JPH04372390A - 真空チャンバ用産業ロボット装置 - Google Patents
真空チャンバ用産業ロボット装置Info
- Publication number
- JPH04372390A JPH04372390A JP14356091A JP14356091A JPH04372390A JP H04372390 A JPH04372390 A JP H04372390A JP 14356091 A JP14356091 A JP 14356091A JP 14356091 A JP14356091 A JP 14356091A JP H04372390 A JPH04372390 A JP H04372390A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- industrial robot
- vacuum chamber
- heat
- cooling gas
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 6
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 5
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空チャンバ内に設
置されて作業を行う産業用ロボットを備えた真空チャン
バ用産業ロボット装置に関し、特にロボット内部に設け
られたモータやエンコーダ等の発熱部品の冷却形態を改
良したものである。
置されて作業を行う産業用ロボットを備えた真空チャン
バ用産業ロボット装置に関し、特にロボット内部に設け
られたモータやエンコーダ等の発熱部品の冷却形態を改
良したものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、装置全体を真空チャンバ内に設
置した状態で作業を行う自動装置は、例えば、実開昭６
２−１５８７５７号公報や、実開平１−１５３６３８号
公報等に公知である。この種の自動装置は、扱い得るワ
ーク重量に限度があり、動作範囲が狭いなど、適用対象
が軽作業に限られ、単純作業しか行えない。一方、例え
ば磁気ディスクの製造過程において、真空チャンバ内に
おけるワークの取扱いや処理を、より自由に、大重量の
ワークでも、能率よく、高い作業精度の下に行えるよう
にすることが要請されつつあり、こうした要請に応える
ために、産業用ロボットの導入が検討されている。
置した状態で作業を行う自動装置は、例えば、実開昭６
２−１５８７５７号公報や、実開平１−１５３６３８号
公報等に公知である。この種の自動装置は、扱い得るワ
ーク重量に限度があり、動作範囲が狭いなど、適用対象
が軽作業に限られ、単純作業しか行えない。一方、例え
ば磁気ディスクの製造過程において、真空チャンバ内に
おけるワークの取扱いや処理を、より自由に、大重量の
ワークでも、能率よく、高い作業精度の下に行えるよう
にすることが要請されつつあり、こうした要請に応える
ために、産業用ロボットの導入が検討されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、真空チャンバ
内に産業用ロボットを設置することが考えられるが、そ
の場合には、内部に組み込まれたモータ等から発生する
熱の除去や、潤滑剤の蒸発などが問題となる。真空環境
下では、主として輻射作用によって放熱が行われるため
、発生した熱を十分に除去できなくなることに加え、通
常の潤滑用オイルやグリースはすぐに蒸発、消散してし
まうからである。因みに放熱が不十分であると、コイル
の焼損や局所的な温度上昇による作動不良等の重大な故
障を生じやすい。
内に産業用ロボットを設置することが考えられるが、そ
の場合には、内部に組み込まれたモータ等から発生する
熱の除去や、潤滑剤の蒸発などが問題となる。真空環境
下では、主として輻射作用によって放熱が行われるため
、発生した熱を十分に除去できなくなることに加え、通
常の潤滑用オイルやグリースはすぐに蒸発、消散してし
まうからである。因みに放熱が不十分であると、コイル
の焼損や局所的な温度上昇による作動不良等の重大な故
障を生じやすい。
【０００４】ところで、常圧環境下で使用される産業用
ロボットにおいては、発熱部品で生じた熱を周囲の空気
で冷却し、これを大気中に放出する冷却形態を採ってい
る。しかし、真空チャンバに設置された産業用ロボット
で同様の冷却形態を採ることは許されない。つまり、産
業用ロボットから放出された冷却空気によって、真空チ
ャンバ内の高真空状態が破壊されるからである。また、
真空チャンバ用の真空装置によって放出空気を排気し、
高真空状態を維持することは不可能ではないが、放出空
気によるワークの汚染や、真空圧が変動すること等を免
れない。
ロボットにおいては、発熱部品で生じた熱を周囲の空気
で冷却し、これを大気中に放出する冷却形態を採ってい
る。しかし、真空チャンバに設置された産業用ロボット
で同様の冷却形態を採ることは許されない。つまり、産
業用ロボットから放出された冷却空気によって、真空チ
ャンバ内の高真空状態が破壊されるからである。また、
真空チャンバ用の真空装置によって放出空気を排気し、
高真空状態を維持することは不可能ではないが、放出空
気によるワークの汚染や、真空圧が変動すること等を免
れない。
【０００５】この発明は、斯かる点に鑑みてなされたも
ので、真空チャンバ内の高真空状態に悪影響を及ぼすこ
となく、産業用ロボット内部の発熱部品の冷却を十分に
行えるようにし、以て真空チャンバ内で作業を行うのに
好適な産業用ロボットとすることを目的としている。
ので、真空チャンバ内の高真空状態に悪影響を及ぼすこ
となく、産業用ロボット内部の発熱部品の冷却を十分に
行えるようにし、以て真空チャンバ内で作業を行うのに
好適な産業用ロボットとすることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明が講じた手段は、複数の軸系を有し、各軸
系が回転軸を介して接続された多関節の産業用ロボット
からなること、上記各軸系は各回転軸に装着された気密
シールで封止されて、発熱部品を収容する内部空間が真
空チャンバに対して気密状に隔絶されていること、上記
産業用ロボットには、発熱部品を冷却する冷却気体を前
記内部空間へ供給する送気装置と、冷却気体を内部空間
から回収する真空装置とがそれぞれ接続されていること
を要件とする。
めに、本発明が講じた手段は、複数の軸系を有し、各軸
系が回転軸を介して接続された多関節の産業用ロボット
からなること、上記各軸系は各回転軸に装着された気密
シールで封止されて、発熱部品を収容する内部空間が真
空チャンバに対して気密状に隔絶されていること、上記
産業用ロボットには、発熱部品を冷却する冷却気体を前
記内部空間へ供給する送気装置と、冷却気体を内部空間
から回収する真空装置とがそれぞれ接続されていること
を要件とする。
【０００７】好ましくは、送気装置は、主送気通路から
各軸系に対応して分岐通路を分岐導出し、各分岐通路を
発熱部品の外周面に臨んで配置し、発熱部品と対向する
通路壁に冷却気体を発熱部品へ向って噴出する噴口を開
口する。
各軸系に対応して分岐通路を分岐導出し、各分岐通路を
発熱部品の外周面に臨んで配置し、発熱部品と対向する
通路壁に冷却気体を発熱部品へ向って噴出する噴口を開
口する。
【０００８】
【作用】上記の構成により、本発明では、産業用ロボッ
トは、送気装置で冷却気体を内部空間へ送り込み、同時
に真空装置で冷却気体を回収しながら稼動される。この
内部に送り込まれた冷却気体は、発熱部品と接触してそ
の熱を奪う。つまり、伝導、対流、輻射の各伝熱作用に
よって上記発熱部品を冷却し、この熱交換後の冷却気体
は真空装置で回収される。このように、冷却気体を熱伝
導媒体にして発熱部品の冷却を行うと、発熱部品やその
周辺構造体が過熱状態に陥ることを防止できる。
トは、送気装置で冷却気体を内部空間へ送り込み、同時
に真空装置で冷却気体を回収しながら稼動される。この
内部に送り込まれた冷却気体は、発熱部品と接触してそ
の熱を奪う。つまり、伝導、対流、輻射の各伝熱作用に
よって上記発熱部品を冷却し、この熱交換後の冷却気体
は真空装置で回収される。このように、冷却気体を熱伝
導媒体にして発熱部品の冷却を行うと、発熱部品やその
周辺構造体が過熱状態に陥ることを防止できる。
【０００９】また、上記送気通路から分岐通路を分岐し
、その通路壁に設けた噴口から発熱部品へ向って冷却気
体を噴出供給する冷却状態では、冷却気体を発熱部品に
十分に接触させて、効果的に部品冷却を行える。
、その通路壁に設けた噴口から発熱部品へ向って冷却気
体を噴出供給する冷却状態では、冷却気体を発熱部品に
十分に接触させて、効果的に部品冷却を行える。
【００１０】
【発明の効果】従って、本発明によれば、産業用ロボッ
トを多関節ロボットとして構成し、各軸系を接続する回
転軸を気密シールで封止して、発熱部品が配置される内
部空間を、真空チャンバに対して確実に隔絶できるよう
にした。そのうえで、送気装置によって冷却気体を内部
空間へ送り込み、発熱部品で生じた熱を冷却気体に吸収
させ、これを真空装置で回収することにより、発熱部品
の冷却を行うようにした。このように、真空チャンバに
対して隔絶された冷却形態で発熱部品の冷却を行うよう
にすると、真空チャンバ内部の高真空状態に何等悪影響
を及ぼすことなく、産業用ロボット内部の発熱部品を十
分に冷却でき、コイルの焼損や絶縁材の劣化、過熱によ
るマグネットの磁力低下、あるいは局部的な過熱膨張に
よるクリアランス異常を原因とする動作不良等を防止で
きる。
トを多関節ロボットとして構成し、各軸系を接続する回
転軸を気密シールで封止して、発熱部品が配置される内
部空間を、真空チャンバに対して確実に隔絶できるよう
にした。そのうえで、送気装置によって冷却気体を内部
空間へ送り込み、発熱部品で生じた熱を冷却気体に吸収
させ、これを真空装置で回収することにより、発熱部品
の冷却を行うようにした。このように、真空チャンバに
対して隔絶された冷却形態で発熱部品の冷却を行うよう
にすると、真空チャンバ内部の高真空状態に何等悪影響
を及ぼすことなく、産業用ロボット内部の発熱部品を十
分に冷却でき、コイルの焼損や絶縁材の劣化、過熱によ
るマグネットの磁力低下、あるいは局部的な過熱膨張に
よるクリアランス異常を原因とする動作不良等を防止で
きる。
【００１１】また、産業用ロボットを各軸系が回転軸を
介して接続された多関節型のロボットとして構成するの
で、気密維持に必要な封止構造の全てを、構造が簡単で
信頼度の高い回転軸部における軸封構造とすることがで
き、産業用ロボットの内部空間の気密維持を、オイルシ
ールや磁性流体シールなどの既存の気密シールを用いて
、安価にしかも確実に行える点で有利である。
介して接続された多関節型のロボットとして構成するの
で、気密維持に必要な封止構造の全てを、構造が簡単で
信頼度の高い回転軸部における軸封構造とすることがで
き、産業用ロボットの内部空間の気密維持を、オイルシ
ールや磁性流体シールなどの既存の気密シールを用いて
、安価にしかも確実に行える点で有利である。
【００１２】また、各軸系に対応して分岐通路を設け、
分岐通路から各発熱部品へ向って冷却気体を噴出する冷
却形態によれば、新鮮な冷却気体を無駄なく発熱部品に
接触させることができるので、より少ない量の冷却気体
で効果的に冷却を行うことができ、長時間にわたる連続
稼動や高負荷運転等にもよく対応できる。
分岐通路から各発熱部品へ向って冷却気体を噴出する冷
却形態によれば、新鮮な冷却気体を無駄なく発熱部品に
接触させることができるので、より少ない量の冷却気体
で効果的に冷却を行うことができ、長時間にわたる連続
稼動や高負荷運転等にもよく対応できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
【００１４】図１乃至図５に示すように、真空チャンバ
用産業ロボット装置は、真空チャンバＣ内に産業用ロボ
ットＲが収納されて構成され、図２にその産業用ロボッ
トＲの概略を示している。産業用ロボットＲは第１〜第
６軸系１〜６を有し、各軸系１〜６のそれぞれが回転軸
を介して接続された多関節ロボットであり、各軸系１〜
６はそれぞれ矢印で示すように回転できる。尚、第６軸
系６はワークを捕捉するロボットハンドである。各軸系
１〜６を接続する回転軸のうち、第１〜第４軸系１〜４
の回転軸は、図４に示すようにオイルシールを封止要素
とする気密シール８Ａでそれぞれ封止されており、残り
の軸系５，６の回転軸は図５に示すように磁性流体シー
ルからなる気密シール８Ｂでそれぞれ封止されている。
用産業ロボット装置は、真空チャンバＣ内に産業用ロボ
ットＲが収納されて構成され、図２にその産業用ロボッ
トＲの概略を示している。産業用ロボットＲは第１〜第
６軸系１〜６を有し、各軸系１〜６のそれぞれが回転軸
を介して接続された多関節ロボットであり、各軸系１〜
６はそれぞれ矢印で示すように回転できる。尚、第６軸
系６はワークを捕捉するロボットハンドである。各軸系
１〜６を接続する回転軸のうち、第１〜第４軸系１〜４
の回転軸は、図４に示すようにオイルシールを封止要素
とする気密シール８Ａでそれぞれ封止されており、残り
の軸系５，６の回転軸は図５に示すように磁性流体シー
ルからなる気密シール８Ｂでそれぞれ封止されている。
【００１５】図４において、第２軸系２は第１軸系１に
対してクロスローラベアリング１０とハーモニック減速
機１１を介して回転駆動可能に支持されており、その回
転軸１２Ａと第１軸系１のケース端壁１３との間が気密
シール８Ａで封止されている。ハーモニック減速機１１
は、図外のモータの動力を伝動ギヤ１４を介して受け継
ぎ、その回転数を減速して出力する。減速された動力は
筒構造の受動体１５を介して回転軸１２Ａへ伝わる。第
１軸系１と第２軸系２とは、減速軸１１ａを縦通する通
路１６を介して連通されている。他の軸系同士も同様の
構造で接続されている。上記気密シール８Ａはケース端
壁１３に圧入された２個のオイルシールと、これら両シ
ールの間に充填された真空グリースとからなる。
対してクロスローラベアリング１０とハーモニック減速
機１１を介して回転駆動可能に支持されており、その回
転軸１２Ａと第１軸系１のケース端壁１３との間が気密
シール８Ａで封止されている。ハーモニック減速機１１
は、図外のモータの動力を伝動ギヤ１４を介して受け継
ぎ、その回転数を減速して出力する。減速された動力は
筒構造の受動体１５を介して回転軸１２Ａへ伝わる。第
１軸系１と第２軸系２とは、減速軸１１ａを縦通する通
路１６を介して連通されている。他の軸系同士も同様の
構造で接続されている。上記気密シール８Ａはケース端
壁１３に圧入された２個のオイルシールと、これら両シ
ールの間に充填された真空グリースとからなる。
【００１６】図５において、第６軸系６は第５軸系５に
対してクロスローラベアリング２１とハーモニック減速
機２２を介して回転駆動可能に支持されており、その回
転軸１２Ｂと第５軸系５のケース端壁２３との間が気密
シール８Ｂで封止されている。ハーモニック減速機２２
は、前述の駆動機構と同様に調整された動力を駆動軸２
４を介して受け継ぎ、減速後の動力をクロスローラベア
リング２１のインナレースを兼ねる受動体２５を介して
回転軸１２Ｂへ出力する。ここでも両軸系５，６は、ハ
ーモニック減速機２２及び駆動軸２４を縦通する連通管
２６を介して通気自在に連通されている。以上の接続機
構は第４軸系４と第５軸系５との間にも採用されている
。
対してクロスローラベアリング２１とハーモニック減速
機２２を介して回転駆動可能に支持されており、その回
転軸１２Ｂと第５軸系５のケース端壁２３との間が気密
シール８Ｂで封止されている。ハーモニック減速機２２
は、前述の駆動機構と同様に調整された動力を駆動軸２
４を介して受け継ぎ、減速後の動力をクロスローラベア
リング２１のインナレースを兼ねる受動体２５を介して
回転軸１２Ｂへ出力する。ここでも両軸系５，６は、ハ
ーモニック減速機２２及び駆動軸２４を縦通する連通管
２６を介して通気自在に連通されている。以上の接続機
構は第４軸系４と第５軸系５との間にも採用されている
。
【００１７】先に述べたように、上記接続部に設けられ
る気密シール８Ｂは磁性流体シールからなる。これはリ
ング状のマグネット２７の両側に強磁性体からなる保持
板２８，２８を固定し、これら三者２７，２８，２８と
回転軸１２Ｂとの間に磁性流体２９を介在させたもので
ある。磁性流体シールを用いるのは、オイルシールを封
止要素とする場合に比べて、シール構造の小形化を実現
し、駆動系に対する負荷を軽減できるからである。第１
〜第４軸系１〜４ではモータ出力に十分な余裕があるの
でこうした配慮は不要である。
る気密シール８Ｂは磁性流体シールからなる。これはリ
ング状のマグネット２７の両側に強磁性体からなる保持
板２８，２８を固定し、これら三者２７，２８，２８と
回転軸１２Ｂとの間に磁性流体２９を介在させたもので
ある。磁性流体シールを用いるのは、オイルシールを封
止要素とする場合に比べて、シール構造の小形化を実現
し、駆動系に対する負荷を軽減できるからである。第１
〜第４軸系１〜４ではモータ出力に十分な余裕があるの
でこうした配慮は不要である。
【００１８】図１に示すように、上記の産業用ロボット
Ｒは、真空チャンバＣ内の床面に設置される。産業用ロ
ボットＲ内部にはモータＭなどの発熱部品が多数個収容
されている。これらの発熱部品の冷却を行うために、冷
却気体を供給する送気装置３１を設け、さらに冷却気体
を強制排気する産業用ロボットＲ用のロボット用真空装
置３２を設けている。これら両装置３１，３２は制御バ
ルブ３３，３４を介して産業用ロボットＲの内部空間に
接続する。上記以外に、第１軸系１の内部空間と連通す
る状態で、開閉弁３７とフィルタ３８を設け、さらに圧
力計３９で内部圧力を監視できるようにしている。真空
チャンバＣはこれ専用の真空チャンバ用真空装置４０で
排気される。この装置４０は制御バルブ４１を介して真
空チャンバ内部に接続されている。４２は圧力計である
。
Ｒは、真空チャンバＣ内の床面に設置される。産業用ロ
ボットＲ内部にはモータＭなどの発熱部品が多数個収容
されている。これらの発熱部品の冷却を行うために、冷
却気体を供給する送気装置３１を設け、さらに冷却気体
を強制排気する産業用ロボットＲ用のロボット用真空装
置３２を設けている。これら両装置３１，３２は制御バ
ルブ３３，３４を介して産業用ロボットＲの内部空間に
接続する。上記以外に、第１軸系１の内部空間と連通す
る状態で、開閉弁３７とフィルタ３８を設け、さらに圧
力計３９で内部圧力を監視できるようにしている。真空
チャンバＣはこれ専用の真空チャンバ用真空装置４０で
排気される。この装置４０は制御バルブ４１を介して真
空チャンバ内部に接続されている。４２は圧力計である
。
【００１９】図２に示すように、モータＭなどの発熱部
品をより効果的に冷却するために、送気装置３１から主
送気通路４４を導出し、さらに基台及び第１〜第５軸系
１〜５に対応して主送気通路４４から分岐通路４５をそ
れぞれ導出し、この導出路を各軸系の内部空間に設けた
モータＭなどの発熱部品の外周面に臨んで配置し給気部
４６を設けている。図３において、給気部４６は螺旋状
に形成されており、発熱部品と対向する通路壁に沿って
一定間隔おきに噴口４７を開口している。
品をより効果的に冷却するために、送気装置３１から主
送気通路４４を導出し、さらに基台及び第１〜第５軸系
１〜５に対応して主送気通路４４から分岐通路４５をそ
れぞれ導出し、この導出路を各軸系の内部空間に設けた
モータＭなどの発熱部品の外周面に臨んで配置し給気部
４６を設けている。図３において、給気部４６は螺旋状
に形成されており、発熱部品と対向する通路壁に沿って
一定間隔おきに噴口４７を開口している。
【００２０】気密シール８Ａ，８Ｂは、産業用ロボット
Ｒの内部圧力を真空チャンバＣとの間の差圧が一定値を
越えるとシール破壊を生じ、そこから冷却気体が真空チ
ャンバＣ内へ漏れ出る。こうした事態を避けるために、
産業用ロボットＲ内部の冷却気体をロボット用真空装置
３２で排気し、内部圧力を低圧状態（例えば、０．２ａ
ｔｍ 以下）に維持している。さらに、各圧力計３９，
４２によって産業用ロボットＲの内外差圧状態を検知し
、この検知結果に基づいて各真空装置３２，４０の制御
バルブ３４，４１を開閉制御している。
Ｒの内部圧力を真空チャンバＣとの間の差圧が一定値を
越えるとシール破壊を生じ、そこから冷却気体が真空チ
ャンバＣ内へ漏れ出る。こうした事態を避けるために、
産業用ロボットＲ内部の冷却気体をロボット用真空装置
３２で排気し、内部圧力を低圧状態（例えば、０．２ａ
ｔｍ 以下）に維持している。さらに、各圧力計３９，
４２によって産業用ロボットＲの内外差圧状態を検知し
、この検知結果に基づいて各真空装置３２，４０の制御
バルブ３４，４１を開閉制御している。
【００２１】開閉弁３７は、真空チャンバＣ及び産業用
ロボットＲの内部の排気を行う際に開き操作され、排気
時に産業用ロボットＲの内外差圧が一定値以上になるこ
とを防ぐ。真空チャンバＣ内の圧力が一定状態（１０−
３Ｔｏｒｒ）にまで降下したら、開閉弁３７は閉じられ
る。 この状態で、送気装置３１の制御バルブ３３を開いて、
ヘリウムや空気などの冷却気体を供給し、各給気部４６
の噴口４７から発熱部品に向って噴出する。噴出された
冷却気体は、各回転軸部に設けた通路１６及び連通管２
６を介して基台側へ流動し基台内部に連通する通路を介
してロボット用真空装置３２へと回収される。冷却気体
がヘリウムである場合には、回収した気体を冷却した後
送気装置３１へ送って再使用することになる。
ロボットＲの内部の排気を行う際に開き操作され、排気
時に産業用ロボットＲの内外差圧が一定値以上になるこ
とを防ぐ。真空チャンバＣ内の圧力が一定状態（１０−
３Ｔｏｒｒ）にまで降下したら、開閉弁３７は閉じられ
る。 この状態で、送気装置３１の制御バルブ３３を開いて、
ヘリウムや空気などの冷却気体を供給し、各給気部４６
の噴口４７から発熱部品に向って噴出する。噴出された
冷却気体は、各回転軸部に設けた通路１６及び連通管２
６を介して基台側へ流動し基台内部に連通する通路を介
してロボット用真空装置３２へと回収される。冷却気体
がヘリウムである場合には、回収した気体を冷却した後
送気装置３１へ送って再使用することになる。
【００２２】尚、上記実施例では、オイルシール及び磁
性流体シールで回転軸１２Ａ，１２Ｂの封止を行ったが
、例えば、より大きな差圧状態に耐えられる真空シール
を用いて軸封を行うこともでき、この場合は産業用ロボ
ットＲの内部圧力をほぼ１気圧にして冷却気体を循環さ
せることができる。
性流体シールで回転軸１２Ａ，１２Ｂの封止を行ったが
、例えば、より大きな差圧状態に耐えられる真空シール
を用いて軸封を行うこともでき、この場合は産業用ロボ
ットＲの内部圧力をほぼ１気圧にして冷却気体を循環さ
せることができる。
【００２３】さらに、上記実施例では発熱部品を個別に
冷却できるようにしたが、その必要はなく、産業用ロボ
ットＲの一方の端の軸系から他方の端の軸系へ冷却気体
を流動させながら冷却を行ってもよい。
冷却できるようにしたが、その必要はなく、産業用ロボ
ットＲの一方の端の軸系から他方の端の軸系へ冷却気体
を流動させながら冷却を行ってもよい。
【００２４】また、給気部４６は、螺旋形以外の配置形
態を採ることもでき、モータＭの外面及び内面へ同時に
冷却気体を供給できるよう構成することもできる。
態を採ることもでき、モータＭの外面及び内面へ同時に
冷却気体を供給できるよう構成することもできる。
【図１】この発明の内容を示す原理説明図である。
【図２】産業用ロボットにおける冷却系統を示す系統説
明図である。
明図である。
【図３】発熱部品の冷却形態を示す一部破断側面図であ
る。
る。
【図４】第１軸系と第２軸系の接続部の断面図である。
【図５】第５軸系と第６軸系の接続部の断面図である。
１ 第１軸系
２ 第２軸系
３ 第３軸系
４ 第４軸系
５ 第５軸系
６ 第６軸系
８Ａ，８Ｂ 気密シール
１２Ａ，１２Ｂ 回転軸
３１ 送気装置
３２ ロボット用真空装置
４０ チャンバ用真空装置
Ｒ 産業用ロボット
Ｃ 真空チャンバ
Claims (2)
- 【請求項１】 真空チャンバ内に設置されて作業を行
う産業用ロボットを備えた真空チャンバ用産業ロボット
装置であって、上記産業用ロボットは複数の軸系を有し
、各軸系が回転軸を介して接続された多関節ロボットで
構成され、上記各軸系は各回転軸に装着された気密シー
ルで封止されて、発熱部品を収容する内部空間が真空チ
ャンバに対して気密状に隔絶されており、上記産業用ロ
ボットには、発熱部品を冷却する冷却気体を前記内部空
間へ供給する送気装置と、冷却気体を内部空間から回収
する真空装置とがそれぞれに接続されていることを特徴
とする真空チャンバ用産業ロボット装置。 - 【請求項２】 送気装置は、主送気通路から各軸系に
対応して分岐通路が分岐されており、各分岐通路を発熱
部品の外周面に臨んで配置し、発熱部品と対向する通路
壁に冷却気体を発熱部品へ向って噴出する噴口が開口さ
れて形成されていることを特徴とする請求項１記載の真
空チャンバ用産業ロボット装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14356091A JPH04372390A (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 真空チャンバ用産業ロボット装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14356091A JPH04372390A (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 真空チャンバ用産業ロボット装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04372390A true JPH04372390A (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=15341581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14356091A Withdrawn JPH04372390A (ja) | 1991-06-14 | 1991-06-14 | 真空チャンバ用産業ロボット装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04372390A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007091433A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Nidec Sankyo Corp | ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット |
| JP2008006535A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
| JP2009233824A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Yamaha Motor Co Ltd | 多関節型ロボット |
| WO2012080134A1 (de) * | 2010-12-16 | 2012-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Einrichtung zum abführen von wärme aus einer automatisierten handhabungseinrichtung, insbesondere einem handhabungsroboter, und verwendung der einrichtung |
| WO2017199003A1 (en) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | Cambridge Medical Robotics Limited | Cooling a surgical robot arm |
| JP2020174091A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社荏原製作所 | 搬送装置、ワーク処理装置、搬送装置の制御方法、プログラムを記憶する記録媒体 |
-
1991
- 1991-06-14 JP JP14356091A patent/JPH04372390A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007091433A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Nidec Sankyo Corp | ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット |
| JP4731267B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2011-07-20 | 日本電産サンキョー株式会社 | ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット |
| JP2008006535A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
| TWI399271B (zh) * | 2006-06-29 | 2013-06-21 | Nidec Sankyo Corp | 產業用機器人 |
| KR101359062B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2014-02-05 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
| JP2009233824A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Yamaha Motor Co Ltd | 多関節型ロボット |
| WO2012080134A1 (de) * | 2010-12-16 | 2012-06-21 | Robert Bosch Gmbh | Einrichtung zum abführen von wärme aus einer automatisierten handhabungseinrichtung, insbesondere einem handhabungsroboter, und verwendung der einrichtung |
| JP2013545626A (ja) * | 2010-12-16 | 2013-12-26 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用 |
| WO2017199003A1 (en) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | Cambridge Medical Robotics Limited | Cooling a surgical robot arm |
| US10881471B2 (en) | 2016-05-19 | 2021-01-05 | Cmr Surgical Limited | Cooling a surgical robot arm |
| JP2020174091A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社荏原製作所 | 搬送装置、ワーク処理装置、搬送装置の制御方法、プログラムを記憶する記録媒体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5096930B2 (ja) | 冷却循環通路を備えた基板搬送用ロボットの駆動装置 | |
| KR890003258B1 (ko) | 공업용 로보트 | |
| JP6313963B2 (ja) | 産業用ロボット | |
| JP2011127757A (ja) | 選択的に制御されるシールを有する回転継手 | |
| US10626980B2 (en) | Linear actuator system | |
| JPH04372390A (ja) | 真空チャンバ用産業ロボット装置 | |
| JP6783459B2 (ja) | ワーク搬送ロボット | |
| JPS61125791A (ja) | 内圧防爆構造の工業用ロボツト | |
| US5548964A (en) | Method and apparatus for cooling a vacuum device | |
| TWI531452B (zh) | Industrial robots | |
| JPH05305596A (ja) | 真空チャンバ用ロボット装置 | |
| EP0531534B1 (en) | Piping arrangement for wrist of laser robot | |
| JP3136445B2 (ja) | 真空チャンバ用産業ロボット装置 | |
| JP7485778B2 (ja) | 真空シール装置、及び、駆動伝達装置 | |
| JP2008194778A (ja) | マニピュレータ及びこれを用いた成膜装置 | |
| JP3227105B2 (ja) | 真空排気システム | |
| US5282390A (en) | Industrial robot with means for cooling a linear motion nut and screw shaft | |
| JP3089329B2 (ja) | 真空チャンバ用産業ロボット装置 | |
| JPH04365582A (ja) | 真空チャンバ用産業ロボット装置 | |
| CN212086722U (zh) | 一种带冷却功能的密封柜 | |
| JPH0584691A (ja) | 真空チヤンバ用産業ロボツト装置 | |
| JPH0584692A (ja) | 真空チヤンバ用産業ロボツト装置 | |
| US6318959B1 (en) | Multi-stage rotary vacuum pump used for high temperature gas | |
| JP2000186685A (ja) | 高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置 | |
| JP3162649B2 (ja) | トラップ装置及びその再生方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |