JP2013251498A - ウエハ接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハ接合装置10は、ウエハ1を垂直に立てた状態でウエハ1の垂直位置座標を規定するためのウエハ位置決め部80と、ウエハ1の主面に直交する水平方向に、複数のウエハ1を移動させることにより押圧するための押圧部60と、ウエハ位置決め部80および押圧部60を真空状態とするための真空機構90と、を有する。ウエハ1が垂直方向に支持された状態で接合されることにより、ウエハ1への塵埃等の付着を抑制することができ、接合後の複合ウエハ7の密着性が高まる。
【選択図】 図3
Description
図4は、接合装置10における乾燥部20および搬送部30を示した図である。矢印Sに示す経路に沿った搬送は、搬送部30のうちのテーブル30A、水平搬送機構30Bおよび上下搬送機構40によって実行される。
乾燥部20は、ウエハ1を接合する前にウエハ1を乾燥するためのものである。乾燥部20は、熱の供給源となる加熱源21と、加熱源21に当接しつつウエハ1に接近した位置でウエハ1を加熱する伝熱部材22と、を備える。伝熱部材22は、フレーム状の伝熱部材固定板25を介して、真空チャンバー91の天板に取付けられる。伝熱部材22は、加熱源21から熱を受ける受熱板23と、受熱板23から下向きに突出する複数のフィン24を有する。複数のフィン24は等間隔で並んでおり、隣り合うフィン24のピッチ(フィン24同士の中心間距離)は、たとえば9.52mmである。フィン24の厚みは、たとえば2mmである。
ウエハ1の乾燥が終了すると、ウエハ1は、カセット15とともに、矢印Tに示す経路に沿って搬送される。この搬送は、搬送部30のうちのテーブル30A、水平搬送機構30Bおよび上下搬送機構40、50によって実行される。その際、ウエハ1は、カセット15により垂直に立てられた状態のまま搬送される。
ウエハ位置決め部80は、押圧部60においてウエハ1の位置座標を規定するためのものである。図6(A)から図6(C)を参照して、ウエハ1が位置決めされる様子を順に説明する。なお、理解を容易にするため、ウエハ位置決め部80および押圧部60において、垂直方向をZ方向、ウエハ1を水平向きに押圧する方向をX方向、Z方向およびX方向と直交する方向をY方向と呼ぶ。
押圧部60は、所定方向に位置決めされた複数のウエハ1を押圧することにより接合するためのものである。図5に示すとおり、押圧部60は、複数のウエハ1を挟んで押圧するための押圧板61および受圧板62と、押圧力の駆動源となる押圧サーボ機構64と、押圧サーボ機構64から押圧板61へ押圧力を伝達する押圧棒63と、を備える。
接合の終了した複数組の複合ウエハ7は、矢印Uに示す経路に沿って搬送される。この搬送は、搬送部30のうちのテーブル30A、水平搬送機構30Bおよび上下搬送機構50によって実行される。
本実施形態によれば、ウエハ1を垂直に立てた状態で水平方向に移動させることによりウエハ1同士を接合するので、ウエハ1の接合面2への塵埃等の付着を抑制できる。これにより、接合後の複合ウエハ7の密着性を高めることができる。
5:複合ウエハ
10:ウエハ接合装置
15:ウエハカセット
20:乾燥部
22:伝熱部材
30:搬送部
30A:テーブル
30B:水平搬送機構
37、41、51:ハンド
40、50:上下搬送機構
60:押圧部
61:押圧板
62:受圧板
64:押圧サーボ機構
71:中間板
80:ウエハ位置決め部
81:位置決めガイド部材
82:アンダーピン
83:サイドピン
90:真空機構
91:真空チャンバー
Claims (7)
- 複数のウエハを押圧することにより接合し、複合ウエハを製造するためのウエハ接合装置であって、
前記ウエハを垂直に立てた状態で、前記ウエハの少なくとも垂直位置座標を規定するためのウエハ位置決め部と、
前記ウエハの主面に直交する水平方向に、複数の前記ウエハを移動させることにより押圧するための押圧部と、
前記ウエハ位置決め部および前記押圧部を真空状態とするための真空機構と、
を有することを特徴とするウエハ接合装置。 - 前記ウエハ位置決め部は、前記ウエハの主面に直交する水平方向に延びた位置決めガイド部材を備え、
前記位置決めガイド部材は、前記ウエハの周縁に下方側から当接するように設けられることを特徴とする請求項1に記載されたウエハ接合装置。 - 前記真空機構の内部に、
押圧前の複数の前記ウエハの水分を除去するための乾燥部と、
前記乾燥部から前記押圧部へ複数の前記ウエハを搬送するための搬送部と、
を有することを特徴とする請求項1または2に記載されたウエハ接合装置。 - 前記乾燥部および前記搬送部において、
複数の前記ウエハを、垂直に立てた状態で、かつ、隣り合う前記ウエハの間に隙間をあけた状態で収納するウエハカセットを用いることを特徴とする請求項3に記載されたウエハ接合装置。 - 前記乾燥部において、複数の前記ウエハは隙間をあけた状態で配置され、
前記乾燥部は、複数の前記ウエハの間の隙間から前記ウエハを加熱するための伝熱部材を備えることを特徴とする請求項3または4に記載されたウエハ接合装置。 - 前記乾燥部において、複数の前記ウエハは接合面が互いに向き合うように配置され、
前記伝熱部材は、前記ウエハの非接合面の隙間から前記ウエハを加熱する位置に配置されることを特徴とする請求項5に記載されたウエハ接合装置。 - 複数の前記ウエハを押圧することにより接合し、複数組の複合ウエハを同時に製造するためのウエハ接合装置であって、
前記押圧部において、前記ウエハは接合面が互いに向き合うように配置され、
前記押圧部は、前記ウエハの非接合面に、前記ウエハ同士の接合を防止するための中間板を備えることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載されたウエハ接合装置。
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