JP4597769B2 - クリーンルーム及びその設計施工方法 - Google Patents
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- 隣接した作業エリア及びメンテナンスエリアを有し、該両エリアが共通のグレーチング構造の床から共通の天井までを間仕切りによって区分され、前記作業エリアの天井部に給気用のファンフィルタユニットが備わり、前記作業エリアを下降した給気が、前記床を介して前記メンテナンスエリアへ流入し、前記メンテナンスエリア内を上昇する還気として該メンテナンスエリアの天井に設けられた吸込口から天井室へ流入し、空調機により空調された空気と前記還気とを前記天井室内で混合し、該混合空気を前記ファンフィルタユニットを介して前記作業エリアへ送出するクリーンルームにおいて、
前記天井室内で、前記吸込口に相対向して前記空調機から送られた空気の吐出口を設け、当該吸込口から吸い込まれた還気と前記吐出口から吐出された空気とを衝突させて混合させる混合スペースを前記吸込口の周囲に形成する混合板を、前記ファンフィルタユニットと前記吸込口との間の天井に設け、当該混合板の上縁は前記吐出口の高さより高い位置とし、
前記衝突した空気は該衝突部から周囲へ流れ、該流れた空気は前記混合板に当たり、該混合板に沿って上昇し、該混合板を超えて前記各ファンフィルタユニットの上方へ流れ、該一連の流れにより前記二つの空気は攪拌混合され、前記ファンフィルタユニットから前記作業エリアへ給気される構成としたことを特徴とするクリーンルーム。 - 前記吸込口直上の前記吐出口の位置を、前記ファンフィルタユニットを流通する混合空気の温度分布に基づいて設定することを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの設計施工方法。
- 前記混合板の位置を、前記ファンフィルタユニットを流通する混合空気の温度分布に基づいて設定することを特徴とする請求項2に記載のクリーンルームの設計施工方法。
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