JP4617278B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
また、前記局所冷却機構が、圧縮空気が流通可能なヒートパイプを前記駆動源に巻回して形成された冷却手段を有することが好ましい。
図1は、本発明の第一の実施形態に係る産業用ロボットの模式的な平面図を示す。図1に示す産業用ロボット1は、アーム部が旋回動作を行うタイプであり、回動可能なアーム部3、当該アーム部3を回動させるためのアーム駆動用モータが収納されたモータ収納室4、及びアーム部3とモータ収納室4を支持する基台2より構成される。
本実施の形態に示す産業用ロボット1によれば、以下の各効果も発現しやすくなる。(1)例えばシャフトやギヤープーリ等の駆動連結部品を削減しやすくなる、(2)アーム部3と駆動源としてのアーム駆動用モータ6とを近づけることが可能となるので、アーム部3の動作精度を上げることができる、(3)駆動系の剛性が上がり高速化を可能にしやすい、(4)駆動源をアーム駆動用モータ6とする場合には、連結部品が少なくイナーシャが小さく、小さなモータを使用しやすくなるので、コストを低廉に抑えることができる、(5)モータ収納室4と他の部分との連結の為の部材を配線のみとしやすく、分解が容易でベローズ、磁気シールなどの定期交換部品の交換が容易に行いやすい、(6)アーム駆動用モータ6のレイアウトの自由度が高いので、アーム部3の様々な動作機構が簡単に達成しやすい。
次に、本発明の産業用ロボットの他の好ましい実施形態について説明する。本発明の産業用ロボットは、アーム部を複数有し、当該アーム部ごとに駆動源(より具体的には、アーム駆動用モータ)及び局所冷却機構を備えることが好ましい。このような産業用ロボットの具体例を図6に示す。
上記第一の実施形態及び第二の実施形態においては、アーム部として回動可能なタイプを用いたが、本発明では、アーム部は回動可能なタイプに限られることはない。例えば、アーム部として、往復運動可能なスライドタイプを用いてもよい。本実施の形態においては、このようなスライドタイプのアーム部を用いている。具体的には、本実施の形態においては、スライドタイプのアーム部と、このアーム部を往復運動させるための駆動源が収納された収納室とが真空チャンバー内に設置される。
以上、本発明を具体的な実施の形態を用いて説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の応用例は種々考えられるが、そのいくつかを以下に紹介する。
2 基台
3 アーム部
3a 第一アーム
3b 第二アーム
3c ハンド
3c1、3c2、3c3 支持柱
4 モータ収納室
5 モータ収納部分
5r モータ収納部分の天井
6 アーム駆動用モータ
6t アーム駆動用モータの上端
7 真空チャンバー
8 アルミパイプ
9 冷却手段
10 電磁弁
11 台座
12、13 第一、第二の温度検知センサ
14 中空回転軸
15、22 ベアリング
16 ベローズ
17、18 タイミングプーリー
19 タイミングベルト
20 アーム駆動用減速機
21 アーム回転軸
23、24 磁気シール
25 樹脂製チューブ
Claims (6)
- アーム部と、当該アーム部近傍に配置され、前記アーム部を動作させるための駆動源が収納された収納室と、を有し、
前記アーム部及び前記収納室が減圧雰囲気下のチャンバー内に設置され、
前記収納室内には前記駆動源を冷却する局所冷却機構が備えられ、
前記局所冷却機構は、冷却用の圧縮空気を前記収納室内の天井側に向かって流通させるとともに前記駆動源の周囲に配置された冷却手段を有し、
前記冷却手段は、前記天井側に向けて配置された一端が開放され、該一端が前記圧縮空気を前記収納室内へ流出するように配置されている、ことを特徴とする産業用ロボット。 - 前記アーム部を複数有し、当該アーム部ごとに駆動源及び局所冷却機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の産業用ロボット。
- 前記冷却手段はパイプを前記駆動源に巻回して構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の産業用ロボット。
- 前記局所冷却機構が温度検知センサを有し、
前記駆動源の周囲が冷却開始必要温度に達したことを前記温度検知センサが検知した場合に前記冷却手段に前記圧縮空気の流通を開始し、前記駆動源の周囲が産業用ロボット停止温度に達したことを前記温度検知センサが検知した場合に前記産業用ロボットの動作を停止する制御機構を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の産業用ロボット。 - 前記減圧雰囲気下のチャンバー内において、CVD(化学気相成長法)処理又はエッチング処理が行われることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の産業用ロボット。
- 前記アーム部が回動可能なアーム部又は往復運動可能なアーム部であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の産業用ロボット。
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