JPH0568289B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体工業に代表される電子工業・
精密機械工業・医薬品製造業など各種産業分野に
おいて広く用いられるクリーンルーム・クリーン
トンネル・クリーンベンチ等の空気清浄装置に関
し、特に清浄空気の流れの一部を放射気流型にし
た空気清浄装置に係るものである。

従来の技術 一般にクリーンルームと呼ばれている従来の空
気清浄室のうち特に高い清浄度を要求される場合
は、室内空間を作業部と通路部とに分離してとら
え、作業部は垂直層流、通路部は乱流あるいは作
業部より風速の小さい垂直層流となるように送風
を行ない、作業部の清浄度を通路部よりも高めて
いる。また作業部への汚染空気巻込みを防止する
ため、作業部と通路部の境界に垂壁などを設置し
ている。

しかしながら、かかる従来の空気清浄装置で
は、HEPA（あるいはULPA）フイルタ等の高性
能エアフイルタを天井面の作業部と通路部の両方
に配置しなければならないのでフイルタの数が多
くなること、作業部へ供給される清浄空気が垂直
層流のみであるため横方向からの影響を受け易
く、作業者が通路部を歩行する際に通路部の汚染
空気が作業部に進入しがちであること、垂壁の下
端が通常の作業者の背丈より低いので作業性を阻
害すること、フイルタ取付スペースが大きくなる
ため天井高さがかなり大きな建物でなければ実用
化できないこと等の問題点があつた。

発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、従来技術の問題点を克服でき
るように、軽量で汚染が少なく作業性に優れ、既
存の建物にも適用できるような空気清浄装置を提
供することにある。

問題点を解決するための手段とその作用 本発明の前述した目的は、壁面の前方に取付け
た高性能フイルタと、前記壁面の後方又は前方に
取付けられ前記高性能フイルタを通して清浄空気
を吹き出す送風フアンと、前記高性能フイルタを
支持する側板とを備え、前記高性能フイルタは前
記壁面から概ね水平方向又はわずかに傾斜して前
方に延伸する直線部分と該直線部分に滑らかに接
続され上方へと反転する略半円状の円弧部分とを
有しており、前記送風フアンにより前記高性能フ
イルタを通つて吹き出す空気は前記直線部分を通
過する空気が概ね垂直層流を形成する一方前記円
弧部分を通過する空気が概ね放射状の気流を形成
するようになつている放射気流型空気清浄装置に
よつて達成される。

かかる構成に基づき、本発明によれば１列に並
んだ複数個の、あるいは通路部をはさんで対称に
配置した複数個の高性能フイルタを用いることに
より、作業部では垂直層流、作業部と通路部の境
界付近では斜め気流、通路部では斜め気流あるい
は垂直気流となる。従つて高性能フイルタの数が
減少して軽量な構造となり、天井高さが低い既存
の建物にも適用することが出来る。作業部と通路
部の境界付近では斜め気流になつているので、横
方向からの影響を受けにくく汚染空気が作業部に
侵入しにくい構造になる。従つて垂壁が不必要に
なり作業性が大幅に向上するなどの利点が得られ
る。

本発明の空気清浄装置は、送風フアンにより吹
き出す空気を吸込むための通気可能な多孔性床
（例えばグレーチング床）または下部に開口を有
する壁面と組合せ、当該装置を１列あるいは対向
させて連続配置することにより、クリーントンネ
ルを構成することが出来る。

さらに本発明の空気清浄装置は、壁面を作業台
のバツクパネルとし、単体で用いることにより、
クリーンベンチ（あるいはクリーンブース）を構
成することも出来る。

本発明の他の特徴及び利点は、添付図面の実施
例を参照した以下の記載により明らかとなろう。

実施例 第１図は本発明による空気清浄装置の基本的な
構成を表わしており、鉛直壁面１０の前方に高性
能フイルタ１２が取付けられ、鉛直壁面１０の後
方に取付けられた送風フアン１４から矢印方向に
送られた風が多孔板１６を通つて偏向及び分散さ
せられた後、高性能フイルタ１２を通り清浄空気
となつて室内に吹き出す。なおフイルタ保護用の
パンチング板１７を設けてもよい。フイルタ１２
は側板１８（第３図）によつて支持され、鉛直壁
面１０及び天井面２０に包囲されて形成されるフ
イルタチヤンバ内に位置している。鉛直壁面と天
井面にはそれぞれ照明器具２２，２４が配置され
て室内を照射している。室内には壁面１０に隣接
して作業台２６が置かれ、その床面は空気が流通
できるグレーチング床２８で構成されている。床
下部空間３０は、鉛直壁面１０の下側を通つて鉛
直壁面後方の保守部３２の床下部空間まで延びて
いる。保守部３２内の上方にある送風フアン１４
の空気取入口１５は、新鮮な空気を取入れると共
に保守部へ戻つてきた空気の貫気口としても作用
する。

高性能フイルタ１２は、布を波状に形成し
過面積を増大した構造に作られており、本発明に
従い、壁面１０から概ね水平方向前方に延伸する
直線部分４０と、この直線部分に滑らかに接続さ
れ上方へと反転する略半円状の円弧部分４２とを
有している。

本発明の装置は上記のように構成されているの
で、高性能フイルタを通つて吹き出す空気は、直
線部分４０を通過する空気の部分が概ね垂直層流
を形成し、１方円弧部分４２を通過する空気の部
分が概ね放射状の気流を形成する。かくして前述
したような作用効果が得られることになる。本発
明による装置の一例をあげれば、作業部の幅に概
ね対応するフイルタ部分及びフイルタチヤンバの
水平長さＡを900mm、フイルタ部分及びフイルタ
チヤンバの垂直高さＦを500mm、フイルタ下面か
ら床面までの高さＢを1900mm、室内の天井高さＦ
を2400mm、床下高さＧを300mmに設定することが
出来る。従つて、建物の床スラブ面からの全高は
2700mm程度で良いことになり、既存の建物にも十
分適用することが可能である。

第２図はフイルタ１２の変形例を表わしてお
り、このフイルタ１２は壁面１０からわずかに水
平方向上方に傾斜して前方に延伸する直線部分４
１と、この直線部分に滑らかに接続され上方への
反転する略半円状の円弧部分４２とを有してい
る。この例では、直線部分４１から吹き出す空気
の部分がやや前方に向つて傾斜した層流となるの
で、生産機器等の形状や作業状態に応じた良好な
気流が得られることになり、より一層汚染から保
護される構造になる。

第３図は、室内に本発明による空気清浄装置を
対称配置していわゆるトンネル方式のクリーンル
ーム（クリーントンネル）を構成した例であり、
各部における空気の流れは図の矢印のようにな
る。この図から理解されるように、中央の通路部
分上方では左右のフイルタから天井面２０に沿つ
て吹き出す空気が合流し、垂直気流となつて落下
するので、従来のように通路面上方にフイルタを
配置する必要がない。

第４図は第３図の装置を室内中央側から見た図
であり、クリーンルーム５０が２個並列された状
態を表わしている。クリーンルーム５０の奥行き
流さＷは例えば1300mmに設定することが出来る。

第５図は、本発明による空気清浄装置をフイル
タ１２が隣接するようにして多数並列し、クリー
ントンネルを構成した例を表わしている。前述し
たように、本発明を利用すれば、天井高さが低い
既存の建物であつても第５図のようなクリーント
ンネルに改造することが容易に出来る。

第６図は、本発明における壁面を作業台７０の
バツクパネル６０で構成し、作業台７０に高性能
フイルタ１２と送風フアン１４及びフイルタ１２
を支持する側板１８と天板６２を取付けて、作業
台一体型のクリーンベンチを構成した例を表わし
ている。送風フアン１４から送られた空気は、高
性能フイルタ１２を通つて清浄空気にされ、矢印
の方向へと流れる。クリーンベンチは自由に移動
できるので、建物を改造することなく簡便な空気
清浄装置が得られることになる。

発明の効果 以上詳細に発明した如く、本発明によれば次の
ような利点が得られる。

(1) 高性能フイルタの数が少なくて済むので軽量
な構造となり、コストが低下する。

(2) 天井高さが低い建物に対しても適用できる。

(3) 作業部に通路部の塵埃を誘引することが無
い。

(4) 垂壁が不必要になり差業性が大幅に向上す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による空気清浄装置の基本的な
構成を表わす縦断面図、第２図はフイルタの変形
例を表わす縦断面図、第３図は室内に１対のフイ
ルタを対称配置した例を表わす縦断面図、第４図
は第３図の中央位置に沿う側断面図、第５図はク
リーントンネルを構成した例を表わす斜視図、第
６図はクリーンベンチを構成した例を表わす斜視
図である。 １０……壁面、１２……フイルタ、１４……送
風フアン、１８……側板、４０，４１……直線部
分、４２……円弧部分。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 壁面の前方に取付けた高性能フイルタと、前
   記壁面の後方又は前方に取付けられ前記高性能フ
   イルタを通して清浄空気を吹き出す送風フアン
   と、前記高性能フイルタを支持する側板とを備
   え、 前記高性能フイルタは前記壁面から概ね水平方
   向又はわずかに傾斜して前方に延伸する直線部分
   と該直線部分に滑らかに接続され上方へと反転す
   る略半円状の円弧部分とを有しており、 前記送風フアンにより前記高性能フイルタを通
   つて吹き出す空気は前記直線部分を通過する空気
   が概ね垂直層流を形成する一方前記円弧部分を通
   過する空気が概ね放射状の気流を形成するように
   なつていることを特徴とする放射気流型空気清浄
   装置。 ２ 前記送風フアンにより吹き出す空気を吸込む
   ための通気可能な多孔性床または壁面下部に開口
   が設けられ、該空気清浄装置がクリーントンネル
   を形成している特許請求の範囲第１項記載の装
   置。 ３ 前記壁面が作業台のバツクパネルで構成さ
   れ、該空気清浄装置がクリーンベンチを形成して
   いる特許請求の範囲第１項記載の装置。