CN107186745B - 真空吸附结构及机械手装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种真空吸附结构及机械手装置，真空吸附结构包括机械手垫板和设置在机械手垫板上用于吸附基板的真空吸嘴，还包括设置在真空吸嘴内并用于为真空吸嘴降温的冷却部件，真空吸嘴内部设有安装冷却部件的容纳槽，冷却部件内部通入冷却介质；冷却部件为冷却管线，冷却介质为冷却气体；冷却管线上设有用于向真空吸嘴的吸附面吹气的冷却气孔，真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气口。机械手装置采用了该真空吸附结构，本发明提供的真空吸附结构及机械手装置，提高了产品的质量。
Description
技术领域
本发明属于显示装置生产设备技术领域，更具体地说，是涉及一种真空吸附结构及采用该真空吸附结构的机械手装置。
背景技术
显示装置中的基板在光阻涂布后需要进入软烤机进行烘烤。机械手臂的垫板在搬送基板进入炉内的过程中，会因为炉内的热量传递而升温，此时机械手臂的垫板是有温度的。当机械手臂返回去搬送另外一片刚涂布后的基板时，垫板的温度会传递给玻璃基板，接触的位置会因为温差的作用而膜厚不均并在使用过程中产生亮度不均匀和出现斑点的现象。
发明内容
本发明的目的在于提供一种真空吸附结构，旨在解决机械手臂在搬运涂布好的玻璃基板进行烘烤时机械手臂上的垫板将温度传递给玻璃基板，造成玻璃基板膜厚不均且在使用过程中产生亮度不均匀和出现斑点的问题。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种真空吸附结构，其包括：
机械手垫板；
真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；
冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；
容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；
冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温。
进一步地，所述冷却部件为冷却管线，所述冷却介质为冷却气体。
进一步地，所述冷却管线上设有用于向所述真空吸嘴的吸附面吹气的冷却气孔，所述真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气口。
进一步地，所述冷却管线缠绕在所述真空吸嘴的内部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。
进一步地，所述容纳槽位于所述吸附面的一侧壁上间隔设有散热片，所述冷却气孔与所述散热片之间构成的间隙相对应。
进一步地，所述散热片与所述：所述容纳槽的侧壁垂直设置。
进一步地，所述机械手垫板上设有镂空沟槽。
进一步地，所述真空吸嘴均匀布置在所述机械手垫板上。
本发明还提供一种真空吸附结构，所述真空吸附结构包括：
机械手垫板；
真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；
冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；
容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；
冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温，所述冷却介质包括冷却气体，所述冷却部件为具有若干通气孔的冷却管线，所述真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气孔，所述冷却管线缠绕在所述真空吸嘴的内部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。
本发明真空吸附结构，通过在真空吸嘴内设置的冷却部件中通入冷却介质，机械手垫板在烤炉内准备去搬送另外一片基板的过程中，不断进行冷却，保证机械手垫板上的真空吸嘴在接触下一片基板时不会在基板上产生温差，保证搬运过程不会造成膜厚不均，提高了产品的质量。
本发明还提供一种机械手装置，包括任意一项上述的真空吸附结构。
本发明机械手装置，采用了该真空吸附结构，保证了机械手垫板上的真空吸嘴在接触下一片基板时不会在基板上产生温差，在搬运过程不会造成膜厚不均，利于提高产品的质量。
附图说明
图1为本发明实施例提供的真空吸附结构的使用状态结构示意图；
图2为本发明实施例提供的真空吸附结构的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的真空吸嘴的俯视剖视示意图；
图4为本发明实施例提供的真空吸嘴的左视剖视示意图一；
图5为本发明实施例提供的真空吸嘴的左视剖视示意图二。
具体实施方式
为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请一并参阅图1至图4，现对本发明提供的真空吸附结构进行说明。真空吸附结构，包括机械手垫板1、设置在机械手垫板1上用于吸附基板3的真空吸嘴2和设置在真空吸嘴2上并用于为真空吸嘴2降温的冷却部件，真空吸嘴2内部设有安装所述冷却部件的容纳槽，冷却部件内部通入冷却介质。
本发明提供的真空吸附结构，通过在真空吸嘴2内设置冷却部件中通入冷却介质，机械手垫板1在烤炉内准备去搬送另外一片基板3的过程中，不断进行冷却，保证机械手垫板1上的真空吸嘴2在接触下一片基板3时不会在基板3上产生温差，保证搬运过程不会造成膜厚不均，提高了产品的质量。
进一步地，请参阅图3及图4，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却部件为冷却管线23，冷却介质为冷却气体。真空吸嘴2的中部设有吸孔21，用于吸附基板3，真空吸嘴2内部设有用于放置冷却管线23的内容槽，冷却管线23与气源接通，气源向冷却管线23通入冷却气体，采用冷却气体进行降温，使用方便，降温效果好。
进一步地，请参阅图1及图2及图4，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却管线23上设有用于向真空吸嘴2的吸附面吹气的冷却气孔24，真空吸嘴2上设有用于内部气体排出的排气口22。冷却管线23上的冷却气孔24源源不断的向真空吸嘴2的吸附面上进行吹气，进行热交换，带走真空吸嘴2上的热量并通过排口排出到外界，降温效果佳。
具体地，请参阅图1及图2及图4，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，排气口22设置在真空吸嘴2的角部，便于排气散热，可选的排气口22设置在真空吸嘴2的周圈，并且在真空吸嘴2的周圈均匀排布，散热更加均匀，使用效果佳。
进一步地，请参阅图1至图4，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却管线23缠绕在真空吸嘴2的内部且靠近真空吸嘴2的吸附面布置。冷却管线23缠绕布置，增大了气体进入量和气体排出量，热交换的效率高，使用效果好。
进一步地，请参阅图5，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，容纳槽位于吸附面的一侧壁上间隔设有散热片25，冷却气孔24与散热片25之间构成的间隙相对应，设置散热片25增加了散热面积，提高了散热效率。散热片与容纳槽的侧壁垂直设置，便于加工制作，利于冷却气体的流动，散热效果好。
进一步地，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却气体为干燥空气或氮气。干燥的空气或氮气均为常见的气体，原料易得且无污染，尤其是氮气，压缩的氮气用作降温时温度较低，冷却效果更好。
进一步地，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，冷却部件为冷却水管，冷却介质为冷却水，通过冷却水管对真空吸嘴2进行降温，降温效果好，噪声小。
进一步地，请参阅图1及图2，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，机械手垫板1上设有镂空沟槽11。设置镂空沟槽11能够便于真空吸附和破真空，且机械手垫板1与基板3的接触面积小，接触更加平稳，吸附更加紧密，真空吸附更加稳定。
进一步地，请参阅图1及图2，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，镂空沟槽11为矩形槽。矩形槽便于加工制作，并且方便机械后垫板上的真空吸嘴2布置。
进一步地，请参阅图1及图2，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，机械手垫板1的端部设有倒向角。设置导向角12方便机械手垫板1取放基板3不会对基板3造成划伤。
进一步地，请参阅图1及图2，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，真空吸嘴2均匀布置在机械手垫板1上。真空吸嘴2均匀布置，吸附效果好，搬运过程稳定可靠。
进一步地，作为本发明提供的真空吸附结构的一种具体实施方式，真空吸嘴2与机械手垫板1为可拆卸连接，便于真空吸嘴2的安装和更换，具体地真空吸嘴2通过螺钉固定在机械手垫板1上。螺钉为标准件便于采购，成本较低并且连接效果好。
该真空吸附结构，在具体实施中，通过在真空吸嘴2内设置冷却管线23，冷却介质为冷却气体。冷却管线23缠绕在真空吸嘴2的内部，增加大了与真空吸嘴2的接触面积，同时增大了冷却气体的进气量，冷却管线23与气源接通，气源向冷却管线23通入冷却气体，冷却管线23上设有用于向真空吸嘴2的吸附面吹气的冷却气孔24，真空吸嘴2上设有用于内部气体排出的排气口22，由于冷却管线23缠绕设置，进而可以设置较多的排气口22，增大了冷却气体的流通量。大量的气体在在流动的过程中通过与真空吸嘴2的热交换，会带走真空吸嘴处的热量，达到对真空吸嘴2降温的目的，同样可以对机械手垫板1进行降温，保证机械手垫板1上的真空吸嘴2在接触下一片基板3时不会在基板3上产生温差，进而提高基板的生产质量和合格率。
机械手垫板1在烤炉内准备去搬送另外一片基板3的过程中，气源向冷却管线23通入冷却气体，可选的是冷却空气或冷却氮气，而且冷却空气或冷却氮气均为干燥的气体，由于冷却气体在不断地进行降温、冷却，保证机械手垫板1上的真空吸嘴2在接触下一片基板3时不会在基板3上产生温差，使用方便，降温效果好，保证搬运过程中机械手垫板1在与基板接触时时刻保持一个正常的温度，不会温度过高而造成膜厚不均，提高了生产的基板的质量，从而有利于提高显示装置的质量及合格率。
本发明还提供一种真空吸附结构，请参阅图1至图4，所述真空吸附结构，包括机械手垫板1、设置在机械手垫板1上用于吸附基板3的真空吸嘴2和设置在真空吸嘴2上并用于为真空吸嘴2降温的冷却部件，真空吸嘴2内部设有安装所述冷却部件的容纳槽，冷却部件内部通入冷却介质，冷却部件为具有若干通气孔的冷却管线，真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气孔，冷却管线缠绕在真空吸嘴的内部且靠近真空吸嘴的吸附面布置，冷却介质包括冷却气体，可选的，冷却气体为冷却空气或冷却的氮气。
本发明提供的真空吸附结构，通过在真空吸嘴2内设置冷却部件中通入冷却介质，冷却介质可选的为干燥的冷却气体，原料易得，使用环保无污染，而且冷却效果佳，机械手垫板1在烤炉内离开后，准备去搬送另外一片基板3的过程中，冷却气体不断进行对真空吸嘴进行冷却，保证机械手垫板1上的真空吸嘴2在接触下一片基板3时不会在基板3上产生温差，保证搬运过程不会造成膜厚不均，提高了产品的质量。
本发明还提供一种机械手装置，所述机械手装置包括任意一项上述的真空吸附结构。
本发明机械手装置，采用了该真空吸附结构，保证了机械手垫板1上的真空吸嘴2在接触下一片基板3时不会在基板3上产生温差，在搬运过程真空吸嘴始终保持一个较低的温度，不会造成膜厚不均，利于提高产品的质量。
本发明机械手装置，可以适用于显示装置中的基板3在在光阻涂布后进入软烤机进行烘烤的过程的搬送，机械手装置上的机械手垫板1在搬送基板3进入炉内的过程中，会因为炉内的热量传递而升温，此时机械手装置的垫板是有温度的。当机械手装置返回去搬送另外一片刚涂布后的基板时，机械手垫板1进行冷却，保证接触下一片基板时温度不会过高，避免了温差的作用而膜厚不均并在使用过程中产生亮度不均匀和出现斑点的现象。
其中，基板3可以是玻璃基板或是柔性基板，然不限于此。
在某些实施方式中，显示装置可例如为LCD显示装置、OLED显示装置、QLED显示装置、曲面显示装置或其他显示装置。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种真空吸附结构，其特征在于，所述真空吸附结构包括：
机械手垫板；
真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；
冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；
容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；
冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温，所述冷却介质包括冷却气体；
所述冷却部件为冷却管线，所述冷却管线缠绕在所述真空吸嘴的内部且靠近真空吸嘴的吸附面布置；所述真空吸嘴的中部设有吸孔，用于吸附基板，所述冷却管线环绕所述吸孔布置；所述冷却管线上设有用于向真空吸嘴的吸附面吹气的冷却气孔，所述真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气口，所述排气口环绕所述吸孔排布；所述容纳槽位于所述吸附面的一侧壁上间隔设有散热片，所述冷却气孔与所述散热片之间构成的间隙相对应。
2.如权利要求1所述的真空吸附结构，其特征在于：所述散热片与所述容纳槽的侧壁垂直设置。
3.如权利要求1所述的真空吸附结构，其特征在于：所述机械手垫板上设有镂空沟槽。
4.如权利要求1所述的真空吸附结构，其特征在于：所述真空吸嘴均匀布置在所述机械手垫板上。
5.一种真空吸附结构，其特征在于，所述真空吸附结构包括：
机械手垫板；
真空吸嘴，设置在所述机械手垫板上，用于吸附基板；
冷却部件，设置在所述真空吸嘴内，用于为所述真空吸嘴降温；
容纳槽，设置在所述真空吸嘴内部，用于安装所述冷却部件；
冷却介质，设置所述冷却部件内部，用于为冷却部件降温；
其中，所述冷却介质包括冷却气体，所述冷却部件为具有若干通气孔的冷却管线，所述真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气孔，所述冷却管线缠绕在所述真空吸嘴的内部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。
6.机械手装置，其特征在于：包括权利要求1-5任意一项所述的真空吸附结构。
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Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108568786A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-09-25 | 佛山市银美精工科技有限公司 | 一种恒温吸附平台和一种恒温控制的面板 |
| CN110919695B (zh) * | 2019-11-29 | 2021-04-02 | Tcl华星光电技术有限公司 | 机械手臂 |
| CN113929091A (zh) * | 2021-10-18 | 2022-01-14 | 惠州学院 | 一种二维薄膜材料的转移方法、复合薄膜及其应用 |
| CN114420623B (zh) * | 2022-03-31 | 2022-06-07 | 三河建华高科有限责任公司 | 一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1939675A (zh) * | 2005-09-29 | 2007-04-04 | 日本电产三协株式会社 | 机器人的机械手及使用该机械手的工件搬送机器人 |
| KR20080011903A (ko) * | 2006-08-01 | 2008-02-11 | 세메스 주식회사 | 반도체 기판의 이송 장치, 기판 처리 장치 및 이를 이용한기판의 냉각 방법 |
| CN104210844A (zh) * | 2014-09-10 | 2014-12-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板传递系统及其机械手 |
| CN205184797U (zh) * | 2015-12-11 | 2016-04-27 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 一种机械手及搬运机器人 |
| CN106003096A (zh) * | 2016-07-29 | 2016-10-12 | 苏州高通机械科技有限公司 | 一种基板冷却搬运机器人 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6299431B1 (en) * | 1998-07-28 | 2001-10-09 | Husky Injection Molding Systems Ltd. | Cooling apparatus for injection molding machines |
| US7349060B2 (en) * | 2003-12-02 | 2008-03-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Loader and bonding apparatus for fabricating liquid crystal display device and loading method thereof |
| JP4878109B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2012-02-15 | 株式会社アルバック | 基板移載システムおよび基板移載方法 |
| US8484995B2 (en) * | 2010-11-29 | 2013-07-16 | Corning Incorporated | Glass manufacturing apparatuses with particulate removal devices and methods of using the same |
| FR2997031B1 (fr) * | 2012-10-23 | 2016-07-01 | Bel Fromageries | Dispositif de prehension d'au moins un produit deformable. |
| WO2014114594A1 (de) * | 2013-01-25 | 2014-07-31 | J. Schmalz Gmbh | Flächensauggreifer |
| AU2014260456A1 (en) * | 2013-05-03 | 2015-12-17 | Kasra Farsad | Vacuum condenser |
| CN205674220U (zh) | 2016-06-08 | 2016-11-09 | 苏州工业园区久泰精密电子有限公司 | 一种吸盘抓手 |
| CN206201002U (zh) | 2016-10-26 | 2017-05-31 | 昆明理工大学 | 一种真空吸盘机械手装置 |
| CN106378790A (zh) * | 2016-11-24 | 2017-02-08 | 广州数控设备有限公司 | 一种机器人吸盘装置 |
-
2017
- 2017-06-06 CN CN201710418770.1A patent/CN107186745B/zh active Active
- 2017-07-26 US US16/320,174 patent/US11034032B2/en active Active
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1939675A (zh) * | 2005-09-29 | 2007-04-04 | 日本电产三协株式会社 | 机器人的机械手及使用该机械手的工件搬送机器人 |
| KR20080011903A (ko) * | 2006-08-01 | 2008-02-11 | 세메스 주식회사 | 반도체 기판의 이송 장치, 기판 처리 장치 및 이를 이용한기판의 냉각 방법 |
| CN104210844A (zh) * | 2014-09-10 | 2014-12-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板传递系统及其机械手 |
| CN205184797U (zh) * | 2015-12-11 | 2016-04-27 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 一种机械手及搬运机器人 |
| CN106003096A (zh) * | 2016-07-29 | 2016-10-12 | 苏州高通机械科技有限公司 | 一种基板冷却搬运机器人 |
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