JP2655399B2 - クリーンルームの間仕切構造 - Google Patents
クリーンルームの間仕切構造Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリ−ンル−ムの間
仕切構造に関するものである。
仕切構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリ−ンル−ムは、それに隣接す
るル−ム等と、横１列に並べられた複数枚の間仕切壁で
天井から床まで完全に仕切られていて、クリ−ンル−ム
の全面にわたって、清浄空気が天井から吹き出され床に
吸引される。
るル−ム等と、横１列に並べられた複数枚の間仕切壁で
天井から床まで完全に仕切られていて、クリ−ンル−ム
の全面にわたって、清浄空気が天井から吹き出され床に
吸引される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の間仕切の構
成により、天井から吹き出される清浄空気は、クリ−ン
ル−ム内の作業者の人数や装置の数，大きさ，配置等の
関係や、床の全面に分布する各通気孔の吸引力の強弱の
差の関係にて、クリ−ンル−ムの全面にわたって床方向
に一定の流速で整然と均一に流れず、乱流が発生する。
その結果、間仕切構造に振動が発生したり、クリ−ンル
−ム内の清浄度が低下したりして、作業環境が悪化し、
そのために特に超精密加工の作業に支障が生じる。ま
た、従来の間仕切壁は組立後は簡単に取外せないので、
間仕切壁と機械装置との間の狭い隙間にはいって、機械
装置の修理や微調整をすることが困難である。さらにま
た、従来の間仕切壁はその壁部が框に対してがたつかな
いように、壁部と框の間にパッキングを介在させている
が、その取付構造が複雑であり、かつその取付作業が面
倒である。
成により、天井から吹き出される清浄空気は、クリ−ン
ル−ム内の作業者の人数や装置の数，大きさ，配置等の
関係や、床の全面に分布する各通気孔の吸引力の強弱の
差の関係にて、クリ−ンル−ムの全面にわたって床方向
に一定の流速で整然と均一に流れず、乱流が発生する。
その結果、間仕切構造に振動が発生したり、クリ−ンル
−ム内の清浄度が低下したりして、作業環境が悪化し、
そのために特に超精密加工の作業に支障が生じる。ま
た、従来の間仕切壁は組立後は簡単に取外せないので、
間仕切壁と機械装置との間の狭い隙間にはいって、機械
装置の修理や微調整をすることが困難である。さらにま
た、従来の間仕切壁はその壁部が框に対してがたつかな
いように、壁部と框の間にパッキングを介在させている
が、その取付構造が複雑であり、かつその取付作業が面
倒である。
【０００４】本発明は上記に鑑み、クリーンルーム内の
作業者の人数や装置の数，大きさ，配置等が変化した
り、床の全面に分布する各通気孔の吸引力に強弱の差が
生じても、清浄空気が天井面から床面方向に一定の流速
で整然と均一に流れるように調節できて、振動の発生や
清浄度の低下を阻止して、特に超精密加工に適する良好
な作業環境が得られるクリ−ンル−ムの間仕切構造を提
供するものである。また、間仕切壁は組立後においても
簡単に取外すことができて、間仕切壁に面する側の機械
装置の修理や微調整を簡単にすることができる間仕切構
造を提供するものである。さらにまた、間仕切壁の壁部
と框の間にパッキングを介在させるその取付構造が簡単
で、かつその取付作業が容易にできる間仕切構造を提供
するものである。
作業者の人数や装置の数，大きさ，配置等が変化した
り、床の全面に分布する各通気孔の吸引力に強弱の差が
生じても、清浄空気が天井面から床面方向に一定の流速
で整然と均一に流れるように調節できて、振動の発生や
清浄度の低下を阻止して、特に超精密加工に適する良好
な作業環境が得られるクリ−ンル−ムの間仕切構造を提
供するものである。また、間仕切壁は組立後においても
簡単に取外すことができて、間仕切壁に面する側の機械
装置の修理や微調整を簡単にすることができる間仕切構
造を提供するものである。さらにまた、間仕切壁の壁部
と框の間にパッキングを介在させるその取付構造が簡単
で、かつその取付作業が容易にできる間仕切構造を提供
するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、天井から床にわたる間仕切壁は、その下端
と床との間に通気用の開口部が設けられ、この開口部の
開口面積を調節板で調節するように構成され、また、間
仕切壁はその上端と該上端を保持する上方の横枠との間
に遊びを設けて間仕切壁を上方に持ち上げて取り付けた
り又は取り外したりすように構成され、さらにまた、パ
ッキングを予め押縁に取付けてこの押縁を間仕切壁の框
部に取付けることにより、押縁と間仕切壁の壁部との間
にパッキングを介在させるように構成されている。
するために、天井から床にわたる間仕切壁は、その下端
と床との間に通気用の開口部が設けられ、この開口部の
開口面積を調節板で調節するように構成され、また、間
仕切壁はその上端と該上端を保持する上方の横枠との間
に遊びを設けて間仕切壁を上方に持ち上げて取り付けた
り又は取り外したりすように構成され、さらにまた、パ
ッキングを予め押縁に取付けてこの押縁を間仕切壁の框
部に取付けることにより、押縁と間仕切壁の壁部との間
にパッキングを介在させるように構成されている。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は、クリ−ンル−ム（１）を
その隣接ル−ム（２）や隣接通路（図示せず）側から見
た間仕切構造の組立状態を示している。この間仕切構造
は、天井（３）と、柱（４）と、上方の横枠（５）と、
下方の横枠（６）と、床（７）とで骨格が形成されてい
る。この天井（３）と上方横枠（５）と一対の柱（４）
で囲まれた空間に上方の間仕切壁（８）が組込まれ、上
方横枠（５）と床（７）と一対の柱（４）で囲まれた空
間に下方の間仕切壁（９）が組込まれている。
その隣接ル−ム（２）や隣接通路（図示せず）側から見
た間仕切構造の組立状態を示している。この間仕切構造
は、天井（３）と、柱（４）と、上方の横枠（５）と、
下方の横枠（６）と、床（７）とで骨格が形成されてい
る。この天井（３）と上方横枠（５）と一対の柱（４）
で囲まれた空間に上方の間仕切壁（８）が組込まれ、上
方横枠（５）と床（７）と一対の柱（４）で囲まれた空
間に下方の間仕切壁（９）が組込まれている。
【０００７】上方間仕切壁（８）と下方間仕切壁（９）
は、天井（３）から床（７）にかけて、クリ−ンル−ム
（１）と隣接ル−ム（２）等との間を仕切る（図３）。
この上下の一組の間仕切壁（８），（９）は、図１に示
すように複数枚横１列に並べられ、また図３に示すよう
に互いに平行に設けられて、クリ−ンル−ム（１）を形
成している。
は、天井（３）から床（７）にかけて、クリ−ンル−ム
（１）と隣接ル−ム（２）等との間を仕切る（図３）。
この上下の一組の間仕切壁（８），（９）は、図１に示
すように複数枚横１列に並べられ、また図３に示すよう
に互いに平行に設けられて、クリ−ンル−ム（１）を形
成している。
【０００８】上方間仕切壁（８）は、その両側が天井
（３）と床（７）との間に立てられた1 対の柱（４）で
挟持され、また下端(10)が柱（４）間にわたされた上方
の横枠（５）で支持され、そして上端(11)は天井（３）
で拘束されている（図２）。
（３）と床（７）との間に立てられた1 対の柱（４）で
挟持され、また下端(10)が柱（４）間にわたされた上方
の横枠（５）で支持され、そして上端(11)は天井（３）
で拘束されている（図２）。
【０００９】下方間仕切壁（９）も、その両側が上記一
対の柱（４）で挟持され、また下端(12)が柱（４）間に
わたされた下方の横枠（６）支持され、そして上端(13)
が上記上方の横枠（５）の溝(14)（図４）に嵌合されて
保持されている（図２）。下方の横枠（６）は床（７）
から浮いた状態であって、この横枠（６）と床（７）の
間に通気用の開口部(15)を形成している。天井（３）の
裏側(16)は清浄空気が供給され部分であり、この部分(1
6)にフイルタ−(17)と送風機(18)が設置されている。床
（７）には吸引用の通気孔(19)が形成されている。
対の柱（４）で挟持され、また下端(12)が柱（４）間に
わたされた下方の横枠（６）支持され、そして上端(13)
が上記上方の横枠（５）の溝(14)（図４）に嵌合されて
保持されている（図２）。下方の横枠（６）は床（７）
から浮いた状態であって、この横枠（６）と床（７）の
間に通気用の開口部(15)を形成している。天井（３）の
裏側(16)は清浄空気が供給され部分であり、この部分(1
6)にフイルタ−(17)と送風機(18)が設置されている。床
（７）には吸引用の通気孔(19)が形成されている。
【００１０】清浄空気は、送風機(18)でフイルタ−(17)
を経て天井（３）から床（７）方向に吹き出され、床
（７）の通気孔(19)で床（７）の下方(20)に吸引され
る。吸引され清浄空気は、床（７）の下方(20)と天井裏
（16）を連通する通気路（21）（図１）を経由して、該
通気路(21)内の送風機(22)で再び天井裏(16)に戻され
る。吹き出された清浄空気の一部は、開口部(15)が開い
ている場合には、この開口部（15）から隣接ル−ム等
（２）に流出する（図３）。
を経て天井（３）から床（７）方向に吹き出され、床
（７）の通気孔(19)で床（７）の下方(20)に吸引され
る。吸引され清浄空気は、床（７）の下方(20)と天井裏
（16）を連通する通気路（21）（図１）を経由して、該
通気路(21)内の送風機(22)で再び天井裏(16)に戻され
る。吹き出された清浄空気の一部は、開口部(15)が開い
ている場合には、この開口部（15）から隣接ル−ム等
（２）に流出する（図３）。
【００１１】上記開口部(15)の開口面積は、調節板(23)
の上下動で調節される。調節板(23)は、下方間仕切壁
（９）の下端(12)に連結手段で上下動可能に連結されて
いる。その連結手段として、第１段の第１連結孔(24)が
間仕切壁（９）の下端(12)の両側に穿設され、複数段
（4 段）の第２連結孔(25)が調節板(23)の両側に設けら
れ、これらの連結孔(24)，(25)に棒状の連結部材(26)を
通している。連結部材(26)はその一例としてねじを用
い、連結孔(24)はねじ孔を用いて、ねじ(26)を連結孔(2
5)に貫通して、ねじ孔(24)にねじ込んでいる（図４）。
の上下動で調節される。調節板(23)は、下方間仕切壁
（９）の下端(12)に連結手段で上下動可能に連結されて
いる。その連結手段として、第１段の第１連結孔(24)が
間仕切壁（９）の下端(12)の両側に穿設され、複数段
（4 段）の第２連結孔(25)が調節板(23)の両側に設けら
れ、これらの連結孔(24)，(25)に棒状の連結部材(26)を
通している。連結部材(26)はその一例としてねじを用
い、連結孔(24)はねじ孔を用いて、ねじ(26)を連結孔(2
5)に貫通して、ねじ孔(24)にねじ込んでいる（図４）。
【００１２】図１において、右端側の調節板(23)は、そ
の最上段の連結孔(25)にねじ(26)を貫通し、このねじ(2
6)を間仕切壁（９）のねじ孔(24)にねじ込んで、開口部
(15)を完全に閉じている。左端側の調節板(23)は、その
最下段の連結孔(25)にねじ(26)を貫通して、このねじ(2
6)を間仕切壁（９）のねじ孔(24)にねじ込んで、開口部
(15)を完全に開いている。左右両端の調節板（23）間の
調節板（23）は、右端側の調節板（23）から左端側の調
節板(23)に進むに従い、漸次開口部(15)の開口面積が大
きくなるように調節板(23)で調節されている。この調節
は、送風機(22)（図１）による床（７）の通気孔(19)の
吸引力が、送風機(22)に最も近い右端側の通気孔(19)の
部分が最も強く、最も遠い左端側の通気孔(19)の部分が
最も弱く、その中間の通気孔(19)の部分は右端側の通気
孔(19)の部分から左端側の通気孔(19)の部分に進むに従
い漸次弱くなることに、対応するものである。この結
果、天井（３）から吹き出す清浄空気は、左右両端とそ
の中間のいずれの通気孔(19)に対応する部分において
も、均一の流速で整然と床（７）方向に流れて、床
（７）の下方(20)に吸引される。このことは、天井
（３）から吹き出す清浄空気が、クリーンルーム（１）
の床（７）の全面にわたって均一の流速で整然と天井
（３）から床（７）まで送られることを意味する。これ
により、クリ−ンル−ム（１）内の作業者の人数や装置
の数，大きさ，配置等が変化したり、床（７）の全面に
分布する各通気孔(19)の吸引力に強弱の差が生じても、
振動の発生や清浄度の低下を阻止して、特に超精密加工
に適する良好な作業環境のクリ−ンル−ム（１）が得ら
れる。上記通気孔(19)群の両端間の調節板(23)による間
仕切壁（９）と床（７）との間の開口面積の調節は、各
調節板(23)の複数段の連結孔(25)を適宜選択することに
よりなされる。なお、１段の連結孔(24)は逆に調整板(2
3)側に設け、複数段の連結孔(25)は間仕切壁（９）側に
設けてもよい（図示略）。その場合には、連結孔(24)が
単なる貫通孔となり、連結孔(25)がねじ孔になる。
の最上段の連結孔(25)にねじ(26)を貫通し、このねじ(2
6)を間仕切壁（９）のねじ孔(24)にねじ込んで、開口部
(15)を完全に閉じている。左端側の調節板(23)は、その
最下段の連結孔(25)にねじ(26)を貫通して、このねじ(2
6)を間仕切壁（９）のねじ孔(24)にねじ込んで、開口部
(15)を完全に開いている。左右両端の調節板（23）間の
調節板（23）は、右端側の調節板（23）から左端側の調
節板(23)に進むに従い、漸次開口部(15)の開口面積が大
きくなるように調節板(23)で調節されている。この調節
は、送風機(22)（図１）による床（７）の通気孔(19)の
吸引力が、送風機(22)に最も近い右端側の通気孔(19)の
部分が最も強く、最も遠い左端側の通気孔(19)の部分が
最も弱く、その中間の通気孔(19)の部分は右端側の通気
孔(19)の部分から左端側の通気孔(19)の部分に進むに従
い漸次弱くなることに、対応するものである。この結
果、天井（３）から吹き出す清浄空気は、左右両端とそ
の中間のいずれの通気孔(19)に対応する部分において
も、均一の流速で整然と床（７）方向に流れて、床
（７）の下方(20)に吸引される。このことは、天井
（３）から吹き出す清浄空気が、クリーンルーム（１）
の床（７）の全面にわたって均一の流速で整然と天井
（３）から床（７）まで送られることを意味する。これ
により、クリ−ンル−ム（１）内の作業者の人数や装置
の数，大きさ，配置等が変化したり、床（７）の全面に
分布する各通気孔(19)の吸引力に強弱の差が生じても、
振動の発生や清浄度の低下を阻止して、特に超精密加工
に適する良好な作業環境のクリ−ンル−ム（１）が得ら
れる。上記通気孔(19)群の両端間の調節板(23)による間
仕切壁（９）と床（７）との間の開口面積の調節は、各
調節板(23)の複数段の連結孔(25)を適宜選択することに
よりなされる。なお、１段の連結孔(24)は逆に調整板(2
3)側に設け、複数段の連結孔(25)は間仕切壁（９）側に
設けてもよい（図示略）。その場合には、連結孔(24)が
単なる貫通孔となり、連結孔(25)がねじ孔になる。
【００１３】下方間仕切壁（９）は、その上端(13)と上
方横枠（５）の溝(14)との間に上下方向の遊び空間(27)
（図４）があり、下端(12)には溝(28)（図４）が形成さ
れている。この下方間仕切壁（９）を支持する下方横枠
（６）は、水平板状部分(29)とその後端から上方向に延
びる垂直板状部分(30)と水平板状部分(29)に起立された
レール(31)を具備している。図４においては、下方間仕
切壁（９）は、その上端(13)が上方横枠（５）の溝(14)
内に嵌合して保持され、下端(12)の溝(28)が下方横枠
（６）のレール(31)に嵌合して保持されて、柱（４）と
上方横枠（５）と下方横枠（６）で囲まれた空間に組み
込まれている。この組込の手順は、先に下方間仕切壁
（９）の上端(13)を上方横枠（５）の溝(14)内に差し込
んで上方に持ち上げながら、下方間仕切壁（９）の下端
(12)の溝(28)を下方横枠（９）のレール(31)に嵌合させ
る。下方間仕切壁（９）を逆に取り外す場合には、下方
間仕切壁（９）を上方に持ち上げながら、下端(12)の溝
(28)を下方横枠（６）のレール(31)から外して、上端(1
3)を上方横枠（５）の溝(14)から外す。この下方間仕切
壁（９）の取付け・取外しの場合には、その両側(32)に
取付けられた指掛用の取手(33)（図２）を使用すると、
その作業が容易である。
方横枠（５）の溝(14)との間に上下方向の遊び空間(27)
（図４）があり、下端(12)には溝(28)（図４）が形成さ
れている。この下方間仕切壁（９）を支持する下方横枠
（６）は、水平板状部分(29)とその後端から上方向に延
びる垂直板状部分(30)と水平板状部分(29)に起立された
レール(31)を具備している。図４においては、下方間仕
切壁（９）は、その上端(13)が上方横枠（５）の溝(14)
内に嵌合して保持され、下端(12)の溝(28)が下方横枠
（６）のレール(31)に嵌合して保持されて、柱（４）と
上方横枠（５）と下方横枠（６）で囲まれた空間に組み
込まれている。この組込の手順は、先に下方間仕切壁
（９）の上端(13)を上方横枠（５）の溝(14)内に差し込
んで上方に持ち上げながら、下方間仕切壁（９）の下端
(12)の溝(28)を下方横枠（９）のレール(31)に嵌合させ
る。下方間仕切壁（９）を逆に取り外す場合には、下方
間仕切壁（９）を上方に持ち上げながら、下端(12)の溝
(28)を下方横枠（６）のレール(31)から外して、上端(1
3)を上方横枠（５）の溝(14)から外す。この下方間仕切
壁（９）の取付け・取外しの場合には、その両側(32)に
取付けられた指掛用の取手(33)（図２）を使用すると、
その作業が容易である。
【００１４】図５〜７は、下方間仕切壁（９）の詳細な
構造を示し、左右の縦框(34)（下方間仕切壁９の前記左
右の側部32に対応する）と、上下の横框(35,36) （下方
間仕切壁９の前記上端13と下端12に対応する）で形成さ
れた框部(37)と、この框部(37)で囲まれた空間を閉じる
板状の壁部(38)と、この壁部(38)の周縁を押さえる縦方
向の左右の押縁(39)と横方向の上下の押縁(40)を具備し
ている。各框(34,35,36)は、四角形の中空体で形成さ
れ、これらの框で囲まれた空間の開口面に平行な後面部
(41)から内側に延びる板状の受部(42)と、上記後面部(4
1)とこれに平行な前面部(43)間に存する内側面部(44)に
形成された長い連結孔(45)を有している（図６，図
７）。
構造を示し、左右の縦框(34)（下方間仕切壁９の前記左
右の側部32に対応する）と、上下の横框(35,36) （下方
間仕切壁９の前記上端13と下端12に対応する）で形成さ
れた框部(37)と、この框部(37)で囲まれた空間を閉じる
板状の壁部(38)と、この壁部(38)の周縁を押さえる縦方
向の左右の押縁(39)と横方向の上下の押縁(40)を具備し
ている。各框(34,35,36)は、四角形の中空体で形成さ
れ、これらの框で囲まれた空間の開口面に平行な後面部
(41)から内側に延びる板状の受部(42)と、上記後面部(4
1)とこれに平行な前面部(43)間に存する内側面部(44)に
形成された長い連結孔(45)を有している（図６，図
７）。
【００１５】縦方向の押縁(39)は四角形の中空体で形成
され、縦框(34)の受部(42)に対面する後面部(46)に鳩尾
形の溝孔(47)が形成され、縦框(34)の連結孔(45)に対面
する内側面部(48)から一対の連結脚(49),(50) が直角に
延び、その一方の内側の連結脚(49)の先端に外側の斜面
を有するくさび(51)が形成されていてる。この縦方向の
押縁(39)は、その溝孔(47)にゴム等の弾性を有するパッ
キング(52)の鳩尾形の連結部(53)を嵌合して、パッキン
グ(52)が予め結合されている。
され、縦框(34)の受部(42)に対面する後面部(46)に鳩尾
形の溝孔(47)が形成され、縦框(34)の連結孔(45)に対面
する内側面部(48)から一対の連結脚(49),(50) が直角に
延び、その一方の内側の連結脚(49)の先端に外側の斜面
を有するくさび(51)が形成されていてる。この縦方向の
押縁(39)は、その溝孔(47)にゴム等の弾性を有するパッ
キング(52)の鳩尾形の連結部(53)を嵌合して、パッキン
グ(52)が予め結合されている。
【００１６】壁部(38)の左右の両縁部(54)の組立は、ま
ず両縁部(54)を両縦框(34)の受部(42)にあてがい、つい
で壁部(38)の両縁部(54)に押縁(39)のパッキング(52)を
押しつけながら押縁(39)の連結脚(49,50) を縦框(34)の
連結孔(45)内に押し込んで、一方の連結脚(49)の先端の
くさび(51)を連結孔(45)の縁(55)に係合させて、押縁(3
9)を縦框(34)に結合する（図６）。これにて、壁部(38)
の両縁部(54)はパッキング(52)を介して押縁(39)で押し
つけられ、壁部(38)の両縁部(54)のがたつきや振動は阻
止される。なお、縦方向の押縁(39)の上下両端(56)は上
下の横方向の両框(35),(36) に接触している（図７）。
ず両縁部(54)を両縦框(34)の受部(42)にあてがい、つい
で壁部(38)の両縁部(54)に押縁(39)のパッキング(52)を
押しつけながら押縁(39)の連結脚(49,50) を縦框(34)の
連結孔(45)内に押し込んで、一方の連結脚(49)の先端の
くさび(51)を連結孔(45)の縁(55)に係合させて、押縁(3
9)を縦框(34)に結合する（図６）。これにて、壁部(38)
の両縁部(54)はパッキング(52)を介して押縁(39)で押し
つけられ、壁部(38)の両縁部(54)のがたつきや振動は阻
止される。なお、縦方向の押縁(39)の上下両端(56)は上
下の横方向の両框(35),(36) に接触している（図７）。
【００１７】上下の横方向の押縁(40)は三角形の中空体
で形成され、以下縦方向の押縁(39)と同様に、上下の框
(35),(36) の受部(42)に対面する後面部(57)に鳩尾形の
溝孔(47)が形成され、上下の框(35),(36) の連結孔(45)
に対面する内側面部(58)から一対の連結脚(49),(50) が
直角に延び、その一方の内側の連結脚(49)の先端に外側
の斜面を有するくさび(51)が形成されていてる（図
７）。この横方向の押縁(40)は、その溝孔(47)にゴム等
の弾性を有するパッキング(52)の鳩尾形の連結部(53)を
嵌合して、パッキング(52)が予め結合されている（図
７）。
で形成され、以下縦方向の押縁(39)と同様に、上下の框
(35),(36) の受部(42)に対面する後面部(57)に鳩尾形の
溝孔(47)が形成され、上下の框(35),(36) の連結孔(45)
に対面する内側面部(58)から一対の連結脚(49),(50) が
直角に延び、その一方の内側の連結脚(49)の先端に外側
の斜面を有するくさび(51)が形成されていてる（図
７）。この横方向の押縁(40)は、その溝孔(47)にゴム等
の弾性を有するパッキング(52)の鳩尾形の連結部(53)を
嵌合して、パッキング(52)が予め結合されている（図
７）。
【００１８】壁部(38)の上下の両縁部(59)の組立は、ま
ず上下の両縁部(59)を上下の横框(35),(36）の受部(42)
にあてがい、ついで壁部(38)の両縁部(59)に横方向の押
縁(40)のパッキング(52)を押しつけながら押縁(40)の連
結脚(49),(50) を横框(35),(36) の連結孔(45)内に押し
込んで、一方の連結脚(49)の先端のくさび(51)を連結孔
(45)の縁(55)に係合させて、押縁(40)を横框(35),(36)
に結合する（図７）。これにて、壁部(38)の両縁部(59)
はパッキング(52)を介して押縁(40)で押しつけられ、壁
部(38)の両縁部(59)のがたつきや振動は阻止される（図
７）。なお、横方向の押縁(40)の左右の両端(60)は左右
の縦方向の両押縁(39)に接触している（図５）。
ず上下の両縁部(59)を上下の横框(35),(36）の受部(42)
にあてがい、ついで壁部(38)の両縁部(59)に横方向の押
縁(40)のパッキング(52)を押しつけながら押縁(40)の連
結脚(49),(50) を横框(35),(36) の連結孔(45)内に押し
込んで、一方の連結脚(49)の先端のくさび(51)を連結孔
(45)の縁(55)に係合させて、押縁(40)を横框(35),(36)
に結合する（図７）。これにて、壁部(38)の両縁部(59)
はパッキング(52)を介して押縁(40)で押しつけられ、壁
部(38)の両縁部(59)のがたつきや振動は阻止される（図
７）。なお、横方向の押縁(40)の左右の両端(60)は左右
の縦方向の両押縁(39)に接触している（図５）。
【００１９】壁部(38)の左右の両縁部(54)と上下の両縁
部(59)の組立解除は、まず上下の横方向の押縁(40)を上
下の横框(35),(36) から外し、ついで左右の縦方向の押
縁(39)を左右の縦框(34)から外す。
部(59)の組立解除は、まず上下の横方向の押縁(40)を上
下の横框(35),(36) から外し、ついで左右の縦方向の押
縁(39)を左右の縦框(34)から外す。
【００２０】下方間仕切壁（９）の上端(13)と上方横枠
（５）の溝(14)との嵌合構造と、下方間仕切壁（９）の
下端(12)の溝(28)と下方横枠（６）のレール(31)との嵌
合構造は、上方間仕切壁（８）の上端(11)と天井（３）
の結合構造と、上方間仕切壁（８）の下端(10)と上方横
枠（５）の結合構造にも適用されていて、その説明は重
複するので省略する。また、下方間仕切壁（９）におけ
る左右の縦框(34)と上下の横框(35,36) の受部(42)で壁
部(38)を受け止める構造と、パッキング(52)が左右の押
縁(39)と上下の押縁(40)に溝孔(47)と連結部(53)との嵌
合で予め取り付けられた構造と、上記各押縁(39,40) が
上記各框(34,35,36)に連結脚(49,50) と連結孔(45)との
嵌合で結合された構造も、上方間仕切壁（９）にも適用
されていて、その説明も重複するので省略する。さらに
また、上方間仕切壁（８）と下方間仕切壁（９）は、１
枚の間仕切壁（図示せず）にまとめることもできる。つ
まり、１枚の下方間仕切壁（９）が天井（３）から床
（７）までの空間を閉じるように寸法を大きくすること
である。
（５）の溝(14)との嵌合構造と、下方間仕切壁（９）の
下端(12)の溝(28)と下方横枠（６）のレール(31)との嵌
合構造は、上方間仕切壁（８）の上端(11)と天井（３）
の結合構造と、上方間仕切壁（８）の下端(10)と上方横
枠（５）の結合構造にも適用されていて、その説明は重
複するので省略する。また、下方間仕切壁（９）におけ
る左右の縦框(34)と上下の横框(35,36) の受部(42)で壁
部(38)を受け止める構造と、パッキング(52)が左右の押
縁(39)と上下の押縁(40)に溝孔(47)と連結部(53)との嵌
合で予め取り付けられた構造と、上記各押縁(39,40) が
上記各框(34,35,36)に連結脚(49,50) と連結孔(45)との
嵌合で結合された構造も、上方間仕切壁（９）にも適用
されていて、その説明も重複するので省略する。さらに
また、上方間仕切壁（８）と下方間仕切壁（９）は、１
枚の間仕切壁（図示せず）にまとめることもできる。つ
まり、１枚の下方間仕切壁（９）が天井（３）から床
（７）までの空間を閉じるように寸法を大きくすること
である。
【００２１】
【発明の効果】本発明は上記のように、クリーンルーム
（１）とそれに隣接するルーム（２）等を、天井（３）
から床（７）にわたって間仕切壁（８），（９）で仕切
る間仕切構造において、上記間仕切壁（９）はその下端
（１２）と床（７）の間に、クリーンルーム（１）とそ
れに隣接するルーム（２）等を互いに連通させる通気用
の開口部（１５）が設けられ、上記間仕切壁（９）の下
部に調節板（２３）を上下動可能に連結手段で連結し、
該調節板（２３）の上下動にて上記開口部（１５）の開
口面積を調節して、天井（３）から床（７）方向に吹き
出される清浄空気が上記開口部（１５）をクリーンルー
ム（１）側からそれに隣接するルーム（２）等側に通過
する流量を調節するように構成されているので、クリー
ンルーム（１）内の作業者の人数や装置の数，大きさ，
配置等が変化しても、清浄空気が天井（３）から床
（７）方向に一定の流速で整然と均一に流れるように調
節できて、振動の発生や清浄度の低下を阻止して、特に
超精密加工に適する良好な作業環境が得られる。 本発
明はまた、上記間仕切壁（９）の下部と調節板（２３）
の連結手段は、間仕切壁（９）と調節板（２３）のいず
れか一方に設けられた１段の第１連結孔（２４）と、他
方に設けられた複数段の第２連結孔（２５）と、これら
の第１連結孔（２４）と第２連結孔（２５）に挿入され
る棒状の連結部材（２６）で構成され、これらの第１連
結孔（２４）と第２連結孔（２５）を適宜選択的に組合
せることにより前記通気用の開口部（１５）の開口面積
を調節するように構成されているので、その調節作業が
容易であり、かつその調節構造が簡単である。 本発明
はまた、間仕切壁（９）が複数枚横１列に並べられ、各
間仕切壁（９）の開口部（１５）の開口面積が各調節板
（２３）で適宜調節されるように構成されているので、
床（７）の全面に分布する各通気孔（１９）の吸引力に
強弱の差が生じても、清浄空気がクリーンルーム（１）
の床（７）の全面にわたって、天井（３）から床（７）
方向に一定の流速で整然と均一に流れるように調節でき
て、一層振動の発生や清浄度の低下を阻止して、一層良
好な作業環境が得られる。本発明はまた、間仕切壁
（９）は、その両側が天井（３）と床（７）の間に立て
られた柱（４）で挟持され、下端（１２）が一対の柱
（４）の間にわたされた下方の横枠（６）で支持され、
上端（１３）が柱（４）の間にわたされた上方の横枠
（５）の溝（１４）内に嵌合されて保持され、この間仕
切壁（９）の上端（１３）と上方の横枠（５）の溝（１
４）との間の上下方向の遊び空間（２７）にて間仕切壁
（９）が両側の柱（４）と上方と下方の横枠（５），
（６）で囲まれた空間内に取外し可能に取付けられるよ
うに構成されているので、間仕切壁（９）はその組立後
においても簡単に取外すことができて、間仕切壁（９）
に対面する側の機械装置の修理や微調整を簡単にするこ
とができで便利である。本発明はまた、間仕切壁（９）
は、左右の縦框（３４）と上下の横框（３５），（３
６）で形成される框部（３７）と、該框部（３７）内に
組み込まれて框部（３７）の受部（４２）で受け止めら
れる壁部（３８）と、該壁部（３８）の周囲を框部（３
７）の受部（４２）に押し付けて壁部（３８）を固定す
る押縁（３９，４０）を具備し、上記押縁（３９，４
０）はその連結用脚部（４９，５０）を框部の孔（４
５）に差し込んで框部（３７）に取付けられ、押縁（３
９，４０）自身にはゴム等の弾性を有するパッキング
（５２）が予め取り付けられていて、押縁（３９，４
０）を框部（３７）に取付けることによりパッキング
（５２）で壁部（３８）を押さえるように構成されてい
るので、間仕切壁（９）の壁部（３８）と框部（３７）
との間にパッキング（５２）を介在させる構造が簡単
で、その取付作業が容易である。
（１）とそれに隣接するルーム（２）等を、天井（３）
から床（７）にわたって間仕切壁（８），（９）で仕切
る間仕切構造において、上記間仕切壁（９）はその下端
（１２）と床（７）の間に、クリーンルーム（１）とそ
れに隣接するルーム（２）等を互いに連通させる通気用
の開口部（１５）が設けられ、上記間仕切壁（９）の下
部に調節板（２３）を上下動可能に連結手段で連結し、
該調節板（２３）の上下動にて上記開口部（１５）の開
口面積を調節して、天井（３）から床（７）方向に吹き
出される清浄空気が上記開口部（１５）をクリーンルー
ム（１）側からそれに隣接するルーム（２）等側に通過
する流量を調節するように構成されているので、クリー
ンルーム（１）内の作業者の人数や装置の数，大きさ，
配置等が変化しても、清浄空気が天井（３）から床
（７）方向に一定の流速で整然と均一に流れるように調
節できて、振動の発生や清浄度の低下を阻止して、特に
超精密加工に適する良好な作業環境が得られる。 本発
明はまた、上記間仕切壁（９）の下部と調節板（２３）
の連結手段は、間仕切壁（９）と調節板（２３）のいず
れか一方に設けられた１段の第１連結孔（２４）と、他
方に設けられた複数段の第２連結孔（２５）と、これら
の第１連結孔（２４）と第２連結孔（２５）に挿入され
る棒状の連結部材（２６）で構成され、これらの第１連
結孔（２４）と第２連結孔（２５）を適宜選択的に組合
せることにより前記通気用の開口部（１５）の開口面積
を調節するように構成されているので、その調節作業が
容易であり、かつその調節構造が簡単である。 本発明
はまた、間仕切壁（９）が複数枚横１列に並べられ、各
間仕切壁（９）の開口部（１５）の開口面積が各調節板
（２３）で適宜調節されるように構成されているので、
床（７）の全面に分布する各通気孔（１９）の吸引力に
強弱の差が生じても、清浄空気がクリーンルーム（１）
の床（７）の全面にわたって、天井（３）から床（７）
方向に一定の流速で整然と均一に流れるように調節でき
て、一層振動の発生や清浄度の低下を阻止して、一層良
好な作業環境が得られる。本発明はまた、間仕切壁
（９）は、その両側が天井（３）と床（７）の間に立て
られた柱（４）で挟持され、下端（１２）が一対の柱
（４）の間にわたされた下方の横枠（６）で支持され、
上端（１３）が柱（４）の間にわたされた上方の横枠
（５）の溝（１４）内に嵌合されて保持され、この間仕
切壁（９）の上端（１３）と上方の横枠（５）の溝（１
４）との間の上下方向の遊び空間（２７）にて間仕切壁
（９）が両側の柱（４）と上方と下方の横枠（５），
（６）で囲まれた空間内に取外し可能に取付けられるよ
うに構成されているので、間仕切壁（９）はその組立後
においても簡単に取外すことができて、間仕切壁（９）
に対面する側の機械装置の修理や微調整を簡単にするこ
とができで便利である。本発明はまた、間仕切壁（９）
は、左右の縦框（３４）と上下の横框（３５），（３
６）で形成される框部（３７）と、該框部（３７）内に
組み込まれて框部（３７）の受部（４２）で受け止めら
れる壁部（３８）と、該壁部（３８）の周囲を框部（３
７）の受部（４２）に押し付けて壁部（３８）を固定す
る押縁（３９，４０）を具備し、上記押縁（３９，４
０）はその連結用脚部（４９，５０）を框部の孔（４
５）に差し込んで框部（３７）に取付けられ、押縁（３
９，４０）自身にはゴム等の弾性を有するパッキング
（５２）が予め取り付けられていて、押縁（３９，４
０）を框部（３７）に取付けることによりパッキング
（５２）で壁部（３８）を押さえるように構成されてい
るので、間仕切壁（９）の壁部（３８）と框部（３７）
との間にパッキング（５２）を介在させる構造が簡単
で、その取付作業が容易である。
【図１】本発明の間仕切構造を隣接ル−ム側から見た一
部縦断組立正面図である。
部縦断組立正面図である。
【図２】図１の組立正面図の一部拡大正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線拡大概略断面図である。
【図４】図３の断面図の一部拡大図である。
【図５】本発明の間仕切壁の詳細を示す正面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ線拡大断面図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ線拡大断面図である。
１ クリ−ンル−ム ２ 隣接ル−ム ３ 天井
４ 柱 ５ 上方横枠 ６ 下方横枠 ７ 床
８ 上方間仕切壁 ９ 下方間仕切壁 14 溝 15 開口部 16 天井裏 17 フイルタ
− 18 送風機 19 通気孔 20 床下 21 通気路 22 送風機
23 調節板 24 第１連結孔 25 第２連結孔 26 連結部材
28 溝 31 レール 33 取手 34 縦框 35 上框 36 下框 37
框部 38 壁部 39 縦押縁 40 横押縁 52 パッキング
４ 柱 ５ 上方横枠 ６ 下方横枠 ７ 床
８ 上方間仕切壁 ９ 下方間仕切壁 14 溝 15 開口部 16 天井裏 17 フイルタ
− 18 送風機 19 通気孔 20 床下 21 通気路 22 送風機
23 調節板 24 第１連結孔 25 第２連結孔 26 連結部材
28 溝 31 レール 33 取手 34 縦框 35 上框 36 下框 37
框部 38 壁部 39 縦押縁 40 横押縁 52 パッキング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−68221（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−147249（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−56614（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−15517（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−108710（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−40433（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−113810（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−40433（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−201408（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−158808（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−75733（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−137226（ＪＰ，Ｕ)
Claims (4)
- 【請求項１】 クリーンルームとそれに隣接するルーム
等を天井から床にわたって間仕切壁で仕切る間仕切構造
において、上記間仕切壁はその下端と床の間に、クリー
ンルームとそれに隣接するルーム等を互いに連通させる
通気用の開口部が設けられ、上記間仕切壁の下部に調節
板を上下動可能に連結手段で連結し、該調節板の上下動
にて上記開口部の開口面積を調節して、天井から床方向
に吹き出される清浄空気が上記開口部をクリーンルーム
側からそれに隣接するルーム等側に流出する流量を調節
し、上記間仕切壁の下部と調節板の連結手段は、間仕切
壁と調節板のいずれか一方に設けられた１段の第１連結
孔と、他方に設けられた複数段の第２連結孔と、これら
の第１連結孔と第２連結孔に挿入される棒状の連結部材
で構成され、これらの第１連結孔と第２連結孔を適宜選
択的に組合せることにより前記通気用の開口部の開口面
積を調節するクリーンルームの間仕切構造。 - 【請求項２】 前記間仕切壁が複数枚横１列に並べら
れ、各間仕切壁の開口部の開口面積が各調節板で適宜調
節されて、清浄空気がクリーンルームの全面にわたって
均一の流速で天井から床まで送られるように構成された
請求項１記載のクリーンルームの間仕切構造。 - 【請求項３】 前記間仕切壁は、その両側が天井と床の
間に立てられた柱で挟持され、下端が柱間にわたされた
下方の横枠で支持され、上端が柱間にわたされた上方の
横枠の溝内に嵌合されて保持され、この間仕切壁の上端
と上方の横枠の溝との間の上下方向の遊びにて間仕切壁
が両側の柱と上方と下方の横枠で囲まれた開口面に取外
し可能に取付けられる請求項１または２に記載のクリー
ンルームの間仕切構造。 - 【請求項４】 前記間仕切壁は、左右の縦框と上下の横
框で形成される框部と、該框部内に組み込まれて框部の
内方に延出した受部で受け止められる壁部と、該壁部の
周囲を框部の上記受部に押し付けて壁部を固定する押縁
を具備し、上記押縁はその連結用脚部を框部の孔に差し
込んで框部に取付けられ、押縁自身にはゴム等の弾性を
有するパッキングが予め取り付けられていて、押縁を框
部に取付けることによりパッキングで壁部を押さえるよ
うに構成した請求項３記載のクリーンルームの間仕切構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7271914A JP2655399B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | クリーンルームの間仕切構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7271914A JP2655399B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | クリーンルームの間仕切構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989328A JPH0989328A (ja) | 1997-04-04 |
| JP2655399B2 true JP2655399B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=17506641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7271914A Expired - Fee Related JP2655399B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | クリーンルームの間仕切構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655399B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7083515B2 (en) * | 1999-09-07 | 2006-08-01 | Speedfam-Ipec Corporation | Clean room facility and construction method |
| CN102392545B (zh) * | 2011-08-24 | 2016-04-13 | 百度在线网络技术（北京）有限公司 | 数据中心机房 |
| CN107269038A (zh) * | 2017-07-13 | 2017-10-20 | 潘坚萍 | 一种锲槽魔方积木式洁净手术室及其安装方法 |
| CN110090670B (zh) * | 2019-06-05 | 2024-02-20 | 江苏拓米洛高端装备股份有限公司 | 具有顶部吸风式风道结构的环境试验箱 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57158808U (ja) * | 1981-03-31 | 1982-10-05 | ||
| JPS6015517U (ja) * | 1983-07-12 | 1985-02-01 | 株式会社竹中工務店 | クリ−ン・ル−ム用還気用仕切パネル |
| JPS61108710U (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-10 | ||
| JPH0415857Y2 (ja) * | 1984-12-28 | 1992-04-09 | ||
| JPH0337293Y2 (ja) * | 1985-06-07 | 1991-08-07 | ||
| JPH0321522Y2 (ja) * | 1985-08-30 | 1991-05-10 | ||
| JPH0321523Y2 (ja) * | 1985-09-30 | 1991-05-10 | ||
| JPS62147249A (ja) * | 1985-12-19 | 1987-07-01 | Shimizu Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPH0311650Y2 (ja) * | 1986-11-04 | 1991-03-20 | ||
| JPS63137226U (ja) * | 1987-02-28 | 1988-09-09 | ||
| JP3433398B2 (ja) * | 1994-08-29 | 2003-08-04 | 三機工業株式会社 | 間仕切り装置 |
-
1995
- 1995-09-26 JP JP7271914A patent/JP2655399B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0989328A (ja) | 1997-04-04 |
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