KR20050008764A - 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치 및 박판형 전자제품제조 시스템 - Google Patents
박판형 전자부품 클린 이동탑재장치 및 박판형 전자제품제조 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 케이스체 내에 개구되는 카세트 내에 수납된 박판형 전자부품을, 그 케이스체 내에서 그 케이스체의 천장에 형성된 팬 필터 유닛으로부터 그 케이스체 내로 분출시키는 청정공기 하에서 그 케이스체 내의 반송 로봇에 의해 소정 위치 사이에서 자동적으로 이동탑재하는 장치에 있어서,상기 팬 필터 유닛은 0.1㎛ 이상의 입자를 99.999% 이상 제거하는 필터를 구비하고,상기 케이스체는 상기 반송 로봇의 중위부에서 그 반송 로봇의 아암의 하측에 수평으로 배치된 공기유통 가능한 제 1 플로어를 구비하고, 상기 팬 필터 유닛과 그 제 1 플로어 사이에 제 1 실을 구획 형성하는 동시에, 외부에 대하여 공기유통 가능한 케이스체 바닥부와 그 제 1 플로어 사이에 제 2 실을 구획 형성하는 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 실의 벽이 상하로 이동하는 도어를 구비하고,상기 도어를 위한 상기 제 2 실 측에 있는 도어 통로가 격벽으로 덮이고,상기 제 1 실에서 상기 제 2 실로 유입되는 청정공기가 상기 도어 통로를 지나 직접 상기 케이스체 바닥부로 배출되는 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 실의 벽에 형성된 도어 프레임부와 이것에 인접하여 설치되는 상기 도어 사이 및/또는 상기 도어 프레임부와 카세트 사이, 그리고 상기 제 1 플로어와 상기 반송 로봇의 몸체 사이에 폭 1㎜ 이상 30㎜ 이하의 간극을 형성하는 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반송 로봇이,상기 아암의 관절부에 형성된 발진 방지 시일 구조, 및상기 아암을 지지하는 몸체의 강하 작동과 함께 그 몸체 내의 공기를 하향으로 배출하는 통기구를 구비하는 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 케이스체는, 상기 반송 로봇의 기대 부근에 수평으로 배치되어 외부에 대한 상기 케이스체 바닥부의 개구율을 변화시키는 공기유통 가능한 제 2 플로어를 구비하는 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 플로어의 개구율이 5% 이상 50% 이하이고, 또한 상기 케이스체 바닥부의 개구율이 5% 이상 70% 이하인 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 실의 내압이 상기 제 2 실의 내압보다 높고,상기 제 2 실의 내압이 0.1Pa 이상인 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 실의 환기 회수가 1분당 5회 이상 45회 이하인 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 팬 필터 유닛으로부터 상기 제 1 실로 상기 청정공기가 분출되는 속도가 0.1m/초 이상 0.65m/초 이하인 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 케이스체의 한쪽 벽에 상기 제 1 실 및 상기 제 2 실 중 적어도 한쪽에 개구되는 개구부를 갖고,상기 한쪽 벽에 대한 상기 개구부의 개구율이 20% 이하이고,상기 제 1 실의 내압이 0.1Pa 이상이고,상기 제 1 실의 환기 회수가 1분당 10회 이상 45회 이하인 것을 특징으로 하는, 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치.
- 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 박판형 전자부품 클린 이동탑재장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 박판형 전자제품 제조 시스템.
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