゆるクラス１００， ０００）を確保する。

【００２７】 〔別実施例〕 次に本考案の別実施例を列記する。

【００２８】 高度清浄域Ａに対しその天井部から高度清浄域Ａの全域に分散させて清浄空気 を下向きに吹出供給するための構成としては、例えば、図２に示すように、高度 清浄域Ａにおける天井部の全面を整風用多孔板４ｂで形成して、その多孔板４ｂ の裏面側に形成の給気チャンバ４ｃに供給される清浄空気を下向き層流状に吹き 出させるようにしてもよく、種々の構成変更が可能である。

【００２９】 また、低度清浄域Ｂに対する清浄空気の吹出供給構成も種々の構成変更が可能 であり、例えば、同図２に示すように、前述実施例において高度清浄域Ａに対し 採用した吹出口構成を低度清浄域Ｂに採用するようにしてもよい。

【００３０】 室内の床部６から室内空気を排気するのに、前述の実施例の如く、床６そのも のを多孔板で形成して、その多孔床を介し室内空気を排気する形態に代え、室内 空気排気用の吸込口を床近傍に配置する形態としてもよい。

【００３１】 高度清浄域Ａが低度清浄域Ｂに対し陽圧になるように両域Ａ、Ｂ夫々の給排気 量収支を規定するのに、前述の実施例の如く排気用の多孔床６において高度清浄 域側の部分６ａ及び低度清浄域側の部分６ｂの夫々における開口率を調整する形 態に代えて、高度清浄域Ａからの換気・排気風路、及び、低度清浄域Ｂからの換 気・排気風路の夫々におけるダンパによる風量調整をもって両域Ａ、Ｂ夫々の給 排気量収支を規定してもよく、従来周知の種々の風量調整形式を採用できる。

【００３２】 天井部から固設的に垂設する剛体の垂壁１１の垂設長さは適宜決定すればよく 、また、その具体的構造・材質も種々の構成変更が可能である。

【００３３】 垂壁１１の下縁から垂下する可撓性シート状体１２には種々の材質ものを適用 でき、また、この可撓性シート状体１２の垂下長も適宜決定すればよい。

【００３４】 尚、実用新案登録請求の範囲の項に図面との対照を便利にするために符号を記 すが、該記入により本考案は添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例を示す断面図

【図２】別実施例を示す断面図

【図３】従来例を示す断面図

【符号の説明】

Ａ 高度清浄域 Ｂ 低度清浄域 ４，５，６ 給排気手段 ６ 床部 １１ 垂壁 １２ 可撓性シート状体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 室内の高度清浄域（Ａ）に対し、その天
   井部から高度清浄域（Ａ）の全域に分散させて清浄空気
   を下向きに吹き出し供給するとともに、室内において前
   記高度清浄域（Ａ）に隣接する低度清浄域（Ｂ）に対
   し、その天井部から清浄空気を下向きに吹出供給し、か
   つ、室内の床部（６）から室内空気を排気する給排気手
   段（４),（５),（６）を設け、この給排気手段（４),
   （５),（６）を、前記高度清浄域（Ａ）が前記低度清浄
   域（Ｂ）に対し陽圧となるように前記高度清浄域（Ａ）
   及び低度清浄域（Ｂ）夫々の給排気量収支を規定する構
   成とし、前記高度清浄域（Ａ）と前記低度清浄域（Ｂ）
   との境界部において天井部から垂壁（１１）を垂設した
   クリーンルームであって、 前記垂壁（１１）を剛体で形成して固設的に垂設し、前
   記境界部において前記垂壁（１１）の下縁部から可撓性
   のシート状体（１２）を垂下してあるクリーンルーム。