JP2007091433A - ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外部と隔絶され中空11aを有する形状に形成されてワークを載置する載置部11と、載置部11の一端側の中空11aに冷却媒体を導入する媒体導入管15a、15b、15c、15dと、載置部11の他端側の中空11aから冷却媒体を排出する媒体排出口17と、を備える。
【選択図】図2
Description
まず、搬送系統を説明する。ワーク搬送ロボット1(以下では単に「ロボット1」という)は、基台2上の関節部3を中心に回転可能な第1アーム6と、この第1アーム6の先端側の関節部4に回転可能に連結された第2アーム7と、第2アーム7の先端部の関節部5に回転可能に連結されたハンド10とを備えている。
ロボット1の冷却系統は、ワークエリアの外側から冷却媒体を圧送する手段とハンド10内における冷却機構と使用後の冷却媒体を排出手段とを有する一連の冷却媒体の経路である。なお、図中の矢印は冷却媒体の流れる方向を示し、図1Bの矢印Xは大気吸気方向(冷却媒体の圧送方向)を、矢印Yは使用済み冷却媒体の排出方向を示す。また、ハンド10内における冷却機構については後述する。
次に、図2および図3を参照しつつ、本実施の形態のハンド10およびその冷却機構を説明する。図2は、本実施の形態にかかるハンドの上面の断面図である。図3(A)は本実施の形態にかかるハンドの載置部の上面部分断面図であり、図3(B)はその側断面図である。また、図3(A)(B)において、矢印Xは冷却媒体の圧送方向を、矢印Yは使用済み冷却媒体の排出方向を示す。
次に、以上のように構成されたワーク搬送ロボットにおけるハンドの冷却作動について説明する。
次の本発明における別の実施の形態を説明する。図4は、この別の実施の形態にかかるハンドの要部拡大図である。なお、上述の実施の形態と同じ構成については、同じ符号を付しその説明は省略する。
2 基台
3、4、5 関節部
6 第1アーム
7 第2アーム
8 コンプレッサー
9 エアーフィルター
10 ハンド
11 載置部
11a 中空
12 連結部
12a 連結部中空
13 媒体圧送管
14 媒体排出管
15a、15b、15c、15d 媒体導入管
16a、16b、16c、16d 媒体噴出口
17 媒体排出口
18 吸着パッド
19 センサ
20 吸着パッド用配管
21 排気フィルター
W ワーク(ガラス基板)
Claims (10)
- 外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、
前記載置部の一端側の前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、
前記載置部の他端側の前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口と、
を備えることを特徴とするロボットのハンド。 - 前記媒体導入管の媒体噴出口を前記載置部の先端から基端における前記中空に少なくとも1以上設けたことを特徴とする請求項1記載のロボットのハンド。
- 前記媒体導入管を複数設け、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に前記媒体噴出口を設けたことを特徴とする請求項2記載のロボットのハンド。
- 前記冷却媒体として気体を用い、前記媒体排出口を前記載置部の基端またはその近傍に設けるとともに、塵埃除去フィルターを介して前記中空の外部に前記冷却媒体を排出することを特徴とする請求項1記載のロボットのハンド。
- 前記媒体排出口は、前記冷却媒体を前記ロボットのワークエリアの外部へ排出する媒体排出管に連通接続されていることを特徴とする請求項1記載のロボットのハンド。
- 前記載置部が、カーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成されていることを特徴とする請求項1から5記載のロボットのハンド。
- 前記中空の外部に面する前記載置部の表面にアルミ層を設けたことを特徴とする請求項6記載のロボットのハンド。
- 前記載置部の厚みが基端から先端に向かって次第に薄くなることを特徴とする請求項6記載のロボットのハンド。
- 外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、前記載置部の一端側の前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、前記載置部の他端側の前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを有するワーク載置用ハンドと、
前記媒体導入管に前記冷却媒体を圧送する手段と、を備えることを特徴とするワーク搬送ロボット。 - 前記媒体導入管と前記圧送手段との間に塵埃除去フィルターを設けたことを特徴とする請求項9記載のワーク搬送ロボット。
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