JP4602795B2 - クリーンブース - Google Patents

Description

本発明は、クリーンルーム内において、局所的に空気清浄度の高い雰囲気を設けるためのクリーンブースに関する。

特開平１１−１５９８１８号公報

液晶あるいは半導体製品の生産には、高い空気清浄度の雰囲気が必要である。そのような生産工場では、高い空気清浄度を得るためにクリーンルームが設置されており、さらにそのクリーンルーム内において、さらなる空気清浄度を得るためにクリーンブースが設置されている。
特許文献１には、簡易な構造で、設置作業が容易であり、ファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵ）の位置決めの自由度が高い空気清浄装置が開示されている。このものは、複数のＦＦＵをクリーンブースの天井部分に位置調節可能に設けることができることが特徴である。すなわち、天面の枠状部材およびその枠状部材に所定の間隔で並設される梁部材にガイド部を設けて、そのガイド部により複数個のＦＦＵを摺動可能に設置しており、そのＦＦＵを設けない箇所には、カバー板をガイド部に沿って挿入している。

また、本出願人は、独自にクリーンブースを開発している。その参考例を図７に示す。図７ａは、そのクリーンブース内の空気の流れを示す概略断面図である。図中の矢印は風路を示す。そのクリーンブース１００は、図７ａに示すようにブース本体１０１と、そのブース本体１０１の上部に設けられたＦＦＵ１０２とからなる。前記ブース本体１０１の天面は矩形状（図７ｂ参照）の枠状部材１０１ａと、その枠状部材１０１ａの四隅から下方に延びる脚部材１０１ｂとからなる。前記枠状部材１０１ａは、向かい合う一組の部材間には、ＦＦＵ１０２の個数に応じた本数（図７ａでは２本）の梁部材１０１ｃが渡されている。それらの枠状部材１０１ａおよび梁部材１０１ｃは、中空状の部材あるいは折り曲げにより凸形状に形成され突出した部分を上方に向けている。そして、前記凸形状の一段下がった部分に、ＦＦＵ１０２の下端の外縁を載せて固定し（図７ａでは３台）、隙間をコーキング材で密閉している。また、ブース本体１０１の外周はポリ塩化ビニルなどの軟質の合成樹脂シートからなるシート１０１ｄで覆われている。

前記ＦＦＵ１０２からクリーンブース１００の内部に供給される空気の流れは、本来、鉛直下方にまっすぐに流れるのが理想であるが、ＦＦＵ１０２の吹き出し口付近に配置される梁部材１０１ｃの出っ張り部分によって、その流れが乱される。その流れの乱れた部分１０３は渦流の発生の原因となりやすい。

特許文献１の空気清浄装置は、ＦＦＵを摺動させて天井面に容易に配置できるにしても、そのために設けられた梁部材が風路の邪魔をするため、流れが乱れる恐れがある。さらに、ＦＦＵは天面に対し、部分的に配置されているので、下向き垂直の一様なダウンフローが得られない。また、図７に示すようなブース本体１０１では、比較的均一なダウンフローは得られるが、梁部材１０１ｃが空気の通風路に突出しているため、流れの乱れた部分１０３が形成され、その部分で渦流が発生しやすい。

そのような渦流は、クリーンブース内のゴミなどがいつまでも浮遊する溜り場となる。そのような溜り場があると、いくらフィルタ性能を高くしても、あるいは供給される空気量を大きくしても、クリーンブース内部の空気清浄度を高くするのは難しい。

そこで、本発明はきれいなダウンフローを得ることができ、しかも渦流が生じにくく、簡易な構造で高い清浄度を実現することができるクリーンブースを提供することを課題とする。

本発明のクリーンブース（請求項１）は、断面が凸字状であり凸字に突出した部分を上方に向けた中空部材四本を矩形状に連結した途中に梁部材を設けない枠状部材と、その四隅からそれぞれ下方に延びる脚部材とを有するフレーム、及びフレームを囲む周壁を備え、前記枠状部材が天面を形成するブース本体と、前記天面の上部に配置された空気清浄機とからなり、前記空気清浄機は、ファンを備えていて下端に外側に広がる係止部を有する複数の駆動ユニットと、前記複数の駆動ユニットにより供給される空気が通過する、外周を金属枠で囲われたフィルタユニットと、前記複数の駆動ユニットと前記フィルタユニットの間でそれらを接続する接続部材とを備え、前記天面の凸字に突出した部分に囲われた内部の中空部材上部にフィルタユニットが固定され、前記天面の略全体を清浄空気の吹き出し口としており、前記接続部材は、前記フィルタユニットの金属枠の外周にはめ込むことができる枠状のガイド部と、その枠状のガイド部から連続して内側に向けて折り曲げられる鍔部と、隣接する駆動ユニットの係止部を受ける向かい合う一組の鍔部の間に渡される断面Ｔ字状の梁部と、駆動ユニットから送風される空気をフィルタユニットに供給するための開口部とからなり、前記複数の駆動ユニットは、前記接続部材の鍔部及び梁部の上面に載置されており、前記梁部のＴ字の垂直に下方に延びる基部の下端がフィルタユニットのフィルタ上面付近まで達していることを特徴としている。

このようなクリーンブースは、前記ブース本体の周壁の下端に床面との間に所定の間隔を空けて内部と外部とを連通する隙間が形成されているものが好ましい（請求項２）。さらに、前記複数の駆動ユニットの風量が互いに異なるものが好ましい（請求項３）。また、前記枠状の天面に複数のフィルタユニットを、互いに接する金属枠の接続部分をコーキング材により密閉して並設しているものが好ましい（請求項４）。

本発明のクリーンブース（請求項１）は、従来のようにフィルタユニットと駆動ユニットとを直接連結せず、それらの間に接続部材を介在させている。そのため、複数個の駆動ユニットを接続部材で支えると共に、その接続部材をフィルタユニットの外周縁を介してフレームで支えることができる。すなわち、隣接する駆動ユニットの連結部を接続部材の鍔部で支えるので、２個の駆動ユニットの接続部の下方にフィルタユニットの途中が来てもよい。したがって２個以上の駆動ユニットに共通するフィルタユニットを採用することができ、その下方に空気の流れを妨げる梁を設ける必要がない。そのような構造は、クリーンブース内に天面からまっすぐ下方に向かう風路の形成を可能とし、クリーンブース内の気流の乱れにより発生する渦流れを抑制することができ、粉塵などの滞留時間を短くすることができ、局所的な粉塵の滞留を防止することができる。

さらに前記接続部材が、駆動ユニットから送風される空気をフィルタユニットに供給するための開口部が形成された枠状部材からなり、その枠状部材の上端に複数の駆動ユニットを固定するための鍔部が形成され、かつ、下端にフィルタユニットの外周縁にはめ込むことができるガイド部が形成されているので、フィルタユニットに接続部材をはめ込み、その接続部材に形成された開口部に駆動ユニットを固定すると、容易にクリーンブースを組み立てることができる。そして、その枠状の接続部材は駆動ユニットの重量を支える強度メンバとして作用することができる。

また、ブース本体の周壁の下端に床面との間に所定の間隔を空けて内部と外部とを連通する隙間が形成されている場合（請求項２）は、天面の空気清浄機から流れる清浄な空気を隙間から排出するので、ほぼ垂直下方の流れを実現できる。複数のファンフィルタユニットの風量が互いに異なる場合（請求項３）は、クリーンブース内の清浄空気の風路を風量により変化させることができる。

さらに、前記枠状の天面に複数のフィルタユニットを、互いに接する金属枠の接続部分をコーキング材により密閉して並設している場合（請求項４）は、比較的大きな吹き出し口を容易に形成することができる。そしてそのような大きな吹き出し口を形成しても、フィルタユニットを下面部分で支える部材を必要としないため、風路が邪魔されることなく、渦流の発生が防止され、クリーンブースの空気清浄度を高くすることができる。

つぎに図面を参照しながら本発明のクリーンブースの実施の形態を説明する。図１ａは本発明のクリーンブースの一実施形態を示す概略正面図、図１ｂは図１ａのクリーンブースの概略側面図、図２は図１ａのクリーンブースの分解斜面図、図３は図１ａのクリーンブースの要部概略断面図、図４ａは天面を形成する枠状部材の平面図、図４ｂはその枠状部材を締結する締結部材を示す平面図、図５ａは図１のクリーンブースの風量を変化させた場合の空気の流れる様子を示す要部概略正面図、図５ｂは図１のクリーンブースの概略側面断面図、図６は本発明のクリーンブースの他の実施形態を示す概略正面図である。

本発明のクリーンブースは、主に半導体装置の製造工場あるいは食品工場などで用いられるクリーンルームの内部に局所的な空気清浄度の高い雰囲気を保つものである。例えば図１に示すクリーンブース１は、クリーンルーム２内部に配置された半導体などの生産装置３（図１ｂ参照）の材料搬入出口の手前に配置され、生産装置３に投入される前の半製品あるいは材料の汚染を防ぐために使用される。

このようなクリーンブース１は、図２に示すように、ブース本体４と、そのブース本体４の天井部分に備え付けられた空気清浄機５とからなる。そのブース本体４は、骨組みを形成しているフレーム６と、そのフレーム６の周囲を覆って外部と内部を隔てている周壁７とからなる。また、フレーム６の下端には、グレーチング床２ｂ（図１ａ、図１ｂ参照）と周壁７の下端との間に所定の隙間を形成してクリーンブース１の内部と外部とを連通させるアジャスタ８が配置されている。

図２に示す前記フレーム６は、矩形の枠状部材９と、その枠型の四隅から下方に向けて垂直に延びる脚部材１０とからなる。その枠状部材９は断面が凸字状の中空部材９ａを４本連結して形成され、途中に梁部材を設けていない。図４に示すように、中空部材９ａ同士の連結には、Ｌ字状の部材９ｂ等が用いられる。そのＬ字状の部材９ｂを中空部材９ａの接続部分に当て、そのままＬ字状の部材９ｂの上から中空部材９ａと共にネジなどの締結具を用いて締結される。前記脚部材１０も同様に、Ｌ字状の部材９ｂのような締結用の部材を用いて連結される。また、図２に戻って前記枠状部材９と脚部材１０との間にリブ１１を設けてフレーム６を補強することもできる。前記中空部材９ａは、突出した部分を上方に向けて配置され、その突出した部分を中心にして左右の低い部分は肩部９ｃである。

なお、このようなフレーム６は、アルミニウムあるいはステンレスなどの錆を生じにくい金属または焼付塗装鋼板などで形成され、特に中空部材９ａおよび脚部材１０はアルミ引き抜き材を用いると軽量でありながら強度も高い。前記リブ１１は、特に強度が必要なため、ステンレスを用いるのが好ましい。

図２あるいは図３に示すように、前記空気清浄機５は、１個のフィルタユニット１２と、そのフィルタユニット１２の上面に配置される複数個の駆動ユニット１３（ここでは３個）と、そのフィルタユニット１２と駆動ユニット１３の間に配置され、それらを接続する接続部材１４とからなる。前記フィルタユニット１２は、シート状のフィルタ部材を幾重にも折りたたんで形成されたＨＥＰＡフィルタ１２ａと、そのＨＥＰＡフィルタ１２ａの外周をアルミニウムなどの金属板で囲った金属枠１２ｂとから形成されている。そのＨＥＰＡフィルタ１２ａの折り曲げ方向は、垂直下方に流れる空気の風路と平行になるように形成されるのがよい。前記フィルタユニット１２は、金属枠１２ｂを中空部材９ａの肩部９ｃに乗せるように配置される。

前記接続部材１４は、フィルタユニット１２の金属枠１２ｂの外周にはめ込むことができる枠状のガイド部１４ａと、そのガイド部１４ａから連続して内側に向けて折り曲げて形成される枠状の鍔部１４ｂとを備えている。その枠状の鍔部１４ｂの内部は駆動ユニット１３によりフィルタユニット１２へ空気を供給する開口部１４ｃである。また、開口部１４ｃには、向かい合う一組の鍔部１４ｂ同士の間に渡される断面Ｔ字状の梁部（鍔部）１４ｄ（図３では２本）が並設されている。その梁部１４ｄのＴ字の左右方向に延びている部分は、鍔部１４ｂから連続しており、その上面と鍔部１４ｂの部分で後述する駆動ユニット１３が固定される。また梁部１４ｄのＴ字の垂直に下方に延びる部分は基部１４ｅ（図３参照）である。その基部１４ｅは、その下端がＨＥＰＡフィルタ１２ａの上面付近まで達している。そのため、駆動ユニット１３から供給される空気は、決められたＨＥＰＡフィルタ１２ａを通過する。このように空気の流路を基部１４ｅで仕切ることにより、通過するＨＥＰＡフィルタ１２ａを定めることができ、横流を防ぐことができる。それにより一様なダウンフローが得られる。さらに隣り合う駆動ユニット１３の風量が互いに干渉しないので、後述するように駆動ユニット１３毎に風量を変化させた場合でも、クリーンブース１内部までその風量で流すことができる。

前記駆動ユニット１３は、その駆動ユニット１３の外形を形成する箱状のカバー１５と、その箱状のカバー１５の内部に配置される駆動モータ１３ａと、その駆動モータ１３ａにより外部から空気を取り込んでＨＥＰＡフィルタ１２ａの上面に空気を送風するファン１３ｂとからなる。その箱状のカバー１５は、下端に外側に広がる係止部１５ａを備えており、前記接続部材１４の鍔部１４ｂおよび梁部１４ｄに載せて、ネジなどの締結具により締結する。なお、図５ｂに示すように、枠状部材９の肩部９ｃ、フィルタユニット１２の金属枠１２ｂの部分はフィルタを通らない外部の空気が混入しないようにコーキング材１６でシールされる。また、接続部材１４の鍔部１４ｂおよびカバー１５の係止部１５ａの締結部分および接続部材１４のガイド部１４ａとフィルタユニット１２の外周縁の部分は、パッキン１８を挟んで接続している。そのため、施工時の取り付け作業が容易になり、気密性が維持される。

図１ａ、図１ｂに戻って、前記周壁７は、ポリ塩化ビニルなどの軟質の合成樹脂シートからなる両側面７ａ、７ａと、正面に配置され３つの駆動ユニット１３（図１ａに示すように３つの駆動ユニット１３のうち）の１個分の幅だけ上下全体に正面に配置され、塩化ビニルあるいはアクリルなどの硬質の樹脂製の板状部材からなる壁７ｂと、残り２個分の幅だけ正面の上部を塞ぐように上から垂れ下がるポリ塩化ビニルなどの軟質の合成樹脂シートからなる垂れ壁７ｃと、クリーンブース１の背面側の上下全体に配置され、アクリルなどの硬質の樹脂製の板状部材からなる背面壁７ｄとからなる。その垂れ壁７ｃの下方に形成されたクリーンブース１の開口部は、人が出入りするための出入口１ｂとなる。また、前記背面壁７ｄには後述する生産装置３の搬入出口と連通する開口部１ｄが形成されている。そして、その背面壁７ｄと生産装置３とはコーキング材あるいはパッキン等により気密状態で連結されており、開口部１ｄから外気が混入するのを防止する。なお、開口部１ｄを形成しないで独立したクリーンブースにすることもできる。また、前記周壁７に透明な部材を用いると、クリーンブース１の内部を視認することができる。

前記フレーム６の脚部材１０の下端には、アジャスタ８が設けられており、床２ｃと所定の間隔を空けるように配置され、隙間１７が形成されている。そのため、空気清浄機５より供給されてクリーンブース１内を流れた清浄空気は床２ｃ付近まで垂直下向きに流れ、床２ｃに到達すると、前記隙間１７より外部に流れ出る。なお、アジャスタ８は、例えばネジ機構などによりその高さを調整することができれば、隙間１７の幅を変化させて、クリーンブース１内の空気の流れを調整することもできる。また、アジャスタ８としてキャスタなどの車輪を備えたものを用いると移動が容易となる。

図３を用いて、このように形成されたクリーンブース１内部に空気が流れる様子を示す。図３に示すように、空気清浄機５から送風される空気は、駆動ユニット１３からまっすぐにＨＥＰＡフィルタ１２ａまで到達し、そのＨＥＰＡフィルタ１２ａを通過した後も、なんら他の部材に邪魔されることなく、垂直下方に向けてクリーンブース１内部に吹き流される。そのため、クリーンブース１内の風路の乱れをなくし、渦流の発生を抑制することができる。このときの空気清浄機５から供給される空気の風速は、通常は０．６〜０．２ｍ／ｓである。

また、３個の駆動ユニット１３、１３、１３の送風量を均一にすれば、馬力の大きい１個の駆動ユニット１３で送風する場合に比して横流れを少なくすることができ、一層均一なダウンフローを得ることができる。他方、３個の駆動ユニット１３、１３、１３の風量を順に変化させると、風路を変化させることができる。例えば図５ａの左側から風量を左端を最も強く、右端を最も弱くするように、順に弱くしていくと、左から右に向かう空気流れを形成することができる。なお、出入口１ｂあるいはクリーンブース１内で作業する作業員の配置などにより、中央の風量を大きくして、外に向かって次第に風量を小さくさせるなど、要望に合わせて変化させるようにしてもよい。

上記のように構成されるクリーンブース１は、前述のようにクリーンルーム２の内部に局所的に清浄度が高いスペースを設けるために使用される。図１に示すクリーンルーム２は天井に設けられたＨＥＰＡフィルタ２ａにより、例えばクラス１０００程度の清浄度を得ることができるようにされている。そのクリーンルーム２の天井の全面からは、一様に清浄空気を吹き出し、吹き出した清浄空気をグレーチング床２ｂに至るまで垂直に吹き流す一様ダウンフローとしている。なお、半導体などの生産装置３が置かれる箇所には強度などを高く保つためにグレーチング床２ｂは採用せず、通常の無孔パネルの床２ｃが用いられる。

前記生産装置３は、スピンコータ、露光機、フォトエッチングなど、例えば半導体を製造するための装置であり、内部にウエハーを取り込んで所定の工程を施すものである。その生産装置３とクリーンブース１とは、背面壁７ｄに形成された開口部１ｄを介して気密に連結されている。

前記クリーンブース１はクリーンルーム２内部の孔の形成されない床２ｃの上に配置されている。前記クリーンブース１は縦長の箱状の部屋を形成しており、その縦長の一方の側（図１ａの左側の部分）の作業スペース１ａの部分と、その作業スペース１ａと反対側の出入口１ｂが形成された出入口スペース１ｃの部分とからなる。そして、出入口スペース１ｃ側から人あるいはロボットにより密閉容器に入れられて運ばれた半導体などの半製品は、作業スペース１ａに配置された作業台１ｅまで移送された後、密閉容器から取り出され、開口部１ｄを通じて生産装置３へと搬入される。そのクリーンブース1は、例えば、クリーンルーム２へ供給されているクラス１０００の清浄度を備えた空気を天面から取り込んで、クラス１程度の清浄度に処理してクリーンブース１内部に供給している。このように、クリーンブース１は、クリーンルーム２内に局所的にクリーン度が高いスペースを作っている。

図６に本発明のクリーンブースの他の実施形態を示す。このクリーンブース２０は比較的大きなものであり、そのため枠状部材９に２個のフィルタユニット１２を並べて配置し、その上に５台の駆動ユニット１３を配置している。そして、前記２個のフィルタユニット１２同士の接続部分はコーキング材１６により密着されている。そのため、２個のフィルタユニット１２を並設しても、その接続部分はそれぞれの金属枠１２ｂ、１２ｂの厚みの分しかないので、風路の乱れる部分２１を小さくすることができ、クリーンブース２０の空気清浄度を高くすることができる。

また、前記枠状部材９の開口部分の中間付近に、向かい合う１組の中空部材９ａの肩部９ｃから連続するように渡された梁を延ばすこともできる。そうすると、その梁により、２個のフィルタユニット１２の接続部分の金属枠１２ｂ、１２ｂを支えることができる。この場合でも、フィルタユニット１２同士の接続部分である２個の金属枠１２ｂ、１２ｂを載せる梁の幅があればよいので、ＨＥＰＡフィルタ１２ａを通過した空気の風路が乱れる部分２１が小さく、発生する渦流を抑制することができる。

なお、図１のクリーンブース１では、１個のフィルタユニット１２に対して３個の駆動ユニット１３を配置している。また、図６のクリーンブース２０では、２個のフィルタユニット１２に対して５個の駆動ユニット１３を配置し、１個のフィルタユニット１２当りでは２．５個の駆動ユニット１３となる。このように１個のフィルタユニット１２に対する駆動ユニット１３の個数は、フィルタユニット１２の種類および駆動ユニット１３の風量などに応じて選択すればよく、フィルタユニット１個に対して２個の駆動ユニット、あるいは２個のフィルタに対して３個の駆動ユニットを設けるなど、フィルタユニット１個当たり１．５個以上、好ましくは２個以上で選択すればよい。

なお、図６に示すクリーンブース２０のように、２個のフィルタユニット１２同士の接合部分の上方に、５個の駆動ユニット１３のうち中央の駆動ユニット１３のファン１３ｂの回転の中心軸が配置されるように構成すると、前記接続部分による風路のみだれが生じにくい。

図１ａは本発明のクリーンブースの概略正面図、図１ｂは図１ａのクリーンブースの概略側面図である。 図２は図１クリーンブースの分解斜面図である。 図３は図１のクリーンブースの要部概略断面図である。 図４ａは天状を形成する枠状部材の平面図、図４ｂはその枠状部材を締結する締結部材を示す平面図である。 図５ａは図１のクリーンブースの風量を変化させた場合の空気の流れる様子を示す要部概略正面図、図５ｂは図１のクリーンブースの概略側面断面図である。 図６は本発明のクリーンブースの他の実施形態を示す概略正面図である。 図７ａは従来のクリーンブースを示す概略側面図、図７ｂは図７ａの枠状部材を示す概略平面図である。

符号の説明

１ クリーンブース
１ａ 作業スペース
１ｂ 出入口
１ｃ 出入口スペース
１ｄ 開口部
１ｅ 作業台
２ クリーンルーム
２ａ ＨＥＰＡフィルタ
２ｂ グレーチング床
２ｃ 無孔パネルの床
３ 生産装置
４ ブース本体
５ 空気清浄機
６ フレーム
７ 周壁
７ａ 側面
７ｂ 壁
７ｃ 垂れ壁
７ｄ 背面壁
８ アジャスタ
９ 枠状部材
９ａ 中空部材
９ｂ Ｌ字状の部材
９ｃ 肩部
１０ 脚部材
１１ リブ
１２ フィルタユニット
１２ａ ＨＥＰＡフィルタ
１２ｂ 金属枠
１３ 駆動ユニット
１３ａ 駆動モータ
１３ｂ ファン
１４ 接続部材
１４ａ ガイド部
１４ｂ 鍔部
１４ｃ 開口部
１４ｄ 梁部
１４ｅ 基部
１５ カバー
１５ａ 係止部
１６ コーキング材
１７ 隙間
１８ パッキン
２０ クリーンブース
２１ 風路の乱れる部分

Claims (4)

1. 断面が凸字状であり凸字に突出した部分を上方に向けた中空部材四本を矩形状に連結した途中に梁部材を設けない枠状部材と、その四隅からそれぞれ下方に延びる脚部材とを有するフレーム、及びフレームを囲む周壁を備え、前記枠状部材が天面を形成するブース本体と、
   前記天面の上部に配置された空気清浄機とからなり、
   前記空気清浄機は、ファンを備えていて下端に外側に広がる係止部を有する複数の駆動ユニットと、前記複数の駆動ユニットにより供給される空気が通過する、外周を金属枠で囲われたフィルタユニットと、前記複数の駆動ユニットと前記フィルタユニットの間でそれらを接続する接続部材とを備え、
   前記天面の凸字に突出した部分に囲われた内部の中空部材上部にフィルタユニットが固定され、前記天面の略全体を清浄空気の吹き出し口としており、
   前記接続部材は、前記フィルタユニットの金属枠の外周にはめ込むことができる枠状のガイド部と、その枠状のガイド部から連続して内側に向けて折り曲げられる鍔部と、隣接する駆動ユニットの係止部を受ける向かい合う一組の鍔部の間に渡される断面Ｔ字状の梁部と、駆動ユニットから送風される空気をフィルタユニットに供給するための開口部とからなり、
   前記複数の駆動ユニットは、前記接続部材の鍔部及び梁部の上面に載置されており、
   前記梁部のＴ字の垂直に下方に延びる基部の下端がフィルタユニットのフィルタ上面付近まで達しているクリーンブース。
2. 前記ブース本体の周壁の下端に床面との間に所定の間隔を空けて内部と外部とを連通する隙間が形成されている請求項１記載のクリーンブース。
3. 前記複数の駆動ユニットの風量が互いに異なる請求項１記載のクリーンブース。
4. 前記枠状の天面に複数のフィルタユニットを、互いに接する金属枠の接続部分をコーキング材により密閉して並設している請求項１、２または３のいずれかに記載のクリーンブース。