JP2000357641A - クリーンルーム設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】中間室や密閉容器の内部が汚染されることを防
止できるクリーンルーム設備を提供する。 【解決手段】本発明のクリーンルーム設備１０によれ
ば、中間室２２のクリーンルーム２０側にロードポート
２８の駆動室４０が配設される。駆動室４０内には、エ
アカーテン発生器５６及び排気装置５８が設けられ、エ
アカーテン発生器５６によって連通口４４にエアカーテ
ンが常時形成されるとともに、駆動室４０内のエアが床
下空間３４に排気されて駆動室４０と中間室２２の内圧
が略等しくなるように制御される。また、ロードポート
２８のカバー６０内には、エアシャワー装置５４が設け
られ、このエアシャワー装置５４によって上昇移動する
扉３６ａにエアが噴射される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム設
備に係り、特にウェーハを密閉容器に収容して移送する
クリーンルーム設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハを製造又は洗浄するクリーンル
ーム設備は、クリーンルームの内部にウェーハ製造装置
やウェーハ洗浄装置等が収納された装置室が設けられる
とともに、この装置室の入口に沿って、高い清浄度に維
持された中間室が配設されている。そして、装置室内で
製造又は洗浄されたウェーハは、中間室内に設置された
移送台車により密閉容器内に収容され、この密閉容器ご
と自走台車（ＡＧＶ）でクリーンルーム内を移送され
る。このようなクリーンルーム設備では、クリーンルー
ム内を比較的低い清浄度に保ち、中間室及び密閉容器の
内部を高い清浄度に保つ必要がある。

【０００３】ところで、前記中間室のクリーンルーム側
には、ロードポートが配設されている。ロードポート
は、密閉容器がウェーハ受渡口まで移送されると、密閉
容器の内部が清浄度の低いクリーンルーム内に曝されな
いように密閉容器の扉を開閉する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルーム設備では、密閉容器の扉を開閉した際に
ロードポート内で塵埃が発生し、この塵埃が中間室内に
拡散して中間室を汚染するという欠点があった。さら
に、拡散した塵埃が開かれた密閉容器の扉の内側に付着
し、この扉を閉じた際に塵埃が密閉容器の内部に入り込
んで、密閉容器の内部が汚染されるという欠点もあっ
た。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、中間室や密閉容器の内部が汚染されることを防
止できるクリーンルーム設備を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は前
記目的を達成するために、クリーンルーム内に設けられ
た装置室の入口に沿ってウェーハ受渡口を有する高清浄
度の中間室を配設し、該中間室を介して扉付き密閉容器
内のウェーハを前記装置室との間で受け渡すとともに、
前記ウェーハ受渡口にセットされた前記密閉容器の扉を
開閉するためのロードポートを備えたクリーンルーム設
備において、前記ロードポート本体内に配設された駆動
部と前記中間室内に配設された開閉操作部とを連通口を
介して連結し、前記駆動部で前記開閉操作部を駆動する
ことにより前記扉を前記中間室の内側から開閉する開閉
機構と、前記連通部に前記ロードポート本体内と前記中
間室内とを仕切るエアカーテンを形成するエアカーテン
形成手段と、を備えたことを特徴とする。

【０００７】請求項１記載の発明によれば、開閉操作部
が密閉容器の扉を中間室の内側から開閉するので、密閉
容器内のウェーハは高清浄度の中間室と同じ清浄な環境
下におかれる。そして、エアカーテン形成手段がロード
ポート本体と中間室との連通口にエアカーテンを形成す
るので、ロードポート本体内の駆動部で塵埃が発生して
もその塵埃は中間室に飛散されず、中間室及び密閉容器
の内部は高い清浄度に保たれる。

【０００８】請求項２記載の発明によれば、排気手段が
ロードポート本体内のエアを中間室以外に排気するの
で、前記エアカーテン形成手段がエアカーテンを形成し
ても前記ロードポート本体の内圧が中間室の内圧よりも
高くならない。したがって、ロードポート本体の駆動部
で発生した塵埃が、ロードポート本体と中間室との圧力
差によって中間室に流れ込むことを防止することができ
る。

【０００９】また、請求項４記載の発明は前記目的を達
成するために、クリーンルーム内に設けられた装置室の
入口に沿ってウェーハ受渡口を有する高清浄度の中間室
を配設して該中間室を介して扉付き密閉容器内のウェー
ハを前記装置室との間で受け渡すとともに、前記ウェー
ハ受渡口にセットされた前記密閉容器の扉を開閉するた
めのロードポートを備えたクリーンルーム設備におい
て、前記ロードポートにより開かれた扉の内側をエア洗
浄するエアシャワー手段を設けたことを特徴とする。

【００１０】請求項４記載の発明によれば、前記エアシ
ャワー手段によって密閉容器の扉が清掃されるので、塵
埃が密閉容器の扉に付着して密閉容器内に入り込むこと
を防止することができる。

【００１１】また、請求項５記載の発明は前記目的を達
成するために、クリーンルーム内に設けられた装置室の
入口に沿ってウェーハ受渡口を有する高清浄度の中間室
を配設して該中間室を介して扉付き密閉容器内のウェー
ハを前記装置室との間で受け渡すとともに、前記ウェー
ハ受渡口にセットされた前記密閉容器の扉を開閉するた
めのロードポートを備えたクリーンルーム設備におい
て、前記ロードポート本体内に配設された駆動部と前記
中間室内に配設された開閉操作部とを連通口を介して連
結し、前記駆動部で前記開閉操作部を駆動することによ
り前記扉を前記中間室の内側から開閉する開閉機構と、
前記連通部に前記ロードポート本体内と前記中間室内と
を仕切るエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段
と、前記エアカーテン形成手段により吹き出したエア量
に応じて前記ロードポート本体内のエアを前記中間室以
外に排気する排気手段と、前記開閉機構により開かれた
扉の内側をエア洗浄するエアシャワー手段と、前記中間
室のウェーハ受渡口に前記密閉容器をセットして前記ウ
ェーハの受け渡しを行う間中、前記エアカーテン形成手
段と前記排気手段とを作動させるとともに前記ウェーハ
の受け渡しが終了して前記扉を閉じる際に前記エアシャ
ワー手段を作動させる制御装置と、を備えたことを特徴
とする。

【００１２】請求項５記載の発明によれば、制御装置が
エアカーテン形成手段と排気手段を常時作動させるの
で、ロードポート本体内の駆動部で発生した塵埃が中間
室に流れ込むことを確実に防止することができ、中間室
を常に高い清浄度に保つことができる。また、本発明に
よれば、制御装置が扉を閉じる際にエアシャワー手段を
作動させるので、塵埃が扉に付着して密閉容器に入り込
むことを確実に防止することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って、本発明に
係るクリーンルーム設備の好ましい実施の形態について
詳説する。

【００１４】本発明の実施の形態に係るクリーンルーム
設備１０は、図１に示すように、クリーンルーム２０の
内部に装置室２１が設置されている。クリーンルーム２
０は、天井面にファンフィルタユニット（以下ＦＦＵ）
２３、２３…が設置されるとともに、床面に多数の貫通
孔が形成されたグレーチング３３が敷設されている。こ
れにより、クリーンルーム２０内には、ＦＦＵ２３、２
３…によって天井裏空間３５のエアが除塵されて吹き出
され、吹き出されたエアは、クリーンルーム２０内の塵
埃と共にグレーチング３３を介して床下空間３４に排気
される。これにより、クリーンルーム２０の清浄度はク
ラス１０００程度に維持される。

【００１５】前記装置室２１は、製造装置や洗浄装置等
（図示せず）が収納され、この装置室２１内でウェーハ
Ｗが製造又は洗浄される。装置室２１のクリーンルーム
２０側の入口には、中間室（ミニエンバイロメント）２
２が配設されている。中間室２２の上面には、ＦＦＵ２
４が配設され、このＦＦＵ２４から噴射された清浄空気
によって中間室２２内の清浄度はクラス１程度に維持さ
れる。中間室２２の内部には、移載機２７が配設され、
この移載機２７により装置室２１と、扉３６ａ付きの密
閉容器３６との間でウェーハＷの受け渡しが行われる。
そして、密閉容器３６に収容された多数枚のウェーハＷ
は、自走台車３７によりクリーンルーム２０内を移送さ
れる。

【００１６】中間室２２のクリーンルーム２０側には、
密閉容器３６を上面に載置するとともに、この密閉容器
３６の扉３６ａを開閉するロードポート２８が配置され
ている。ロードポート２８は、図２に示すように、中間
室２２に隣接された駆動室（ロードポート本体に相当）
４０を有し、この駆動室４０の内部にモータ等の駆動装
置４６が設置される。駆動装置４６は、中間室２２内に
設けられた開閉装置４８と、連通口４４に挿通された連
結部（図示せず）を介して連結され、駆動装置４６を駆
動することにより開閉装置４８が前後上下に移動され
る。この開閉装置４８には、支持部５０を介してオープ
ナー５２が取り付けられている。オープナー５２には、
図示しない吸着手段が設けられ、この吸着手段を駆動す
ることにより密閉容器３６の扉３６ａがオープナー５２
に吸着される。また、前記開閉装置４８、支持部５０、
及びオープナー５２からなる開閉操作部は、駆動室４０
の中間室２２側に取り付けられたカバー６０によって覆
われている。

【００１７】前記ロードポート２８で密閉容器３６の扉
３６ａを開く際には、まず、駆動室４０の上面に密閉容
器３６を載置し、そして、吸着手段を駆動して扉３６ａ
をオープナー５２に吸着する。次に、駆動装置４６を駆
動し、開閉装置４８を水平方向に移動させて、オープナ
ー５２に吸着した扉３６ａを密閉容器３６から取り外
す。次いで、開閉装置４８を下方にスライドさせること
により取り外した扉３６ａをカバー６０の内部に収納す
る。逆に、扉３６ａを閉じる際は、開閉装置４８を上
方、そして水平にスライドさせて扉３６ａを密閉容器３
６に嵌め込んだ後、吸着手段を停止する。なお、この密
閉容器３６の扉３６ａの開閉は、密閉容器３６の内部を
クリーンルーム２０内に曝さないようにして行われ、密
閉容器３６を自走台車３７で移送する際には、受渡口６
４を図示しない開閉扉で閉塞する。

【００１８】また、前記カバー６０内の上端には、エア
シャワー装置５４が設けられる。エアシャワー装置５４
は、扉３６ａの内側面（扉３６ａを閉じた時に密閉容器
３６の内側を構成する面）に向けて下向きにエアを噴射
するように構成される。このエアシャワー装置５４は、
制御装置６２によって制御され、扉３６ａを上方にスラ
イドさせる時にのみ駆動される。

【００１９】また、前記駆動室４０の内部には、連通口
４４の上方にエアカーテン発生器５６が設けられる。こ
のエアカーテン発生器５６は、制御装置６２によって制
御され、ウェーハＷの受渡しを行う際に常時、下向きに
エアを噴射して、連通口４４にエアカーテンを形成す
る。

【００２０】さらに、前記駆動室４０の内部には、駆動
装置４６の下方に排気装置５８が設けられ、この排気装
置５８によって駆動室４０内のエアが床下空間３４に排
気される。排気装置５８は制御装置６２に接続され、駆
動室４０の内圧が中間室２２と同じ内圧になるように排
気量が制御される。即ち、制御装置６２は、エアシャワ
ー装置５４及びエアカーテン発生器５６から噴射された
エア量に応じて排気装置５８の排気量を増減させるよう
に制御し、例えば、エアシャワー装置５４とエアカーテ
ン発生器５６を駆動した場合には、排気装置５８の排気
量を増加させる。

【００２１】次に上記の如く構成されたクリーンルーム
設備１０の作用について説明する。

【００２２】ロードポート２８内の駆動装置４６を駆動
して密閉容器３６の扉３６ａを開閉すると、駆動装置４
６から多くの塵埃が発生する。そして、この塵埃が駆動
室４０から連通口４４を介して中間室２２に拡散する
と、中間室２２は塵埃によって汚染される。そこで、本
実施の形態のクリーンルーム設備１０では、エアカーテ
ン発生器５６と排気装置５８とをウェーハＷの受け渡し
中、常時駆動する。これにより、連通口４４にエアカー
テンが形成され、このエアカーテンにより駆動室４０と
中間室２２とが遮断されるので、駆動室４０で発生した
塵埃は中間室２２内に拡散されない。このとき、排気装
置５８が駆動室４０内のエアを床下空間３４に排気する
ので、駆動室４０の内圧と中間室２２の内圧は常に略等
しく保たれる。したがって、駆動室４０内の駆動装置４
６から発生した塵埃は、中間室２２に拡散されることな
くスムーズに床下空間３４に排出される。これにより、
中間室２２の内部を常に高い清浄度に保つことができ
る。

【００２３】また、中間室２２内を飛散していた塵埃
が、密閉容器３６の開いた扉３６ａの内側面に付着する
ことがある。この状態で扉３６ａを閉じると、密閉容器
３６の内部に塵埃が入り込み、密閉容器３６の内部が汚
染される。そこで、本実施の形態のクリーンルーム設備
１０では、開いた扉３６ａを上方にスライドさせる際に
エアシャワー装置５４を駆動し、扉３６ａの内側面にエ
アを噴射する。これにより、扉３６ａに付着した塵埃が
飛散し、扉３６ａの内側面が清掃されるので、扉３６ａ
を閉じても密閉容器３６の内部が汚染されることがな
い。また、本実施の形態では、エアシャワー装置５４が
下向きにエアを噴射しているので、扉３６ａから飛散し
た塵埃は、中間室２２に拡散されることなく連通口４４
を介して駆動室４０に排出される。したがって、扉３６
ａを清掃したことによって中間室２２が汚染されること
がない。さらに、本実施の形態では、エアシャワー装置
５４を駆動した際に、制御装置６２が排気装置５８の排
気量を増加させるので、駆動室４０内に流れ込んだ塵埃
が中間室２２内に逆流することがない。

【００２４】このように本実施の形態のクリーンルーム
設備１０では、エアカーテン発生器５６が常時連通口４
４にエアカーテンを形成するとともに、排気装置５８が
駆動室４０の内圧の上昇を防止するので、駆動室４０で
発生した塵埃を中間室２２内に拡散させることなく床下
空間３４に排出させることができ、中間室２２を常に高
い清浄度に維持することができる。

【００２５】また、本実施の形態では、密閉容器３６の
扉３６ａを閉じる際にエアシャワー装置５４が扉３６ａ
にエアを噴射して内側面を清掃するので、塵埃が扉３６
ａの内側面に付着して密閉容器３６内に入り込むことを
防止することができ、密閉容器３６内を常に高い清浄度
に保つことができる。しかも、本実施の形態では、エア
シャワー装置５４が下向きにエアを噴射しているので、
扉３６ａから飛散した塵埃が中間室２２内に拡散するこ
とを防止することができる。

【００２６】また、本実施の形態では、扉３６ａが上昇
するにつれて扉３６ａが清掃されるので、エアシャワー
装置５４を上下にスライドさせたり、扉３６ａの内側面
全体に同時にエアを噴射したりしなくても、扉３６ａの
内側面全体を効率よく清掃することができる。さらに、
本実施の形態では、閉める直前の扉３６ａにエアを噴射
しているので、清掃した扉３６ａに再び塵埃が付着する
ことを防止することができる。

【００２７】なお、エアシャワー装置５４の設置位置や
エアの噴射方向は、上述した実施の形態に限られるもの
ではなく、扉３６ａの内側面を清掃できるのであればよ
い。例えば、連通口４４の上端や、ロードポート２８外
にエアシャワー装置５４を設けても良い。また、上述し
た実施の形態では、扉３６ａを閉じる時にのみエアシャ
ワー装置５４を駆動したが常時駆動してもよい。さら
に、エアを噴射して扉３６ａを清掃するものに限定され
ず、扉３６ａの内側面を清掃できるのであればよい。

【００２８】また、本実施の形態では、駆動室４０内に
排気装置５８を設置したが、これに限定するものではな
く、グレーチング床３３に排気装置５８を組み込んだ
り、駆動室４０の下方の床下空間３４に排気装置５８を
設置してもよい。

【００２９】また、エアカーテン発生器５６の代わり
に、駆動装置４６の上部に小型のＦＦＵを設置し、この
ＦＦＵから清浄エアを駆動装置４６に向けてダウンフロ
ーしてもよい。この場合にも、駆動装置４６から発生し
た塵埃を効率よく床下空間３４に排出し、中間室２２内
に塵埃が拡散されることを防止することができる。

【００３０】また、エアカーテン発生器５６を駆動室４
０の内部に設けたが、カバー６０や中間室２２の内部に
設けてもよい。さらに、エアカーテン発生器５６とエア
シャワー装置５４を一体化しても良い。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルーム設備によれば、ロードポート本体と中間室との連
通口にエアカーテンを形成するので、ロードポート本体
内の駆動部で発生した塵埃が中間室内に拡散することが
なく、中間室を常に高い清浄度に維持することができ
る。また、本発明のクリーンルーム設備によれば、開か
れた扉の内側にエアを吹きかけて扉を清掃するので、扉
を閉じても塵埃が密閉容器内に入り込むことがなく、密
閉容器を常に清浄な空間に維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のクリーンルーム設備を示
す模式図

【図２】図１に示したロードポートの模式図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム設備、２０…クリーンルーム、２
１…装置室、２２…中間室、２３、２４…ＦＦＵ、２８
…ロードポート、３６…密閉容器、３６ａ…扉、４０…
駆動室、４４…連通口、４６…駆動装置、５２…オープ
ナー、５４…エアシャワー装置、５６…エアカーテン発
生器、５８…排気装置、６０…カバー、６２…制御装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 浩二 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 平田 順太 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 鈴木 道夫 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 小林 義明 東京都小平市上水本町５丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 徳永 謙二 東京都小平市上水本町５丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 Ｆターム(参考） 3L058 BF04

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルーム内に設けられた装置室の入
   口に沿ってウェーハ受渡口を有する高清浄度の中間室を
   配設し、該中間室を介して扉付き密閉容器内のウェーハ
   を前記装置室との間で受け渡すとともに、前記ウェーハ
   受渡口にセットされた前記密閉容器の扉を開閉するため
   のロードポートを備えたクリーンルーム設備において、 前記ロードポート本体内に配設された駆動部と前記中間
   室内に配設された開閉操作部とを連通口を介して連結
   し、前記駆動部で前記開閉操作部を駆動することにより
   前記扉を前記中間室の内側から開閉する開閉機構と、 前記連通部に前記ロードポート本体内と前記中間室内と
   を仕切るエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段
   と、 を備えたことを特徴とするクリーンルーム設備。
2. 【請求項２】前記エアカーテン形成手段により吹き出し
   たエア量に応じて前記ロードポート本体内のエアを前記
   中間室以外に排気する排気手段を設けたことを特徴とす
   る請求項１記載のクリーンルーム設備。
3. 【請求項３】前記開閉機構により開かれた扉の内側をエ
   ア洗浄するエアシャワー手段を設けたことを特徴とする
   請求項１又は２記載のクリーンルーム設備。
4. 【請求項４】クリーンルーム内に設けられた装置室の入
   口に沿ってウェーハ受渡口を有する高清浄度の中間室を
   配設して該中間室を介して扉付き密閉容器内のウェーハ
   を前記装置室との間で受け渡すとともに、前記ウェーハ
   受渡口にセットされた前記密閉容器の扉を開閉するため
   のロードポートを備えたクリーンルーム設備において、 前記ロードポートにより開かれた扉の内側をエア洗浄す
   るエアシャワー手段を設けたことを特徴とするクリーン
   ルーム設備。
5. 【請求項５】クリーンルーム内に設けられた装置室の入
   口に沿ってウェーハ受渡口を有する高清浄度の中間室を
   配設して該中間室を介して扉付き密閉容器内のウェーハ
   を前記装置室との間で受け渡すとともに、前記ウェーハ
   受渡口にセットされた前記密閉容器の扉を開閉するため
   のロードポートを備えたクリーンルーム設備において、 前記ロードポート本体内に配設された駆動部と前記中間
   室内に配設された開閉操作部とを連通口を介して連結
   し、前記駆動部で前記開閉操作部を駆動することにより
   前記扉を前記中間室の内側から開閉する開閉機構と、 前記連通部に前記ロードポート本体内と前記中間室内と
   を仕切るエアカーテンを形成するエアカーテン形成手段
   と、 前記エアカーテン形成手段により吹き出したエア量に応
   じて前記ロードポート本体内のエアを前記中間室以外に
   排気する排気手段と、 前記開閉機構により開かれた扉の内側をエア洗浄するエ
   アシャワー手段と、 前記中間室のウェーハ受渡口に前記密閉容器をセットし
   て前記ウェーハの受け渡しを行う間中、前記エアカーテ
   ン形成手段と前記排気手段とを作動させるとともに、前
   記ウェーハの受け渡しが終了して前記扉を閉じる際に前
   記エアシャワー手段を作動させる制御装置と、 を備えたことを特徴とするクリーンルーム設備。