JPS6071830A - 組替式局所環境制御室 - Google Patents

組替式局所環境制御室

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JPS6071830A
JPS6071830A JP58181345A JP18134583A JPS6071830A JP S6071830 A JPS6071830 A JP S6071830A JP 58181345 A JP58181345 A JP 58181345A JP 18134583 A JP18134583 A JP 18134583A JP S6071830 A JPS6071830 A JP S6071830A
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光志 遠藤
Toshiaki Taniguchi
谷口　俊昭
Terumi Sawara
佐原　輝美
Noriyuki Hayakawa
早川　徳行
Tatsuo Yoshitomi
吉富　達夫
Kozo Takahashi
高橋　耕造
Yoshiteru Nagatani
永谷　善輝
Hidenao Kawai
秀直 河合
Shuichi Umigami
海上　修一
Yoichi Nakagawa
中川　陽一
Kazuo Yamagami
山上　和夫
Teruo Takizawa
滝沢　輝男
Tomio Suzuki
鈴木　富男
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F7/00—Ventilation
    • F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
    • F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
    • F24F7/10—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit with air supply, or exhaust, through perforated wall, floor or ceiling
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、組替式局所環境制御室に係り、特に半導体製
造工場、薬品製造工場、食品製造工場、病院等の空調防
塵室に適した組替式局所環境制御室に関する。
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造が示され、第
１図はダクトレス式空調防塵室、第２図はダクト式空調
防塵室が示されている。
図に於いて送風機１０で吸気された外気は、空気調和機
１２で温湿度制御され、プレフィルタ１４を通り、一旦
給気ダクト１６から吸気室１８に供給した後（第１図）
又は給気ダク目６から直接に（第２図）送気ユニット２
０に供給される。通常送気ユニソ）２０は、エアの清浄
度及び温湿度の制御を要する作業エリア、生産設備、製
品等の真上に設けられる。従って空調防塵室内にレイア
ウトしである作業エリアの変更、生産設備の位置変更時
には、前述の送気ユニット２０の位置変更を伴う。この
ため、給気ダクト１６、天井２１等の解体と再取付工事
が発生し、莫大な費用と日程を要する。また、工事期間
中は長い間生産が中断することは勿論のこと、隣接する
他の生産設備、ラインにも影響を及ぼし、更に塵埃によ
る不良を発生せしめる。又工事終了後も、清浄度を安定
化させるに長い日数を要すること等種々の問題があり、
工場生産上大きな問題となる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、空調
防塵室内の生産設備、作業エリア等の変更に応じて簡単
に送気ユニソ１−の取ｆ＝ｊＵ取外し、並びに移動がで
きる組替式局所環境制御室を提案することを目的とする
。
本発明は前記目的を達成する為に、部屋の一方の側から
対向する他方の側に向けて部屋がサプライチャンバ、ミ
キシングチャンバ、環境制御室、リターンチャンバの順
序で区分され、サプライチャンバとミキシングチャンバ
との境界面には連通口を備えた隔壁を形成すると共にミ
キシングチャンバと環境制御室との境界面には第１の格
子を配設し、環境制御室とリターンチャンバとの境界面
には第２の格子を配設し、第１の格子の格子面には送気
ユニット又は蓋板が着脱自在に設けられ、第２の格子の
格子面には環境制御室のエアをリターンチャンバに吸込
む吸込板又は蓋板が着脱自在に設けられ、環境制御室の
所定の場所に送気ユニットからのエアを流動させること
を特徴とする。
以下添付図面に従って本発明に係る組替式局所環境制御
室の好ましい実施例を詳説する。第３図は縦型の局所環
境制御室の構造が示され、部屋２２は上方から順にサプ
ライチャンバ２４、ミキシングチャンバ２６、環境制御
室２８、リターンチャンバ３０が形成されている。空調
機３２はダクト３４を介してリターンチャンバ３０のエ
アの一部を吸込むと共に外気を一部取入れ、空調した後
ダクト３６を介してサプライチャンバ２４にエアを供給
する。また環境制御室２８の側面は二重壁構造として構
成され、通路３８が形成され、リターンチャンバ３０の
大部分のエアはこの通路３８を介してミキシングチャン
バ２６に送られる。
サプライチャンバ２４とミキシングチャンバ２６との境
界面には第４図で示すように構成された格子４０が配置
され、ミキシングチャンバ２６と環境制御室２８との境
界面には格子４２が配置される。格子４２は、格子４０
の２倍ピッチの大きさの格子面を有し、格子４２の枠体
は上方の格子４０の枠体と対応するように配置される。
格子４０は第５図に示す吊り金具４６を介して天井４８
から吊り下げられ、格子４２は同様の吊り金具５０を介
して格子４０に吊り下げられている。尚、第５図の符号
５２で示す部材は格子の高さ調節金具である。格子４０
の格子面にはダンパ４３が設けられた連通口４４が形成
され、残りの格子面は蓋板４５で閉じられる。
格子４２の格子面には必要箇所に第６図乃至第８図に示
す送気ユニット５４が配置される。送気ユニット５４は
、矩形（第７図）又は円形（第８図）の送風機ケース５
６、送風機ケース５６の下側（出口側）に設けられた整
流室５８、整流室５８の下側（出口側）に設けられたフ
ィルタケース６０から構成される。送気ユニット５４は
第７図、第８図に示すようにミキシングチャンバ２６内
のエアの流れに直交する方向に幅狭に形成されている。
即ち、整流室５８はフィルタケース６０より幅狭に形成
され、送風機ケース５６は整流室５８まり幅狭に形成さ
れ、これによりミキシングチャンバ２６内のエアの通過
抵抗を減少させている。送風機ケース５６には、その上
面並び区側面にエア取入口６２が形成され、送風機ケー
ス５６内には送風機６４が配設されている。整流室５８
内には送風機６４の出口に対向して整流板６６が配置さ
れ、送風機６４からのエアを高性能フィルタ６８の全面
に均等に供給する。送気ユニット５４の取付板６９は下
方からポルト７０を格子４２に固着することによって格
子４２に取付けられる。送気ユニ・ノド５４は、生産設
備、製品等の位置に応してその真上に設けられ、従って
空調防塵ゾーンは第９図の斜線７１で示すように形成さ
れる。格子４２に於いて、送気ユニット５４の設けられ
ていない格子面は蓋板７２によって閉じられる。送気ユ
ニット５４、蓋板７２は格子４２にボルト等により着脱
自在に取付けることができ、必要に応じて送気ユニット
５４の位置を変えることができる。
環境制御室２８に於いて、送気ユニット５４の下方には
検出器７６が配置され、エア清浄度、温度、湿度、ガス
濃度、細菌数等を検出する。検出器７６からの検出信号
は制御装置７８に送られ、制御装置７８はダンパ４３の
開度を制御する。また必要により送風機６４の風量を調
整・制御する。
環境制御室２８とリターンチャンバ３０とは格子８４で
区分され、格子８４は床面として利用される。格子８４
の格子面に於いては、送気ユニット５４に対応する位置
にエア吸込板としての着脱自在なグリル８６等が設けら
れるが、その他の格子面は着脱自在な蓋板等で塞がれる
。
前記の如く構成された本実施例の作用は次の通りである
。先ず空調機３２からダクト３６を介してサプライチャ
ンバ２４に空調エアが供給される。また、ミキシングチ
ャンバ２６の送風機６４が稼動すると、ミキシングチャ
ンバ２６内の圧力はリターンチャンバ３０より低くなる
。この為リターンチャンバ３０内のエアはエア通路３８
を通ってミキシングチャンバ３０に吸引され、ここで空
調エアと混合される。
格子４２には生産設備等に応じて予め所定位置に送気ユ
ニット５４が配置されている。送気ユニット５４は生産
設備の要求に応じて空間無塵ゾーンを形成することがで
きる。空調無塵ゾーンに於いては、ダンパ４３の開度を
変えることにより、サプライチャンバ２４並びにミキシ
ングチャンバ２６からのエアの吸気比率を変え、必要に
応じてエア清浄度、温湿度条件を変えることができる。
前記実施例によれば、送気ユニット５４は格子４２に着
脱自在に設けられているので、大規模な工事をすること
なく生産設備に応じて簡単に移動設置することができる
。また、本実施例によれば、環境制御室２８に於いて局
所的空調処理が可能であるので、電気炉等の発熱源が存
在するような場合にも、環境制御室２８全体の空調のバ
ランスをくずすことなく最適空調処理が可能である。ま
た、空調機３２からの空調エアが供給されるサプライチ
ャンバ２４と環境制御室２Ｂとの間にミキシングチャン
バ２６が形成されているので、空調機３２からの騒音は
環境制御室２８に伝達されにくい効果がある。また、ミ
キシングチャンバ２６のエアはサプライチャンバ２４と
隣接しているので、サプライチャンバ２４のエアから熱
伝達が行われ、空調処理に於いて省エネ効果がある。
また、ミキシングチャンバ２６には送風機６４が位置し
ている為、ミキシングチャンバ２６内の圧力は環境制御
室２８内の圧力と比較して負圧となり、従ってミキシン
グチャンバ２６から環境制御室２８内に塵埃が落下しに
（い効果がある。
第１０図では本発明に係る他の実施例の構造が示されて
いる。第１０図では横型の組替式局所環境制御室が示さ
れ、第１０図の実施例に於いて第３図で示した実施例中
の同一の部材若しくは類似の部材には同一の符号を付し
その説明は省略する。第１０図に示す実施例においても
環境制御室２８内の局所制御が可能であり、また送気ユ
ニットの移動も簡単に行うことができる。第１０図に示
す実施例では横型のため、設置にあたり第３図に示す実
施例と比較して天井等の改造作業を必要としない為、既
存の建物に設置する場合に有利である。
以上説明したように本発明に係る組替式局所環境制御室
によれば、部屋の一方の側から対向する他方の側に向け
て部屋がサプライチャンバ、ミキシングチャンバ、環境
制御室、リターンチャンバの順序で区分され、サプライ
チャンバとミキシングチャンバとの境界面には遠道口を
備えた隔壁を形成すると共にミキシングチャンバと環境
制御室との境界面には第１の格子を配設し、環境制御室
とリターンチャンバとの境界面には第２の格子を配設し
、送気ユニットは第１の格子の任意の位置に着脱自在に
設けることができるので環境制御室の局所制御が可能と
なる。また、送気ユニットは第１の格子に簡単に取付け
、取外しができるので、従来必要であった天井等の解体
、改造工事等無しに送気ユニットの移動が可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は従来の空調防塵室の構造を示す説明図
、第３図は本実施例の構造を示す説明図、第４図は格子
の平面図、第５図は第４図上Ｖ−Ｖ線に沿う断面図、第
６図は本実施例の送気ユニット付近の拡大断面図、第７
図並びに第８図は送気ユニットの外観形状を示す斜視図
、第９図は本実施例による局所制御ゾーンを示す説明図
、第１０図は本発明に係る他の実施例を示す概略斜視図
である。 ２２・・・部屋、　２４・・・サプライチャンバ、　２
６・・・ミキシングチャンバ、　２８・・・環境制御室
、　３０・・・リターンチャンバ、　４０・・・格子、
４２・・・格子、　４４格子、　５４・・・送気ユニッ
ト、　８４・・・格子。 １ 第１図 第４図 第５図 −１ 第６図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ＋１１部屋の一方の側から対向する他方の側に向けて部
    屋がサプライチャンバ、ミキシングチャンバ、環境制御
    室、リターンチャンバの順序で区分され、サプライチャ
    ンバとミキシングチャンバとの境界面には連通口を備え
    た隔壁を形成すると共にミキシングチャンバと環境制御
    室との境界面には第１の格子を配設し、環境制御室とリ
    ターンチャンバとの境界面には第２の格子を配設し、第
    １の格子面には送気ユニット又は蓋板が着脱自在に設け
    られ、第２の格子の格子面には環境制御室のエアをリタ
    ーンチャンバに吸込む吸込板又は蓋板が着脱自在に設け
    られ、サプライチャンバからの空調エアとリターンチャ
    ンバからの循環エアを混合して環境制御室の所定の場所
    に送気ユニットからのエアを流動させることを特徴とす
    る組替式局所環境制御室。 ＋２１　送気ユニットは、フィルタケース、フィルタケ
    ースのエア入口側に設けられフィルタケースより幅狭に
    形成された整流室と、整流室のエア入口側に設けられ整
    流室より幅狭に形成された送風機ケースを備えているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項の組替式局所環境
    制御室。 （３）隔壁は格子で形成され、該格子の格子面は連通口
    が形成されるか若しくは蓋板で閉じられ、連通口にはダ
    ンパが設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
    第１項の組替式局所環境制御室。
JP58181345A 1983-09-29 1983-09-29 組替式局所環境制御室 Granted JPS6071830A (ja)

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US06/580,387 US4549472A (en) 1983-09-29 1984-02-15 Rearrangeable partial environmental control device
GB08403972A GB2147409B (en) 1983-09-29 1984-02-15 Environmental control device

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JPS6071830A true JPS6071830A (ja) 1985-04-23
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