JPS6071830A - 組替式局所環境制御室 - Google Patents

組替式局所環境制御室

Info

Publication number
JPS6071830A
JPS6071830A JP58181345A JP18134583A JPS6071830A JP S6071830 A JPS6071830 A JP S6071830A JP 58181345 A JP58181345 A JP 58181345A JP 18134583 A JP18134583 A JP 18134583A JP S6071830 A JPS6071830 A JP S6071830A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
air
environment control
lattice
room
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58181345A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0136009B2 (ja
Inventor
Mitsushi Endo
光志 遠藤
Toshiaki Taniguchi
谷口　俊昭
Terumi Sawara
佐原　輝美
Noriyuki Hayakawa
早川　徳行
Tatsuo Yoshitomi
吉富　達夫
Kozo Takahashi
高橋　耕造
Yoshiteru Nagatani
永谷　善輝
Hidenao Kawai
秀直 河合
Shuichi Umigami
海上　修一
Yoichi Nakagawa
中川　陽一
Kazuo Yamagami
山上　和夫
Teruo Takizawa
滝沢　輝男
Tomio Suzuki
鈴木　富男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Plant Construction Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Plant Technologies Ltd
Hitachi Architects and Engineers Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Plant Construction Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Plant Technologies Ltd
Hitachi Architects and Engineers Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Plant Construction Co Ltd, Hitachi Ltd, Hitachi Plant Technologies Ltd, Hitachi Architects and Engineers Co Ltd filed Critical Hitachi Plant Construction Co Ltd
Priority to JP58181345A priority Critical patent/JPS6071830A/ja
Priority to US06/580,387 priority patent/US4549472A/en
Priority to GB08403972A priority patent/GB2147409B/en
Publication of JPS6071830A publication Critical patent/JPS6071830A/ja
Publication of JPH0136009B2 publication Critical patent/JPH0136009B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
    • F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
    • F24F7/10—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit with air supply, or exhaust, through perforated wall, floor or ceiling
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Central Air Conditioning (AREA)
  • Duct Arrangements (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、組替式局所環境制御室に係り、特に半導体製
造工場、薬品製造工場、食品製造工場、病院等の空調防
塵室に適した組替式局所環境制御室に関する。
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造が示され、第
１図はダクトレス式空調防塵室、第２図はダクト式空調
防塵室が示されている。
図に於いて送風機１０で吸気された外気は、空気調和機
１２で温湿度制御され、プレフィルタ１４を通り、一旦
給気ダクト１６から吸気室１８に供給した後（第１図）
又は給気ダク目６から直接に（第２図）送気ユニット２
０に供給される。通常送気ユニソ）２０は、エアの清浄
度及び温湿度の制御を要する作業エリア、生産設備、製
品等の真上に設けられる。従って空調防塵室内にレイア
ウトしである作業エリアの変更、生産設備の位置変更時
には、前述の送気ユニット２０の位置変更を伴う。この
ため、給気ダクト１６、天井２１等の解体と再取付工事
が発生し、莫大な費用と日程を要する。また、工事期間
中は長い間生産が中断することは勿論のこと、隣接する
他の生産設備、ラインにも影響を及ぼし、更に塵埃によ
る不良を発生せしめる。又工事終了後も、清浄度を安定
化させるに長い日数を要すること等種々の問題があり、
工場生産上大きな問題となる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、空調
防塵室内の生産設備、作業エリア等の変更に応じて簡単
に送気ユニソ１−の取ｆ＝ｊＵ取外し、並びに移動がで
きる組替式局所環境制御室を提案することを目的とする
。
本発明は前記目的を達成する為に、部屋の一方の側から
対向する他方の側に向けて部屋がサプライチャンバ、ミ
キシングチャンバ、環境制御室、リターンチャンバの順
序で区分され、サプライチャンバとミキシングチャンバ
との境界面には連通口を備えた隔壁を形成すると共にミ
キシングチャンバと環境制御室との境界面には第１の格
子を配設し、環境制御室とリターンチャンバとの境界面
には第２の格子を配設し、第１の格子の格子面には送気
ユニット又は蓋板が着脱自在に設けられ、第２の格子の
格子面には環境制御室のエアをリターンチャンバに吸込
む吸込板又は蓋板が着脱自在に設けられ、環境制御室の
所定の場所に送気ユニットからのエアを流動させること
を特徴とする。
以下添付図面に従って本発明に係る組替式局所環境制御
室の好ましい実施例を詳説する。第３図は縦型の局所環
境制御室の構造が示され、部屋２２は上方から順にサプ
ライチャンバ２４、ミキシングチャンバ２６、環境制御
室２８、リターンチャンバ３０が形成されている。空調
機３２はダクト３４を介してリターンチャンバ３０のエ
アの一部を吸込むと共に外気を一部取入れ、空調した後
ダクト３６を介してサプライチャンバ２４にエアを供給
する。また環境制御室２８の側面は二重壁構造として構
成され、通路３８が形成され、リターンチャンバ３０の
大部分のエアはこの通路３８を介してミキシングチャン
バ２６に送られる。
サプライチャンバ２４とミキシングチャンバ２６との境
界面には第４図で示すように構成された格子４０が配置
され、ミキシングチャンバ２６と環境制御室２８との境
界面には格子４２が配置される。格子４２は、格子４０
の２倍ピッチの大きさの格子面を有し、格子４２の枠体
は上方の格子４０の枠体と対応するように配置される。
格子４０は第５図に示す吊り金具４６を介して天井４８
から吊り下げられ、格子４２は同様の吊り金具５０を介
して格子４０に吊り下げられている。尚、第５図の符号
５２で示す部材は格子の高さ調節金具である。格子４０
の格子面にはダンパ４３が設けられた連通口４４が形成
され、残りの格子面は蓋板４５で閉じられる。
格子４２の格子面には必要箇所に第６図乃至第８図に示
す送気ユニット５４が配置される。送気ユニット５４は
、矩形（第７図）又は円形（第８図）の送風機ケース５
６、送風機ケース５６の下側（出口側）に設けられた整
流室５８、整流室５８の下側（出口側）に設けられたフ
ィルタケース６０から構成される。送気ユニット５４は
第７図、第８図に示すようにミキシングチャンバ２６内
のエアの流れに直交する方向に幅狭に形成されている。
即ち、整流室５８はフィルタケース６０より幅狭に形成
され、送風機ケース５６は整流室５８まり幅狭に形成さ
れ、これによりミキシングチャンバ２６内のエアの通過
抵抗を減少させている。送風機ケース５６には、その上
面並び区側面にエア取入口６２が形成され、送風機ケー
ス５６内には送風機６４が配設されている。整流室５８
内には送風機６４の出口に対向して整流板６６が配置さ
れ、送風機６４からのエアを高性能フィルタ６８の全面
に均等に供給する。送気ユニット５４の取付板６９は下
方からポルト７０を格子４２に固着することによって格
子４２に取付けられる。送気ユニ・ノド５４は、生産設
備、製品等の位置に応してその真上に設けられ、従って
空調防塵ゾーンは第９図の斜線７１で示すように形成さ
れる。格子４２に於いて、送気ユニット５４の設けられ
ていない格子面は蓋板７２によって閉じられる。送気ユ
ニット５４、蓋板７２は格子４２にボルト等により着脱
自在に取付けることができ、必要に応じて送気ユニット
５４の位置を変えることができる。
環境制御室２８に於いて、送気ユニット５４の下方には
検出器７６が配置され、エア清浄度、温度、湿度、ガス
濃度、細菌数等を検出する。検出器７６からの検出信号
は制御装置７８に送られ、制御装置７８はダンパ４３の
開度を制御する。また必要により送風機６４の風量を調
整・制御する。
環境制御室２８とリターンチャンバ３０とは格子８４で
区分され、格子８４は床面として利用される。格子８４
の格子面に於いては、送気ユニット５４に対応する位置
にエア吸込板としての着脱自在なグリル８６等が設けら
れるが、その他の格子面は着脱自在な蓋板等で塞がれる
。
前記の如く構成された本実施例の作用は次の通りである
。先ず空調機３２からダクト３６を介してサプライチャ
ンバ２４に空調エアが供給される。また、ミキシングチ
ャンバ２６の送風機６４が稼動すると、ミキシングチャ
ンバ２６内の圧力はリターンチャンバ３０より低くなる
。この為リターンチャンバ３０内のエアはエア通路３８
を通ってミキシングチャンバ３０に吸引され、ここで空
調エアと混合される。
格子４２には生産設備等に応じて予め所定位置に送気ユ
ニット５４が配置されている。送気ユニット５４は生産
設備の要求に応じて空間無塵ゾーンを形成することがで
きる。空調無塵ゾーンに於いては、ダンパ４３の開度を
変えることにより、サプライチャンバ２４並びにミキシ
ングチャンバ２６からのエアの吸気比率を変え、必要に
応じてエア清浄度、温湿度条件を変えることができる。
前記実施例によれば、送気ユニット５４は格子４２に着
脱自在に設けられているので、大規模な工事をすること
なく生産設備に応じて簡単に移動設置することができる
。また、本実施例によれば、環境制御室２８に於いて局
所的空調処理が可能であるので、電気炉等の発熱源が存
在するような場合にも、環境制御室２８全体の空調のバ
ランスをくずすことなく最適空調処理が可能である。ま
た、空調機３２からの空調エアが供給されるサプライチ
ャンバ２４と環境制御室２Ｂとの間にミキシングチャン
バ２６が形成されているので、空調機３２からの騒音は
環境制御室２８に伝達されにくい効果がある。また、ミ
キシングチャンバ２６のエアはサプライチャンバ２４と
隣接しているので、サプライチャンバ２４のエアから熱
伝達が行われ、空調処理に於いて省エネ効果がある。
また、ミキシングチャンバ２６には送風機６４が位置し
ている為、ミキシングチャンバ２６内の圧力は環境制御
室２８内の圧力と比較して負圧となり、従ってミキシン
グチャンバ２６から環境制御室２８内に塵埃が落下しに
（い効果がある。
第１０図では本発明に係る他の実施例の構造が示されて
いる。第１０図では横型の組替式局所環境制御室が示さ
れ、第１０図の実施例に於いて第３図で示した実施例中
の同一の部材若しくは類似の部材には同一の符号を付し
その説明は省略する。第１０図に示す実施例においても
環境制御室２８内の局所制御が可能であり、また送気ユ
ニットの移動も簡単に行うことができる。第１０図に示
す実施例では横型のため、設置にあたり第３図に示す実
施例と比較して天井等の改造作業を必要としない為、既
存の建物に設置する場合に有利である。
以上説明したように本発明に係る組替式局所環境制御室
によれば、部屋の一方の側から対向する他方の側に向け
て部屋がサプライチャンバ、ミキシングチャンバ、環境
制御室、リターンチャンバの順序で区分され、サプライ
チャンバとミキシングチャンバとの境界面には遠道口を
備えた隔壁を形成すると共にミキシングチャンバと環境
制御室との境界面には第１の格子を配設し、環境制御室
とリターンチャンバとの境界面には第２の格子を配設し
、送気ユニットは第１の格子の任意の位置に着脱自在に
設けることができるので環境制御室の局所制御が可能と
なる。また、送気ユニットは第１の格子に簡単に取付け
、取外しができるので、従来必要であった天井等の解体
、改造工事等無しに送気ユニットの移動が可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造を示す説明図
、第３図は本実施例の構造を示す説明図、第４図は格子
の平面図、第５図は第４図上Ｖ−Ｖ線に沿う断面図、第
６図は本実施例の送気ユニット付近の拡大断面図、第７
図並びに第８図は送気ユニットの外観形状を示す斜視図
、第９図は本実施例による局所制御ゾーンを示す説明図
、第１０図は本発明に係る他の実施例を示す概略斜視図
である。 ２２・・・部屋、　２４・・・サプライチャンバ、　２
６・・・ミキシングチャンバ、　２８・・・環境制御室
、　３０・・・リターンチャンバ、　４０・・・格子、
４２・・・格子、　４４格子、　５４・・・送気ユニッ
ト、　８４・・・格子。 １ 第１図 第４図 第５図 −１ 第６図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ＋１１部屋の一方の側から対向する他方の側に向けて部
    屋がサプライチャンバ、ミキシングチャンバ、環境制御
    室、リターンチャンバの順序で区分され、サプライチャ
    ンバとミキシングチャンバとの境界面には連通口を備え
    た隔壁を形成すると共にミキシングチャンバと環境制御
    室との境界面には第１の格子を配設し、環境制御室とリ
    ターンチャンバとの境界面には第２の格子を配設し、第
    １の格子面には送気ユニット又は蓋板が着脱自在に設け
    られ、第２の格子の格子面には環境制御室のエアをリタ
    ーンチャンバに吸込む吸込板又は蓋板が着脱自在に設け
    られ、サプライチャンバからの空調エアとリターンチャ
    ンバからの循環エアを混合して環境制御室の所定の場所
    に送気ユニットからのエアを流動させることを特徴とす
    る組替式局所環境制御室。 ＋２１　送気ユニットは、フィルタケース、フィルタケ
    ースのエア入口側に設けられフィルタケースより幅狭に
    形成された整流室と、整流室のエア入口側に設けられ整
    流室より幅狭に形成された送風機ケースを備えているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項の組替式局所環境
    制御室。 （３）隔壁は格子で形成され、該格子の格子面は連通口
    が形成されるか若しくは蓋板で閉じられ、連通口にはダ
    ンパが設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
    第１項の組替式局所環境制御室。
JP58181345A 1983-09-29 1983-09-29 組替式局所環境制御室 Granted JPS6071830A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58181345A JPS6071830A (ja) 1983-09-29 1983-09-29 組替式局所環境制御室
US06/580,387 US4549472A (en) 1983-09-29 1984-02-15 Rearrangeable partial environmental control device
GB08403972A GB2147409B (en) 1983-09-29 1984-02-15 Environmental control device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58181345A JPS6071830A (ja) 1983-09-29 1983-09-29 組替式局所環境制御室

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6071830A true JPS6071830A (ja) 1985-04-23
JPH0136009B2 JPH0136009B2 (ja) 1989-07-28

Family

ID=16099073

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58181345A Granted JPS6071830A (ja) 1983-09-29 1983-09-29 組替式局所環境制御室

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4549472A (ja)
JP (1) JPS6071830A (ja)
GB (1) GB2147409B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0491715U (ja) * 1990-12-28 1992-08-10
JP2012026625A (ja) * 2010-07-22 2012-02-09 Yamatake Corp 送風制御装置および方法
JP2018528379A (ja) * 2015-07-29 2018-09-27 モビエアー ピーティーイー． リミテッドＭｏｂｉａｉｒ Ｐｔｅ Ｌｔｄ． ゼロエネルギー加熱、換気、空調動作を達成することができるプロセスおよび設備

Families Citing this family (87)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0147143B1 (en) * 1983-12-16 1991-04-17 Nitta Co., Ltd. Air cleaner
US4667580A (en) * 1984-07-19 1987-05-26 Wetzel Lawrence E Clean room module
JPS6172947A (ja) * 1984-09-18 1986-04-15 Takasago Thermal Eng Co Ltd クリ−ンル−ムの形成法およびこの方法に使用する空気調和設備ユニツト
KR920007809B1 (ko) * 1984-10-11 1992-09-17 가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼 클린 룸
EP0202110A3 (en) * 1985-05-14 1987-05-13 Flanders Filters, Inc. Laminar flow clean room
JPS625031A (ja) * 1985-06-28 1987-01-12 Kajima Corp 部分的に清浄度の異なるクリ−ンル−ム
US4635756A (en) * 1985-07-09 1987-01-13 Westinghouse Electric Corp. Elevator cab
FR2600148A1 (fr) * 1985-12-10 1987-12-18 Inst Nacional Sistemas Auto Procede pour la climatisation d'ordinateurs
US4666477A (en) * 1986-04-22 1987-05-19 Weber Technical Products, Division Of Craig Systems Corporation Adjustable damper for clean room systems
US4732592A (en) * 1986-10-31 1988-03-22 Spengler Charles W Portable clean air facility
US4730551A (en) * 1986-11-03 1988-03-15 Peludat Walter W Heat distributor for suspended ceilings
US4747341A (en) * 1986-11-19 1988-05-31 Donaldson Company, Inc. Integral grid structure for providing negative pressure plenum
US4902315A (en) * 1987-11-30 1990-02-20 Spicer R Christopher Negative pressure asbestos removal with localized make-up air
US4926746A (en) * 1988-01-05 1990-05-22 Smith Clyde M Work chamber with shifting ventilation zone
DE3836147C2 (de) * 1988-10-23 1996-03-21 Ltg Lufttechnische Gmbh Reinraumdecke
JP2736662B2 (ja) * 1988-11-04 1998-04-02 東芝セラミックス株式会社 半導体ウェーハの曇防止装置
GB8826827D0 (en) * 1988-11-16 1988-12-21 Envair Uk Ltd Clean air cabinets
US4976757A (en) * 1989-05-04 1990-12-11 Comp-Aire Systems, Inc. Filtration plenum module constructed for on-site assembly
AU6322090A (en) * 1989-09-25 1991-03-28 Kullapat Kuramarohit The floor air distributor/collector for localized air conditioning
JPH03291436A (ja) * 1990-04-05 1991-12-20 N M B Semiconductor:Kk 半導体製造工場のクリーンルーム
US5058491A (en) * 1990-08-27 1991-10-22 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Building and method for manufacture of integrated circuits
DE59205885D1 (de) * 1991-02-01 1996-05-09 Meissner & Wurst Filter-Ventilator-Einrichtung zur Verwendung bei Reinräumen
US5613759A (en) * 1991-06-24 1997-03-25 Brod & Mcclung-Pace Co. Light and filter support structure
DE4122582C2 (de) * 1991-07-08 1994-12-15 Babcock Bsh Ag Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
US5454756A (en) * 1991-08-21 1995-10-03 Pace Company Clean room ventilation system
US5192348A (en) * 1991-08-21 1993-03-09 Brod & Mcclung-Pace Co. Directional air diffuser panel for clean room ventilation system
GB9202154D0 (en) * 1992-01-31 1992-03-18 Challenger John G Clean room construction
DE9217873U1 (de) * 1992-12-31 1993-06-24 Metall + Plastic Gmbh, 7760 Radolfzell Vorrichtung zum Bearbeiten von Kleinteilen
US5316560A (en) * 1993-03-19 1994-05-31 Hughes Aircraft Company Environment control apparatus
US5350336A (en) * 1993-04-23 1994-09-27 Industrial Technology Research Institute Building and method for manufacture of integrated semiconductor circuit devices
DE4328995C2 (de) * 1993-08-28 1997-01-23 Meissner & Wurst Reinraumanlage
JPH0926176A (ja) * 1995-07-07 1997-01-28 Canon Inc 処理システムとこれを用いたデバイス生産方法
US5749779A (en) * 1995-11-09 1998-05-12 Wilburn's Body Shop, Inc. Movable overhead ventilation assembly and filtering method
US5725426A (en) * 1995-12-26 1998-03-10 Alvarez; Henry Portable and disposable sterilized operating environment
FR2744042B1 (fr) * 1996-01-31 1998-04-10 Aerospatiale Salle a empoussierement controle
SE508807C2 (sv) * 1996-04-01 1998-11-09 Flaekt Ab Anordning för tillförsel av luft till renrum indelat i zoner med olika klimatkrav
US5972060A (en) * 1996-10-09 1999-10-26 Ch2Mhill Industrial Design Corporation Apparatus for providing a purified resource in a manufacturing facility
US5871556A (en) * 1997-05-02 1999-02-16 Hepa Corporation Clean room air filter system with self-supporting filter units
EP0849001A1 (de) * 1996-12-20 1998-06-24 Robert sen. Wälti Spritzkabine und Luftzirkulationssystem für einen Arbeitsraum
JP3090088B2 (ja) * 1997-02-07 2000-09-18 富士電機株式会社 クリーンルームのファンフィルタユニット
SE513093C2 (sv) * 1997-06-27 2000-07-03 Flaekt Ab Fläktmodul för renrumstillämpningar
TW422724B (en) * 1997-07-03 2001-02-21 Takasago Thermal Engineering An air filter, the manufacturing method, and a high efficiency air cleaning apparatus
JPH1130436A (ja) * 1997-07-11 1999-02-02 Nittetsu Semiconductor Kk クリーンルーム及びクリーンルームの改装方法
US6123617A (en) * 1998-11-02 2000-09-26 Seh-America, Inc. Clean room air filtering system
US6132309A (en) * 1999-03-10 2000-10-17 Panelli; Paul Giulo Modular clean room plenum
CA2371313A1 (en) 1999-04-28 2000-11-02 Stratotech Corporation Adjustable clean-air flow environment
DE29916321U1 (de) * 1999-09-16 1999-12-23 M + W Zander Facility Engineering GmbH + Co. KG, 70499 Stuttgart Reinstlufteinrichtung für den Pharmazie-, Lebensmittel- und biotechnischen Bereich
WO2001062060A1 (en) 2000-02-18 2001-08-23 Rtkl Associates Inc. Computer rack heat extraction device
US6557357B2 (en) 2000-02-18 2003-05-06 Toc Technology, Llc Computer rack heat extraction device
US6412292B2 (en) 2000-05-09 2002-07-02 Toc Technology, Llc Computer rack heat extraction device
US6574970B2 (en) 2000-02-18 2003-06-10 Toc Technology, Llc Computer room air flow method and apparatus
CA2406703A1 (en) 2000-05-05 2001-11-15 Extraction Systems, Inc. Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media
JP2002147811A (ja) * 2000-11-08 2002-05-22 Sharp Corp クリーンルーム
US6502629B2 (en) * 2001-01-24 2003-01-07 Robert Valachovic Paint booth temperature control system
DE20111081U1 (de) 2001-07-06 2001-10-04 Clean-Tek GmbH Systemteile zum Bau von technischen Räumen, 71272 Renningen Befestigungsvorrichtung für eine Filter-Ventilatoreinheit eines Reinraumsystems
US6471582B1 (en) * 2001-08-14 2002-10-29 Applied Optoelectronics, Inc. Adapter for coupling air duct to fan-driven vent
KR100474577B1 (ko) * 2002-07-06 2005-03-08 삼성전자주식회사 청정 공기 덕트 및 청정실용 공기 제공 장치
US7105037B2 (en) * 2002-10-31 2006-09-12 Advanced Technology Materials, Inc. Semiconductor manufacturing facility utilizing exhaust recirculation
US7044851B2 (en) * 2003-01-23 2006-05-16 Dialysis Systems, Inc. Air handling system for specialized facility
US7137775B2 (en) 2003-03-20 2006-11-21 Huntair Inc. Fan array fan section in air-handling systems
US7597534B2 (en) 2003-03-20 2009-10-06 Huntair, Inc. Fan array fan section in air-handling systems
US11255332B2 (en) * 2003-03-20 2022-02-22 Nortek Air Solutions, Llc Modular fan housing with multiple modular units having sound attenuation for a fan array for an air-handling system
US7329308B2 (en) * 2003-07-09 2008-02-12 Entegris, Inc. Air handling and chemical filtration system and method
KR20050062366A (ko) * 2003-12-18 2005-06-23 엠 플러스 더블유 짠더 퍼실리티 엔지니어링 게엠베하 순환공기, 특히 청정공기의 공조장치
FR2870127A1 (fr) * 2004-05-11 2005-11-18 Liege Et Vin Sarl Procede et installation pour le traitement des bouchons en liege
US7220291B2 (en) * 2004-06-08 2007-05-22 Camfil Farr, Inc. Filter housing assembly
KR100605106B1 (ko) * 2004-07-01 2006-07-31 삼성전자주식회사 그레이팅 패널 및 그것을 사용하는 청정실 시스템
FR2878315B1 (fr) * 2004-11-19 2007-06-01 Matal Sa Installation pour menager une zone de travail sous atmosphere controlee au sein d'un local
DE202005009505U1 (de) * 2005-06-10 2006-10-19 M + W Zander Facility Engineering Gmbh Schwebstofffilter, insbesondere für den Einsatz in Reinräumen
US8147301B2 (en) * 2006-01-19 2012-04-03 Ray Ghattas Air handling system for clean room
FR2914400B1 (fr) * 2007-03-30 2009-06-26 Data 4 Soc Par Actions Simplif Systeme de climatisation d'une piece
WO2008153455A1 (en) * 2007-05-30 2008-12-18 Klas Jakobsson Air cleaning system for one or several rooms and a filtration unit forming part of the air cleaning system
JP2009002634A (ja) * 2007-06-25 2009-01-08 Unitec Inc ユニット型クリーンルーム
US9435552B2 (en) * 2007-12-14 2016-09-06 Ge-Hitachi Nuclear Energy Americas Llc Air filtration and handling for nuclear reactor habitability area
US7572976B1 (en) * 2008-02-06 2009-08-11 Victor Merrill Quick connect electrical box
AU2009330055B2 (en) 2008-12-23 2015-11-05 Xoma (Us) Llc Flexible manufacturing system
JP5603030B2 (ja) * 2009-06-23 2014-10-08 Ｄｍｇ森精機株式会社 加工機械の温度制御装置
US9795957B2 (en) * 2009-08-16 2017-10-24 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
KR101719498B1 (ko) 2009-08-16 2017-03-24 지-콘 메뉴팩츄어링 인코포레이티드 모듈식 자립형 이동식 청정실
US20110201265A1 (en) * 2010-02-15 2011-08-18 Philadelphia University Methods and apparatus for combating sick building syndrome
JP2011190967A (ja) * 2010-03-12 2011-09-29 Fujitsu Ltd 空調システム
US20140087649A1 (en) * 2012-09-26 2014-03-27 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co. Ltd. Cleanroom and Cleaning Apparatus
JP6338521B2 (ja) * 2014-12-19 2018-06-06 日本エアーテック株式会社 アイソレータ
CN105666528B (zh) * 2016-03-29 2018-12-07 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱
US11624182B2 (en) 2019-08-15 2023-04-11 G-Con Manufacturing, Inc. Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings
WO2022182696A1 (en) * 2021-02-23 2022-09-01 Seitz Michael W Hepa filtration system

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3115819A (en) * 1961-03-06 1963-12-31 Sheffield Corp Prefabricated enclosure
US3367257A (en) * 1965-03-23 1968-02-06 Pyle National Co Air control for white room
US3522724A (en) * 1968-03-29 1970-08-04 Kidde & Co Walter Method and apparatus for testing clean room filtration efficiency
SE350115B (ja) * 1970-06-24 1972-10-16 Ar Ventilation Ab
US3986850A (en) * 1974-12-05 1976-10-19 Flanders Filters, Inc. Flow control apparatus and air filters
US3975995A (en) * 1975-03-13 1976-08-24 American Air Filter Company, Inc. Ventilated ceiling construction
US4284236A (en) * 1978-05-17 1981-08-18 Carrier Drysys Limited Air conditioning system
US4377059A (en) * 1978-09-18 1983-03-22 United States Gypsum Company Concealed ceiling system with accessible ceiling panels
US4344784A (en) * 1981-02-27 1982-08-17 Dexon, Inc. Filter assembly for clean air rooms and work stations
JPS58127033A (ja) * 1982-01-25 1983-07-28 Hitachi Ltd 清浄室装置
SE454328B (sv) * 1982-04-30 1988-04-25 Flaekt Ab Forfarande och anordning for ventilering av en sprutbox

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0491715U (ja) * 1990-12-28 1992-08-10
JP2012026625A (ja) * 2010-07-22 2012-02-09 Yamatake Corp 送風制御装置および方法
US8734575B2 (en) 2010-07-22 2014-05-27 Azbil Corporation Airflow controlling device and method
JP2018528379A (ja) * 2015-07-29 2018-09-27 モビエアー ピーティーイー． リミテッドＭｏｂｉａｉｒ Ｐｔｅ Ｌｔｄ． ゼロエネルギー加熱、換気、空調動作を達成することができるプロセスおよび設備

Also Published As

Publication number Publication date
GB8403972D0 (en) 1984-03-21
GB2147409A (en) 1985-05-09
US4549472A (en) 1985-10-29
JPH0136009B2 (ja) 1989-07-28
GB2147409B (en) 1987-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6071830A (ja) 組替式局所環境制御室
EP0196333B1 (en) Clean room constructing system
US4699640A (en) Clean room having partially different degree of cleanliness
US4838150A (en) Clean room
US3367257A (en) Air control for white room
JPS6231258B2 (ja)
JPS6314257B2 (ja)
JPS61101733A (ja) ユニツト型クリ−ンル−ム
JPH0311379B2 (ja)
JPH064125B2 (ja) クリ−ンベンチ
JPH0348417B2 (ja)
JP3516507B2 (ja) クリーンルームシステム
JP4486727B2 (ja) 循環型クリーンルーム
JPS6071831A (ja) 組替式局所環境制御室
JPH0535326B2 (ja)
JPS62268941A (ja) クリ−ンル−ム
JP2849673B2 (ja) 組合せ型エアコンユニット
JPH0533856Y2 (ja)
JPH0437614Y2 (ja)
JP2551426Y2 (ja) 吹出口分散型の床面吹出し天井吸込み式空調設備
JP2515245B2 (ja) フレキシブルクリ―ンル―ム
JP2612199B2 (ja) 空気調和装置および空気清浄化装置
JPH0535327B2 (ja)
JPH0467094B2 (ja)
JPH0678748U (ja) 家具を用いた空調ダクト構造

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees