JP7436556B2 - クリーンルーム装置 - Google Patents
クリーンルーム装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7436556B2 JP7436556B2 JP2022074352A JP2022074352A JP7436556B2 JP 7436556 B2 JP7436556 B2 JP 7436556B2 JP 2022074352 A JP2022074352 A JP 2022074352A JP 2022074352 A JP2022074352 A JP 2022074352A JP 7436556 B2 JP7436556 B2 JP 7436556B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- clean
- circulation unit
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims description 75
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 claims description 7
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 6
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 22
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 20
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Description
前記空気循環ユニットの上面に前記吸気口が設けられ、前記クリーンルーム外からの清浄空気を前記吸気口の真上の室内空間に給気するための前記清浄空気の給気口が設けられ、前記清浄空気の給気口は前記空気循環ユニットの真上に位置し、前記清浄空気の給気口から前記空気循環ユニットの真上位置に供給された清浄空気が、クリーンルーム内において空調領域よりも上部に溜まった空気と一緒に、前記空気循環ユニットの上面に設けられた前記吸気口から前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれ、前記清浄空気の給気口には清浄空気が前記クリーンルーム外に設けられた給気ダクトを通じて供給され、前記空気循環ユニットには、給気ダクトが直接接続されず、前記機器からは局排ダクトを通じて局地的に吸引され、前記クリーンルームの外部に排気され、前記空気循環ユニットが、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことで、前記クリーンルーム内の空調領域に非層流方式で清浄空気を供給し、前記クリーンルーム装置内で清浄空気を循環させることを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
SA 給気
EA 排気
CA 清浄空気
1 クリーンルーム装置
10 クリーンルーム
11 空調領域
12 機器
13 局排ダクト
14 排気ファン
20 給気口(清浄空気CA)
21 外調機
22 給気ダクト
23 粗フィルタ
24 冷却器
25 給気ファン
26 高性能フィルタ
30 空気循環ユニット
31 吸気口
32 給気口
35 冷却器
36 高性能フィルタ
37 ファン
40 邪魔板
41 開口部41
45 フィン
50 機械室
51 制御機器
52 ケーブル
53 配管
55 ドレインパン
Claims (8)
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つ非層流方式のクリーンルーム装置であって、
前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、
前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって非層流方式で空調される前記空調領域よりも上方の位置のみで前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記空気循環ユニットの上面に前記吸気口が設けられ、
前記クリーンルーム外からの清浄空気を前記吸気口の真上の室内空間に給気するための前記清浄空気の給気口が設けられ、前記清浄空気の給気口は前記空気循環ユニットの真上に位置し、前記清浄空気の給気口から前記空気循環ユニットの真上位置に供給された清浄空気が、クリーンルーム内において空調領域よりも上部に溜まった空気と一緒に、前記空気循環ユニットの上面に設けられた前記吸気口から前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれ、
前記清浄空気の給気口には清浄空気が前記クリーンルーム外に設けられた給気ダクトを通じて供給され、
前記空気循環ユニットには、給気ダクトが直接接続されず、
前記機器からは局排ダクトを通じて局地的に吸引され、前記クリーンルームの外部に排気され、
前記空気循環ユニットが、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことで、前記クリーンルーム内の空調領域に非層流方式で清浄空気を供給し、
前記クリーンルーム装置内で清浄空気を循環させることを特徴とする、クリーンルーム装置。 - 前記局排ダクトには排気ファンが取り付けられ、
前記排気ファンの動力により前記機器から局地的に吸引され、前記クリーンルームの外部に排気されることを特徴とする、請求項1に記載のクリーンルーム装置。 - 前記クリーンルームに清浄空気を供給する給気ファンと、前記局排ダクトに取り付けられた排気ファンを備え、
前記給気ファンの給気量が前記排気ファンの排気量よりも多く設定されることを特徴とする、請求項1または2に記載のクリーンルーム装置。 - 前記機器に前記局排ダクトが接続されていることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記クリーンルームの内部には複数の空気循環ユニットが配置され、
各空気循環ユニットは前記機器を周囲から囲むように、側壁に沿って配置されていることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。 - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項1~6のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域が非層流方式で清浄に保たれると共に、前記空調領域に存在する機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送されるクリーンルーム装置であり、前記機器からは局排ダクトを通じて局地的に吸引され前記クリーンルームの外部に排気され、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記給気ダクトの清浄空気がクリーンルームの天井に設けられた給気口からクリーンルーム内の前記空調領域よりも上方に供給されるクリーンルーム装置の前記床上に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを内部に備え、
前記空気循環ユニットは、前記給気ダクトが直接接続されず、
前記空気循環ユニットの上面に設けられた前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに、前記クリーンルーム内において空調領域よりも上部に溜まった空気を、清浄空気と一緒に吸い込むことで前記クリーンルーム内の空調領域に非層流方式で清浄空気を供給し、前記クリーンルーム装置内で清浄空気を循環させることを特徴とする、空気循環ユニット。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022074352A JP7436556B2 (ja) | 2019-12-19 | 2022-04-28 | クリーンルーム装置 |
JP2024017867A JP2024042108A (ja) | 2019-12-19 | 2024-02-08 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019229685A JP7068261B2 (ja) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
JP2022074352A JP7436556B2 (ja) | 2019-12-19 | 2022-04-28 | クリーンルーム装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019229685A Division JP7068261B2 (ja) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024017867A Division JP2024042108A (ja) | 2019-12-19 | 2024-02-08 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022100386A JP2022100386A (ja) | 2022-07-05 |
JP2022100386A5 JP2022100386A5 (ja) | 2022-08-10 |
JP7436556B2 true JP7436556B2 (ja) | 2024-02-21 |
Family
ID=70106998
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019229685A Active JP7068261B2 (ja) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
JP2022074352A Active JP7436556B2 (ja) | 2019-12-19 | 2022-04-28 | クリーンルーム装置 |
JP2024017867A Pending JP2024042108A (ja) | 2019-12-19 | 2024-02-08 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019229685A Active JP7068261B2 (ja) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024017867A Pending JP2024042108A (ja) | 2019-12-19 | 2024-02-08 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP7068261B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022257744A1 (zh) * | 2021-06-07 | 2022-12-15 | 美的集团股份有限公司 | 空调器 |
CN115382584A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-11-25 | 江苏拓米洛环境试验设备有限公司 | 一种湿热试验箱 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000291989A (ja) | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調設備および空調方法 |
JP2007263548A (ja) | 2006-03-03 | 2007-10-11 | Fusao Hashimoto | 換気システム |
JP2009293864A (ja) | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
JP2011085351A (ja) | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 大型空間室の置換換気設備 |
JP5361140B2 (ja) | 2007-03-13 | 2013-12-04 | 高砂熱学工業株式会社 | 非層流方式のクリーンルーム装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0332914Y2 (ja) * | 1985-08-28 | 1991-07-12 | ||
JPH05322248A (ja) * | 1992-05-21 | 1993-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | クリーンルーム与圧調整方法 |
JPH0678735U (ja) * | 1993-04-17 | 1994-11-04 | 日本無機株式会社 | 排気フード付クリーンブース |
JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
SE0104424L (sv) * | 2001-12-27 | 2003-06-28 | Flaekt Woods Ab | System och förfarande för ventilation |
JP5053686B2 (ja) * | 2007-04-05 | 2012-10-17 | 高砂熱学工業株式会社 | 空調方法 |
-
2019
- 2019-12-19 JP JP2019229685A patent/JP7068261B2/ja active Active
-
2022
- 2022-04-28 JP JP2022074352A patent/JP7436556B2/ja active Active
-
2024
- 2024-02-08 JP JP2024017867A patent/JP2024042108A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000291989A (ja) | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調設備および空調方法 |
JP2007263548A (ja) | 2006-03-03 | 2007-10-11 | Fusao Hashimoto | 換気システム |
JP5361140B2 (ja) | 2007-03-13 | 2013-12-04 | 高砂熱学工業株式会社 | 非層流方式のクリーンルーム装置 |
JP2009293864A (ja) | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
JP2011085351A (ja) | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 大型空間室の置換換気設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2024042108A (ja) | 2024-03-27 |
JP2020056570A (ja) | 2020-04-09 |
JP2022100386A (ja) | 2022-07-05 |
JP7068261B2 (ja) | 2022-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7436556B2 (ja) | クリーンルーム装置 | |
KR101039768B1 (ko) | 기류전환용 호퍼와 스윙그릴을 부착한 천장 4방향 에어콘의 실내기 | |
EP3045827B1 (en) | Air conditioner | |
JP5361140B2 (ja) | 非層流方式のクリーンルーム装置 | |
JP5490485B2 (ja) | 大型空間室の置換換気設備 | |
JP2000291989A (ja) | 空調設備および空調方法 | |
JP2012202558A (ja) | クリーンルーム空調システム | |
JPS6231258B2 (ja) | ||
JP2008256269A (ja) | 空調システムおよび空調方法 | |
JP6636859B2 (ja) | クリーンルーム装置および空気循環ユニット | |
JP4006196B2 (ja) | 置換換気システム及び置換換気方法 | |
JP3561191B2 (ja) | クリーンルーム | |
JP6961374B2 (ja) | 空調方法および空調システム | |
JP2011196671A (ja) | 高負荷空調システム | |
JP6878552B2 (ja) | クリーンルーム装置および空気循環ユニット | |
JP5785633B2 (ja) | 給気装置 | |
JP6909850B2 (ja) | クリーンルーム装置および空気循環ユニット | |
JP2001056140A (ja) | クリーンルーム | |
JP2001201098A (ja) | 床置型空気調和機 | |
JP4636465B2 (ja) | 局所空調方法及び局所空調装置 | |
JP2013181715A (ja) | 空調システムおよび空調方法 | |
JPH09101050A (ja) | クリーンルーム設備 | |
JP2011112341A (ja) | 空気調和装置 | |
JPS62739A (ja) | 半導体製造用空気調和方法 | |
JP2001074273A (ja) | 空気調和装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220801 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7436556 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |