JP2013103331A - 産業用ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される搭載部27を有するハンド3と、その先端側でハンド3を保持するアームと、アームの基端側を保持する本体部と、搭載部27の少なくとも上面を覆うカバー部材30とを備えている。カバー部材30における輻射熱の反射率は、搭載部27における輻射熱の反射率よりも高く、カバー部材30の熱伝導率は、搭載部27の熱伝導率よりも低く、搭載部27の比重は、カバー部材30の比重よりも小さくなっている。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1(B)のE−E方向から産業用ロボット1を示す側面図である。
図3は、図1に示すハンド3の平面図である。図4(A)は、図3のF部の拡大図であり、図4(B)は、図3のG−G断面の断面図である。図5は、図4(A)のH−H断面の断面図である。図6は、図4(A)のJ−J断面の断面図である。
以上説明したように、本形態では、カバー部材30における輻射熱の反射率は、フォーク先端部27における輻射熱の反射率よりも高くなっており、かつ、カバー部材30の熱伝導率は、フォーク先端部27の熱伝導率よりも低くなっている。そのため、本形態では、熱放射によって基板2からフォーク先端部27に伝達される熱量をカバー部材30によって低減することが可能になる。特に本形態では、カバー部材30が、フォーク先端部27の上面に加え、フォーク先端部27の側面のほぼ全域を覆っているため、熱放射によって基板2からフォーク先端部27に伝達される熱量を効果的に低減することが可能になる。また、本形態では、フォーク先端部27の上面と上面部30aの下面との間に隙間が形成されるとともに、フォーク先端部27の側面と側面部30bとの間に隙間が形成されており、カバー部材30からフォーク先端部27への熱伝導経路がカラー32およびスペーサ33となっているため、熱放射によって基板2からカバー部材30に伝達された熱が熱伝導によってフォーク先端部27に伝達されるのを抑制することが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
3、4 ハンド
5、6 アーム
7 本体部
25 フォーク
26 ハンド基部
27 フォーク先端部(搭載部)
28 フォーク基端部
30 カバー部材
40、41 第2のカバー部材
Claims (9)
- 搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載される搭載部を有するハンドと、その先端側で前記ハンドを保持するアームと、前記アームの基端側を保持する本体部と、前記搭載部の少なくとも上面を覆うカバー部材とを備え、
前記カバー部材における輻射熱の反射率は、前記搭載部における輻射熱の反射率よりも高く、
前記カバー部材の熱伝導率は、前記搭載部の熱伝導率よりも低く、
前記搭載部の比重は、前記カバー部材の比重よりも小さいことを特徴とする産業用ロボット。 - 前記カバー部材は、前記搭載部の上面および側面を覆っていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
- 前記搭載部は、セラミックで形成され、前記カバー部材は、ステンレス鋼板で形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。
- 前記ハンドは、複数のフォークと、複数の前記フォークの基端側が固定されるとともに前記アームの先端側に保持されるハンド基部とを備え、
前記フォークの少なくとも先端側部分が前記搭載部となっていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記フォークは、前記搭載部としてのフォーク先端部と、前記フォーク先端部の基端側が固定されるフォーク基端部とを備え、
前記フォーク基端部の少なくとも一部は、中空状に形成されていることを特徴とする請求項4記載の産業用ロボット。 - 前記フォーク基端部における輻射熱の反射率は、前記フォーク先端部における輻射熱の反射率よりも高く、
前記フォーク基端部の熱伝導率は、前記フォーク先端部の熱伝導率よりも低く、
前記フォーク先端部の比重は、前記フォーク基端部の比重よりも小さいことを特徴とする請求項5記載の産業用ロボット。 - 前記フォーク先端部は、セラミックで形成され、前記フォーク基端部の少なくとも一部は、ステンレス鋼管で形成されていることを特徴とする請求項5または6記載の産業用ロボット。
- 前記アームの少なくとも上面を覆う第2のカバー部材を備え、
前記第2のカバー部材の熱伝導率は、前記アームの熱伝導率よりも低くなっていることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の産業用ロボット。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015037701A1 (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP2018019015A (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 株式会社アルバック | 基板搬送ロボット、真空処理装置 |
KR20210002029A (ko) | 2019-06-28 | 2021-01-06 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
CN114633287A (zh) * | 2022-04-25 | 2022-06-17 | 湖南工业大学 | 一种多臂多自由度臂式结构 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6271266B2 (ja) * | 2014-01-29 | 2018-01-31 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP2017127914A (ja) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット及びロボットシステム |
JP6786291B2 (ja) | 2016-07-28 | 2020-11-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP6829962B2 (ja) | 2016-07-28 | 2021-02-17 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
CN106477857B (zh) * | 2016-10-08 | 2019-04-30 | 成都光明光学元件有限公司 | 玻璃压型自动化投料装置及其方法 |
CN108666232B (zh) * | 2017-03-28 | 2021-11-12 | 雷仲礼 | 基板处理系统、基板翻转装置和方法 |
JP2019010690A (ja) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット |
CN107564845B (zh) * | 2017-08-24 | 2019-12-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种机械手 |
KR102505762B1 (ko) * | 2018-09-10 | 2023-03-06 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 로봇 |
CN111283657B (zh) * | 2018-12-06 | 2021-12-24 | 台达电子工业股份有限公司 | 机器人机构 |
KR102240925B1 (ko) * | 2019-07-17 | 2021-04-15 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 설비 및 기판 반송 장치 |
JP7325260B2 (ja) * | 2019-08-21 | 2023-08-14 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 真空装置 |
EP3889012A1 (de) | 2020-03-30 | 2021-10-06 | Joseph Vögele AG | Gummiraupenfahrwerk |
WO2021243325A1 (en) * | 2020-05-29 | 2021-12-02 | Persimmon Technologies Corporation | Robot for high-temperature applications |
JP2022015959A (ja) * | 2020-07-10 | 2022-01-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP2022104004A (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-08 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
KR102475430B1 (ko) * | 2021-01-06 | 2022-12-07 | 씰링크 주식회사 | 반도체 기판 이송 로봇 |
WO2024006177A1 (en) * | 2022-07-01 | 2024-01-04 | Lam Research Corporation | Robot arm with vacuum-compatible seals and internal cooling flow paths |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204316A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 耐熱ロボットハンド |
JPH07297255A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2006062183A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Kyocera Mita Corp | 画像形成装置 |
JP2007091433A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Nidec Sankyo Corp | ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット |
WO2008120294A1 (ja) * | 2007-03-02 | 2008-10-09 | Daihen Corporation | 搬送装置 |
JP2009043799A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送装置 |
JP2010500184A (ja) * | 2006-08-11 | 2010-01-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボット・リスト・アセンブリの為の方法および装置 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10134761A (ja) * | 1996-10-30 | 1998-05-22 | Ebara Corp | イオン注入装置及びイオン注入方法 |
JPH11195687A (ja) * | 1997-12-27 | 1999-07-21 | Nippon Seiko Kk | 基板搬送装置 |
US6183026B1 (en) * | 1999-04-07 | 2001-02-06 | Gasonics International Corporation | End effector |
US6322116B1 (en) * | 1999-07-23 | 2001-11-27 | Asm America, Inc. | Non-contact end effector |
JP3263684B2 (ja) * | 1999-07-26 | 2002-03-04 | 株式会社ジェーイーエル | 基板搬送用ロボット |
JP4346765B2 (ja) | 2000-01-04 | 2009-10-21 | 株式会社アルバック | 基板搬送ロボット |
US7073834B2 (en) * | 2004-06-25 | 2006-07-11 | Applied Materials, Inc. | Multiple section end effector assembly |
KR101023725B1 (ko) * | 2004-06-29 | 2011-03-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 이재 로봇 |
WO2006062183A1 (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Ulvac, Inc. | 搬送ロボット及び搬送装置 |
KR100949502B1 (ko) * | 2005-06-20 | 2010-03-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치 |
JP2007082954A (ja) | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Terumo Corp | 成分測定用チップ |
JP5096930B2 (ja) | 2006-01-13 | 2012-12-12 | ナブテスコ株式会社 | 冷却循環通路を備えた基板搬送用ロボットの駆動装置 |
WO2007082594A2 (en) * | 2006-01-20 | 2007-07-26 | Abb Ab | Drive unit comprising an electric rotating actuator and a wave gear speed reducer |
JP4617278B2 (ja) * | 2006-06-29 | 2011-01-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP4707621B2 (ja) | 2006-07-14 | 2011-06-22 | 富士通株式会社 | 情報検索システム |
JP4826785B2 (ja) | 2006-11-14 | 2011-11-30 | 国立大学法人神戸大学 | 飛行型情報処理装置 |
CN101970982B (zh) * | 2008-03-19 | 2012-07-25 | 株式会社安川电机 | 形状测量装置和具有该形状测量装置的机器人装置 |
JP2010023195A (ja) | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
US8276959B2 (en) * | 2008-08-08 | 2012-10-02 | Applied Materials, Inc. | Magnetic pad for end-effectors |
US8529136B2 (en) * | 2009-03-30 | 2013-09-10 | Wafertech, Llc | High temperature ball bearing |
JP5434483B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2014-03-05 | 日本精工株式会社 | ロボットアーム |
JP5527075B2 (ja) | 2010-02-12 | 2014-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送機構 |
CN202072285U (zh) * | 2011-05-24 | 2011-12-14 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 面板传送装置及其面板支撑机构 |
US8814239B2 (en) * | 2012-02-15 | 2014-08-26 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for handling media arrays |
-
2012
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- 2012-11-01 CN CN201280054402.9A patent/CN103930243B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204316A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | 耐熱ロボットハンド |
JPH07297255A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2006062183A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Kyocera Mita Corp | 画像形成装置 |
JP2007091433A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Nidec Sankyo Corp | ロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボット |
JP2010500184A (ja) * | 2006-08-11 | 2010-01-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボット・リスト・アセンブリの為の方法および装置 |
WO2008120294A1 (ja) * | 2007-03-02 | 2008-10-09 | Daihen Corporation | 搬送装置 |
JP2009043799A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015037701A1 (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
KR20160054464A (ko) * | 2013-09-13 | 2016-05-16 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
JPWO2015037701A1 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-03-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
KR102236151B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2021-04-05 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
JP2018019015A (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 株式会社アルバック | 基板搬送ロボット、真空処理装置 |
KR20180013737A (ko) * | 2016-07-29 | 2018-02-07 | 가부시키가이샤 알박 | 기판 반송 로봇, 진공 처리 장치 |
KR102269697B1 (ko) | 2016-07-29 | 2021-06-25 | 가부시키가이샤 알박 | 기판 반송 로봇, 진공 처리 장치 |
KR20210002029A (ko) | 2019-06-28 | 2021-01-06 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
CN114633287A (zh) * | 2022-04-25 | 2022-06-17 | 湖南工业大学 | 一种多臂多自由度臂式结构 |
CN114633287B (zh) * | 2022-04-25 | 2023-07-28 | 湖南工业大学 | 一种多臂多自由度臂式结构 |
Also Published As
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