JP7068261B2 - クリーンルーム装置および空気循環ユニット - Google Patents
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Description
また本発明によれば、天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて給気口に向けて送風するファンを備え、前記空気循環ユニットの前面において床から所定高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、前記空気循環ユニットの上面に前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む前記吸気口が設けられ、前記空気循環ユニットは前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、前記クリーンルームの床から所定の高さまで空調領域が形成され、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
SA 給気
EA 排気
CA 清浄空気
1 クリーンルーム装置
10 クリーンルーム
11 空調領域
12 機器
13 局排ダクト
14 排気ファン
20 給気口(清浄空気CA)
21 外調機
22 給気ダクト
23 粗フィルタ
24 冷却器
25 給気ファン
26 高性能フィルタ
30 空気循環ユニット
31 吸気口
32 給気口
35 冷却器
36 高性能フィルタ
37 ファン
40 邪魔板
41 開口部41
45 フィン
50 機械室
51 制御機器
52 ケーブル
53 配管
55 ドレインパン
Claims (7)
- 天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、
前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記空気循環ユニットは、前記吸気口が、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込み、前記複数の給気口が、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、
前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、
クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、
清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 - 天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて給気口に向けて送風するファンを備え、
前記空気循環ユニットの前面において床から所定高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットの上面に前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む前記吸気口が設けられ、
前記空気循環ユニットは前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、
前記クリーンルームの床から所定の高さまで空調領域が形成され、
前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、
クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、
清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項1または2に記載のクリーンルーム装置。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項1~3の何れか一項に記載のクリーンルーム装置。
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内の床上に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを内部に備え、
前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、
クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、
清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、空気循環ユニット。 - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項5に記載の空気循環ユニット。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項5または6に記載の空気循環ユニット。
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