CN101096100A

CN101096100A - 工业用机器人

Info

Publication number: CN101096100A
Application number: CNA2007101279479A
Authority: CN
Inventors: 矢泽隆之; 柴真砂
Original assignee: Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2006-06-29
Filing date: 2007-06-27
Publication date: 2008-01-02
Anticipated expiration: 2027-06-27
Also published as: KR20080001633A; JP4617278B2; JP2008006535A; KR101359062B1; TWI399271B; TW200831253A; CN101096100B

Abstract

一种在减压氛围下的室内进行操作的工业用机器人，能可靠且有效地对用于驱动该工业用机器人的臂的臂驱动用马达进行冷却。在工业用机器人(1)中，包括：臂部(3)、以及配置在臂部(3)附近并收容有用于使臂部(3)动作的驱动源(6)的收容室(4)，臂部(3)及收容室(4)设置在减压氛围下的室内，在收容室(4)内具有冷却驱动源(6)的局部冷却机构。另外，局部冷却例如是通过将可供压缩空气流通的铝管卷绕在臂驱动用马达周围并使压缩空气在该铝管中流通来进行。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种工业用机器人，尤其涉及例如在液晶制造装置和半导体制造装置等的减压氛围下使用的工业用机器人。

背景技术

在设于减压氛围下(更具体说是真空下)的室内的工业用机器人中，除去由安装在该工业用机器人内部的马达等产生的热量很重要。

作为一项将设于减压氛围下的室(下面有时也适宜地称作“真空室”)内的工业用机器人中产生的热量除去的技术，在专利文献1中介绍了能使冷却气体在收容有许多个马达等发热零件的工业用机器人内部的所有部位循环的冷却机构。对该文献的图1中所示的冷却机构用同图的符号进行说明，冷却气体的供给是经由用于将电信号转换成压力信号的电气-空气调节器35及操作阀33从供气装置31且从工业用机器人R的下部来进行的。另一方面，该冷却气体的排出是通过从设置在工业用机器人R前端部(该文献1的图2中的第六轴系)附近的排气口经由操作阀34后利用工业用机器人用真空装置32强制排气来进行的。这样，从工业用机器人R的下部(一端侧)供给制冷剂，并从该工业用机器人R的前端(另一端侧)附近排出制冷剂，从而可使冷却气体循环到工业用机器人R内部的所有部位。

专利文献1：日本专利特开平5-84692号公报(0024～0025段，图1、图2)

然而，根据本发明人的研究可知，专利文献1公开的冷却机构很难进行充分的冷却。尤其是已经判明：对于使利用关节部可旋转地连接来传递驱动源的转动力而产生期望动作的臂部进行旋转动作的工业用机器人、或者进行臂部往复运动动作的工业用机器人来讲会更加明显地产生上述冷却问题。

例如在进行旋转动作的工业用机器人中，存在以更高精度地进行旋转动作(转动动作)为目的而想要靠近所述臂部地配置用于使该臂部进行旋转的驱动源(更具体的是臂驱动用马达)的技术要求。当然，在使臂部进行往复运动动作的工业用机器人中也存在同样的技术要求。此时，工业用机器人的臂部设置在真空室内，臂部内也是真空(减压氛围)状态。另一方面，为了冷却驱动源，收容有驱动源的收容室需要充满大气。然而，若想靠近工业用机器人的臂部地配置驱动源，则收容室也需配置在真空室内。在此，由于驱动源产生的热量无法由空气传播，因此很难向真空室内散热，从而热量容易滞留在收容室内，构成驱动源的冷却不足的倾向。即，驱动源的发热是由金属间的热传导和空气传导进行的，虽然在收容驱动源的收容室内部存在空气，但收容室外为真空。因此，无法由真空室内的空气进行冷却。另外，将臂部与驱动源靠近配置的结果是，驱动源设置在收容室内上部的情况较多。因此，从驱动源产生的热量在收容室内向上方移动而容易滞留在驱动源周围。

上述驱动源冷却不足的问题，若为了工业用机器人的小型化而使收容室小型化则会变得更加明显。即，收容室变小，相应地从驱动源产生的热量更容易滞留在收容室内。在此，在为了可靠地进行驱动源的冷却而冷却收容室内时，需要增加冷却空气的循环量。这种大量冷却空气的循环将会导致冷却成本的上升。

另外，在减压氛围下的室内，在像IC等的制造中使用的CVD(化学气相沉积)处理和光刻胶膜等的制造中使用的蚀刻处理那样来进行伴随发热的处理时，除了驱动源的发热问题外，还存在室内的发热造成的影响。因此，提高驱动源的冷却效率变得更为重要。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种设置在减压氛围下的室内的工业用机器人中的、能更高效且更可靠地对用于使臂部动作的驱动源进行冷却的工业用机器人。

在上述目的下，本发明人等进行了深入研究的结果是，发现可通过设置对构成主要发热源的驱动源进行冷却的局部冷却机构来解决上述问题，实现了本发明。

即，本发明的主旨是一种工业用机器人，其特征在于，包括：臂部、以及配置在该臂部附近并收容有用于使所述臂部动作的驱动源的收容室，所述臂部及所述收容室设置在减压氛围下的室内，在所述收容室内具有冷却所述驱动源的局部冷却机构。

采用本发明，通过设置冷却驱动源的局部冷却机构，可高效且低成本地对作为收容室内的主要发热源且容易积聚热量的驱动源进行冷却。

另外，在本发明的工业用机器人中，最好具有多个所述臂部，每个所述臂部具有驱动源及局部冷却机构。

采用本发明，因具有多个臂部，从而可从处理装置短时间地出入玻璃等平板构件。

另外，在本发明的工业用机器人中，所述局部冷却机构最好具有在所述驱动源上卷绕可供压缩空气流通的热管而形成的冷却构件。

采用本发明，由于在驱动源本体上卷绕可供压缩空气流动的热管而形成冷却构件，因此驱动源与冷却构件间的热交换变得容易高效地进行。另外，在本发明中，将冷却用的管子称作“热管”。

另外，最好是在使用所述冷却构件时，为使所述热管内流通的压缩空气向所述收容室内流出，所述热管的一端侧在所述收容室内开放。

采用本发明，由于热管的一端侧在马达收容室内开放，因此压缩空气从所述一端侧向收容室内部排出，从而也可进行收容室整体的冷却。

在使用所述冷却构件时，最好是所述局部冷却机构具有温度检测传感器，具有控制机构，该控制机构在所述温度检测传感器检测到所述驱动源的周围达到了冷却开始必需温度时在所述冷却构件中开始所述压缩空气的流通，在所述温度检测传感器检测到所述驱动源的周围达到了工业用机器人停止温度时停止所述工业用机器人的动作。

采用本发明，由于可通过检测驱动源的周围温度来进行压缩空气的通断以及停止工业用机器人的动作，因此可将冷却成本抑制得较低，并使工业用机器人的动作安全性进一步提高。

另外，在本发明的工业用机器人中，最好在所述减压氛围下的室内进行CVD(化学气相沉积)处理或蚀刻处理。

采用本发明，由于在室内进行的CVD处理或蚀刻处理的发热，驱动源周围的温度容易变高，因此集中地冷却驱动源的意义变大。

另外，在本发明的工业用机器人中，所述臂部最好是可转动的臂部或可往复运动的臂部。

采用本发明，由于在所述收容室内具有集中冷却驱动源的局部冷却机构，因此可自由、容易地布置驱动源。因此，可实现各种类型的臂部的结构。

采用本发明的工业用机器人，能更可靠地对使设置在减压氛围下的室内的臂部动作的驱动源进行冷却。另外，还可提供高效且冷却成本低的工业用机器人。

附图说明

图1表示的是本发明第一实施形态的工业用机器人的示意性的俯视图。

图2表示的是图1的A-A’面的示意性的剖视图。

图3表示的是放大了马达收容室(马达收容部分)的示意性的剖视图。

图4是表示伴随第一温度检测传感器12对冷却开始必需温度的检测而进行的冷却动作的开始/停止控制动作、以及伴随第二温度检测传感器13对工业用机器人停止温度的检测而进行的工业用机器人1的强制停止动作的一系列过程的流程图。

图5表示的是在图2中放大了马达收容室及臂部的示意性的剖视图。

图6表示的是具有两个臂(双臂)类型的工业用机器人的示意性的俯视图及示意性的侧视图。

(部件符号说明)

1、30工业用机器人

2基座

3臂部

3a第一臂

3b第二臂

3c手

3c1、3c2、3c3支柱

4马达收容室

5马达收容部分

5r马达收容部分的顶板

6臂驱动用马达

6t臂驱动用马达的上端

7真空室

8铝管

9冷却构件

10电磁阀

11底座

12、13第一、第二温度检测传感器

14中空转轴

15、22轴承

16波纹管

17、18同步滑轮

19同步皮带

20臂驱动用减速器

21臂转轴

23、24磁性密封件

25树脂管

具体实施方式

下面参照附图对用于实施本发明的最佳形态进行说明。本发明的工业用机器人在具有其技术特征的范围内并不局限于下面的说明及附图。在下面的说明中作为驱动源以通常使用的马达(臂驱动用马达)为例进行了说明，当然，本发明中使用的驱动源并不局限于马达。另外，与以马达为例进行的说明对应，将收容驱动源的收容室称作“马达收容室”。同样，将收容室中收容驱动源的部分称作“马达收容部分”。

[第一实施形态]

图1表示的是本发明第一实施形态的工业用机器人的示意性的俯视图。图1所示的工业用机器人1为臂部进行旋转动作的类型，包括：可转动的臂部3；收容有用于使该臂部3转动的臂驱动用马达的马达收容室4；以及支撑臂部3和马达收容室4的基座2。

臂部3包括第一臂3a、第二臂3b以及手3c。另外，虽然在图1中未图示，但第一臂3a与马达收容室4之间、第一臂3a与第二臂3b之间、以及手3c与第二臂3b之间分别形成关节部。另外，第一臂3a、第二臂3b以及手3c通过这些关节部可旋转地连接。

在手3c上载放有液晶用的玻璃基板等平板状构件。另外，通过控制第一臂3a、第二臂3b以及手3c的动作(旋转)来输送载放在手3c上的平板状构件。

如上所述，马达收容室4收容有用于驱动臂部3的臂驱动用马达(图1中未图示)。另外，在马达收容室4内，臂驱动用马达收容在马达收容部分5上。在马达收容室4内特别设置了马达收容部分5是为了使马达收容室4作为整体小型化。

如图1所示，马达收容室4配置在臂部3的附近。具体地说，在图1中，马达收容室4与第一臂3a相邻设置。通过靠近地设置收容在马达收容室4内的臂驱动用马达和臂部3，可容易且更精密地进行臂部3的旋转动作。臂部3的旋转机构在后面说明。

马达收容室4及臂部3配置在真空室(图1中未图示)内。在用手3c输送的构件为液晶用的玻璃基板时，通常在真空室内进行用于光刻胶制造的蚀刻处理，因此真空室内的温度容易上升。为此，采用集中地冷却臂驱动用马达的局部冷却机构意义重大。

用图2、图3对真空室的结构等进行说明。图2表示的是图1的A-A’面的示意性的剖视图。图3表示的是放大了马达收容室(马达收容部分)的示意性的剖视图。在此，在图2、图3中，与图1相同的要素使用相同的符号。另外，在图2、图3的示意性的剖视图中，为了帮助理解本发明，省略了与马达收容室4和中空转轴14的转动机构及上下机构相关的装置的详细内容、以及与臂部3的转动机构相关的装置的详细内容。这些转动机构和上下机构可适合使用从业人员所熟知的机构。

如图2所示，臂部3及马达收容室4设置在真空室7内，基座2设置在真空室7的外部(大气中)。由此，不仅可提高臂部3的旋转精度，而且使工业用机器人1中的设置在真空室7内的组件尺寸变得紧凑，对真空室7也可容易紧凑地进行设计。

马达收容室4设置在中空转轴14上。虽然在图2中省略了说明，但为了进行臂部3及马达收容室4的上下动作及旋转动作，中空转轴14设置有上下动作机构及转动机构。由于这些上下动作机构及转动机构可使用从业人员所熟知的机构，因此在此省略了说明。另外，波纹管16对应中空转轴14的上下动作进行伸缩。由于中空转轴14和基座2作为分体式构件进行设置，因此在中空转轴14与基座2之间形成有间隙。在该间隙中的上下两处设置有轴承15，但如图2所示，为了不使空气从所述间隙泄漏到真空室7内，在用轴承15夹持的部分设置有磁性密封件23。由此，可在中空转轴14与基座2之间确保密封性，从而不会给真空室7内的制造带来妨碍。另外，在中空转轴14的上下动作及转动下，马达收容室4进而臂部3进行上下动作及转动。

在本实施形态中，马达收容室4是指在中空转轴14及基座2的上方且在臂部3下方的区域(图2中用虚线部分包围的区域)。马达收容室4的内部充满大气，并设置有用于使臂部3转动的臂驱动用马达6。具体地说，臂驱动用马达6设置在马达收容室4的马达收容部分5内。在臂驱动用马达6的周围(本体周围)形成有螺旋状地卷绕了作为热管的铝管8的冷却构件9(参照图3)。构成冷却构件9的铝管8的上端9a(一端侧)在马达收容室4的内部开放。另一方面，构成冷却构件9的铝管8的下端9b(另一端)与柔软的树脂管25相连(参照图3)。该树脂管25与电磁阀10相连(参照图2)。并且，在电磁阀10与基座2外部的压缩空气产生装置(图2中未图示)之间也用柔软的树脂管25相连。另外，当然也可以就此使用铝管8来代替柔软的树脂管25。相反，即使是树脂制的管子，只要能一定程度地确保与臂驱动用马达6的热交换，也可作为热管使用。

臂驱动用马达6的集中冷却如下进行。即，从设置在基座2外部的压缩空气产生装置(图2中未图示)流入的压缩空气朝着马达收容室4在树脂管25的内部上升。该压缩空气在经由构成冷却构件9的铝管8的下端9b并在铝管8内部螺旋状地向上方流动后，从构成冷却构件9的铝管8的上端9a向马达收容室4内流出。在此，通过使压缩空气在冷却构件9的铝管8中流通，从而进行冷却构件9与臂驱动用马达6之间的热交换。其结果是可集中地冷却臂驱动用马达6。这样，在图2所示的工业用机器人1中，局部冷却机构具有供压缩空气流通的冷却构件9。

在构成冷却构件9的铝管8内螺旋状地向上方流动的压缩空气从构成冷却构件9的铝管8的上端9a向马达收容室4内流出。并且，该流出的压缩空气在马达收容室4内部循环后向基座2流动(参照图3)。通过这种使马达收容室4内部的空气循环，还可容易地确保马达收容室4的低温度。

臂驱动用马达6与马达收容部分5的配置关系如下设定。即，在本实施形态中，如图3所示，在马达收容室4内，最好将收容有臂驱动用马达6的马达收容部分5中的、从马达收容部分5的顶板5r起到臂驱动用马达的上端6t的距离G控制在马达收容部分5的高度L的1/10以下。更具体地，最好将所述距离G设计成2cm以下。

由此，可实现马达收容室4的小型化。只是由于马达收容部分5的顶板5r与臂驱动用马达6靠近，因此臂驱动用马达6产生的热量容易滞留在马达收容部分5的顶板5r附近。其结果是，臂驱动用马达6的温度容易上升。因此，确保臂驱动用马达6的冷却变得更为重要，进行冷却构件9的集中冷却的意义变得更大。

另一方面，通常是将从马达收容部分5的顶板5r起到臂驱动用马达6的上端6t的距离G设计成马达收容部分5的高度L的1/40以上，以使臂驱动用马达6不接触马达收容部分的顶板5r。具体地说，所述距离G通常为5mm以上。

另外，“从马达收容部分的顶板起到臂驱动用马达的上端的距离”是指马达收容部分5的顶板5r与臂驱动用马达6的上端6t之间的距离最小部分处的该距离。即，在图3的工业用机器人1中，由于马达收容部分5的顶板5r和臂驱动用马达6的上端6t均为平面，因此所述距离一定。但是在实际的工业用机器人中，考虑到有时还会出现马达收容部分的顶板及臂驱动用马达的上端并非分别为平面的情况。此时，马达收容部分的顶板与臂驱动用马达的上端最为接近部分处的马达收容部分的顶板与臂驱动用马达的上端之间的距离变为“从马达收容部分的顶板起到臂驱动用马达的上端的距离”。另外，“马达收容部分的高度”是指在马达收容室内臂驱动用马达所在区域的、从马达收容室的底面起到顶板的最大距离。

下面对使用了作为温度检测传感器的第一、第二温度检测传感器12、13的控制机构进行说明。如图3所示，在臂驱动用马达6上设置有底座11。另外，在底座11上设置有冷却开始温度检测用的第一温度检测传感器12、以及工业用机器人1的停止温度检测用的第二温度检测传感器13。如同图所示，为了高精度地检测臂驱动用马达6的温度，第一温度检测传感器12及第二温度检测传感器13配置在臂驱动用马达6的附近。利用第一、第二温度检测传感器12、13及电磁阀10来进行压缩空气向冷却构件6的流通(臂驱动用马达6的冷却)的通断控制、以及停止工业用机器人1的操作。

压缩空气向冷却构件9的通断控制如下进行。首先，若冷却开始温度检测用的第一温度检测传感器12检测到冷却开始必需温度(例如40℃)，则电磁阀10打开，从而开始压缩空气向冷却构件9的流入。由此，在臂驱动用马达6与冷却构件9之间进行热交换，臂驱动用马达6的温度降低。接着，在臂驱动用马达6的冷却下，在第一温度检测传感器12检测到周围温度变为冷却开始必需温度(例如40℃)以下时，通过电磁阀10的动作而截断压缩空气。通过上面的操作，仅在臂驱动用马达6需要冷却时进行冷却，从而可实现冷却成本的降低。

另一方面，工业用机器人1的强制停止如下进行。考虑到例如还会出现如下情况：在发生了压缩空气产生装置或电磁阀10的故障、超出工业用机器人1的规格的长时间使用等不测的事态时臂驱动用马达6变为高温(例如超过80℃那样的高温)，使工业用机器人1处于危险状态。为此，在工业用机器人1中，在臂驱动用马达的周围达到如上所述的高温(工业用机器人停止温度)而被第二温度检测传感器13检测到该情况时，就会输出“错误”，强制地停止工业用机器人1的动作。对于工业用机器人1的强制停止，还有一种在第二温度检测传感器13检测到工业用机器人停止温度(例如80℃)的同时使工业用机器人停止的方法。另外，也有一种方法是：在工业用机器人1整体的动作由几个动作步骤构成而工业用机器人1在进行这些动作步骤中的一个动作步骤时，使工业用机器人1动作到结束该动作步骤的位置后进行强制停止。从使工业用机器人1复位时的方便性来看，最好使用后者的强制停止方法。

用图4对使用第一、第二温度检测传感器12、13的控制机构的控制过程进行说明。图4是表示伴随第一温度检测传感器12对冷却开始必需温度的检测而进行的冷却动作的开始/停止控制动作、以及伴随第二温度检测传感器13对工业用机器人停止温度的检测而进行的工业用机器人1的强制停止动作的一系列过程的流程图。具体地说，图4中表示了上面说明过的电磁阀10的开闭引起的压缩空气的流入、停止所形成的冷却动作的开始、停止、以及工业用机器人1的强制结束的方法。

如图4所示，在工业用机器人1的动作开始后，在步骤F1中，利用第二温度检测传感器13来检测臂驱动用马达6的周围是否达到工业用机器人停止温度(例如80℃)。只要第二温度检测传感器13未检测到80℃(只要第二温度检测传感器13为断(OFF))，就前进到步骤F2。在步骤F2中，利用第一温度检测传感器12来检测臂驱动用马达6的周围是否达到冷却开始必需温度(例如40℃)。在此，只要第一温度检测传感器12未检测到40℃，第一温度检测传感器12就保持断(OFF)的状态，不会进行冷却(电磁阀10关闭，成为“冷却停止”状态)。另一方面，若第一温度检测传感器12检测到40℃，则电磁阀10打开，压缩空气开始向冷却构件9流入，从而开始臂驱动用马达6的冷却(“冷却开始”状态)。

之后回到步骤F1，只要第二温度检测传感器13未检测到80℃，就会反复进行步骤F1→步骤F2→冷却开始(继续)或冷却停止(停止状态的继续)→步骤F1…。但是，在步骤F2中，在利用第一温度检测传感器12检测到臂驱动用马达6的周围温度在40℃以下时，则关闭电磁阀10，截断压缩空气的流入(“冷却停止”状态)。另一方面，尽管正在进行所述冷却动作，或者由于电磁阀10的故障等不测的事态而在步骤F1中第二温度检测传感器13检测到80℃(工业用机器人停止温度)时，第二温度检测传感器13变为通(ON)状态，工业用机器人1的软件中进行“错误”输出，从而将工业用机器人1强制停止。

下面对由臂驱动用马达6引起的臂部3的转动进行说明。图5表示的是在图2中放大了马达收容室及臂部的示意性的剖视图。在图5中，与图1、图2、图3相同的要素使用相同的符号。另外，在图5的示意性的剖视图中，以容易理解地表示同图的特征结构为目的，适当地省略了对臂驱动用马达6及第一臂3a(臂部3)的转动机构之外的规定要素的说明。

如图5所示，在臂驱动用马达6上连接有同步滑轮17。另外，在臂转轴21上通过臂驱动用减速器20也连接有同步滑轮18。这些臂转轴21、臂驱动用减速器20以及同步滑轮18构成臂部3(第一臂3a)的关节部。并且，在同步滑轮17及同步皮带18上搭设有用于将臂驱动用马达6侧的动力传递给臂转轴21侧的同步皮带19。

臂部3(第一臂3a)的转动如下进行。即，与臂驱动用马达6的旋转相应的驱动力通过同步滑轮17及同步皮带19传递给同步滑轮18以及臂驱动用减速器20。由于臂驱动用减速器20与臂转轴21直接连接，因此所述驱动力在以臂驱动用减速器20的规定减速比进行减速后传递给臂转轴21。其结果是臂转轴21进行转动。这样，臂驱动用马达6的旋转力传递给臂部3，从而臂部3进行期望的动作。

另外，因臂转轴21可转动，因此相应地在臂转轴21与马达收容室4的外壁之间形成有间隙。在该间隙中的上下两处设置有轴承22，但为了不让空气从该间隙泄漏到真空室(图4中未图示)内，在由轴承22夹持的部分上设置有磁性密封件24。由此，可确保臂转轴21与马达收容室4之间的密封性，从而不会给真空室内的制造带来妨碍。

(本实施形态的主要效果)

采用本实施形态所示的工业用机器人1，还容易发现下面的各效果。(1)例如，容易削减轴和齿轮、滑轮等驱动连接零件，(2)由于可将臂部3与作为驱动源的臂驱动用马达6靠近，因此可提高臂部3的动作精度，(3)驱动系统的刚性提高，容易实现高速化，(4)在驱动源为臂驱动用马达6时，由于连接零件少，惯性小，容易使用小马达，因此可将成本抑制得较低，(5)用于连接马达收容室4与其它部分的构件只需简单的配线而已，便于分解且容易进行波纹管、磁性密封件等定期更换构件的更换，(6)由于臂驱动用马达6的布置自由度高，因此臂部3的各种动作机构容易简单实现。

[第二实施形态]

下面对本发明的工业用机器人的其它最佳的实施形态进行说明。本发明的工业用机器人最好具有多个臂部，且每个该臂部具有驱动源(更具体的是臂驱动用马达)及局部冷却机构。图6表示的是这种工业用机器人的具体例。

图6表示的是具有两个臂(双臂)类型的工业用机器人的示意性的俯视图及示意性的侧视图。具体地说，图6(a)表示的是双臂型的工业用机器人的示意性的俯视图。图6(b)表示的是图6(a)的双臂型的工业用机器人的示意性的侧视图。另外，在图6中，与图1、图2、图3、图5相同的要素使用相同的符号。

如图6(a)所示，工业用机器人30具有两个臂部3。另外，在每个臂部上具有臂驱动用马达(图5中未图示)。与臂驱动用马达分别对应，在马达收容室4内设置有两个收容该臂驱动用马达的马达收容部分5。通过采用这种双臂结构，可从处理装置短时间地出入玻璃等平板构件。

[第三实施形态]

在上述第一实施形态及第二实施形态中，作为臂部使用了可转动型，但在本发明中，臂部并不局限于可转动型。例如，作为臂部，也可使用可往复运动的滑动型。在本实施形态中使用了这种滑动型的臂部。具体地说，在本实施形态中，滑动型的臂部以及收容有用于使该臂部往复运动的驱动源的收容室设置在真空室内。

作为使用滑动型臂部的工业用机器人的一例，可举出由具有保持工件的工件保持部且往复运动的第一臂、以及与该第一臂相连且在与第一臂相同的方向上往复运动的第二臂构成臂部的形态。另外，该臂部的往复运动通过设置以所述第一臂的动作为优先并使所述臂部移动到规定座标位置的控制装置来进行。并且，只要能局部地对使所述臂部移动的驱动源(例如马达)进行冷却，就能一边确保臂部的高精度动作一边有效且可靠地冷却驱动源。

所述臂部之外的结构只要基本上与上述第一实施形态、第二实施形态相同即可，在此省略说明。

[其它]

上面用具体的实施形态对本发明进行了说明，但本发明并不局限于上述实施形态。本发明的应用例有多种，下面介绍其中的几个。

例如，本发明的工业用机器人也可作为半导体制造用装置使用。具体可作为输送半导体基板的工业用机器人使用。在半导体的制造工序中，在基板上通过CVD(化学气相沉积)处理来形成硅等的薄膜。因此，真空室内的温度容易上升，从而使用本发明的局部冷却机构的意义变大。

另外，在上述实施形态中，作为构成局部冷却机构的冷却构件使用的是铝管。这综合考虑了铝的热传导率、刚性、加工特性等。但是，在用热管形成本发明的局部冷却机构时，热管的原材料并不局限于铝。作为铝之外的原材料，也可使用铜、黄铜等。

另外，对于局部冷却机构，在上述实施形态中也是对使用压缩空气来冷却的例子进行了说明，但制冷剂并不局限于空气，也可以是水和防冻液等。另外，对于冷却构件，不仅是螺旋状卷绕热管的冷却构件，当然也可使用各种形态的冷却构件。例如，也可像水冷发动机那样，使用在驱动源(例如马达)的外形上追加外壳那样的冷却构件。

工业上的可利用性

本发明的工业用的工业用机器人作为在例如液晶制造装置和半导体制造装置等的减压氛围下使用的工业用机器人是有效的。

Claims

1.一种工业用机器人，其特征在于，

包括：臂部、以及配置在该臂部附近并收容有用于使所述臂部动作的驱动源的收容室，

所述臂部及所述收容室设置在减压氛围下的室内，

在所述收容室内具有冷却所述驱动源的局部冷却机构。

2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，具有多个所述臂部，每个所述臂部具有驱动源及局部冷却机构。

3.如权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，所述局部冷却机构具有在所述驱动源上卷绕可供压缩空气流通的热管而形成的冷却构件。

4.如权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，为使所述热管内流通的压缩空气向所述收容室内流出，所述热管的一端侧在所述收容室内开放。

5.如权利要求3或4所述的工业用机器人，其特征在于，

所述局部冷却机构具有温度检测传感器，

具有控制机构，该控制机构在所述温度检测传感器检测到所述驱动源的周围达到了冷却开始必需温度时在所述冷却构件中开始所述压缩空气的流通，在所述温度检测传感器检测到所述驱动源的周围达到了工业用机器人停止温度时停止所述工业用机器人的动作。

6.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，在所述减压氛围下的室内进行CVD(化学气相沉积)处理或蚀刻处理。

7.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述臂部是可转动的臂部或可往复运动的臂部。

8.如权利要求4所述的工业用机器人，其特征在于，所述压缩空气在经由所述热管的下端并在所述热管内部螺旋状地向上方流动后，从所述热管的上端向所述马达收容室内流出。

9.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，所述温度检测传感器包括：用于冷却所述收容室内的冷却开始温度检测用的第一温度检测传感器、以及所述工业用机器人的停止温度检测用的第二温度检测传感器。