JPS62178824A - クリ−ンル−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 一＼ ・［１産業上の利用分野］ 云本発明はクリーンルームに関し、より具体的には清浄
エアを天井の吹出口から供給し、床の吸込口から排出す
る形式のクリーンルームに関する。

［従来の技術］ 上記形式の従来のクリーンルームは、エアの流れの相違
に基づいて、垂直層流式と乱流式とに大別される。

垂直層流式のクリーンルームは第５図に示すようなもの
で、クリーンルーム２０の天井にはほぼ全面にわたって
ＨＥＰＡフィルタ２４が取付けられ、床にはほぼ全面に
わたってグレーチング（格子）床２８が取付けられてい
る。サプライエア１０は天井裏のサプライチャンバ２２
からフィルタ２４を介して濾過され、該フィルタ２４下
面に配設された吹出口２６から清浄エア１２としてクリ
ーンルーム２０内に垂直下向きに供給される。

またクリーンルーム２０内のエアはグレーチング床２８
の吸込口３０からレタンチャンバ３２内にＨＥＰＡフィ
ルタ２４が取付けられ、床には隅部近傍に吸込口３０が
配設されている。サプライエア１０は天井裏のサプライ
チャンバ２２からフィルタ２４を介して濾過され、該フ
ィルタ２４下綿に配設された吹出口２６から清浄エア１
２としてクリーンルーム２０内にほぼ放射方向に供給さ
れる。またクリーンルーム２０内のエアは吸込口３０か
らレタンチャンバ３２内に至り、レタンエア１４として
排出される。

以上の手順により、上記両方式のクリーンルームにあっ
ては、外部のダクト３４を介してクリーンルーム２０内
に清浄エア１２を循環式に供給し、クリーンルーム２０
内の清浄度を維持するようにしている。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記両方式のクリーンルームにおいては、以下の問題点
がある。

まず、垂直層流式のクリーンルームにあってである。ま
たフィルタ２４およびグレーチング床２８の存在面積が
大きいことに関連して、設備費が極めて高く、また換気
量が大きくなるために運転費も極めて高くなる。

また、乱流式のクリーンルームにあっては、乱流により
汚染粒子が室内で循環する割合が高く。

高い清浄度を得ることができない。また定常状態になる
まで時間がかかる。

本発明は」１記従来技術の問題点を考慮し、上記両方式
の利点を兼ね備え、比較的安い設備費および運転費で、
比較的高い清浄度を得ることができるクリーンルームを
提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明にかかるクリーンルー
ムは、天井に配設するエアの吹出口と、床に配設するエ
アの吸込口とを、間隔を置いた複数の列として、同一方
向に連続的且つ直線的にあっては、吹出口から供給され
る清浄エアは、大部分を占める層流と一部分の乱流とが
混在した状態でクリーンルーム内を概ね下向きに流れ、
その後吸込口を介して排出される。

［実施例］ 第１図および第２図は本発明にかかるクリーンルームの
一実施例を示す縦断側面図および縦断正面図である。

クリーンルーム２０は、内装パネルＰで包囲され、天井
にエアの吹出側が、床にエアの吸込側が配設されている
。床上には生産機械Ｍが等間隔に４列直線的に配置され
、また天井には照明器具りが、生産機械Ｍの列と互い違
いに５列直線的に配設されている。

クリーンルーム２０の天井には、接続部が完全にシール
された、上部のサプライチャンバ４６と下部の吹出チャ
ンバ５２とからなる二重構造の長に示すごとく、サプラ
イチャンバ４６において、サプライダンパ４４を介して
サプライダクト４２に接続されている。また各ユニツ）
４０には、サプライチャンバ４６と吹出チャンバ５２と
を連通させる３個のＨＥＰＡフィルタ４８がそれぞれ配
備され、各フィルタ４８の下方には邪魔板５０が付設さ
れている。また吹出チャンバ５２の下側には、ユニツ）
４０の長手方向に沿って連続的且つ直線的に吹出口５４
が形成され、クリーンルーム２０に対して開口している
。吹出口５４は第２図に示すごとく、その長手方向を横
切る平面においてほぼ下向き放射状に清浄エアを吹出す
ように形成されている。

クリーンルーム２０の床下には、生産機械Ｍの列の間隔
に沿って長手方向に延びるようにレタンピット６０が等
間隔に５列配置され、各レタンピッ）６０は、第４図に
示すごとく、レタンダンパれ、ここに連続的且つ直線的
なエアの吸込口５８が形成されている。したがってユニ
ット４０の吹出口５４と、レタンビット６０の吸込口５
８とは、等間隔で互い違いの関係を有し、同一方向に延
びる連続的且つ直線的な複数の列として形成されている
。

上記構成のクリーンルーム２０にあっては、サプライエ
ア１０は、空調装置（図示せず）によって温度調整され
、サプライダクト４２からサプライダンパ４４により流
量を調整されて各ユニット４０のサプライチャンバ４６
に送り込まれる。サプライチャンバ４６内に送り込まれ
たエアは、ＨＥＰＡフィルタ４８を通過する際に塵埃を
除去され、邪魔板５０により拡散された状態で吹出チャ
ンバ５２内に至る。吹出チャンバ５２内のエアは、吹出
口５４からクリーンルーム２０内へ、清浄エア１２とし
て第１図および第２図図示の矢印ルーム２０内を概ね下
向きに流れて床面に至る。

特に第１図で示す方向から見た場合、クリーンルーム２
０内のエアの流れはほぼ全面層流と同様なものとなる。

床面上のエアは各レタンピット６０に対応する吸込口５
８を介して各レタンピット６０内に至り、レタンダンパ
６２により流量を調整されて、レタンエア１４としてレ
タンダクト６４に送込まれる。レタンダクト６４に送込
まれたレタンエア１４は、上記空調装置へ送られて循環
式に再使用される。

また必要であれば、各レタンダンパ６２の開度をそれぞ
れ異なるように設定することにより、クリーンルーム”
２０内の清浄度を間仕切りなしで分けることが可能とな
る。

［発明の効果］ 以上説明した通り、本発明にかかるクリーンルームは、
天井に配設するエアの吹出口と、床に転費、および保守
費等と同程度のこれらの費用により、垂直層流式に近い
高洗浄度を得ることが可能となる。特に本発明のクリー
ンルームは、図示実施例のごとく、生産機械のラインが
並列する作業室として適用する場合に有効なものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明にかかるクリーンルームの
一実施例を示す縦断側面図および縦断正面図、第３図は
同クリーンルームのサプライエアの流れを中心に示す平
面図、第４図は同クリーンルームのレタンエアの流れを
中心に示す平面図、第５図および第６図は従来のクリー
ンルームを示す概略側面図である。 １０・・・サプライエア １２・・・清浄エア ２０参・・クリーンル−ム ５４・・・吹出口 出願人　日立プラント建設株式会社 第２図 ４ど　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
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Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 清浄エアを天井に配設した吹出口を介して送込み、内部
   を清浄エアで充満させ、床またはその近傍に配設した吸
   込口を介して排気を行うようにしたクリーンルームにお
   いて、上記吹出口と吸込口とを、間隔を置いた複数の列
   として同一方向に連続的且つ直線的に配置したことを特
   徴とするクリーンルーム。