JP4526136B2 - 被処理物搬送装置、半導体製造装置及び被処理物の処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、チャンバ内で被処理物を搬送する被処理物搬送装置、この被処理物搬送装置を備えた半導体製造装置、及びこの半導体製造装置を用いた被処理物の処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図8に従来の半導体製造装置の要部を構成する被処理物を搬送する被処理物搬送装置を示す。真空チャンバは、縦型の真空チャンバ1と、これの上下に横に連結される2つの連結チャンバ2、3とから構成され、半導体ウェハを納めたウェハカセットまたは半導体ウェハなどの被処理物4を、真空チャンバ1と連結チャンバ2、3との間で搬送できるようになっている。図8(a) は真空チャンバ1と上部連結チャンバ2間の矢印Bで示す水平方向の搬送状態を示す正面図、(b) は(a) の側面図、(c) は真空チャンバ1内での矢印Aで示す垂直方向の搬送状態を示す正面図、(d) は真空チャンバ1と下部連結チャンバ3間の矢印Bで示す水平方向の搬送状態を示す正面図である。
【0003】
被処理物搬送ロボット12を昇降させる昇降機構16は真空チャンバ1内に配置される。この昇降機構16の構成を説明すると、真空チャンバ1内の上下に配設したエレベータ取付ベース5、6間に、直状のガイドシャフト7とボールねじ8とが平行に立設される。このボールねじ8にガイドシャフト7に沿って昇降する昇降台9を取り付ける。このために昇降台9にボールねじ8と螺合するねじ孔と、ガイドシャフト7を遊嵌するガイド孔とを設け、ボールねじ8に昇降台9を螺合して、ボールねじ8を回転させることにより、ガイドシャフト7に沿って昇降台9を昇降するようになっている。ボールねじ8を回転させる駆動源であるモータ10は大気対応として真空チャンバ1外の大気中に設置される。これは真空対応のモータが高価だからである。モータ10の回転軸は磁気シール11を介して真空チャンバ1内に挿入され、エレベータ取付ベース5を介してボールねじ8に連結され、モータ回転軸の回転がボールねじ8に伝達されるようになっている。
【0004】
昇降台9だけでは被処理物4に垂直方向(矢印A)の昇降動作しか得られないため、昇降台9に被処理物搬送ロボット12を連結して、被処理物4の水平方向(矢印B)の動作を含めた複合動作を得るようにしてある。被処理物搬送ロボット12は、搬送アーム13とモータなどからなる駆動部14とから構成され、駆動部14によって搬送アーム13を伸縮ないし旋回して、ウェハを載せたウェハカセットなどの被処理物4を水平方向に搬送する。
【0005】
被処理物搬送ロボット12全体を昇降させないのであれば、被処理物搬送ロボット12の駆動部14を真空チャンバ1の外部に設けることは可能であるが、被処理物搬送ロボット12全体を昇降させるため、駆動部14を外部との連絡を断たれた気密容器15内に収容し、駆動部14の動作に伴って発生する塵が真空チャンバ1内に飛び散らないようにしてある。前述したのと同じ理由で、駆動部14を真空対応にすると高価になるから、通常気密容器15内は大気圧として、大気圧対応の安価な駆動部を使う。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来の被処理物搬送装置には次のような問題点があった。
【0007】
(1) 真空チャンバ1内に、ガイドシャフト7、ボールねじ8、昇降台9等の摺動部を有する昇降機構16を配置してあるため、摺動部からパーティクル等が発生し、真空チャンバ1内のクリーン環境を汚す可能性があるうえ、昇降機構16が真空チャンバ1内にあるため真空チャンバ1が大型化する。
【0008】
(2) 昇降台9に連結された気密容器15内の駆動部14は大気圧対応であるため、気密容器15の気密が漏れて真空チャンバ1内と同様に気密容器15内が真空になると、真空対応でない駆動部14が破損して安定に稼働できなくなる可能性がある。これを防ぐには駆動部14を高価な真空対応にしなければならない。
【0009】
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、チャンバ内に設けられる被処理物搬送手段を安定に稼働させることができる被処理物搬送装置、半導体製造装置及び被処理物の処理方法を提供することにある。また本発明の目的は、チャンバ内での発塵を低減し、チャンバを小形化できる被処理物搬送装置、半導体製造装置、及び被処理物の処理方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、チャンバと、前記チャンバ内に設けられ、搬送部及び前記搬送部を駆動する駆動部とを有して、前記駆動部で前記搬送部を駆動して前記搬送部に載置される前記被処理物を搬送する被処理物搬送手段と、前記被処理物搬送手段の前記駆動部を前記チャンバ内で気密に格納する気密容器と、前記チャンバの外側から前記チャンバ内に気密に挿入されて前記気密容器に連結され、前記チャンバに対して前記気密容器を進退させて前記チャンバ内で前記被処理物搬送手段全体を移動するシャフトと、前記チャンバ外に設けられ、前記シャフトを進退させる移動機構と、前記シャフトに設けられ、前記気密容器を前記チャンバの外部に通じて前記気密容器内を外部雰囲気とする通気路とを備えた被処理物搬送装置である。前記チャンバ内の圧カは、真空であっても大気圧であっても、さらにはその他の圧力であっても良い。
【0011】
チャンバの外に設けた移動機構を動かすと、シャフトを介してチャンバ内に収納した気密容器が移動するため、気密容器に取り付けられた被処理物搬送手段全体が移動する。気密容器内の駆動部は気密容器が外部に通じているため、外部雰囲気下で動かすことができる。駆動部を動かすと、被処理物搬送手段自体が動いて、搬送部上に載せた被処理物がチャンバ内の他の場所、もしくはチャンバと連結された他の連結チャンバへ搬送される。
【0012】
チャンバ内に設けられた被処理物搬送手段のうち、搬送部はチャンバ内で露出しているが、駆動部は外部と通ずる気密容器で気密に格納された構成である。したがって、被処理物搬送手段をチャンバ内で稼働させても、チャンバの雰囲気にさらされる搬送部と異なり、駆動部はチャンバの雰囲気にさらされないため、チャンバ内の圧力に対応させる必要がなく、安価な大気対応型でよい。また、気密容器は外部と通じているため、たとえ気密容器の気密が漏れても、チャンバ内が外部雰囲気となるだけで、気密容器内の雰囲気には変化が生じないので、気密漏れによって駆動部が故障するようなことはない。
【0013】
また、移動機構をチャンバの外部に設けたので、移動機構の動作時に生じる発塵がチャンバ内で生じることはなく、チャンバのクリーン度が向上する。また、チャンバ内に移動機構を収納する必要がないため、チャンバを小形化でき、装置のコストダウンが図れる。
【0014】
第2の発明は、第1の発明において、前記通気路に、前記チャンバの外部から前記気密容器に対して不活性ガス又は大気雰囲気もしくはそれらの混合ガスを供給及び排気する給排路を備えた被処理物搬送装置である。
【0015】
気密容器内を単に外部雰囲気とするのではなく、通気路に積極的に給排路を設けるようにして、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスのいづれか又は大気雰囲気(エアー)、もしくはそれらの混合ガスを気密容器内に供給すれば、真空容器内に格納されている被処理物搬送手段を構成する駆動部のモータ等を冷却することができ、駆動部の寿命をより長期化することができる。また、気密容器内へ供給したガスは気密容器内を循環してから排気されるため、駆動部から発生する汚染物質を気密容器内から排除することができるので、もし気密容器の気密が漏れた場合でも、チャンバ内への汚染量を低減することができる。
【0016】
第3の発明は、第2の発明において、前記シャフトに設けた前記通気路を介して前記チャンバの外部から前記気密容器内に格納された駆動部に配線を通した被処理物搬送装置である。このようにシャフトに設けた通気路を利用するという簡単な構造で、駆動部に必要な信号ラインや電源ライン等の接続も可能となる。
【0017】
第4の発明は、第1〜第3の発明において、前記シャフトをベローズで覆い、ベローズ始端をOリングなどからなる封止手段でチャンバに固着し、ベローズ終端をOリングなどからなる封止手段で移動機構に固着して、前記シャフトが挿入される前記チャンバを気密構造とした被処理物搬送装置である。Oリングなどからなる封止手段によりシャフトとチャンバ、およびシャフトと移動機構とのシールを容易かつ安価に確保でき、ベローズによりシャフトの軸方向運動に対するシールを容易かつ安価に確保できる。封止手段にはOリングの他にテフロンリングでも、エラストマーガスケットでもよい。
【0018】
第5の発明は、第1〜第4の発明において、前記被処理物が半導体ウェハ、ガラス基板またはこれらを収容するためのカセットである被処理物搬送装置である。本発明の被処理物搬送手段は、被処理物が半導体ウェハ、ガラス基板またはこれらを収容するためのカセットである場合に特に好適に使用される。
【0019】
第6の発明は、第1の発明〜第5の発明において、前記チャンバ内を真空としたことを特徴とする。外部と通ずる気密容器内に駆動部を納めた構成であるため、被処理物搬送手段を真空のチャンバ内で稼働させても、駆動部については真空対応が不要となる。また、気密容器は外部と通じているため、たとえ気密容器の気密が漏れても、チャンバ内が外部雰囲気となるだけで、気密容器は外部雰囲気のままで変らないので、これが原因で駆動部が故障するようなことはない。
【0020】
第7の発明は、第1の発明〜第5の発明において、前記チャンバ内を大気圧としたことを特徴とする。チャンバ内の圧力を大気圧とすると、駆動部からの発塵によりチャンバ内を汚染することはなく、また外気と連通していることから駆動部を冷却でき、更には不活性ガス等を供給すれば駆動部の冷却効果が向上する。
【0021】
第8の発明は、第1の発明〜第7の発明の被処理物搬送装置を備えた半導体製造装置である。上述した被処理物搬送装置を半導体製造装置に組込むことにより、より信頼性の高い半導体製造装置が得られる。
【0022】
第9の発明は、チャンバと、前記チャンバに気密に連結された被処理物を処理する処理室と、前記チャンバ内に設けられ、アーム部と前記アーム部を駆動する駆動部とを有して、駆動部でアーム部を駆動してアーム部に載置された被処理物を搬送する被処理物搬送手段と、前記被処理物搬送手段の駆動部を前記チャンバ内で気密に格納する気密容器と、前記気密容器を前記チャンバの外部に通じる通気路と、前記チャンバの外側から前記チャンバ内に気密に挿入されて前記気密容器に連結され、前記チャンバに対して前記気密容器を進退させて前記チャンバ内で前記被処理物搬送手段を移動するシャフトとを備えた半導体製造装置を用いる。
【0023】
前記気密容器を前記通気路を介して外部雰囲気としたうえで、前記シャフトを進退させて前記チャンバ内の前記処理室に対応する位置に前記被処理物搬送手段を一体に移動させ、前記被処理物搬送手段を移動後、前記気密容器内に格納された駆動部により前記被処理物搬送手段のアーム部を動かして、前記アーム部に載置された前記被処理物を前記チャンバから前記処理室に搬送し、前記処理室に搬送した被処理物を前記処理室内の被処理物載置部に載置させ、前記被処理物載置部に載置された被処理物に所定の処理を施すようにした被処理物の処理方法である。
【0024】
気密容器を外部と連通させるようにしたので、チャンバを真空にする場合、気密容器は外部雰囲気となるだけだから、駆動部を真空対応とする必要がない。また気密容器の気密が漏れることにより駆動部が破損して被処理物の処理工程が途中で停止されることがなく、被処理物の生産コストを低減できる。尚、前記気密容器の気密漏れが生じた場合には、処理工程以外の時にメンテナンスを行えば良い。更にはチャンバが真空であっても、大気圧であっても駆動部を気密容器に格納しているので、チャンバ内が発塵により汚染されず、処理される被処理物を清浄に保つことができる。更にはチャンバが真空であっても、大気圧であっても気密容器がチャンバ外部と連通しているので、駆動部が冷却されて寿命が延び、長期的に被処理物搬送手段の運用が図れ、被処理物の処理工程が途中で停止される回数が減り、被処理物の生産コストを低減できる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の被処理物搬送装置、半導体製造装置及び被処理物の処理方法の実施の形態について説明する。
【0026】
図1は移動機構としての昇降機構30を真空チャンバ21の外に設けた第1実施形態を示す。基板やウェハカセットなどの被処理物24を扱う真空チャンバ21内には被処理物搬送ロボット32が設けられる。前記真空チャンバ21の上下の横に連結チャンバ22、23がそれぞれ連結され、被処理物搬送ロボット32によって真空チャンバ21とこれらの連結チャンバ22、23間に被処理物24搬送できるようになっている。被処理物搬送ロボット32を昇降する昇降機構30を構成するエレベータ取付ベース25、26、ガイドシャフト(図示略)、ボールねじ28、及びこれに取り付けられた昇降台29は、ボールねじ回転用のモータ20と同様に真空チャンバ21の外に配置する。
【0027】
前記被処理物搬送ロボット32は、被処理物24を搬送する搬送アーム33と、搬送アーム33を駆動する駆動部34とから構成され、駆動部34は気密容器35内に格納されている。この被処理物搬送ロボット32と昇降台29に取り付けた支持部41とは、真空チャンバ21内に進退自在に挿入したシャフト42で連結され、モータ20と連動したボールねじ28の回転による昇降台29の昇降動作を真空チャンバ21内の被処理物搬送ロボット32に伝える。シャフト42は真空チャンバ21に対して気密に設ける。気密は、封止手段例えばOリング44とベローズ43により確保する。ベローズ43はシャフト42の外周に被せて、その上端をOリング44を介して真空チャンバ21に取り付け、その下端をOリング44を介して昇降台29の支持部41に取付ける。Oリング44はシャフト42と支持部41との連結部にも設ける。
【0028】
シャフト42の倒れを防止するために、シャフト42と支持部41とはネジ40で連結する。また溶接で連結しても良い。その場合、支持部41とシャフト42間に介在させた気密保持用のOリング44は不要である。前記ベローズ43は高耐圧、高耐熱とするために、その材質にステンレス鋼を使用する。
【0029】
上記のように構成すると、真空チャンバ21内に、ガイドシャフト、ボールねじ28、昇降台29等の摺動部が存在しないので、摺動部に起因するパーティクル等が発生せず、真空チャンバ21内のクリーン環境を保つことができる。また、昇降機構30がチャンバ21の外部にあるため真空チャンバ21を小形化できる。
【0030】
さて、前記真空チャンバ21内に設けられた被処理物搬送ロボット32は、搬送アーム33を駆動したり、制御したりするために、外部から真空チャンバ21内に配線を導入して駆動部34に接続する必要がある。配線導入は、真空チャンバ21に配線用取出し口を気密に設けることにより行える。しかし、このようにすると構造が複雑になる。そのために図2に示す第2の実施形態のように、シャフト42を中空構造とし、通気路としての中空部45に駆動部34の制御に必要な電源ライン、信号ライン、センサライン(図示略)等を通して、駆動部34と外部機器等とを接続する。なおセンサラインは被処理物検知センサなどのセンサに接続される配線である。
【0031】
上述した第1及び第2の実施の形態ではシャフト42の軸方向運動に対する気密を確保するためにベローズ43を使用したが、図3の第3の実施形態のようにベローズを使用せず、例えば軸方向の動きを許容するが軸回り方向の動きを規制するボールスプラインのような倒れ防止のガイド47を、真空チャンバ21のシャフト挿入部に気密に取り付け、倒れ防止ガイド47の挿通孔にスプラインシャフト62を挿通し、さらに倒れ防止ガイド47とスプラインシャフト62との間にOリング46を固着して、スプラインシャフト62の軸方向運動に対する気密性を確保するようにしても良い。このように倒れ防止ガイド47とOリング46とで気密構造を構成すると、ベローズを必要としない簡単な構造で気密を確保でき、被処理物搬送ロボット12のスムーズな昇降が可能となる。
【0032】
前記真空チャンバ21に対するシャフト42の支持は、図1、図2に関しては非接触支持となり、図3に関してはスプラインシャフト62による接触支持となる。
【0033】
ところで、上述した3つの実施形態では、真空チャンバ21内に設けた気密容器35の問題に言及しなかったが、従来のように気密容器35を外部と分断して、気密容器35内を大気圧とした場合には、気密容器35の気密が漏れると、気密容器35内の雰囲気が真空チャンバ21へ流出して、気密容器35内が真空になるので、真空対応でない駆動部34が破損するという問題がある。そこで、第4の実施の形態では、気密容器35内を外部と連通させることによって、上述した問題を解消している。これを図4を用いて具体的に説明する。
【0034】
ガラス基板や半導体ウェハなどの被処理物24を扱う真空チャンバ21内には気密容器35が設けられる。気密容器35の外側に駆動により回転、伸縮する搬送アーム33が取り付けられ、内側には搬送アーム33を駆動するモータなどから構成される駆動部34が取り付けられる。
【0035】
被処理物24を扱う真空チャンバ21の外部に、気密容器35を昇降させて被処理物搬送ロボット32全体を昇降させる昇降機構30を配置する。この昇降機構30は既述したようにモータ20、エレベータ取付ベース25、26、ガイドシャフト、ボールねじ28及び昇降台29及び支持部41で構成される。
【0036】
前記昇降機構30の動きを真空チャンバ21内の気密容器35に伝えるシャフト42は、下端を昇降台29の支持部41に気密に連結し、真空チャンバ21の底部から気密に内部に挿通されて上端を気密容器35に気密に連結する。気密容器35とシャフト42とはOリング44または溶接などによって気密を確保する。またシャフト42が進退する真空チャンバ21を気密に保持するために、シャフト42を取り巻くように耐圧性ベローズ43を配置するとともに、ベローズ始端側を真空チャンバ21にOリング44を介して固着し、ベローズ終端側を昇降台29の支持部41にOリング44を介して固着する。
【0037】
前記シャフト42は中空構造にし、その中空部45を介して気密容器35を真空チャンバ21の外部と連通させて気密容器35内を常に外部雰囲気に開放する。また、中空のシャフト42内に、気密容器35内に収納された駆動部34に真空チャンバ21の外部から、被処理物搬送ロボット32を制御するに際して必要となるセンサ配線を始めとした複数本の配線48を通してロボットの制御を確保する。
【0038】
このように気密容器35をシャフト42を介して外部に開放して、気密容器35内の駆動部34を常に外部雰囲気下にさらす構成としたので、気密容器35の気密が漏れても駆動部34が破損することがなく、駆動部34の真空対応は不要となる。したがって真空チャンバ21内に設けられる被処理物搬送ロボット32を安定に稼働させることができる。また、シャフト42を中空構造にして、ここに被処理物搬送ロボット32を制御するうえに必要な配線48を走らせるようにしたので、真空チャンバ21に別個に配線用取出し口を気密に設ける必要がなく、真空チャンバ21の構造の簡素化が図れる。また、シャフト42の中空部45を利用して気密容器35を外部に連通する通気路を構成したので、通気路を確保するための部材を別途用意する必要がなく、構成の簡素化を図ることができる。
【0039】
また被処理物搬送ロボット32を駆動する発塵源となる駆動部34を真空チャンバ21内に気密容器35で覆って気密に設けるようにしたので、駆動部34を真空チャンバ21内に裸で設けるものと異なり、発塵源となる駆動部34から真空チャンバ21内への塵の侵入を遮断することができ、クリーン度が向上し、搬送装置の信頼性を向上することができる。また、真空チャンバ21内に昇降機構用のスペースを設ける必要がないので、真空チャンバ21を小さくでき、真空チャンバ21のコストダウンを図ることができる。
【0040】
次に図5を用いて駆動部34の冷却構造を説明する。ここでは、駆動部34を格納している気密容器35が外気と連通するばかりでなく、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスのいづれか又はエアー、もしくはそれらの混合ガスを気密容器35内に供給し、気密容器35から排気させるようにしてある。ガスを供給するガス供給管49は、シャフト42内の中空部45を通し、気密容器35内に引き出して、その開口となるガス供給孔50を気密容器35内の空間に配設し、気密容器35内にガスを供給するようにする。またはガス供給管49をさらに駆動部34まで引き延ばして駆動部34に接続し、駆動部34内の空間にガス供給孔50を配設して、ガスを駆動部34内に直接供給するようにする。ガス供給管49を駆動部34に接続する場合には、駆動部34内に供給されたガスを駆動部34外に排出するための通気孔39を駆動部34に設ける。気密容器3内に供給されたガスの排気は、ガス供給管49で占められ部分を除いた中空部45の残りの空隙部分で行う。本発明の給排路は、上記ガス供給管49及び中空部45の残りの空隙部分で構成される。
【0041】
気密容器35に対してガスを給排するようにすると、気密容器35を単に外気と連通する場合に比べて、気密容器35内に格納されている被処理物搬送ロボット32の駆動部34のモータ等を有効に冷却することができる。この場合、駆動部34内にまでガスを供給すると、ガス供給を気密容器35内に止めている場合に比べて、より有効に駆動部34を冷却でき、駆動部34の寿命を一層長期化することができる。また、駆動部34から発生する汚染物質を有効に排除することができるので、もし気密容器35の気密が漏れた場合においても、チャンバ21内への汚染量を低減することができる。またこの場合、排気は外気へそのまま放出するようにしても、あるいは工場側排気ガス処理システム等に接続して排気するようにしても良い。
【0042】
さて、これまでは被処理物搬送ロボット32を動かすための駆動部34の詳細について言及しなかったが、その詳細を、図6に示す2軸回転駆動装置を例に取って説明する。
【0043】
2軸回転駆動装置70は、2つのモータ71、72と、2つのモータ71、72を別々に収納する1個の容器80とから主に構成される。2つのモータ71、72をともに外気と連通させるために、一方のモータ72を覆っている円筒形の第1の回転出力軸73の外壁と、2つのモータ71、72を別々に収容するために容器80内を2つに仕切っている内壁82と、他方のモータ71を収納している部分の容器80の外壁とに、それぞれ通気孔83、84、85をそれぞれ開けてある。なお、モータ71、72を収納する容器80が直接、図4に記載されている気密容器35であっても良い。
【0044】
第1駆動用モータ71及び第2駆動用モータ72はともに汎用モータから構成される。第1駆動用モータ71のモータ回転軸71aにカップリング77を介して第1回転出力軸73が同軸的に取り付けられる。第1回転出力軸73は中空に形成されており、第1駆動用モータ側に近い軸方向の後部73bが閉じ、モータ71側から遠い前部73aが開放した円筒形をしている。第1回転出力軸73は、その中間部よりも小径に形成された前部73a及び後部73bの突起軸73eが、回転負荷保持用ベアリング75a、75bを介して外壁81、内壁82にそれぞれ回転自在に支承されている。
【0045】
中空円筒状の第1回転出力軸73内に上記第2駆動用モータ72が、そのモータ回転軸72aが第1回転出力軸73と同軸上になるように一体的に取り付けられる。この第2駆動用モータ72のモータ回転軸72aにカップリング78を介して同軸的に第2回転出力軸74が取り付けられる。この第2回転出力軸74は、中空円筒状の第1回転出力軸73の開放した前部73aから軸方向に突出して第1回転出力軸73と同軸的に配設される。第2回転出力軸74は、ベアリング75cを介して開放した前部73aの内壁に回転自在に支承されている。
【0046】
上記構成において、第2駆動用モータ72を停止保持し、第1駆動用モータ71を駆動した場合、中空円筒状の第1回転出力軸73が回転する。中空円筒状の第1回転出力軸73内に第2駆動用モータ72が一体的に取り付けられているので、第1回転出力軸73の回転に伴って第2駆動用モータ72自身も回転する。このため第2駆動用モータ72のモータ回転軸72aに取り付けられた内部の第2回転出力軸74も回転する。このように第1駆動用モータ71のみを駆動させることによって、第2回転出力軸74を第1回転出力軸73と同期回転させることができる。
【0047】
また、第2駆動用モータ72を駆動して、第1駆動用モータ71を停止保持した場合、外部の第1回転出力軸73は回転せず、その内部の第2回転出力軸74のみが回転する。したがって、第2回転出力軸74のみの回転も確保できる。
【0048】
つぎに図5を加えて上記2軸回転駆動装置70を被処理物搬送ロボット32の駆動部34として採用したときの搬送アーム33の作動を説明する。
【0049】
(1) 第1駆動用モータ71停止保持、第2駆動用モータ72のみ駆動
第2駆動用モータ72を作動してその回転出力軸74を反時計方向に回動させると、図5の第1アーム33aも反時計方向に回転し、この回転に伴って第2アーム33bは時計方向に回動する。第2アーム33bが第1アーム33aに対して回動することで被処理物載置部33cが反時計方向に回転する。その結果、搬送アーム33は、被処理物24の一方向直線搬送を行う。
【0050】
(2) 第2駆動用モータ72停止保持、第1駆動用モータ71のみ駆動
第1駆動用モータ71により第1回転出力軸73が回転すると、その内部に保持されている第2駆動用モータ72も一緒に回転する。よって、搬送アーム33は、第1アーム33a、第2アーム33bを重ねたままの姿勢保持状態で被処理物24の回転搬送を行う。
【0051】
このように、第1駆動用モータ71停止保持、第2駆動用モータ72のみ駆動した場合には一方向の搬送を行うことができる。また、単に第2駆動用モータ72を停止保持とし、第1駆動用モータ71のみ駆動する状態とすることで、2つの駆動用モータの同期調整なしに、搬送アーム33に姿勢保持の状態で被処理物24の回転搬送を行わせることができる。
【0052】
ところで、図4では、ベローズ43が真空チャンバ21の外側に配置される構成としている。このように構成すると、真空チャンバ21内を真空にして用いる場合に、ベローズ43の内側が真空になるけれども、構造上ベローズの変形が起きずらい。したがって、ベローズ43は真空チャンバ21の外側に配置することが好ましい。これに対して、ベローズ43を真空チャンバ21の内側に設けることも原理的には可能である。すなわち、真空チャンバ21内に挿入されているシャフト42の挿入部分に当該部分の周囲を覆うようにベローズ43を設け、両ベローズ端を気密容器35と真空チャンバ21とに気密に接続する。このようにベローズ43を真空チャンバ21の内側に配置する場合には、真空チャンバ21内を真空にして用いると、ベローズ43の外側が真空になるので、構造上ベローズ43が変形し易くなり、強度が保てなくなる。強度を保つためには、ベローズ43の伸縮方向に沿ってガイドレールを設ける等の補強が必要になる。その結果、部品点数が多くなり、製造コストが高くなる。したがってベローズ43を真空チャンバ21の内側に配置することは好ましくない。
【0053】
なお、前記した第1〜第4実施の形態では、昇降台29の昇降をモータ20、ボールねじ28による駆動としたが、リニア駆動が可能な構成であれば何れでも良い。例えば各種シリンダ、リニアモータ等で構成することができる。
【0054】
また、上述した被処理物搬送装置を用いて図7に示すような半導体製造装置を構成することができる。この半導体製造装置は、縦型反応室51の下方に真空チャンバとしてのロードロック室52が設けられ、ロードロック室52の内部において縦型反応室51の下方にウェハWを多段に保持するウェハ載置手段としてのボート53を縦型反応室51内に挿入し、取り出しする。ロードロック室52内には、ウェハWを移載する被処理物搬送ロボットとしてのウェハ移載機54が設けられる。このウェハ移載機54は、ロードロック室52の外部に設けられた昇降機構55、および外部と連通して大気圧下となっている気密容器57内に格納された駆動部56により複合動作をしてウェハWを搬送する。
【0055】
以下動作説明をする。ウェハ駆動部56と昇降機構55との協働によりウェハの保持されているウェハ移載機54を、ボート53へのウェハ挿入高さ位置に合せる。ウェハ移載機54の駆動部56を駆動して搬送アームをボート53側へ伸ばし、ウェハをボート53の載置位置まで搬送する。昇降機構55でシャフトを一定量降下させることによりウェハ移載機54を降下して、ウェハ移載機54からボート53のウェハ載置部にウェハWを移載する。ウェハ移載機54の駆動部56を動かして搬送アームを縮めて元の位置に戻す。再度、駆動部56と昇降機構55とを協働してウェハ移載機54を動かし、ロードロック室52に隣接したウェハを積層収納しているカセット(図中省略)からウェハを取り出す。
【0056】
カセットからウェハを取り出すには、駆動部56と昇降機構55との協働により前記ウェハ移載機54をカセットのウェハ取り出し高さに合せる。駆動部56を駆動して、ウェハ移載機54の搬送アームをカセットへ伸ばして、ウェハの下側に入れる。昇降機構55によりシャフトを一定量上昇させることにより前記ウェハ移載機54を上昇して、カセットから搬送アーム上にウェハを移載する。移載後、ウェハ移載機54の搬送アームを縮めて搬送アームを元の位置に戻す。
【0057】
上述した動作を繰り返すことによりボート53へウェハWを所要枚数装填する。装填後、ボートエレベータ(図中省略)によりボート53を上昇させ反応室51内に挿入して、反応室51内でウェハWに所定の基板処理を行う。処理としては、CVD法による処理、不純物を拡散する処理、アニール処理、プラズマCVD法による処理、エッチング処理、アッシング処理、スパッタ処理等がある。ウェハWへの所定の基板処理が終了すると、先程のボート53に対するウェハ装填手順と逆の手順によりウェハWを搬出する。このように被処理物搬送装置を用いて図7に示すような半導体製造装置を構成すれば、より信頼性の高い装置を作ることができる。
【0058】
上記実施の形態では、ウェハ載置手段が複数枚のウェハを載置するボート53で構成されている場合について説明した。しかしウェハ載置手段は、載置されるウェハが複数枚ではなく、枚葉式(一枚保持用のもの)であってもよい。また上記実施の形態では、基板をボートに装填してからボートを反応室51内に挿入するようにしたものを用いたが、反応室51内にボート等のウェハ載置手段を常時設置し、反応室51側方にゲートバルブを設けて、ゲートバルブを介して反応室51内に直接ウェハWを載置するようにしたものでも良い。
【0059】
また上述した実施の形態で説明した連結チャンバ22、23は、カセット棚を収納したカセット室であっても、前記したロードロック室などであっても良い。またチャンバは何も真空に限る必要はなく、任意の雰囲気になっていてもよく、例えばN2 置換されている場合でも良い。
【0060】
更にチャンバ内の圧力は大気圧でも良く、その場合でも、駆動部からの発塵によりチャンバ内を汚染することはない。また駆動部を気密に格納している気密容器が外気と連通していることから駆動部を冷却できる。更には気密容器内に不活性ガス等を供給すれば駆動部の冷却効果が向上する。
【0061】
【発明の効果】
本発明によれば、駆動部を気密容器に格納して、チャンバ内の雰囲気を駆動部から断つようにしたので、チャンバ内に設けられる被処理物搬送手段を安定に稼働させることができる。また、駆動部を格納した気密容器はチャンバの外部と通じているため、チャンバ内の雰囲気に関わらず、気密容器内を外部雰囲気とすることができ、駆動部を外部雰囲気圧対応とすることができる。また、昇降機構をチャンバの外部に設けているため、チャンバ内での発塵を低減し、チャンバを小形化できる。特にチャンバが真空の場合には、被処理物搬送手段の駆動部をチャンバ内に裸で格納していたものと比べて、駆動部を真空対応とする必要がなく、大気圧対応とすることができるため、装置を安価に構成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態による被処理物搬送装置の概略構成図である。
【図2】第2の実施形態による被処理物搬送装置の概略構成図である。
【図3】第3の実施形態による被処理物搬送装置の概略構成図である。
【図4】第4の実施形態による被処理物搬送装置の概略構成図である。
【図5】第4の実施形態による被処理物搬送装置の駆動部の冷却構造を示す概略構成図である。
【図6】第4の実施形態による駆動部の具体的な構造を示す断面図である。
【図7】実施形態の被処理物搬送装置を組込んだ半導体製造装置の概略構成図である。
【図8】従来の被処理物搬送装置の概略構成図で、(a) は真空チャンバから上部連結チャンバに被処理物を移載するときの正面図、(b) は(a) の側面図、(c) は被処理物を真空チャンバ内で昇降するときの正面図、(d) は真空チャンバから下部連結チャンバに被処理物を移載するときの正面図である。
【符号の説明】
21 真空チャンバ
24 被処理物
30 昇降機構
32 被処理物搬送ロボット
34 駆動部
35 気密容器
42 シャフト
45 中空部(通気路)
Claims (9)
- チャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、搬送部及び前記搬送部を駆動する駆動部とを有して、前記駆動部で前記搬送部を駆動して前記搬送部に載置される前記被処理物を搬送する被処理物搬送手段と、
前記被処理物搬送手段の前記駆動部を前記チャンバ内で気密に格納する気密容器と、
前記チャンバの外側から前記チャンバ内に気密に挿入されて前記気密容器に連結され、前記チャンバに対して前記気密容器を進退させて前記チャンバ内で前記被処理物搬送手段を移動するシャフトと、
前記チャンバ外に設けられ、前記シャフトを進退させる移動機構と、
前記シャフトに設けられ、前記気密容器を前記チャンバの外部に通じて前記気密容器内を外部雰囲気とする通気路と
を備えた被処理物搬送装置。 - 前記通気路に、前記チャンバの外部から前記気密容器に対して不活性ガス又は大気雰囲気もしくはそれらの混合ガスを供給及び排気する給排路を備えた請求項1記載の被処理物搬送装置。
- 前記チャンバの外部から前記シャフトに設けた前記通気路を介して前記気密容器内に格納された駆動部に配線を通した請求項2に記載の被処理物搬送装置。
- 前記シャフトをベローズで覆い、ベローズ始端を封止手段でチャンバに固着し、ベローズ終端を封止手段で前記移動機構に固着して、前記シャフトが挿入される前記チャンバを気密構造とした請求項1〜3のいずれかに記載の被処理物搬送装置。
- 前記被処理物が半導体ウェハ、ガラス基板またはこれらを収納するためのカセットである請求項1〜4のいずれかに記載の被処理物搬送装置。
- 前記チャンバ内を真空としたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の被処理物搬送装置。
- 前記チャンバ内を大気圧としたことを特徴とした請求項1ないし5のいずれかに記載の被処理物搬送装置。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の被処理物搬送装置を備えた半導体製造装置。
- チャンバと、
前記チャンバに気密に連結された被処理物を処理する処理室と、
前記チャンバ内に設けられ、アーム部と前記アーム部を駆動する駆動部とを有して、駆動部でアーム部を駆動してアーム部に載置された被処理物を搬送する被処理物搬送手段と、
前記被処理物搬送手段の駆動部を前記チャンバ内で気密に格納する気密容器と、
前記気密容器を前記チャンバの外部に通じる通気路と、
前記チャンバの外側から前記チャンバ内に気密に挿入されて前記気密容器に連結され、前記チャンバに対して前記気密容器を進退させて前記チャンバ内で前記被処理物搬送手段を移動するシャフトと
を備えた半導体製造装置を用いて、
前記気密容器を前記通気路を介して外部雰囲気としたうえで、
前記シャフトを進退させて前記チャンバ内の前記処理室に対応する位置に前記被処理物搬送手段を一体に移動させ、
前記被処理物搬送手段を移動後、前記気密容器内に格納された駆動部により前記被処理物搬送手段のアーム部を動かして、前記アーム部に載置された前記被処理物を前記チャンバから前記処理室に搬送し、
前記処理室に搬送した被処理物を前記処理室内の被処理物載置部に載置させ、
前記被処理物載置部に載置された被処理物に所定の処理を施す
ことを特徴とする被処理物の処理方法。
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