JP6878552B2 - クリーンルーム装置および空気循環ユニット - Google Patents
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Description
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。
また本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。
SA 給気
EA 排気
CA 清浄空気
1 クリーンルーム装置
10 クリーンルーム
11 空調領域
12 機器
13 局排ダクト
14 排気ファン
20 給気口(清浄空気CA)
21 外調機
22 給気ダクト
23 粗フィルタ
24 冷却器
25 給気ファン
26 高性能フィルタ
30 空気循環ユニット
31 吸気口
32 給気口
35 冷却器
36 高性能フィルタ
37 ファン
40 邪魔板
41 開口部41
45 フィン
50 機械室
51 制御機器
52 ケーブル
53 配管
55 ドレインパン
Claims (21)
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 - クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 - クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 - クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットは、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記空気循環ユニットの内部に通したケーブルを介して前記ファンに電力を供給することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記ファンは、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも上方にあることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記クリーンルーム外からの清浄空気を前記吸気口の真上の室内空間に給気するための前記清浄空気の給気口が設けられていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記空気循環ユニットの上面に前記吸気口が設けられていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記空気循環ユニットが、クリーンルーム内の床上に配置されていることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載のクリーンルーム装置。
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つくクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、空気循環ユニット。 - クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、空気循環ユニット。 - クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、空気循環ユニット。 - クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる、箱状の空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、
前記ファンと前記冷却器および前記高性能フィルタの間には、前記ファンの動力によって前記空気循環ユニットの内部に吸い込まれた空気を必ず前記冷却器および前記高性能フィルタに通過させる、前記空気循環ユニットの内部空間を部分的に仕切り、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも内側に対応する位置に開口部が設けられた邪魔板が設けられており、前記ファンによる気流が、前記開口部を通過して前記冷却器および前記高性能フィルタの内側に入り込むことを特徴とする、空気循環ユニット。 - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項12〜15のいずれか一項に記載の空気循環ユニット。
- 前記空気循環ユニットの内部に通したケーブルを介して前記ファンに電力を供給することを特徴とする、請求項12〜16のいずれか一項に記載の空気循環ユニット。
- 前記ファンは、前記冷却器および前記高性能フィルタよりも上方にあることを特徴とする、請求項12〜17のいずれか一項に記載の空気循環ユニット。
- 上面に前記吸気口が設けられていることを特徴とする、請求項12〜18のいずれか一項に記載の空気循環ユニット。
- クリーンルーム内の床上に配置されることを特徴とする、請求項12〜19のいずれか一項に記載の空気循環ユニット。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項12〜20のいずれか一項に記載の空気循環ユニット。
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