JP4684683B2 - クリーンブースおよびそのクリーンブースを用いた作業システム - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造用のクリーンルームにおいて、生産装置の半製品搬入出口と連通するクリーンブースと、そのクリーンブースを用いた作業システムに関する。

特開２０００−８７２６０号公報 特開２００３−１５８１６４号公報

液晶あるいは半導体製品の生産には、高い空気清浄度の雰囲気下で、複数の生産工程を必要とする。そのため、液晶あるいは半導体製品の半製品は、複数の生産装置間を行き来きしながら、順次、必要な処理を施され次第に完成品へと近づく。
図７は、ある生産工程を経て運ばれてきた半導体の半製品（ウエハー）が、新たな生産工程へと移行するために、次の生産装置へと搬入される様子を示す概略工程図である。図７のクリーンルーム１００はクラス１０００レベルの空気の清浄度を備えており、そのクリーンルーム１００の内部に設けられた生産装置１０３の内部はクラス１レベルの空気清浄度を備えている。

前記クリーンルーム１００の天井には、密閉容器１０１に収納されたウエハー１０２のコンベアが設けられている。前記密閉容器１０１は、そのコンベアにより生産装置１０３の上方に近づき、その生産装置１０３の前面の作業台１０３ａまでリフト１０５により自動的に運ばれる（工程Ｓ１）。前記密閉容器１０１が作業台１０３ａに運ばれると、その密閉容器１０１はロボット１０４により生産装置１０３に形成された前段部１０３ｂに移載される（工程Ｓ２）。次いで、密閉容器１０１のフタ１０１ａが外される（工程Ｓ３）。前記前段部１０３ｂでは、ウエハー１０２が一枚ずつ生産装置１０３内部に運び込まれ、所定の処理が施される（工程Ｓ４）。そして、その処理が終了すると、ウエハー１０２は再び密閉容器１０１に戻され、フタをされて、次の生産装置による生産工程へと進む。このように、ウエハー１０２は、クリーンルーム１００から生産装置１０３へと移動する。そして、このようにウエハー１０２の移動に人間を介在させないことにより、空気清浄度の低下を防止している。

特許文献１および２には、空気清浄度が低い空間から高い空間へと半導体製品などの半製品を移動させる際に、空気清浄度を損なわずに搬入あるいは搬出させる手段を開示している。特許文献１および２とも、製品を搬出、搬出するための開口部を形成したクリーンルームにおいて、クリーンルーム内部の空気が前記開口部から外部に流出することを防止するクリーンルームが開示されている。すなわち、クリーンルームの内外を隔てる隔壁に別個の部屋を設け、その部屋にクリーンルームの内側から外側に向かう気流を発生させる、あるいは別途、その部屋に清浄度の高い空気を内側から外側に向かう気流により吹き流している。

図７に示す生産装置１０３では、生産装置によって内部排気量が大きいものがあり、それにより、装置の周辺、特にクリーンルーム側からウエハーを取り入れる半製品の搬入出口から生産装置１０３内部に空気清浄度の低い空気が吸い込まれるため、生産装置１０３が汚染され、クリーンルーム１００内部の気流を乱している。

また、リフト１０５により構成された搬送経路に自由度がないため、製品毎に生産工程のレイアウトを変更するのが困難であり、一旦レイアウトを変更すると、生産ラインを再稼動するまでに多くの時間が費やされる。また、ウエハーの種類が異なると生産工程も異なる。そうすると、ウエハーが正しい生産装置まで運ばれないという搬送のミスも多くなる。このような複雑な生産工程は、仮にウエハーが正しい生産装置まで到達できたとしても、それに要する時間も長くなる。さらに、ウエハーの搬送経路を部屋の上部あるいは天井付近に配置した場合には、リフトにより生産装置までウエハーを降したり、再び搬送経路まで昇げたりする昇降作業に時間が費やされ、その作業が、生産システム全体の生産速度を低下させている。一方、ウエハーが床面を移動するように搬送経路を配置する場合は、クリーンルーム内の床面積を大きく占有するため、スペースを有効に利用し難い。

このような自動搬送の問題は作業員による搬送によって解消できるが、その場合は作業員の衣服などからゴミが発生する。他方、生産装置１０３では、内部で発生するゴミをクリーンルーム内に出さないように、独自の配管で排気したり、あるいは廃熱などのために常にいくらかの量の空気を排気している。そして、その生産装置の排気は、クリーンルーム１００内に、横方向の気流を生じ、設計で意図したクリーンルーム１００内のダウンフローの流れを乱し、ゴミを巻き上げたりする原因となる。

そこで、本発明は半製品を自動化手段に頼らずに人の手により移動させても、半製品を汚染することなく、生産装置の排気によるクリーンルーム内の気流の乱れを抑制できるクリーンブースおよびそのクリーンブースを用いた作業システムを提供することを課題とする。

本発明のクリーンブース（請求項１）は、液晶あるいは半導体製品の複数の生産装置を行き来しながら必要な処理を施される半製品を、前記生産装置で処理する際に蓋をはずして一枚ずつ運び込み、前記生産装置での処理が終了すると戻されて蓋をされる密閉容器で工程間搬送するクリーンルーム内に設置され、天面と周壁とを備えたブース本体と、前記天面に配置されたファンフィルタユニットとからなり、前記ブース本体の周壁の下端に床面との間に所定の間隔を空けて内部と外部とを連通する隙間が形成され、前記周壁の一面には、生産装置の搬入出口側に気密に取り付ける取付部と、その取付部により搬入出口と連通する前記密閉容器を搬出入する開口部とが形成され、前記周壁の一面のうち該開口部を含む一部を囲む作業スペースを有し、前記周壁の他面には、人が出入りする出入口が前記開口部に対向しないよう形成され、前記周壁の他面のうち該出入口を含む一部を囲む出入口スペースを有し、前記密閉容器を運び入れる人が前記出入口スペースに出入りしても、前記搬入出口には人を経由した空気あるいは外部から混入した空気が流れ込まない垂直下方の空気流れを有することを特徴としている。

このようなクリーンブースは、前記天面が枠状部材により形成され、その枠状部材に複数のファンフィルタユニットが並べて固定され、天面の略全体を清浄空気の吹き出し口としているものが好ましい（請求項２）。また、前記複数のファンフィルタユニットの風量が互いに異なるものが好ましい（請求項３）。

本発明のクリーンブースを用いた作業システム（請求項４）は、粉塵の混入を嫌う製品を生産する生産装置と、その生産装置の搬入出口側に気密に取り付けられた前述のクリーンブースと、それらクリーンブースの間で前記材料を密閉状態で移動させるための密閉容器とからなることを特徴とする。

本発明のクリーンブース（請求項１）は、前記周壁の一面に設けられた取付部で、生産装置の搬入出口側に気密に取り付けて用いる。作業員は出入口からクリーンブースに入り
、開口部を介して前記周壁の他面に、人が出入りする出入口が形成されているので、半製品を生産装置の搬入出口へ手動で出し入れする。そしてクリーンブース内はファンフィルタユニットによって清浄な空気で満たされているので、半製品を汚染から防ぐことができる。すなわち、手動の搬送を実現することができるので、搬送経路の自由度が増し、搬送経路の変更にも素早く対応できる。また、自動搬送装置のための余分なスペースがいらないので、クリーンルーム内の限られた空間を有効に活用することができる。さらに、クリーンブース内部が生産装置の搬入出口と連通しているので、生産装置の生産排気を搬入出口を介してクリーンブース内の清浄空気を供給することができる。したがって、生産装置の排気に基づくクリーンルーム内の気流の乱れを防止することができる。そして、ブース本体の周壁の下端に床面との間に所定の間隔を空けて内部と外部とを連通する隙間が形成されているので、天面のファンフィルタユニットから流れる清浄な空気を隙間から排出するので、ほぼ垂直下方の流れを実現できる。

このようなクリーンブースが、前記天面が枠状部材により形成され、その枠状部材に複数のファンフィルタユニットが並べて固定され、天面の略全体を清浄空気の吹き出し口としている場合（請求項２）は、クリーンブースの内部に清浄空気を垂直下方の流れで供給することができるので、クリーンブース内部の気流の乱れを防止することができ、粉塵などの滞留時間を短くすることができる。また、局所的に粉塵が滞留するのを防止することができる。そして、簡単な構成で、クリーンブースの規模を容易に大きくすることができる。

さらに、前記複数のファンフィルタユニットの風量が互いに異なる場合（請求項３）は、クリーンブース内の清浄空気の風路を風量により変化させることができる。

本発明のクリーンブースを用いた作業システム（請求項４）は、粉塵の混入を嫌う製品を生産する生産装置と、その生産装置の搬入出口側に気密に取り付けられた前述のクリーンブースと、それらクリーンブースの間で前記材料を密閉状態で搬送するための密閉容器とからなるので、密閉容器に半製品を密閉して作業員が次々と生産装置間を行き来することにより、完成品とすることができる。そのため、複雑な処理過程が必要なものでも、簡単に処理することができる。また、少量生産する場合にも有効である。

つぎに図面を参照しながら本発明のクリーンブースの実施の形態を説明する。図１は本発明のクリーンブースの一実施形態を示す概略側面図、図２ａは図１のクリーンブースの平面図、図２ｂはクリーンブースの正面図、図３はクリーンブースの骨組み構造を示す概略斜面図、図４は図２ａのＩ−Ｉ線断面図、図５ａはクリーンブースの内部の空気の流れる様子を示す概略正面図、図５ｂは生産装置およびクリーンブースの内部の空気の流れる様子を示す概略側面図、図６は本発明のクリーンブースを用いた作業システムの実施の形態を示す概略工程図である。

まず、図１を参照して、本発明のクリーンブース１が配置されるクリーンルーム２について説明する。クリーンルーム２は半導体装置の製造工場、食品工場などで用いられる防塵が施された部屋であり、清浄度の高い空気を得るためにＨＥＰＡフィルタなどが使われている。本実施例のクリーンルーム２では、天井２ａに設けられたＨＥＰＡフィルタ２ｄにより、例えばクラス１０００程度の清浄度を得ることができるようにしている。また、クリーンルーム２の天井２ａの全面から一様に清浄エアを吹き出し、その吹き出した清浄エアをグレーチング床２ｂよりそのまま下降流でもって垂直に吹き流す一様ダウンフローを採用している。なお、生産装置が置かれる箇所には強度などを高く保つためにグレーチング床２ｂは採用せず、通常の無孔パネルの床２ｃである。

図１および図２ａを用いて本発明のクリーンンブース１を生産装置に取り付けた実施の形態を説明する。図１および図２ａに示すクリーンンブース１を生産装置に取り付けたクリーンブース付き生産装置Ａは、クリーンルーム２内部に配置された生産装置３と、その生産装置３の搬入出口３ａと連通する開口部１ｄが形成されたクリーンブース１とからなる。そのクリーンブース１および生産装置３は、クリーンルーム２内部の孔の形成されない床２ｃの上に配置されている。前記クリーンブース１は縦長の箱状の部屋を形成しており、その縦長の一方の側（図２の左側の部分）の作業スペース１ａと、その作業スペースと反対側の後述する出入口１ｃが形成された出入口スペース１ｂの２つの部分とからなる。そして、出入口スペース１ｂから人あるいはロボットにより密閉容器に入れられて運ばれた半導体などの半製品（ウエハー１３）は、作業スペース１ａに配置された作業台１ｅまで移送された後、密閉容器から取り出され、生産装置３へと搬入される。そのクリーンブース１は、クリーンルーム２へ供給されているクラス１０００の清浄度を備えた空気を天面から取り込んで、クラス１程度の清浄度に処理してクリーンブース１内部に供給している。このように、クリーンブース１は、クリーンルーム２内に局所的にクリーン度が高いスペースを作っている。

前記生産装置３は、スピンコータ、露光機、フォトエッチングなど、例えば半導体を製造するための装置であり、前記ウエハー１３を内部に取り込んで、所定の工程を施し、再び開口部１ｄより、クリーンブース１に戻す。その生産装置３とクリーンブース１とは、図２ａに示すようにクリーンブース１の背面側でパッキンあるいはコーキング材等３ｂ（図２ａ参照）により気密に結合されている。

図２ｂおよび図３に示すように、クリーンブース１は、ブース本体と、そのブース本体の天井部分に備え付けられたにファンフィルタユニット（ＦＦＵ）５とからなる。そのブース本体は、骨組みを形成しているフレーム４と、そのフレーム４の左右の側面を覆って外部と内部を隔てている周壁６と、フレーム４の下端に設けられ前記クレーチング床２ｂと周壁６の下端との間に所定の隙間を形成してクリーンブース１の内部と外部とを連通させるアジャスタ７とからなる。

図３に示す前記フレーム４は、断面が凸状の中空部材（図４参照）を連結して形成されており、枠状に形成された枠部４ａと、その枠部４ａの四隅から垂直下方に延びる脚部４ｂと、前記枠部４ａの枠内を隔てるように複数本（本実施例では２本）の中空部材を平行に渡している梁部４ｃ、４ｃとからなる。その梁部４ｃにより、枠部４ａで形成される枠の内部は、エアを供給するための３つの開口部４ｄ、４ｄ、４ｄに分かれている。また、中空部材の端部同士を連結する際は、それぞれの中空内部にＬ字状のブラケットを配置して連結したり、連結部分を含むように連結する中空部材同士を外側から弾力的に覆い、そのまま前記中空部材の外周に弾力的に係止することができるポリカーボネート等の樹脂からなる部材を用いて連結してもよい。また、前記中空部材の凸状の突出した部分は上方に向けて配置され、その突出した部分を中心にして左右の低い部分は肩部４ｅである。なお、前記フレーム４は、アルミニウムあるいはステンレスなどの錆を生じにくい金属または焼付塗装鋼板などで形成され、特にアルミ引き抜き材を用いると軽量でありながら強度も高い。

図４に示すように前記ＦＦＵ５はフィルタ部材８と、そのフィルタ部材８の上面に配置される駆動部９とからなる。フィルタ部材８は、シート状のフィルタ部材を幾重にも折りたたんで形成されたＨＥＰＡフィルタ８ａと、そのＨＥＰＡフィルタ８ａの外周をアルミニウムなどの金属板で囲った金属枠８ｂとから形成されている。そのＨＥＰＡフィルタ８ａの折り曲げ方向は、通過する空気と平行になるように形成されるのがよい。前記フィルタ部材８は、金属枠８ｂの部分を枠部４ａおよび梁部４ｃの肩部４ｅにパッキンあるいはコーキング材等により気密な状態で配置する。

前記駆動部９は、内部に駆動モータ９ａと、その駆動モータ９ａにより外部から空気を取り込んでＨＥＰＡフィルタ８ａの上面に空気を送風するファン９ｂとから形成される。それら駆動モータ９ａおよびファン９ｂは、駆動部９の外形を形成するカバー１０により、内部に収納されている。そのカバー１０は、フィルタ部材８の外周にはめ込むことができる枠状の部材である。カバー１０は、フィルタ部材８の金属枠８ｂの外周面およびその上端部に沿うように板状部材を直角に折り曲げて形成され、そのフィルタ部材８にはめ込まれる部分は折り曲げて形成された係止部１０ａである（図３参照）。

図２に戻って、前記周壁６は、ポリ塩化ビニルなどの軟質の合成樹脂シートからなる両側壁６ａ、６ａと、正面に配置されＦＦＵ５（図２ｂあるいは図５ａに示すように３つのＦＦＵ５のうち）の１個分の幅だけ上下全体に正面に配置され、塩化ビニルあるいはアクリルなどの硬質の樹脂製の板状部材からなる壁６ｂと、残り２つ分の幅だけ正面の上部を塞ぐように上から垂れ下がるカーテン状に配置されたポリ塩化ビニルなどの軟質の合成樹脂シートからなる垂れ壁６ｃと、クリーンブース１の背面側の上下全体に配置されている背面壁６ｄとからなる。その垂れ壁６ｃにより正面に形成されたクリーンブース１の開口部は、人が出入りするための出入口１ｃとなる。また、前記背面壁６ｄには、生産装置３と連通する開口部１ｄが形成され、生産装置３とパッキンあるいはコーキング材３ｂ等により気密状態で結合されている。なお、前記周壁６に透明な部材を用いると、クリーンブース１の内部を視認することができる。
図４に示すように前記フレーム４の脚部材４ｂの下端には、アジャスタ７が設けられており、床２ｃと所定の間隔（隙間１１）を空けるように配置されている。そのため、ファンフィルタユニット５より供給されてクリーンブース１内を流れた清浄空気は床２ｃ付近まで垂直下向きに流れ、床２ｃに到達すると、前記隙間１１より外部に流れ出る。なお、アジャスタ７は、例えばネジ機構などによりその高さを調整することができれば、隙間１１の幅を変化させて、クリーンブース１内のエアの流れを調整することもできる。また、アジャスタ７としてキャスタなどの車輪を備えたものを用いると移動が容易となる。

図５を用いてこのように形成されたクリーンブース１内部に清浄空気が流れる様子を示す。図５ａに示すように、３つのＦＦＵ５、５、５から送風される清浄空気は出入口１ｃより吹き出すように、作業スペース１ａから出入口１ｃが形成された出入口スペース１ｂに向かって流れる。そのため、図中の左側の作業台１ｅにウエハー１３を配置すると、空気流れは、作業台１ｅのウエハー１３、人から出入口１ｃという流れを形成しているため、ウエハー１３に外部の空気あるいは人を経由して流れた清浄空気がぶつからない。また、このような空気流れは３つあるＦＦＵ５、５、５の送風量を順に変化させることによっても制御することができ、例えば図５ａの左側から風量を左端を最も強く、右端を最も弱くするようにしだいに順に弱くしていくと、出入口１ｃに向かう自然な空気流れを形成することができる。なお、端から順に風量を変化させるばかりでなく、出入口１ｃ、搬入出口３ａあるいは人の配置などにより、中央の風量を大きくして、次第に外に向かって風量を小さくしていくなど、変化させることができる。

図５ｂには、クリーンブース１と生産装置３との空気流れの様子を示す。前記生産装置３は、内部で発生するゴミをクリーンルーム１内に出さないように、独自の配管で排気したり、あるいは廃熱などのために常にいくらかの量の空気を排気している。そのため、清浄空気の一部は搬入出口３ａから生産装置３にも流れ込む。しかし、クリーンブース１内部には清浄空気が上方から下方に垂直に吹き降ろされているため、搬入出口３ａには、人を経由した空気あるいは外部から混入した空気が流れ込まないので、防塵効果が高い。さらに、生産装置３の排気は、クリーンルーム２内に、横方向の気流を生じ、設計で意図したクリーンルーム２内のダウンフローの流れを乱し、ゴミを巻き上げたりする原因となるが、クリーンブース１を搬入出口３ａの手前に配置することにより、その排気分を補充する十分な清浄空気を供給することができるので、クリーンルーム２内部の空気流れを乱すことがない。

次に図６を用いて本発明のクリーンブースを用いた作業システムについて説明する。クリーンブースを用いた作業システムＢは、クリーンブース付き生産装置Ａと、そのクリーンブース付き生産装置Ａ間を移動する密閉容器１２とからなる。ここで密閉容器１２について説明する。密閉容器１２は、蓋と台座からなる。その容器の内部には清浄空気が満たされ密閉状態にすることができ、外部からの粉塵の混入を防止する容器である。その容器の台座にウエハー１３をセットして、蓋を被せて密閉すると、ウエハー１３の汚染を防ぎつつ外部に運び出すことができる。

まず、図６の工程Ｓ１に示すように、作業員Ｗが密閉容器１２を携帯したままクリーンブース１内部に入る。このとき、出入口１ｃからは清浄空気が吹き出しているため、作業員Ｗおよび密閉容器１２はエアシャワーと同様な効果を受けて、クリーンブース１内部へ入ることになり、防塵効果が高い。次に、作業員Ｗが作業スペース１ａの作業台１ｅに密閉容器１２を置く（工程Ｓ２）。ロボットが密閉容器１２の蓋を開ける（工程Ｓ３）。このとき、上方から吹き流される清浄空気はウエハー１３の上部から作業員Ｗあるいは搬入出口３ａへと向かうので、ウエハー１３の汚染がない。裸になったウエハー１３を、密閉容器１２ごと生産装置３の内に置く（工程Ｓ４）。生産装置３が自動的にウエハー１３を処理する（工程Ｓ５）。生産装置による処理が終了すると、再びロボットがウエハー１３を密閉容器１２の台座に載せて、蓋をする（Ｓ６）。そして、次の生産装置付きクリーンブースＡ´まで作業員Ｗが密閉容器１２を運び、再び一連の工程を繰り返しながら、次第に工程を一段階ずつ重ねて完成品へと近づく。なお、ロボットによる密閉容器１２の蓋の開閉を作業員Ｗがしてもよい。

このような、クリーンブースを用いた作業システムＢによると、固定化された搬送経路の自由度を高くすることができる。そのため、製品毎に生産装置のレイアウトを変更するのが容易である。また、一旦レイアウトを変更しても、生産ラインを再稼動するまでの時間を節約することができる。また、ウエハーの種類が異なると、そのウエハーに対応して生産工程も異なるため、ウエハーは様々な生産装置間を行き来することになる。さらに、このような複雑な生産工程は、仮にウエハーが正しい生産装置まで到達できたとしても、それに要する時間も長くなりがちであるが、その場合でも、必要な工程を熟知した作業員Ｗにより、ウエハー１３を短い時間で正しい生産装置まで搬送することができる。

また、自動化された搬送装置のように、ウエハー１３の搬送経路を部屋の上部あるいは天井付近に配置したり、リフトにより生産装置までウエハー１３を降したり、再び搬送経路まで昇げたりする昇降作業に時間が費やされることがない。また、そのような自動搬送のためのウエハー１３が床面を移動するような搬送経路を配置する必要がないので、クリーンルーム２内の床面積を有効に利用することができる。

図１は本発明のクリーンブースの一実施形態を示す概略側面図である。 図２ａは図１のクリーンブースの平面図、図２ｂはクリーンブースの正面図である。 図３はクリーンブースの骨組み構造を示す概略斜面図である。 図４は図２ａのＩ−Ｉ線断面図である。 図５ａはクリーンブースの内部の風路の様子を示す概略正面図、図５ｂは生産装置およびクリーンブースの内部の風路の様子を示す概略側面図ある。 図６は本発明のクリーンブースを用いた作業システムの実施の形態を示す概略工程図である。 従来の技術を示す概略工程図である。

１ クリーンブース
１ａ 作業スペース
１ｂ 出入口スペース
１ｃ 出入口
１ｄ 開口部
１ｅ 作業台
２ クリーンルーム
２ａ 天井
２ｂ グレーチング床
２ｃ 床
２ｄ ＨＥＰＡフィルタ
３ 生産装置
３ａ 搬入出口
３ｂ パッキンあるいはコーキング材
４ フレーム
４ａ 枠部
４ｂ 脚部
４ｃ 梁部
４ｄ 開口部
４ｅ 肩部
５ ＦＦＵ（フィルタファンユニット）
６ 周壁
６ａ 側壁
６ｂ 壁
６ｃ 垂れ壁
６ｄ 背面壁
７ アジャスタ
８ フィルタ部材
８ａ ＨＥＰＡフィルタ
８ｂ 金属枠
９ 駆動部
９ａ 駆動モータ
９ｂ ファン
１０ カバー
１０ａ 係止部
１１ 隙間
１２ 密閉容器
１３ ウエハー
Ａ クリーンブース付き生産装置
Ｂ クリーンブースを用いた作業システム
Ｗ 作業員

Claims (4)

1. 液晶あるいは半導体製品の複数の生産装置を行き来しながら必要な処理を施される半製品を、前記生産装置で処理する際に蓋をはずして一枚ずつ運び込み、前記生産装置での処理が終了すると戻されて蓋をされる密閉容器で工程間搬送するクリーンルーム内に設置され、
   天面と周壁とを備えたブース本体と、前記天面に配置されたファンフィルタユニットとからなり、
   前記ブース本体の周壁の下端に床面との間に所定の間隔を空けて内部と外部とを連通する隙間が形成され、
   前記周壁の一面には、生産装置の搬入出口側に気密に取り付ける取付部と、その取付部により搬入出口と連通する前記密閉容器を搬出入する開口部とが形成され、
   前記周壁の一面のうち該開口部を含む一部を囲む作業スペースを有し、
   前記周壁の他面には、人が出入りする出入口が前記開口部に対向しないよう形成され、
   前記周壁の他面のうち該出入口を含む一部を囲む出入口スペースを有し、
   前記密閉容器を運び入れる人が前記出入口スペースに出入りしても、前記搬入出口には人を経由した空気あるいは外部から混入した空気が流れ込まない垂直下方の空気流れを有することを特徴とするクリーンブース。
2. 前記天面が枠状部材により形成され、その枠状部材に複数のファンフィルタユニットが並べて固定され、天面の略全体を清浄空気の吹き出し口としている請求項１記載のクリーンブース。
3. 前記複数のファンフィルタユニットの風量が互いに異なる請求項２記載のクリーンブース。
4. 粉塵の混入を嫌う製品を生産する生産装置と、
   その生産装置の搬入出口側に気密に取り付けられた請求項１、２または３記載のクリーンブースと、
   それらクリーンブースの間で半製品または材料を密閉状態で搬送するための密閉容器とからなるクリーンブースを用いた作業システム。