JP4602795B2 - クリーンブース - Google Patents
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Description
特許文献1には、簡易な構造で、設置作業が容易であり、ファンフィルタユニット(以下、FFU)の位置決めの自由度が高い空気清浄装置が開示されている。このものは、複数のFFUをクリーンブースの天井部分に位置調節可能に設けることができることが特徴である。すなわち、天面の枠状部材およびその枠状部材に所定の間隔で並設される梁部材にガイド部を設けて、そのガイド部により複数個のFFUを摺動可能に設置しており、そのFFUを設けない箇所には、カバー板をガイド部に沿って挿入している。
1a 作業スペース
1b 出入口
1c 出入口スペース
1d 開口部
1e 作業台
2 クリーンルーム
2a HEPAフィルタ
2b グレーチング床
2c 無孔パネルの床
3 生産装置
4 ブース本体
5 空気清浄機
6 フレーム
7 周壁
7a 側面
7b 壁
7c 垂れ壁
7d 背面壁
8 アジャスタ
9 枠状部材
9a 中空部材
9b L字状の部材
9c 肩部
10 脚部材
11 リブ
12 フィルタユニット
12a HEPAフィルタ
12b 金属枠
13 駆動ユニット
13a 駆動モータ
13b ファン
14 接続部材
14a ガイド部
14b 鍔部
14c 開口部
14d 梁部
14e 基部
15 カバー
15a 係止部
16 コーキング材
17 隙間
18 パッキン
20 クリーンブース
21 風路の乱れる部分
Claims (4)
- 断面が凸字状であり凸字に突出した部分を上方に向けた中空部材四本を矩形状に連結した途中に梁部材を設けない枠状部材と、その四隅からそれぞれ下方に延びる脚部材とを有するフレーム、及びフレームを囲む周壁を備え、前記枠状部材が天面を形成するブース本体と、
前記天面の上部に配置された空気清浄機とからなり、
前記空気清浄機は、ファンを備えていて下端に外側に広がる係止部を有する複数の駆動ユニットと、前記複数の駆動ユニットにより供給される空気が通過する、外周を金属枠で囲われたフィルタユニットと、前記複数の駆動ユニットと前記フィルタユニットの間でそれらを接続する接続部材とを備え、
前記天面の凸字に突出した部分に囲われた内部の中空部材上部にフィルタユニットが固定され、前記天面の略全体を清浄空気の吹き出し口としており、
前記接続部材は、前記フィルタユニットの金属枠の外周にはめ込むことができる枠状のガイド部と、その枠状のガイド部から連続して内側に向けて折り曲げられる鍔部と、隣接する駆動ユニットの係止部を受ける向かい合う一組の鍔部の間に渡される断面T字状の梁部と、駆動ユニットから送風される空気をフィルタユニットに供給するための開口部とからなり、
前記複数の駆動ユニットは、前記接続部材の鍔部及び梁部の上面に載置されており、
前記梁部のT字の垂直に下方に延びる基部の下端がフィルタユニットのフィルタ上面付近まで達しているクリーンブース。 - 前記ブース本体の周壁の下端に床面との間に所定の間隔を空けて内部と外部とを連通する隙間が形成されている請求項1記載のクリーンブース。
- 前記複数の駆動ユニットの風量が互いに異なる請求項1記載のクリーンブース。
- 前記枠状の天面に複数のフィルタユニットを、互いに接する金属枠の接続部分をコーキング材により密閉して並設している請求項1、2または3のいずれかに記載のクリーンブース。
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Citations (6)
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---|---|---|---|---|
JPH01200137A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-11 | Seiko Electronic Components Ltd | クリーンユニット |
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2005
- 2005-03-01 JP JP2005055762A patent/JP4602795B2/ja active Active
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---|---|---|---|---|
JPH01200137A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-11 | Seiko Electronic Components Ltd | クリーンユニット |
JPH0398919U (ja) * | 1990-01-25 | 1991-10-15 | ||
JPH04214140A (ja) * | 1991-03-12 | 1992-08-05 | Fuji Electric Co Ltd | クリーンルーム |
JPH0713415U (ja) * | 1993-08-09 | 1995-03-07 | 日本無機株式会社 | ファン付フィルタ装置 |
JP2003042497A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Yaskawa Electric Corp | クリーンルーム |
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