JPH0311650Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、精密作業を行うためのクリーンルー
ムのパーテイシヨンに関する。

〔従来の技術とその問題点〕

クリーンルームには種々の方式があるが、その
中で第２図に示すように天井面全面より高性能エ
アフイルター１を介して給気し、空気を垂直に層
流で流し、床面２のグリルから排気することによ
り室全体を高清浄度に維持するものがある。

図中５は天井の上部に形成されるチヤンバー、
６は該チヤンバー５内の循環フアン、７はチヤン
バー５の流入口のエアフイルターである。

このような大規模な全面層流式クリーンルーム
では、大部屋として同風速で使用するのが主であ
り、クリーン度を高めておくには運転費用が非常
にかさむものとなり、また運転工程間に相互汚染
が生じるおそれもある。

そこで、クリーンルーム室内を人のいる作業エ
リアと超クリーンエリアとに区画することが行わ
れる。この超クリーンエリアを形成する方法とし
て、さらに独自のフアン３や高性能エアフイルタ
ー４を設けたユニツトタイプのものをクリーンル
ーム内に備えることがあるが、これでも設備費や
運転経費が高く付く。

本考案の目的は前記従来例の不都合を解消し、
簡単な構成を付加するだけで特別な運転設備なし
に超クリーンエリアを形成でき、クリーンルーム
運転費用の低減を図ることができるクリーンルー
ム用パーテイシヨンを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は前記目的を達成するため、天井部全面
に配設するフイルターのうち特定部分を低圧損フ
イルターとし、該低圧損フイルターの下方を窓付
きの後パネルとこれに並行する垂壁状の前パネル
とで仕切り、前記後パネルと前パネルとの下端を
振れ止め用支持材となる照明具で連結して特別区
画を形成したことを要旨とするものである。

〔作用〕

本考案によれば、天井部全面に配設するフイル
ターのうち特に低圧損フイルターの下方への吹出
風速が早くなり、この部分が前後パネルで仕切ら
れているので、空気はさらにその外側へ抜けるよ
うになる。従つて、かかる仕切り空間が超クリー
ンエリアとして形成され、作業員はその外側から
後パネルの窓を介して薬品投入などの作業を行
う。そして、低圧損フイルターの下方に吹出す空
気の風速が速くても後パネルと前パネルとは振れ
止め用支持材となる照明具で連結してあるので両
パネルが振れることはない。

〔実施例〕

以下、図面について本考案の実施例を詳細に説
明する。

第１図は本考案のクリーンルーム用パーテイシ
ヨンの１実施例を示す縦断正面図で、図中８は天
井部全面に配設した高性能エアフイルター、９は
その支持枠を示す。このエアフイルター８のうち
特定部分のものを、低圧損フイルター８ａとし
た。なお、図示は省略するが前記エアフイルター
８の上方には第２図と同じく循環フアンを設けた
チヤンバーが形成される。

前記低圧損フイルター８ｂの一方側の支持枠９
に、引戸１０ａによる窓１０を中央に有し、その
上部はロールコア材の遮蔽板１１とした後パネル
１２の上端を取付け、また他方側の支持枠９に同
じくロールコア材の遮蔽板１１による垂壁状の前
パネル１３の上端を取付ける。これら後パネル１
２と前パネル１３とは低圧損フイルター８ａの巾
分だけを存して相互に並行するものであり、遮蔽
板１１の下端同士を蛍光灯などの照明具１４で連
結した。

この照明具１４はパネル１２，１３の長手方向
に適宜間隔で配設するものであり、前記パネル１
３の振れ止め用支持材としての役割を有する。

図中１５は、前パネル１３の下端で遮蔽板１１
を延長するように垂れ下がるアクリル透明板で、
気流調整板としての役割を有し、通称アイリツド
と称せられるものである。また、後パネル１２の
下端部分は開口としてもよい。

次に使用法について説明すると、エアフイルタ
ー８の上方へ吹出された空気は低圧損フイルター
８ａの部分をより多く通過し、この低圧損フイル
ター８ａの下方が他に比べて吹出速度が早くな
る。そして、前パネル１３の下方からその外側へ
多く抜け出、また後パネル１２の下端部分からも
少し外側へ抜け出す。従つて、パネル１２，１３
で区画された部分がより垂直層流の強いものとな
り、この部分に超クリーンエリアが形成される。

また、後パネル１２の外側には作業通路が形成
されるが、作業員はこの部分から引戸１０ａを開
けて前記超クリーンエリア内へ作業を施す。そし
て、後パネル１２と前パネル１３とは照明具１４
で連結されているから、この照明具１４が振れ止
め用支持材となつて両パネル１２，１３の振れが
防止され、また、超クリーンエリア内を明るく照
射して作業をしやすくする。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案のクリーンルーム用パ
ーテイシヨンは、特別な運転設備を設けることな
く簡単な部材を付加するだけでクリーンルーム内
に超クリーンエリアを形成できるものであり、設
備費やクリーンルーム運転費用の低減を図りコス
トダウンを実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のクリーンルーム用パーテイシ
ヨンの１実施例をす縦断正面図、第２図は従来例
を示す縦断正面図である。 １，４……高性能エアフイルター、２……床
面、３……フアン、５……チヤンバー、６……循
環フアン、７……エアフイルター、８……高性能
エアフイルター、８ａ……低圧損フイルター、９
……支持枠、１０……窓、１０ａ……引戸、１１
……遮蔽板、１２……後パネル、１３……前パネ
ル、１４……照明具、１５……アクリル透明板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井部全面に配設するフイルターのうち特定部
   分を低圧損フイルターとし、該低圧損フイルター
   の下方を窓付きの後パネルとこれに並行する垂壁
   状の前パネルとで仕切り、前記後パネルと前パネ
   ルとの下端を振れ止め用支持材となる照明具で連
   結して特別区画を形成したことを特徴とするクリ
   ーンルーム用パーテイシヨン。