JPH0348417B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体製造、医療機器製造、食品加
工等の諸工業で必要とされる無塵のクリーンルー
ムを簡単に構成できる空気清浄化装置に関するも
のである。

従来の技術 従来のクリーンルーム、クリーンブースは、実
公昭56−5707号公報に示されるように、空気を清
浄化しようとする室外に、空気吸込口と送風器を
配置し、天井上方にフイルターを配置し、天井面
全体から清浄化した空気を吹き出させる所謂層流
式クリーンルームか、または実開昭49−55931号
公報に示されるように、本体の上端に天井ダクト
を接続し、本体内のフイルター、送風機により清
浄化された空気を天井面全体から吹き出させ、天
井面直下の空間を層流式のクリーンブースとした
ものとか、前記実公昭56−5707号公報に示される
天井部を複数のダクトとし、各ダクト下面から室
内へ清浄空気を吹き出させたクリーンルーム等が
存する。

発明が解決しようとする課題 前述の実公昭56−5707号公報に示されるごとき
層流式のクリーンルームは、天井部上方に清浄空
気の通路を設け、室外に、空気清浄化の諸装置を
設けねばならないので、空気清浄化設備が大工事
となるのみでなく既設の室をクリーンルームとす
るためには、既存の天井部、壁の取り壊し、空気
浄化装置の設置という大改造が必要となる欠点を
存すると共に、室内の空気は床付近の側面の排気
口から気圧差を利用して排気されるにすぎないの
で、作業台等の上面に流下した清浄な空気は舞い
上り現象を生じ、このため作業台上面等の塵も舞
い上がる問題が存する。

また、実公昭56−5707号公報に示される構造の
クリーンルームでも、実開昭49−55931号公報に
示される構造のクリーンブースでも、吹き出され
た清浄な空気は、側壁下部から室外へ排出され、
新たな含塵エアが吸込口から吸い込まれてフイル
ターを通ることとなり、清浄化に長時間を要し、
エアフイルターの稼動効率が上がらない欠点があ
る。

更には本体下部側面に吸気孔が開設されている
ため、天井全面からの吹き出された清浄空気が、
前記吸気孔へ向つて傾めに流れ、全室均一な空気
清浄化を図り難い問題も存する。

また既述の天井部上方にダクトを配置し、天井
下面にダクトの空気吹出口を開口させたもので
は、ダクトの空気吹出口に近接した天井面に含塵
エアの渦流が残溜する欠点が存し、十分な清浄効
果を得られないという問題を有している。

発明の目的 上述の現状に鑑み、本発明は、既存の密閉でき
る任意の室に搬入し、柱状本体の一側面を室の内
側壁に密接させ、またその上端面を天井下面に密
接させ、かつ風導管の上面を天井下面に密着させ
て空気清浄化装置を配置し、電源を接続するとい
う簡単な工事のみにより、短時間で所望の清浄度
を有するのクリーンルームが得られ、また天井面
等に含塵空気が残存することもなく、清浄な空気
は天井面から床面に向つて流れ、床面に沿つて流
動して柱状本体下面の床面に近接している空気吸
込口に吸い込まれるので、作業台等の上面からの
塵の舞い上がりも生じないクリーンルーム用の空
気清浄化装置を提供することを目的としている。

課題を解決するための手段 上述の目的を達成するため、本発明は、密閉さ
れている部屋内に配置され、その部屋をクリーン
ルームとするための空気清浄化装置であつて、少
なくともその一側面を部屋の内側壁に密接し、か
つその上端面を天井下面に密接する柱状本体と、
該柱状本体の上部から水平方向に延設され、少な
くともその上面を部屋の天井に接する風導管とか
らなり、前記柱状本体はその下面に比較的短小な
脚部及び空気吸込口を有し、その内部には空気循
環用の送風機及び空気清浄化用フイルターが内装
された空気通路を有しており、また前記風導管は
前記柱状本体と略同一幅で延設方向における部屋
の天井長さに応じた長さを有し、その両側板と下
底板との全面には、部屋内の全方向に指向する空
気吹出口を有しており、かつ前記柱状本体と前記
風導管とは、柱状本体の上端面と風導管との上面
が一連の水平面を形成し、その全長が前記風導管
延設方向における部屋の天井長さと等長に形成さ
れているという構成を採用している。

作 用 本発明は、上述の構成とされているので、クリ
ーンルームにする必要のある室の床面から天井面
までの高さ、風導管配設方向の天井面の長さに適
合した寸法、形状の空気清浄化装置を選定したう
えで、該室の出入口、窓以外の換気孔、内装パネ
ル間の間隙等を密閉して該室の内側壁、天井、床
を密閉したうえで、該室内に、床に近接した下面
に空気吸込口を開口され、空気循環用の送風機を
内装された柱状本体を搬入し、該柱状本体の正面
以外の平坦な垂直とされている側面を前記内側壁
に密接させて床に固定し、ついで風導管を室内に
搬入し、一連の水平面を形成している柱状本体の
上端面と風導管の上面とを天井下面に密接させて
固定し、電源接続を行なうのみで、任意の室のク
リーンルーム化が完了する。

この状態としたうえで送風機を稼動させると、
室内の空気のみが床近くに配置された柱状本体下
面の空気吸込口から吸い込まれ、空気清浄化用フ
イルターを経て、風導管の両側板と下底板との全
面の空気吹出口から、略天井と平行する方向を含
む斜め下方と床に向つて吹き出され、この吹出し
空気は床面に達したのち再び柱状本体の床に近接
した下面の吸込口から吸い込まれ、空気清浄化用
フイルターを経て風導管の吹出口から前記した通
りに吹き出される。

すなわち、本発明の空気清浄化装置を設置した
クリーンルームでは、一度清浄にされた室内の空
気が繰り返し空気清浄化用フイルターを通過させ
られ、その間、清浄な空気がクリーンルーム外に
排出されることも、クリーンルーム外の含塵空気
が、柱状本体の吸込口に吸込まれることも無いの
で、室内空気の清浄化が迅速に進行する。

クリーンルーム内の空気の清浄化の度合を高く
維持する必要が存する場合は、複数の柱状本体と
風導管とを組合せて設置すればよいし、風導管の
幅が柱状本体の正面幅と略同一幅とされているの
で、柱状本体の上端から風導管内へ吹き出された
際の清浄な空気の風速の低減が少なく、該風導管
の両側板、下底板の全面における清浄な空気の吹
き出し速度、吹き出し量の均一化の調整が容易と
なる。

吹き出す清浄な空気は、略天井下面と平行する
方向を含む斜下方向と床に向う下方向に向つて吹
き出されるので、風導管周囲に含塵空気の渦流が
残溜することも無い。

また上述の作用を生じさせるに当つて、既存の
室の天井部とか側壁部の取り壊し、改造の必要は
全くない。

さらに風導管は延設方向における天井長さに相
当するものが選定されるが、その清浄な空気の吹
出口は、該風導管の両側板と下底板との全面に亘
り、略天井下面と平行する方向を含む斜下方と、
床に向う下方とを指向するように、すなわち部屋
内の全方向を指向して開設されているので、層流
式に近い清浄な空気の吹き出し状態となり、床面
積の広い室の場合に、柱状本体と風導管とよりな
る複数のセツトを所定間隔を存して並列設置する
と、清浄な空気が並列するライン状に吹き出すこ
ととなり、天井面全体から清浄な空気を吹き出す
所謂層流式クリーンルームと同等の機能を発現す
る。

吹き出された清浄な空気は、天井下面から床面
へ向つて流れ、床面に沿つて流れて柱状本体下面
の空気吸込口から吸い込まれるため、作業台上に
流下した清浄な空気は、作業台上面から該台側面
を通つて床面へ流下し、作業台上での舞い上がり
現象が生ぜず、従つて塵の舞い上がりも生じな
い。

実施例 第１図ないし第６図は、実施の一例における配
設状態を示している。

クリーンルーム化しようとする室Ｒに配設され
ているエアクリーン装置２０，２１，２２は、室
Ｒの床面１３から天井９の下面１４に達する高さ
Ｈに適合する高さの柱状本体１−１，１−２，１
−３と、後述する風導管配設方向の天井長さＬに
適合する長さの風導管７−１，７−２，７−３と
よりなり、前記柱状本体１−２，１−２，１−３
内には、第４図、第５図に示すように鋼板製の箱
体５内にエア循環用の送風機３が内装されたエア
通路２３が形成されている。

前記柱状本体１−１，１−２，１−３の下面に
は床面１３に固定される短小な脚部２４が突設さ
れ、また該柱状本体１−１，１−２，１−３の下
面には、エア吸込口２が開口されている。

前記柱状本体１−１，１−２，１−３の正面上
部には、柱状本体１−１，１−２，１−３の正面
幅Ｗ−１，Ｗ−２，Ｗ−３と略同一幅Ｄ−１，Ｄ
−２，Ｄ−３の風導管７−１，７−２，７−３
が、該柱状本体１−１，１−２，１−３に直交し
て延設されている。

図示実施例では、第２図、第３図に示されるご
とく、柱状本体１−１，１−２，１−３が、それ
ぞれ対向配置され、それぞれの柱状本体１−１，
１−２，１−３から延設されている各風導管７−
１，７−２，７−３がそれぞれ連通されて１組の
エアクリーン装置が門形に接続されているので、
接続された各風導管７−１，７−２，７−３の長
さは、天井９の下面１４における風導管配設方向
の天井長さＬから、２個の柱状本体１−１，１−
２，１−３の厚さを減じた長さに選定されている
が、１個の柱状本体から１個の風導管を延設して
対面の室内側壁に当接させるＬ型配置のエアクリ
ーン装置の場合は１個の風導管の長さが前記天井
長さＬから１個の柱状本体の厚さを減じた長さに
選定される。

また図示例では柱状本体１−１，１−２，１−
３の背側面２５は、平坦な垂直面とされており、
室Ｒの内側壁８に密接できる構造とされている。

また柱状本体１−１，１−２，１−３の上端面
２６と、風導管７−１，７−２，７−３の上面２
７とは一連の水平面を形成しており、天井９の下
面１４に密接できる構造とされている。

風導管７−１は、第４図および第６図に示され
るように、その長さ方向と直交する縦断面が、略
逆台形状をなすように鋼板で組み立てられてお
り、その両側板６−１，６−１と下底板６−２と
には、その全面に亘り、略天井９の下面１４と平
行する方向を含む斜下方向Ｓを指向するエア吹出
口１５と、床１３に向う下方Ｔを指向するエア吹
出口１６とが開口されている。

図示実施例で使用されている柱状本体１−２と
１−３とは柱状本体１−１と略同一構造とされて
いるが、その上部から接続されている風導管７−
２と７−３とは、第７図に示されるように、その
長さ方向と直交する縦断面が半截逆台形状をな
し、内側壁８に密接する側板１７にはエア吹出口
が開設されていない外は、前述の風導管７−１と
略同一構造とされている。

既述のごとく、第１図ないし第６図に示す実施
例における柱状本体１−１，１−２，１−３と風
導管７−１，７−２，７−３とは、第３図および
第８図に示されるように、両側に柱状本体１−
１，１−１が配置され、両本体の上端間に風導管
７−１が配置された門形構造とされているが、柱
状本体をいずれか一方のみとし、その上部から先
端の閉鎖された風導管を第５図中鎖線１８で示す
ように延出し、柱状本体の上端面と風導管の上面
との全長を延出方向の天井長さの全長に亘る長さ
とし、全体を逆Ｌ字形に形成しても良く、この構
造の場合には狭いクリーンルームに適する。

既述の風導管７−１等は、第６図、第７図に示
されるように、天井９の下面１４に密接させられ
る上面２７を形成する頂板１９の側辺に、多孔板
等よりなる側板６−１，６−１と下底板６−２と
の成形体がビスまたはヒンジを介して着脱自在に
固定されている。

柱状本体１−１，１−２，１−３は、第４図、
第５図に示されるように、エアクリーン用のフイ
ルター４が箱体５の上部に配置されているが、こ
の構造に限定されるものではなく、フイルター４
の配置位置はエア吸込口２とエア吹出口１５，１
６との間のエア通路内の適所に設けられるもので
ある。

またフイルター４の下流に殺菌装置を設けれ
ば、無菌のクリーンエアが得られる。

なお、外気導入の必要が存するケースでは、第
２図中符号１１で示されるように外気処理ユニツ
トを室Ｒ外に設け、また空調装置が柱状本体内に
内装される場合には、空調室外機１２を屋外に配
置し柱状本体内の空調装置と連結すればよい。

効 果 本発明に係るエアクリーン装置は、以上説明し
た構成のものであり、開閉自在の出入口、窓以外
の内側壁、天井、床を密閉した室内に、該室の床
面から天井面までの高さと、風導管配設方向の天
井面長さとに適合した寸法、形状の柱状本体と風
導管とを搬入し、前記内側壁に少なくとも一側面
を密接させて柱状本体を配置し、床に固定し、そ
の上部から延出させた風導管の上面と柱状本体の
上端面とを天井下面に固定し、電源を接続する工
事のみで、任意の室をクリーンルーム化すること
ができ、室の天井部の取り壊し、改造の必要が皆
無であり、施工工事が著しく簡単となり工期の短
縮、工事費の低減を図りうる効果がある。

また前述のように密閉されている室内のエアの
みを、エアクリーン装置内に繰り返し循環させる
ので、エアのクリーン化が迅速に達成され、医療
機器の製造、磁気デイスク検査等に要求される高
度のクリーンエアを容易に得られる効果を有す
る。

さらに風導管は、送風機等の内装されている柱
状本体の正面幅と略同一幅とされているので、柱
状本体の上部から風導管内へ吹き出されるクリー
ンエアの風速の低減が少なく、風導管全体のエア
吹出口からのクリーンエアの吹出し速度、吹出し
量の均一化の調整が容易となり、しかも比較的小
型の送風機で上記諸機能を達成できる等の効果を
有している。

本発明の構成によると、風導管には、略天井下
面と平行する方向を含む斜下方を指向するエア吹
出口と、床に向う下方を指向するエア吹出口とが
開口されており、しかも風導管はその延出方向に
おける天井長さの略全長に亘つて配設されている
ので、クリーンエアは層流に近似した吹出し状態
となり、また吹出口近傍の天井下面に含塵空気の
渦流を生じさせることがなく、簡単な設備で層流
に準ずるクリーンエア雰囲気を作り出しうる効果
もある。

また天井下面から床面に向つて吹き出されたク
リーンエアは、床面に近接した柱状本体下面のエ
ア吸込口から吸い込まれるため、床面に沿つて流
れ、舞い上がり現象を生じないので、作業台等が
室内に存しても、クリーンエアは作業台上面に沿
つて床面に流下し、塵の舞い上がり等を生ずるこ
とが無い効果を奏する。

さらに本発明の構成によると、クリーンルーム
とすべき室の広さあるいは得ようとするクリーン
度合に応じて、室内に設置する柱状本体と風導管
の数を容易に変更し、所望のクリーン度合のクリ
ーンルームを、既存の室を利用して簡単に得られ
る効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第８図は実施の一例を示してお
り、第１図は該実施例の設置されたクリーンルー
ムの略示縦断側面図、第２図は第１図の左側面
図、第３図は第１図に示すものの天井を除いて示
した略示平面図、第４図は柱状本体の正面図、第
５図は第４図に示すものの略示右側面図、第６図
は、第１図に示される中央の風導管の縦断面図、
第７図は第１図に示される左上部の風導管の縦断
面図、第８図は、第１図の中央に設置されている
柱状本体と風導管とのみを示す模型的側面図であ
る。 １−１：柱状本体、２：吸込口、３：送風機、
４：フイルター、６−１：側板、６−２：下底
板、７−１：風導管、８：内側壁、９：天井、１
３：床、１４：天井の下面、１５，１６：吹出
口、２０，２１，２２：エアクリーン装置、２
３：エア通路、２４：脚部、２５：背側面、２
６：上端面、２７：上面、Ｗ−１：柱状本体の正
面幅、Ｄ−１：風導管の幅、Ｈ：床面から天井下
面までの高さ、Ｌ：天井長さ、Ｒ：室、Ｓ：斜下
方、Ｔ：下方。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 密閉されている部屋内に配置され、その部屋
   をクリーンルームとするための空気清浄化装置で
   あつて、少なくともその一側面を部屋の内側壁に
   密接し、かつその上端面を天井下面に密接する柱
   状本体と、該柱状本体の上部から水平方向に延設
   され、少なくともその上面を部屋の天井に接する
   風導管とからなり、前記柱状本体はその下面に比
   較的短小な脚部及び空気吸込口を有し、その内部
   には空気循環用の送風機及び空気清浄化用フイル
   ターが内装された空気通路を有しており、また前
   記風導管は前記柱状本体と略同一幅で延設方向に
   おける部屋の天井長さに応じた長さを有し、その
   両側板と下底板との全面には、部屋内の全方向に
   指向する空気吹出口を有しており、かつ前記柱状
   本体と前記風導管とは、柱状本体の上端面と風導
   管との上面が一連の水平面を形成し、その全長が
   前記風導管延設方向における部屋の天井長さと等
   長に形成されているクリーンルーム用空気清浄化
   装置。