KR20220115520A - 기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법 - Google Patents

기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법 Download PDF

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다카시 이즈미
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Abstract

[과제] 기판이 대형화, 박형화한 경우여도, 기판끼리를 단시간에 적절히 첩부하는 것이 가능한 기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법을 제공한다.
[해결 수단] 기판 첩부 장치 (100) 는, 복수의 기판 (S1, S2) 을 겹친 상태에서 사이에 두는 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 와, 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 중 어느 일방을 어느 타방에 압박하는 압압 기구 (50) 를 갖고, 압압 기구 (50) 는, 복수의 기판 (S1, S2) 의 중앙부에 대응하여 배치되는 중앙 하중축 (51A) 과, 중앙부를 제외한 복수의 기판의 주변부에 대응하여 배치되는 복수의 주변 하중축 (51B ~ 51E) 과, 중앙 하중축 (51A) 및 복수의 주변 하중축 (51B ~ 51E) 의 각각을 개별적으로 구동하는 복수의 구동부 (52A ~ 52E) 를 구비한다.

Description

기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법{SUBSTRATE ATTACHING APPARATUS AND SUBSTRATE ATTACHING METHOD}
본 발명은, 기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법에 관한 것이다.
복수의 기판을 겹친 상태에서 첩부하는 기판 첩부 장치가 알려져 있다. 이 기판 첩부 장치는, 기판끼리를 첩부할 때에 기판을 압압 (押壓) 하는 플레이트 (압압 부재, 가압판이라고도 한다) 와, 플레이트에 압압력을 부여하는 압압 기구를 가지고 있다. 압압 기구는, 플레이트의 중심부에 대해 하중을 부여하도록 1 개의 하중축을 구비하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조). 최근 기판의 대형화, 박형화에 따라 플레이트도 대형화하고 있고, 1 개의 하중축으로 플레이트에 하중을 부여한 것에서는, 하중축의 축선 방향으로는 소정의 하중이 부여되지만, 이 축선 방향으로부터 멀어지면 하중 부족을 발생시킨다. 축선 방향으로부터 멀어진 부분에서는, 기판끼리의 첩부 불량이 생기는 경우가 있다.
이 문제를 해소하려면 플레이트를 두껍게 하여 강성을 높일 필요가 있고, 이것으로는 장치 제조 비용을 상승시킬 뿐만 아니라, 무거운 플레이트를 구동하므로 가동 시의 비용 상승을 초래하게 된다. 또, 플레이트에 대해 복수의 하중축에 의해 압압력을 부여하는 형태가 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 2, 3, 4, 5). 이와 같이, 복수의 하중축으로 플레이트를 압압함으로써, 플레이트에 대해 넓게 압압력이 분포하도록 하여, 기판끼리의 첩부 불량의 경감을 도모하고 있다.
일본 공개특허공보 2007-311683호 일본 공개특허공보 2002-323694호 일본 공개특허공보 2003-241160호 일본 공개특허공보 2004-268113호 일본 공개특허공보 2008-147249호
특허문헌 2, 3, 4, 5 의 기판 첩부 장치는, 플레이트에 대해 복수의 하중축에 의해 압압력을 부여하고 있지만, 복수의 하중축이 1 개의 구동부에 의해 플레이트에 대해 압압력을 부여하고 있다. 즉, 복수의 하중축이 개별적으로 구동되고 있지 않고, 복수의 하중축에 의한 압압력이 대략 동일하고, 그 압압력을 부여하는 구동 타이밍도 대략 동시이다. 상기와 같이 기판이 대형화, 박형화한 상황에서는, 기판의 휨, 변형도 커져, 단순히 복수의 하중축에 의해 플레이트에 대해 동일한 압압력을 동시에 부여하는 것만으로는, 기판끼리의 일부에서 압압력이 부족한 경우가 있어, 기판끼리를 적절히 첩부할 수 없다는 과제가 있다. 또한, 압압력이 부족한 부분을 보충하기 위해서, 압압한 상태를 긴 시간 유지하여 대응시킬 필요가 있어, 기판의 첩부에 필요한 시간이 길어져 처리 효율이 나쁘다는 과제가 있다.
본 발명은, 기판이 대형화, 박형화한 경우여도, 기판끼리를 단시간에 적절히 첩부하는 것이 가능한 기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 양태에 관련된 기판 첩부 장치는, 복수의 기판을 겹친 상태에서 사이에 두는 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트와, 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트 중 어느 일방을 어느 타방에 압박하는 압압 기구를 갖고, 압압 기구는, 복수의 기판의 중앙부에 대응하여 배치되는 중앙 하중축과, 중앙부를 제외한 복수의 기판의 주변부에 대응하여 배치되는 복수의 주변 하중축과, 중앙 하중축 및 복수의 주변 하중축의 각각을 개별적으로 구동하는 복수의 구동부를 구비한다.
본 발명의 양태에 관련된 기판 첩부 방법에서는, 복수의 기판을 겹친 상태에서 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트로 사이에 둠으로써 복수의 기판을 첩부하는 방법으로서, 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트 중 어느 일방을 어느 타방에 압박할 때에, 복수의 기판의 중앙부에 대응하는 부분에 대한 압압, 및 중앙부를 제외한 복수의 기판의 주변부에 대응하는 복수의 부분에 대한 각 압압을, 개별적으로 각각 설정하는 것을 포함한다.
본 발명의 양태에 관련된 기판 첩부 장치 및 기판 첩부 방법에 의하면, 압압 기구에 구비하는 중앙 하중축과, 복수의 주변 하중축이, 복수의 구동부에 의해 각각 구동되므로, 제 1 플레이트 또는 제 2 플레이트에 대해 상이한 압압력을 상이한 구동 타이밍에 부여할 수 있다. 그 결과, 첩부하는 기판에 부여하는 압압력 및 그 구동 타이밍을 임의로 설정할 수 있어, 대형화, 박형화한 기판이어도, 기판끼리를 단시간에 적절히 첩부할 수 있다.
도 1 은 실시형태에 관련된 기판 첩부 장치의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 2 는 도 1 에 나타내는 기판 첩부 장치의 평면도이다.
도 3 은 제 1 플레이트를 하방으로부터 본 사시도이다.
도 4 는 얼라인먼트 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 기판을 위치 결정하기 전의 상태를 나타내는 도면, (B) 는 기판을 위치 결정한 상태를 나타내는 도면이다.
도 5 는 스페이서의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 스페이서가 대기하고 있는 상태를 나타내는 도면, (B) 는 스페이서가 기판을 지지한 상태를 나타내는 도면이다.
도 6 은 본 실시형태에 관련된 기판 첩부 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 7 은 도 6 에 계속해서, 본 실시형태에 관련된 기판 첩부 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 8 은 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 챔버의 게이트 밸브를 개방한 도면, (B) 는 상측 기판을 아암으로부터 리프트 핀에 건네준 도면이다.
도 9 는 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 상측 기판에 대해 얼라인먼트 동작을 실시한 도면, (B) 는 얼라인먼트 동작 후에 상측 기판을 소정의 위치까지 상승시킨 도면이다.
도 10 은 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 상측 기판을 스페이서로 지지한 상태의 도면, (B) 는 하측 기판을 아암으로부터 리프트 핀에 건네준 도면이다.
도 11 은 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 챔버 내를 배기하고 하측 기판에 휨 억제 베이크 처리를 실시하는 도면, (B) 는 진공 분위기하에서 하측 기판에 휨 억제 베이크 처리를 실시하는 도면이다.
도 12 는 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 하측 기판에 대해 얼라인먼트 동작을 실시한 도면, (B) 는 얼라인먼트 동작 후에 하측 기판을 상승시킨 도면이다.
도 13 은 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 제 2 플레이트를 하강시켜 스프링 핀으로 상측 기판을 압압한 상태의 도면, (B) 는 스페이서를 퇴피시켜 상측 기판과 하측 기판을 맞닿게 한 도면이다.
도 14 는 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 제 2 플레이트를 하강시키면서 리프트 핀을 하강시켜, 제 1 플레이트 상에 하측 기판을 재치한 도면, (B) 는 제 1 플레이트와 제 2 플레이트로 상측 기판과 하측 기판을 사이에 둔 도면이다.
도 15 는 중앙 하중축 및 복수의 주변 하중축에 대해, 부여하는 하중과 그 구동 타이밍을 나타내는 그래프도이다.
도 16 은 기판 첩부 장치의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 제 2 플레이트를 상승시키고, 리프트 핀을 상승시킨 도면, (B) 는 첩부된 상측 기판 및 하측 기판을 리프트 핀으로부터 아암에 건네준 도면이다.
도 17 은 변형예에 관련된 제 2 플레이트의 일례를 나타내는 도면이다.
도 18 은 도 17 에 나타내는 제 2 플레이트로 상측 기판을 압압한 상태를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은, 이하의 설명에 한정되지 않는다. 또, 도면에 있어서는 실시형태를 알기 쉽게 설명하기 위해, 일부분을 생략하여 표현하고 있는 부분이 있다. 또한, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있어, 실제의 제품과는 크기, 형상이 상이한 경우가 있다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 직교좌표계를 사용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 직교좌표계에 있어서는, 수평면에 평행한 평면을 XY 평면으로 한다. 이 XY 평면에 있어서 기판 (S1) 과 기판 (S2) 의 반송 방향에 평행한 방향을 X 방향으로 하고, X 방향에 직교하는 방향을 Y 방향으로 한다. 또, XY 평면에 수직인 방향을 Z 방향 (높이 방향) 으로 표기한다. X 방향, Y 방향 및 Z 방향의 각각은, 도면 중의 화살표가 가리키는 방향이 ＋ 방향이며, 화살표가 가리키는 방향과는 반대의 방향이 - 방향인 것으로 하여 설명한다.
＜기판 첩부 장치＞
실시형태에 관련된 기판 첩부 장치 (100) 에 대해 설명한다. 도 1 은, 실시형태에 관련된 기판 첩부 장치 (100) 의 일례를 나타내는 도면이다. 도 2 는, 도 1 에 나타내는 기판 첩부 장치 (100) 의 평면도이다. 기판 첩부 장치 (100) 는, 접착층 (F) 을 형성한 기판 (S1) 과, 접착층 (F) 을 형성한 기판 (S2) 을, 서로의 접착층 (F) 을 맞닿게 하여 첩부한다. 또한, 접착층 (F) 은, 기판 (S1) 및 기판 (S2) 의 쌍방에 형성되는 것에 한정되지 않고, 어느 일방의 기판 (S1) 또는 기판 (S2) 에 형성되는 형태여도 된다. 접착층 (F) 은, 기판 첩부 장치 (100) 에 반입되기 전에, 예를 들어 도포 장치 등에 의해 기판 (S1), 기판 (S2) 에 도포, 건조됨으로써 형성된다. 또한, 이 도포 장치는, 기판 첩부 장치 (100) 에 구비하는 형태여도 된다.
기판 (S1) 및 기판 (S2) 은, 예를 들어 유리 기판이지만, 유리 기판 이외의 반도체 기판, 수지성 기판 등이어도 된다. 본 실시형태에서는, 첩부되는 2 장의 기판 중, 상측 기판 (제 1 기판) 을 기판 (S1) 으로 칭하고, 하측 기판 (제 2 기판) 을 기판 (S2) 으로 칭한다. 또, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부한 형태를 기판 (S) (도 18 참조) 으로 칭한다. 기판 (S1) 및 기판 (S2) 은, 모두 평면에서 볼 때 (Z 방향으로부터 보아) 사각형상 (정방형상, 장방형상) 의 각형 기판이 사용되지만, 각형 기판에 한정되지 않고, 평면에서 볼 때 원형상, 타원형상, 장원형상 등의 기판이어도 된다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 기판 첩부 장치 (100) 는, 챔버 (10) 와, 제 1 플레이트 (20) 와, 제 2 플레이트 (30) 와, 리프트부 (40) 와, 압압 기구 (50) 와, 얼라인먼트 기구 (60) 와, 스페이서 기구 (70) 와, 블록 (80) 과, 제어부 (C) 를 구비한다. 또한, 도 2 에 있어서는, 챔버 (10) 의 내부를 알기 쉽게 하기 위해, 챔버 (10) 의 상면 측을 생략하여 표기하고 있다. 제어부 (C) 는, 기판 첩부 장치 (100) 에 있어서의 각 부의 동작을 통괄하여 제어한다.
챔버 (10) 는, 내부에 제 1 플레이트 (20) 와, 제 2 플레이트 (30) 와, 리프트부 (40) 와, 압압 기구 (50) 의 일부와, 얼라인먼트 기구 (60) 와, 스페이서 기구 (70) 가 수용되어 있다. 챔버 (10) 는, 상자상으로 형성되어 있고, 측벽의 일부에 개구부 (11) 를 가지고 있다. 개구부 (11) 는, 챔버 (10) 의 -X 측의 면에 형성되어, 챔버 (10) 의 내부와 외부를 연통시킨다. 개구부 (11) 는, 반송 장치 (90) (도 8(B) 참조) 에 유지된 기판 (S1, S2), 또한 양자를 첩부한 기판 (S) 이 통과 가능한 치수로 형성되어 있다.
기판 (S1, S2) 은, 반송 장치 (90) 의 아암 (91) (도 8(B) 참조) 에 의해 개구부 (11) 를 통하여 챔버 (10) 에 각각 반입된다. 또, 기판 (S) 은, 개구부 (11) 를 통하여 챔버 (10) 내로부터 반출된다. 본 실시형태에서는, 반송 장치 (90) 는, 평판상의 2 개의 아암 (91) 을 구비하고 있고, 챔버 (10) 에 기판 (S1) 을 반입할 때는, 기판 (S1) 의 상측으로부터 흡착하여 기판 (S1) 을 유지하고, 기판 (S2) 을 반입할 때, 및 기판 (S) 을 챔버 (10) 로부터 반출할 때는, 기판 (S2, S) 의 하측으로부터 흡착하여 기판 (S2, S) 을 유지한다. 또한, 아암 (91) 은, 기판 (S2, S) 을 반송할 때, 기판 (S2, S) 을 흡착하지 않고 아암 (91) 의 상면 측에 재치하여 유지하는 형태여도 된다. 또한, 아암 (91) 은 2 개로는 한정되지 않고, 3 개 이상이어도 된다. 챔버 (10) 내에 기판 (S1) 이 반입될 때, 기판 (S1) 은, 접착층 (F) 이 하방 (-Z 방향) 을 향한 상태로 반송된다. 또, 챔버 (10) 내에 기판 (S2) 이 반입될 때, 기판 (S2) 은, 접착층 (F) 이 상방 (＋Z 방향) 을 향한 상태로 반입된다.
챔버 (10) 는, 개구부 (11) 를 개폐하는 게이트 밸브 (12) 를 구비하고 있다. 게이트 밸브 (12) 는, 챔버 (10) 의 -X 측의 측면에 있어서의 외측에 배치되고, 도시되지 않은 구동부에 의해, 예를 들어, 상하 방향 (Z 방향) 으로 슬라이드 가능하다. 게이트 밸브 (12) 는, 슬라이드함으로써 개구부 (11) 를 개폐하고, 개구부 (11) 를 폐쇄함으로써 챔버 (10) 내를 밀폐 상태로 할 수 있다. 또, 챔버 (10) 의 상면에는, 후술하는 복수의 하중축 (51) 이 관통하는 복수의 관통부 (10a) 가 형성되어 있다. 관통부 (10a) 의 각각에는, 하중축 (51) 이 승강 가능한 상태로 삽입되어 있고, 도시되지 않은 시일 부재에 의해 챔버 (10) 내의 밀폐 상태를 유지하고 있다.
챔버 (10) 내는, 도시되지 않은 흡인 장치에 접속되어 있다. 이 흡인 장치에 의해 챔버 (10) 내를 흡인 (배기) 함으로써, 챔버 (10) 내를 진공 분위기로 할 수 있다. 챔버 (10) 는, 내부의 진공 분위기를 개방하기 위해서 외부에 대해 개방 가능한 밸브를 구비하고 있어도 된다. 또, 챔버 (10) 내는, 도시되지 않은 가스 공급 장치에 접속되어도 된다. 이 가스 공급 장치로부터 챔버 (10) 내에 소정의 가스를 공급함으로써 챔버 (10) 내를 소정의 가스 분위기로 할 수 있다. 소정의 가스로서는, 예를 들어, 질소 가스 등의 기판 (S1, S2) 에 형성되어 있는 박막 등에 대해 불활성인 가스, 또는 드라이 에어 등이 사용된다. 또한, 기판 첩부 장치 (100) 는, 챔버 (10) 를 구비하는지 여부가 임의이며, 챔버 (10) 를 구비하지 않는 형태 (대기 개방형) 여도 된다.
제 1 플레이트 (20) 는, 챔버 (10) 내에 반입된 기판 (S1, S2) 을 하방으로부터 지지한다. 제 1 플레이트 (20) 는, 평면에서 볼 때 사각형상 (정방형상, 장방형상) 이지만, 이 형태에 한정되지 않고, 예를 들어 원형상, 타원형상, 장원형상 등이어도 된다. 제 1 플레이트 (20) 는, X 방향 및 Y 방향에 있어서 기판 (S1, S2) 보다 큰 치수로 설정되어 있다.
제 1 플레이트 (20) 는, 지지 플레이트 (21) 와, 히터 (가열부) (22) 와, 베이스 플레이트 (23) 를 갖는다. 지지 플레이트 (21), 히터 (22), 및 베이스 플레이트 (23) 는, 하측 (-Z 측) 으로부터 이 순서로 적층되어 있다. 제 1 플레이트 (20) 는, 지지 플레이트 (21) 의 하면 측에 형성된 복수의 다리부 (24) 에 의해 지지되고, 다리부 (24) 를 개재하여 챔버 (10) 의 저부에 고정되어 있다. 지지 플레이트 (21) 와 히터 (22) 사이, 및 히터 (22) 와 베이스 플레이트 (23) 사이는, 예를 들어 볼트 등의 체결 부재에 의해 고정되어 있다. 지지 플레이트 (21), 히터 (22), 및 베이스 플레이트 (23) 에는, 후술하는 리프트부 (40) 의 리프트 핀 (41) 을 관통시키는 관통공 (20a) 이 상하 방향으로 복수 형성되어 있다.
지지 플레이트 (21) 는, 예를 들어, 금속, 수지, 세라믹스 등의 재질에 의해 형성된 판상체이다. 히터 (22) 는, 가열부의 일례이며, 예를 들어, 내부에 전열선 등의 가열 기구 (열원) 를 갖는 핫 플레이트이다. 히터 (22) 에 의해 베이스 플레이트 (23) 를 개재하여 기판 (S1, S2) 을 가열한다. 또한, 히터 (22) 는, 시트상의 열원을 사이에 두고 적층된 적층 구조체여도 된다. 베이스 플레이트 (23) 는, 상면인 ＋Z 측의 재치면 (23a) 에 기판 (S1, S2), 및 기판 (S) 이 재치된다. 베이스 플레이트 (23) 는, 예를 들어, 세라믹스로 형성되는 판상체이지만, 금속, 수지 등으로 형성되어도 된다. 베이스 플레이트 (23) 의 재치면 (23a) 은, 기판 (S2) 과의 접촉면이 된다. 따라서, 재치면 (23a) 은, 평면도가 높고 또한 면조도가 작은 (또는 경면인) 것이 바람직하다.
도 3 은, 제 1 플레이트 (20) 를 하방으로부터 본 사시도이다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 다리부 (24) 는, 지지 플레이트 (21) 의 하면에 복수 형성되어 있다. 복수의 다리부 (24) 는, 지지 플레이트 (21) 의 하면의 중앙부에 배치되는 다리부 (24A) 와, 지지 플레이트 (21) 의 코너부인 4 모서리의 각각에 배치되는 다리부 (24B) 와, 다리부 (24A) 를 둘러싸도록 배치된 8 개의 다리부 (24C) 로 형성되어 있다. 다리부 (24B) 는, 다리부 (24A, 24C) 보다 강성이 낮다. 기판 (S1, S2) 을 첩부할 때의 압압력은, 주로 다리부 (24A, 24C) 에 의해 받아들이고 있다.
이와 같이, 복수의 다리부 (24) 로 제 1 플레이트 (20) 를 지지함으로써, 압압력이 클 때여도 제 1 플레이트 (20) 의 변형을 방지한다. 또한, 다리부 (24) 의 개수 및 배치는, 상기한 형태에 한정되지 않고, 제 1 플레이트 (20) 의 크기, 사용되는 압압력의 크기 등에 따라 임의로 설정할 수 있다. 예를 들어, 지지 플레이트 (21) 의 하면의 4 모서리에 각각 배치되고, 또한 중앙부에 1 개 배치되는 형태여도 된다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 2 플레이트 (30) 는, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부할 때에, 기판 (S1) 을 기판 (S2) 측 (제 1 플레이트 (20) 측) 을 향해 압압한다. 제 2 플레이트 (30) 는, 제 1 플레이트 (20) 와 동일하게, 평면에서 볼 때 사각형상 (정방형상, 장방형상) 이지만, 이 형태에 한정되지 않고, 예를 들어, 원형상, 타원형상, 장원형상 등이어도 된다. 제 2 플레이트 (30) 는, X 방향 및 Y 방향에 있어서 기판 (S1, S2) 보다 큰 치수로 설정되어 있다. 제 2 플레이트 (30) 의 X 방향 및 Y 방향에 있어서의 치수는, 제 1 플레이트 (20) 와 동일하지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 2 플레이트 (30) 는, 제 1 플레이트 (20) 에 대해 X 방향 및 Y 방향에 있어서의 치수가 커도 되고, 또는 작아도 된다.
제 2 플레이트 (30) 는, 하중 플레이트 (31) 와, 히터 (가열부) (32) 와, 프레스 플레이트 (33) 를 갖는다. 하중 플레이트 (31), 히터 (32), 및 프레스 플레이트 (33) 는, 상측으로부터 이 순서로 적층되어 있다. 제 2 플레이트 (30) 는, 후술하는 압압 기구 (50) 의 하중축 (51) 의 하단 (下端) 에 유지되고 있고, 하중축 (51) 의 승강에 수반하여 승강한다. 하중 플레이트 (31) 와 히터 (32) 사이, 및 히터 (32) 와 프레스 플레이트 (33) 사이는, 예를 들어 볼트 등의 체결 부재에 의해 고정되어 있다.
하중 플레이트 (31) 는, 압압 기구 (50) 의 하중축 (51) 으로부터 압압력을 받으므로, 소정의 강도로 형성되는 것이 바람직하다. 하중 플레이트 (31) 는, 예를 들어, 금속, 수지, 세라믹스 등에 의해 형성된다. 히터 (32) 는, 제 1 플레이트 (20) 의 히터 (22) 와 동일하게, 예를 들어, 내부에 전열선 등의 가열 기구 (열원) 를 갖는 핫 플레이트이다. 히터 (32) 는, 프레스 플레이트 (33) 를 개재하여 기판 (S1) 을 가열한다. 또한, 히터 (32) 는, 히터 (22) 와 동일하게, 시트상의 열원을 사이에 두고 적층된 적층 구조체여도 된다. 또한, 본 실시형태에서는, 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 의 쌍방이 각각 히터 (22, 32) 를 구비하고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 중 어느 일방에 히터 (22 (32)) 를 구비하는 형태여도 된다. 또, 히터 (22, 32) 와는 별도로, 챔버 (10) 내를 가열하는 가열부가 형성되어도 된다.
프레스 플레이트 (33) 는, 기판 (S1) 을 기판 (S2) 을 향하여 압압하기 위한 압압면 (33a) 을 -Z 측의 하면에 구비한다. 프레스 플레이트 (33) 는, 예를 들어, 세라믹스로 형성되는 판상체이지만, 금속, 수지 등으로 형성되어도 된다. 프레스 플레이트 (33) 의 압압면 (33a) 은, 기판 (S1) 과의 접촉면이 된다. 따라서, 압압면 (33a) 은, 평면도가 높고 또한 면조도가 작은 (또는 경면인) 것이 바람직하다.
프레스 플레이트 (33) 는, 압압면 (33a) 측에 복수의 스프링 핀 (34) 을 구비한다. 복수의 스프링 핀 (34) 의 각각은, 도시 생략한 스프링 등에 의해 압압면 (33a) 으로부터 하방으로 돌출된 상태로 형성되어 있고, 상방으로의 힘을 받아 상방으로 이동하고, 압압면 (33a) 으로부터 몰입한다. 각 스프링 핀 (34) 은, 기판 (S1) 의 상면에 맞닿아, 기판 (S1) 에 대해 하 방향의 힘을 부여한다. 또한, 프레스 플레이트 (33) (제 2 플레이트 (30)) 에 스프링 핀 (34) 을 구비하는지 여부는 임의이다. 예를 들어, 스프링 핀 (34) 이 없는 프레스 플레이트 (33) (제 2 플레이트 (30)) 여도 된다.
리프트부 (40) 는, 제 1 플레이트 (20) 의 하방에 형성되어 있다. 리프트부 (40) 는, 제 1 플레이트 (20) 의 상방에 있어서 기판 (S1, S2, S) 을 지지하고, 이 기판 (S1, S2, S) 을 승강시킨다. 리프트부 (40) 는, 복수의 리프트 핀 (41) 과, 이들 리프트 핀 (41) 의 하단에 연결되어 Z 방향으로 승강하는 이동부 (42) 와, 이동부 (42) 를 승강시키는 리프트 핀 구동부 (43) 를 가지고 있다.
리프트 핀 (41) 은, 제 1 플레이트 (20) 에 형성된 복수의 관통공 (20a) 을 각각 관통하여 배치된다. 또한, 도 1 에서는 2 개의 리프트 핀 (41) 을 나타내고 있지만, 기판 (S1, S2, S) 을 지지하기 위해서, 적어도 3 개 이상의 리프트 핀 (41) 이 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 복수의 리프트 핀 (41) 의 상단 (上端) 의 높이는 동일 또는 대략 동일하게 가지런하게 되어 있다. 리프트 핀 (41) 은, 예를 들어, 비도전성을 갖는 재질 (예를 들어 수지, 금속, 세라믹스 등) 로 형성되어도 된다. 이동부 (42) 는, 리프트 핀 구동부 (43) 를 구동시킴으로써 승강하고, 이동부 (42) 의 승강에 수반하여 복수의 리프트 핀 (41) 을 동시에 승강시킨다. 리프트 핀 구동부 (43) 는, 예를 들어 전동의 회전 모터, 리니어 모터, 에어 실린더 장치, 유압 실린더 장치 등이 사용되고, 도시 생략한 전달 기구에 의해 구동력이 이동부 (42) 에 전달된다.
압압 기구 (50) 는, 제 2 플레이트 (30) 를 하강시켜, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부할 때에, 기판 (S1) 을 기판 (S2) 측 (제 1 플레이트 (20) 측) 을 향해 압압한다. 압압 기구 (50) 는, 복수의 하중축 (51) 과, 복수의 하중축 (51) 을 개별적으로 구동시키는 복수의 구동부 (52) 를 구비한다.
복수의 하중축 (51) 은, 중앙 하중축인 제 1 하중축 (51A) 과, 복수의 주변 하중축인 제 2 하중축 (51B), 제 3 하중축 (51C), 제 4 하중축 (51D), 제 5 하중축 (51E) 을 갖는다. 제 1 하중축 (51A) 은, 평면에서 볼 때 하중 플레이트 (31) 의 중앙부에 배치되고, 하중 플레이트 (31) 의 중앙부에 하중 (압압력) 을 부가한다. 제 2 하중축 (51B), 제 3 하중축 (51C), 제 4 하중축 (51D), 제 5 하중축 (51E) 은, 하중 플레이트 (31) 의 4 개의 코너부에 각각 배치되고, 하중 플레이트 (31) 의 코너부에 각각 하중을 부가한다. 각 하중축 (51) 은, 관통부 (10a) 를 통하여 챔버 (10) 내에 삽입되어 있다. 제 1 하중축 (51A) 은, 첩부되는 기판 (S1) 의 중앙부에 대응하여 배치된다. 제 2 하중축 (51B), 제 3 하중축 (51C), 제 4 하중축 (51D), 제 5 하중축 (51E) 은, 첩부하는 기판 (S1) 의 4 개의 코너부에 대응하도록 배치되어 있다. 각 하중축 (51) 의 하단은 동일한 높이로 가지런하게 되어 있고, 하중축 (51) 의 하단에서 유지하는 제 2 플레이트 (30) 가 수평면과 평행이 되도록 하고 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 5 개의 하중축 (51) 을 사용하고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 3 개의 하중축 (51), 또는 6 개 이상의 하중축 (51) 을 사용하는 형태여도 된다. 예를 들어, 3 개의 하중축 (51) 을 사용하는 경우, 예를 들어, 하중 플레이트 (31) 의 중앙부에 중앙 하중축을 배치시키고, 그 양측의 주변부에 각각 주변 하중축을 배치하는 형태여도 된다. 각 하중축 (51) 은, 각각 원형 단면의 봉상체이며, 부여되는 하중에 의해 변형되지 않거나, 또는 변형이 억제된 외경 및 재질 (예를 들어 금속, 수지, 세라믹스 등) 에 의해 형성된다. 각 하중축 (51) 은, 동일 형상이어도 되고, 상이한 형상이어도 된다. 예를 들어, 제 1 하중축 (51A) 은, 원형 단면의 외경이 다른 하중축 (51) 보다 커도 된다. 또, 각 하중축 (51) 은, 원형 단면인 것에 한정되지 않고, 예를 들어, 단면이 타원형상, 장원형상, 다각형상이어도 된다.
구동부 (52) 는, 각 하중축 (51) 에 대응하여 형성되어 있고, 제 1 하중축 (51A) 을 구동하는 제 1 구동부 (52A) 와, 제 2 하중축 (51B) 을 구동하는 제 2 구동부 (52B) 와, 제 3 하중축 (51C) 을 구동하는 제 3 구동부 (52C) 와, 제 4 하중축 (51D) 을 구동하는 제 4 구동부 (52D) 와, 제 5 하중축 (51E) 을 구동하는 제 5 구동부 (52E) 를 갖는다. 이들 복수의 구동부 (52) 는, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 각각 개별적으로 구동한다. 각 구동부 (52) 는, 예를 들어, 에어 실린더 장치, 유압 실린더 장치, 전동 회전 모터를 사용한 볼 나사 기구 등이 사용된다. 복수의 구동부 (52) 에 의해, 각 하중축 (51) 에 대해 상이한 하중을 상이한 구동 타이밍으로 부여할 수 있다.
구동부 (52) 는, 제어부 (C) 에 의해 제어된다. 각 구동부 (52) 에 의해 각 하중축 (51) 에 부여하는 하중, 및 하중을 부여하는 구동 타이밍은, 미리 설정된 프로그램 등에 기초하여 제어부 (C) 에 의해 통괄하여 제어된다. 또, 구동부 (52) 의 동작의 일부 또는 전부는, 오퍼레이터에 의한 조작에 의해 실시되어도 된다. 이와 같이, 복수의 하중축 (51) 에 설정되는 하중 및 구동 타이밍에 의해 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부하므로, 1 개의 하중축에 의해 하중을 부여하는 경우, 복수의 하중축에 의해 동일한 하중을 동일한 구동 타이밍으로 부여하는 경우와 비교해, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 단시간에 적절히 첩부할 수 있다.
얼라인먼트 기구 (60) 는, 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 에 대해, 기판 (S1, S2) 의 위치 결정을 실시한다. 얼라인먼트 기구 (60) 는, 복수의 얼라인먼트 구동부 (61) 와, 복수의 얼라인먼트 블록 (62A) 또는 복수의 얼라인먼트 블록 (62B) 을 구비한다. 얼라인먼트 블록 (62A, 62B) 은, 얼라인먼트 기구 (60) 에 구비하는 브래킷 등으로 교체하여 사용된다. 얼라인먼트 블록 (62A) 은, 기판 (S1, S2) 을 단독으로 얼라인먼트하기 위해서 사용되는 단독용 얼라인먼트 블록이다. 얼라인먼트 블록 (62B) 은, 기판 (S1, S2) 을 동시에 얼라인먼트하기 위해서 사용되는 동시용 얼라인먼트 블록이다. 얼라인먼트 블록 (62A) 은, 얼라인먼트 블록 (62B) 보다 높이 방향 (Z 방향) 이 짧다. 복수의 얼라인먼트 구동부 (61) 는, 챔버 (10) 내에 형성된 블록 (80) 에 형성된다. 얼라인먼트 구동부 (61) 는, 복수의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 을 X 방향 또는 Y 방향으로 이동시킨다. 얼라인먼트 구동부 (61) 는, 예를 들어, 실린더 장치 또는 전동 모터의 구동원과, 구동원에서 생긴 구동력을 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 에 전달하는 전달 기구를 갖는다.
얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, 도시 생략한 가이드에 의해 X 방향 또는 Y 방향으로 이동 가능하다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, -Y 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, ＋Y 방향을 향하여 진퇴하고, ＋Y 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, -Y 방향을 향하여 진퇴한다. -X 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, ＋X 방향을 향하여 진퇴하고, ＋X 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, -X 방향을 향하여 진퇴한다. 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, 예를 들어, 기판 (S1, S2) 의 파손을 방지하기 위해, 기판 (S1, S2) 보다 경도가 낮은 재질로 형성된다. 또, 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, 기판 (S1, S2) 이 대전하는 것을 방지하기 위해, 도전성을 갖는 재료로 형성되는 것이 바람직하다.
얼라인먼트 기구 (60) 는, 얼라인먼트 구동부 (61) 를 구동함으로써 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 을 진출시키고, 기판 (S1, S2) 의 각 변을 누름으로써 기판 (S1, S2) 을 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 에 대해 위치 결정한다. 얼라인먼트 기구 (60) 의 동작은, 제어부 (C) 에 의해 제어된다. 얼라인먼트 블록 (62A) 이 사용되는 경우, 제어부 (C) 는, 예를 들어, 도시 생략한 다른 유닛에서 취득한 기판 (S1, S2) 의 형상을 읽어들이고, 기판 (S1, S2) 에 대해 각각의 얼라인먼트 위치를 결정하고 나서, 얼라인먼트 블록 (62A) 을 동작시킨다. 또, 얼라인먼트 블록 (62B) 이 사용되는 경우, 제어부 (C) 는, 기판 (S2) 을 얼라인먼트할 때에, 동시에 기판 (S1) 에 대해서도 얼라인먼트를 실시하도록, 얼라인먼트 블록 (62B) 을 동작시킨다. 또한, 도 1 에서는, 얼라인먼트 블록 (62A) 과 얼라인먼트 블록 (62B) 의 쌍방을 기재하고 있지만, 기판 첩부 장치 (100) 의 가동 시에는, 어느 일방이 장착되어 있다.
도 4 는, 얼라인먼트 기구 (60) 에 의한 얼라인먼트 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 기판 (S1) 또는 기판 (S2) 을 위치 결정하기 전의 상태를 나타내는 도면, (B) 는 기판 (S1, S2) 을 위치 결정한 상태를 나타내는 도면이다. 도 4(A) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (S1) (기판 (S2)) 이 챔버 (10) 내의 리프트 핀 (41) (도 1 참조) 에 재치된 후, 얼라인먼트 구동부 (61) 를 구동함으로써 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 을 진출시킨다. 그 결과, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (S1, S2) 은, 복수의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 에 의해 눌림으로써 (얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 으로 사이에 두어짐으로써) 위치 결정되고, 예를 들어, 평면에서 볼 때 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 의 대략 중앙에 배치된다. 기판 (S1, S2) 의 위치 결정이 완료된 후, 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 은, 원래의 위치로 퇴피하여 기판 (S1, S2) 으로부터 멀어진다.
또한, 얼라인먼트 기구 (60) 는, 상기한 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, -Y 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 과 -X 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 을 고정시키고, ＋Y 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 과 ＋X 측의 2 개의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 을 진퇴 가능하게 하는 형태여도 된다. 이 형태에서는 -Y 측의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)), 및 -X 측의 얼라인먼트 블록 (62A (62B)) 을 진퇴시키기 위한 가이드, 얼라인먼트 구동부 (61) 등이 불필요해진다.
스페이서 기구 (70) 는, 기판 (S1) 을 리프트 핀 (41) 으로부터 수취하여 지지한다. 스페이서 기구 (70) 는, 복수의 스페이서 구동부 (71) 와, 복수의 스페이서 (72) 를 구비한다. 복수의 스페이서 구동부 (71) 는, 챔버 (10) 내에 형성된 블록 (80) 에 형성된다. 스페이서 구동부 (71) 는, 스페이서 (72) 를 X 방향 또는 Y 방향으로 이동시킨다. 스페이서 구동부 (71) 는, 예를 들어, 실린더 장치 또는 전동 모터의 구동원과, 구동원에서 생긴 구동력을 스페이서 (72) 에 전달하는 전달 기구를 갖는다.
스페이서 (72) 는, 도시 생략한 가이드에 의해 X 방향 또는 Y 방향으로 이동 가능하다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, -Y 측의 2 개의 스페이서 (72) 는, ＋Y 방향을 향하여 진퇴하고, ＋Y 측의 2 개의 스페이서 (72) 는, -Y 방향을 향하여 진퇴한다. -X 측의 2 개의 스페이서 (72) 는, ＋X 방향을 향하여 진퇴하고, ＋X 측의 2 개의 스페이서 (72) 는, -X 방향을 향하여 진퇴한다. 스페이서 (72) 는, 기판 (S1, S2) 이 대전하는 것을 방지하기 위해, 도전성을 갖는 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 스페이서 기구 (70) 는, 스페이서 구동부 (71) 를 구동함으로써 스페이서 (72) 를 진출시키고, 기판 (S1) 의 각 변의 하방에 위치시킴으로써, 리프트 핀 (41) 에 재치된 기판 (S1) 을 지지한다. 스페이서 기구 (70) 의 동작은, 제어부 (C) 에 의해 제어된다.
도 5 는, 스페이서 (72) 의 동작의 일례를 나타내고, (A) 는 스페이서 (72) 가 대기하고 있는 상태를 나타내는 도면, (B) 는 스페이서 (72) 가 기판을 지지한 상태를 나타내는 도면이다. 도 5(A) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (S1) 이 리프트 핀 (41) 에 재치되어 있는 상태에서, 스페이서 구동부 (71) 를 구동함으로써 스페이서 (72) 를 진출시킨다. 그 결과, 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (S1) 의 하방에 스페이서 (72) 가 배치되고, 이 상태에서 리프트 핀 (41) 을 하강시킴으로써, 기판 (S1) 은 스페이서 (72) 로 지지된다. 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부할 때에는, 스페이서 (72) 는, 원래의 위치로 퇴피하여 기판 (S1, S2) 으로부터 멀어진다.
또한, 스페이서 기구 (70) 는, 상기한 형태에 한정되지 않는다. 스페이서 (72) 의 개수 및 배치는, 기판 (S1) 을 지지할 수 있으면 임의로 설정할 수 있다. 예를 들어, 스페이서 (72) 는, ＋Y 측, -Y 측, ＋X 측, -X 측의 각각에 1 개 배치하는 형태여도 된다. 이 형태에서는, 스페이서 (72) 및 스페이서 구동부 (71) 의 수를 감소시킬 수 있다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 블록 (80) 은, 얼라인먼트 구동부 (61) 및 스페이서 구동부 (71) 를 지지하면서, 이들이 구동했을 때의 열을 냉각한다. 블록 (80) 은, 챔버 (10) 내의 측면을 따라 형성되고, 냉각수 등을 유통시키기 위한 유로를 가지고 있다. 냉각수는, 공급구 (81) 로부터 블록 (80) 내로 유입되고, 블록 (80) 내를 통과한 후에 배출구 (82) 로부터 배출된다. 또한, 블록 (80) 은, 냉각수를 유통시키는 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 냉각수를 유통시키지 않고, 얼라인먼트 구동부 (61) 및 스페이서 구동부 (71) 를 지지하는 부재로서 이용되어도 된다.
＜기판 첩부 방법＞
다음으로, 본 실시형태에 관련된 기판 첩부 방법에 대해 설명한다. 도 6 및 도 7 은, 본 실시형태에 관련된 기판 첩부 방법의 일례를 나타내는 플로우 차트이다. 이 기판 첩부 방법은, 예를 들어, 제어부 (C) 로부터의 지시에 의해 실행된다. 도 8 내지 도 14, 및 도 16 은, 기판 첩부 장치 (100) 의 동작의 일례를 나타내는 공정도이다. 또한, 이들 공정도에서는, 각 부의 움직임이 알기 쉬워지도록, 기재를 간략화하고 있다. 이하, 도 6 및 도 7 의 플로우 차트를 따라 설명한다.
먼저, 챔버 (10) 의 게이트 밸브 (12) 를 개방한다 (스텝 S01). 도 8(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 도시 생략한 구동부를 구동시켜 게이트 밸브 (12) 를 하강시켜, 개구부 (11) 를 개방시킨다. 계속해서, 기판 (S1) (상측 기판) 을 챔버 (10) 내에 반입한다 (스텝 S02). 이때, 도 8(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 리프트 핀 (41) 을 기판 (S1) 의 수수 높이까지, 상승시켜 둔다. 반송 장치 (90) 의 아암 (91) 은, 하면 측에 기판 (S1) 을 유지한 상태에서 개구부 (11) 로부터 챔버 (10) 의 내부에 진입하고, 기판 (S1) 을 리프트 핀 (41) 의 상방에 배치시킨다. 아암 (91) 은, 하면에 형성된 도시 생략한 흡착 패드 등에 의해 기판 (S1) 을 흡착 유지하고 있다. 그 후, 제어부 (C) 는, 아암 (91) 을 하강시켜, 기판 (S1) 을 아암 (91) 으로부터 리프트 핀 (41) 에 건네준다. 그 후, 아암 (91) 은, 챔버 (10) 로부터 퇴출한다. 또한, 기판 (S1) 은, 챔버 (10) 내로의 반입 시에, 접착층 (F) 이 하측이 되어 있다.
계속해서, 기판 (S1) 에 대해 얼라인먼트 동작을 실시한다 (스텝 S03). 이하에서는, 단독용 얼라인먼트 블록 (62A) 을 사용하는 경우를 예로 들어 설명한다. 이 얼라인먼트 동작을 단독 얼라인먼트 동작이라고 칭하는 경우가 있다. 도 9(A) 에 나타내는 바와 같이, 아암 (91) 의 퇴출 후, 리프트 핀 (41) 을 상승시켜 기판 (S1) 을 얼라인먼트 동작용 높이에 배치시킨다. 그 후, 제어부 (C) 는, 얼라인먼트 구동부 (61) 를 구동하여 얼라인먼트 블록 (62A) 을 진출시키고, 복수의 얼라인먼트 블록 (62A) 으로 기판을 사이에 둠으로써 기판 (S1) 을 위치 결정한다. 얼라인먼트 동작 후, 도 9(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 얼라인먼트 블록 (62A) 을 퇴피시키고, 이어서 리프트 핀 (41) 을 상승시킴으로써 기판 (S1) 을 스페이서 (72) 보다 상방에 배치시킨다.
계속해서, 기판 (S1) 을 스페이서 (72) 로 지지시킨다 (스텝 S04). 도 10(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 스페이서 구동부 (71) 를 구동시켜 스페이서 (72) 를 진출시키고, 기판 (S1) 의 하면 측에 스페이서 (72) 를 배치시킨다. 그 후, 리프트 핀 (41) 을 하강시킴으로써, 기판 (S1) 은, 스페이서 (72) 에 의해 지지된다. 계속해서, 기판 (S2) (하측 기판) 을, 챔버 (10) 내에 반입한다 (스텝 S05). 도 10(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 리프트 핀 (41) 을 기판 (S2) 의 수수 높이까지 하강시킨다. 그 후, 도 10(B) 에 나타내는 바와 같이, 아암 (91) 에 의해 기판 (S2) 을 챔버 (10) 내에 반입하여 리프트 핀 (41) 의 상방에 배치시킨다. 아암 (91) 은, 하면 측에 기판 (S2) 을 흡착하여 유지하고 있다. 그 후, 제어부 (C) 는, 아암 (91) 을 하강시켜, 기판 (S2) 을 아암 (91) 으로부터 리프트 핀 (41) 에 건네준다. 그 후, 아암 (91) 은, 챔버 (10) 로부터 퇴출한다. 또한, 기판 (S2) 은, 챔버 (10) 내로의 반입 시에, 접착층 (F) 이 상측이 되어 있다.
계속해서, 게이트 밸브 (12) 를 폐쇄하여, 기판 (S2) 의 휨을 억제하기 위해 휨 억제 베이크 처리를 실시한다 (스텝 S06). 도 11(A) 에 나타내는 바와 같이, 게이트 밸브 (12) 를 폐쇄한 후, 도시 생략한 흡인 장치에 의해 챔버 (10) 내를 배기하면서, 예를 들어, 히터 (22, 32) 에 의해 기판 (S2) 을 가열하여 휨 억제 베이크 처리를 실시한다. 기판 (S2) 을 베이크함으로써, 기판 (S2) 의 형상을 안정시켜, 기판 (S2) 의 휨을 억제할 수 있다. 이 휨 억제 베이크 처리는, 챔버 (10) 내의 온도를 예를 들어 150 ℃ 내지 250 ℃ 로 유지하여 실시한다. 또한, 휨 억제 베이크 처리는, 게이트 밸브 (12) 를 개방한 상태 (즉 대기 개방 상태) 에서 실시할 수 있다.
계속해서, 챔버 (10) 내를 진공 분위기로 한다 (스텝 S07). 도시 생략한 흡인 장치에 의해 챔버 (10) 내를 배기함으로써, 챔버 (10) 내를 진공 분위기로 한다. 그 후, 도 11(B) 에 나타내는 바와 같이, 리프트 핀 (41) 을 하강시켜 기판 (S2) 을 제 1 플레이트 (20) 에 재치시킨다. 그 후, 히터 (22) 에 의해 기판 (S2) 을 가열하여, 진공 분위기하에서 휨 억제 베이크 처리를 실시해도 된다. 이 휨 억제 베이크 처리는, 히터 (22) 의 온도를 예를 들어 150 ℃ 내지 250 ℃ 로 하여 실시한다.
계속해서, 기판 (S2) 에 대해 얼라인먼트 동작을 실시한다 (스텝 S08). 도 12(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 리프트 핀 (41) 을 상승시켜, 얼라인먼트 동작을 실시하는 높이에 기판 (S2) 을 배치시킨다. 제어부 (C) 는, 얼라인먼트 구동부 (61) 를 구동하여 얼라인먼트 블록 (62A) 을 진출시키고, 기판 (S2) 을 얼라인먼트 블록 (62A) 으로 사이에 둠으로써 기판 (S2) 을 위치 결정한다. 스텝 S08 의 얼라인먼트 동작은, 스텝 S03 의 얼라인먼트 동작과 동일하다. 따라서, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 은, 평면에서 볼 때 대략 동일한 위치에 위치 결정된다. 그 후, 도 12(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 얼라인먼트 블록 (62A) 을 원래의 위치로 퇴피시킨다. 또한, 상기에서는, 기판 (S1, S2) 에 대해 각각 단독 얼라인먼트 동작을 실시하고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 얼라인먼트 블록 (62B) 을 사용하는 경우, 기판 (S1) 에 대해서는, 상기 스텝 S03 에서 단독 얼라인먼트 동작을 실시하지 않고, 스텝 S08 에 있어서 기판 (S2) 과 동시에 얼라인먼트 동작을 실시해도 된다. 기판 (S1, S2) 을 동시에 얼라인먼트하는 동작을, 동시 얼라인먼트 동작이라고 칭하는 경우가 있다. 동시 얼라인먼트 동작을 실시할 때에는, 도 12(A) 의 점선으로 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 얼라인먼트 구동부 (61) 를 구동하여 얼라인먼트 블록 (62B) 을 진출시키고, 기판 (S1, S2) 을 동시에 얼라인먼트 블록 (62B) 으로 사이에 둠으로써 기판 (S1, S2) 의 쌍방을 위치 결정한다.
계속해서, 기판 (S2) 을 상승시키고, 기판 (S1) 을 스프링 핀 (34) 에 의해 하방을 향하여 압압한다 (스텝 S09). 도 13(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 리프트 핀 (41) 을 상승시켜, 기판 (S2) 을 스페이서 (72) 의 하면에 맞닿게 한다. 이 상태에서는, 스페이서 (72) 는, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 으로 사이에 두어진 상태로 되어 있다. 또, 제어부 (C) 는, 구동부 (52) 를 구동시켜 하중축 (51) 과 함께 제 2 플레이트 (30) 를 하강시키고, 스프링 핀 (34) 으로 기판 (S1) 을 하방을 향하여 압압시킨다. 스프링 핀 (34) 은, 기판 (S1) 을 압압함으로써, 도시 생략한 스프링의 탄성력에 저항하여 압압면 (33a) 에 몰입한 상태가 된다. 또한, 스페이서 (72) 가 없는 부분에서, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 이 접촉하고 있어도 된다.
계속해서, 스페이서 (72) 를 원래의 위치로 퇴피시킨다 (스텝 S10). 도 13(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 으로 사이에 두어진 스페이서 (72) 를 원래의 위치로 퇴피시킨다. 스페이서 (72) 의 퇴피에 의해, 기판 (S1) 은, 스프링 핀 (34) 에 의해 하방으로 눌려 기판 (S2) 에 맞닿는다. 즉, 기판 (S1) 의 접착층 (F) 과 기판 (S2) 의 접착층 (F) 이 맞닿는다.
계속해서, 제어부 (C) 는, 기판 (S1, S2) 을 지지하고 있는 리프트 핀 (41) 을 하강시키고, 기판 (S1, S2) 에 대해 프리히트 처리를 실시한다 (스텝 S11). 도 14(A) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 리프트 핀 (41) 을 하강시킨 후, 구동부 (52) 를 구동하여 하중축 (51) 과 함께 제 2 플레이트 (30) 를 하강시킨다. 그 후, 제어부 (C) 는, 기판 (S1, S2) 이 제 1 플레이트 (20) 의 재치면 (23a) 에 재치되고, 또한, 제 2 플레이트 (30) 의 스프링 핀 (34) 으로 기판 (S1) 의 상면을 압압한 상태에서, 히터 (22) 및 히터 (32) 에 의해 기판 (S1, S2) 을 소정 시간 가열하여 프리히트 처리를 실시한다. 프리히트 처리는, 다음 공정인 기판 (S1, S2) 의 첩부를 위해서 실시한다. 프리히트 처리는, 히터 (22) 및 히터 (32) 의 온도를 예를 들어 150 ℃ 내지 250 ℃ 로 하여 실시한다.
계속해서, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부한다 (스텝 S12). 도 14(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 진공 분위기하에서, 구동부 (52) 를 구동하여 하중축 (51) 과 함께 제 2 플레이트 (30) 를 하강시키고, 제 1 플레이트 (20) 와 제 2 플레이트 (30) 사이에서 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부한다. 이때, 히터 (22) 및 히터 (32) 에 의한 가열을 계속하게 하여, 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 를 소정의 온도로 유지시켜도 된다. 기판 (S1) 과 기판 (S2) 은, 접착층 (F) 끼리가 열에 의해 용융 접착되고, 또한, 제 2 플레이트 (30) 에 의한 기판 (S1) 측으로부터의 압압에 의해, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 이 강고하게 첩부된다.
스텝 S12 의 첩부 공정에 있어서, 제 2 플레이트 (30) 에 부여되는 하중은, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 개재하여 제 1 구동부 (52A) ~ 제 5 구동부 (52E) 에 의해, 각각 개별적으로 설정된다. 또한, 하중을 부여하는 구동 타이밍도 제 1 구동부 (52A) ~ 제 5 구동부 (52E) 에 의해, 각각 개별적으로 설정된다. 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 에서 부여하는 하중의 값, 하중을 가하는 구동 타이밍, 시간에 대해서는, 기판 (S1, S2) 의 종류, 크기 등에 따라 적절히 설정된다.
도 15 는, 중앙 하중축인 제 1 하중축 (51A), 및 복수의 주변 하중축인 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 에 대해, 부여하는 하중과 그 구동 타이밍을 나타내는 그래프도이다. 도 15 의 그래프도에 있어서, 세로축은 하중 (단위 : Kgf) 을 나타내고, 가로축은 시간 (단위 : 초) 이다. 또, 도 15 의 그래프도에 있어서, 중앙 하중축인 제 1 하중축 (51A) 을 흑색 동그라미로 나타내고, 주변 하중축인 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 흑색 사각으로 나타내고 있다.
도 15 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하중축 (51A) 은, 시간 T1 에서 하중 부여를 개시하고, 하중 P1 로 한다. 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 은, 시간 T2 에서 하중 부여를 개시하고, 하중 P1 로 한다. 다음으로, 제 1 하중축 (51A) 은, 시간 T3 까지 하중 P1 을 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P2 로 한다. 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 은, 시간 T4 까지 하중 P1 을 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P2 로 한다. 다음으로, 제 1 하중축 (51A) 은, 시간 T5 까지 하중 P2 를 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P3 으로 한다. 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 은, 시간 T6 까지 하중 P2 를 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P3 으로 한다. 다음으로, 제 1 하중축 (51A) 은, 시간 T7 까지 하중 P3 을 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P4 로 한다. 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 은, 시간 T8 까지 하중 P3 을 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P4 로 한다. 다음으로, 제 1 하중축 (51A) 은, 시간 T9 까지 하중 P4 를 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P5 로 한다. 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 은, 시간 T10 까지 하중 P4 를 유지한 후에 하중을 증가시켜 하중 P5 로 한다. 이와 같이, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 은, 목표 하중 P5 까지 5 단계로 하중을 증가시키고 있고, 제 1 하중축 (51A) 은, 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 에 대해 선행하여 하중의 증가를 실시하고 있다. 또한, 하중을 가하는 동작에 있어서, 하중 P1 ~ 목표 하중 P5 까지를 5 단계로 하고 있지만, 단계수는 제어부 (C) 의 제어에 의해 변경 가능하다. 또, 상기와 같이, 제 1 하중축 (51A) 은, 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 에 대해 선행하여 하중을 증가시키고 있지만, 이와 같은 하중을 가하는 타이밍도 제어부 (C) 의 제어에 의해 변경 가능하다.
제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 이 목표 하중 P5 에 도달한 후, 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 은, 시간 T11 까지 하중 P5 를 유지한 후에 하중을 감소시키고, 시간 T12 에서 하중 0 으로 한다. 제 1 하중축 (51A) 은, 시간 T13 까지 하중 P5 를 유지한 후에 하중을 감소시키고, 시간 T14 에서 하중 0 으로 한다. 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 의 하중을 해제할 (0 으로 한다) 때는, 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 선행하여 해제하고, 마지막에 제 1 하중축 (51A) 을 해제하고 있다. 또한, 하중을 해제할 때는, 단계적인 해제를 실시하고 있지 않지만, 상기한 제 1 구동부 (52A) ~ 제 5 구동부 (52E) 가 단계적인 하중의 해제를 가능하게 하는 구성을 채용하고 있는 경우에는, 제어부 (C) 의 제어에 의해 단계적인 하중의 해제를 실시해도 된다.
도 15 의 그래프도로 나타내는 바와 같이, 제 1 하중축 (51A) 은, 목표 하중 P5 를 부여하고 있는 시간이, 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 이 목표 하중 P5 를 부여하고 있는 시간보다 길다. 또, 제 1 하중축 (51A) 은, 목표 하중 P5 에 도달하는 구동 타이밍이 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 보다 빠르고, 목표 하중 P5 로부터 하중 감소를 개시하는 구동 타이밍이 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 보다 늦다. 또, 제 1 하중축 (51A) 은, 목표 하중 P5 로부터의 하중 감소율이 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 보다 크다.
상기한 도 15 의 그래프도에 나타내는 동작에 의해, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 단시간에 적절히 첩부할 수 있다. 또한, 도 15 의 그래프도에 나타내는 예에서는, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 의 하중을 가하는 동작을, 하중 P1 ~ 목표 하중 P5 까지 5 단계로 하여 실시하고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 의 동작을, 목표 하중 P5 까지 2 단계, 3 단계, 또는 6 단계 이상으로 실시하는 등, 단계수는 가변이다. 목표 하중 P5 까지 2 단계로 실시하는 경우, 예를 들어, 먼저 하중 P1 을 부여한 다음에 목표 하중 P5 를 부여해도 된다. 또, 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 동일한 구동 타이밍으로 구동시키고 있지만, 이 형태에 한정되지 않고, 예를 들어, 제 2 하중축 (51B) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 상이한 구동 타이밍으로 구동시켜도 된다. 또, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 의 하중을 가하는 동작을, 하중 P5 까지 무단계로 실시해도 된다. 이 경우, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 에 있어서의 시간당의 하중 증가량이 동일해도 되고, 상이해도 된다.
스텝 S12 의 첩부 공정 후, 제 2 플레이트 (30) 를 상승시킨 후, 리프트 핀 (41) 을 상승시킨다 (스텝 S13). 제어부 (C) 는, 히터 (22) 및 히터 (32) 에 의해 소정 시간 가열 처리를 실시한 후, 도 16(A) 에 나타내는 바와 같이, 구동부 (52) 를 구동시켜 하중축 (51) 과 함께 제 2 플레이트 (30) 를 상승시킨다. 또한, 제어부 (C) 는, 예를 들어, 히터 (22) 및 히터 (32) 의 온조 제어를 특별히 정지시키지 않는다. 즉, 히터 (22) 및 히터 (32) 는, 설정 온도로 일정한 채 유지되고 있다. 그 후, 제어부 (C) 는, 리프트 핀 (41) 을 상승시켜, 첩부가 종료한 기판 (S) 을 반출용 높이에 배치시킨다. 이 스텝 S13 에 의해, 기판 (S) 은, 제 1 플레이트 (20) 및 제 2 플레이트 (30) 의 쌍방으로부터 멀어진다. 그 후, 도시 생략한 밸브 등을 개방하여 챔버 (10) 내를 대기 개방, 또는 소정 가스를 챔버 (10) 내에 공급하여 챔버 (10) 를 퍼지한다 (스텝 S14). 소정 가스로서는, 예를 들어, 질소 가스, 드라이 에어 등이 사용된다.
계속해서, 게이트 밸브 (12) 를 개방하여 기판 (S) 을 챔버 (10) 로부터 반출한다 (스텝 S15). 게이트 밸브 (12) 를 하강시켜 개구부 (11) 를 개방한 후, 반송 장치 (90) 의 아암 (91) 을 개구부 (11) 로부터 챔버 (10) 의 내부에 진입시키고, 리프트 핀 (41) 으로 지지하는 기판 (S) 의 하방에 아암 (91) 을 배치시킨다. 그 후, 도 16(B) 에 나타내는 바와 같이, 제어부 (C) 는, 아암 (91) 을 상승시켜, 아암 (91) 의 상면에 기판 (S) 을 흡착 유지시킴으로써, 기판 (S) 을 리프트 핀 (41) 으로부터 아암 (91) 에 건네준다. 또한, 아암 (91) 은, 기판 (S) 을 흡착 유지하지 않고, 아암 (91) 의 상면에 기판 (S) 을 재치시켜 유지하는 형태여도 된다. 그 후, 아암 (91) 이 챔버 (10) 로부터 퇴출함으로써, 기판 (S) 이 챔버 (10) 의 외부로 반출된다. 그 후, 제어부 (C) 는, 게이트 밸브 (12) 를 폐쇄하여, 일련의 처리를 종료시킨다.
＜변형예＞
상기한 실시형태에서는, 제 2 플레이트 (30) 는, 복수의 하중축 (51) 의 하단에 접합한 형태를 예로 들어 설명하고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 도 17 은, 변형예에 관련된 제 2 플레이트 (30A) 의 일례를 나타내는 도면이다. 또한, 상기한 실시형태와 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 생략 또는 간략화한다. 도 17 에 나타내는 바와 같이, 하중 플레이트 (31) 의 상면 측에는 지지체 (35) 를 구비한다. 지지체 (35) 는, 장착부 (35a) 에 의해 하중 플레이트 (31) 의 상면 (31a) 에 장착된다. 지지체 (35) 는, 하중 플레이트 (31) 의 상면 측을 덮도록 형성되어 있다. 지지체 (35) 는, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 이 삽입되는 5 개의 구멍부 (35b) 를 구비한다. 각 구멍부 (35b) 는, 평면에서 볼 때 원형상이며, 그 내경은 제 1 하중축 (51A) 등의 외경보다 약간 크게 형성되어 있다.
제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 의 각각의 하단에는, 플랜지부 (510) 가 형성되어 있다. 플랜지부 (510) 의 외경은, 구멍부 (35b) 의 내경보다 크다. 따라서, 지지체 (35) 는, 플랜지부 (510) 에 의해 걸려 매달린 상태가 된다. 즉, 제 2 플레이트 (30A) 는, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 에 매달린 상태로 유지된다. 이때, 하중 플레이트 (31) 의 상면 (31a) 과, 플랜지부 (510) 의 하면 (510a) 사이에는, 간극 (V) 이 형성되어 있다.
도 18 은, 도 17 에 나타내는 제 2 플레이트 (30A) 로 기판 (S1) 을 압압한 상태를 나타내는 도면이다. 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부할 때에 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 하강시키지만, 먼저, 스프링 핀 (34) 의 하단이 기판 (S1) 에 맞닿는다. 또한, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 하강시키면, 제 2 플레이트 (30A) 는 하강하지 않고, 제 2 플레이트 (30A) 에 대해 상대적으로 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 이 하강한다. 즉, 간극 (V) 이 서서히 작아진다. 플랜지부 (510) 의 하면 (510a) 이 하중 플레이트 (31) 의 상면 (31a) 에 맞닿으면, 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 과 함께 제 2 플레이트 (30A) 가 하강하고, 스프링 핀 (34) 을 몰입시킨다. 스프링 핀 (34) 의 몰입 후에 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 하강시킴으로써, 제 2 플레이트 (30A) 에 의해 기판 (S1) 을 압압한다.
또, 기판 (S1) 의 압압 후에 제 2 플레이트 (30A) 를 상승시키는 경우에는, 상기와 반대의 동작에 의해 도 17 에 나타내는 상태로 돌아간다. 이와 같이, 제 2 플레이트 (30A) 가 기판 (S1) 을 압압하고 있지 않을 때에는 하중 플레이트 (31) 로부터 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 을 떼어놓아 둠으로써, 기판 (S1) 의 비압압 시에 히터 (32) 의 열이 제 1 하중축 (51A) ~ 제 5 하중축 (51E) 에 전달되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 상기에서는, 지지체 (35) 의 장착부 (35a) 가 하중 플레이트 (31) 의 상면 (31a) 에 장착되어 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 장착부 (35a) 는 프레스 플레이트 (33) 의 하방까지 연장되어, 프레스 플레이트 (33) 의 하면 측을 거는 형태여도 된다.
이상, 실시형태 및 변형예에 대해 설명했지만, 본 발명은, 상기 서술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경이 가능하다. 상기한 실시형태에서는, 2 장의 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부하는 형태를 예로 들어 설명하고 있지만 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기판 (S1) 과 기판 (S2) 을 첩부한 기판 (S) 에, 또 다른 기판을 첩부하는 형태여도 된다.
또, 상기한 본 실시형태에서는, 제 1 플레이트 (20) 가 챔버 (10) 내에 고정되고, 제 2 플레이트 (30) 가 압압 기구 (50) 에 의해 하강하는 형태를 예로 들어 설명하고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 2 플레이트 (30) 가 챔버 (10) 내에 고정되고, 제 1 플레이트 (20) 가 압압 기구 (50) 에 의해 상승하는 형태여도 되고, 제 2 플레이트 (30) 가 압압 기구 (50) 에 의해 하강하고 또한 제 1 플레이트 (20) 가 다른 압압 기구 (50) 에 의해 상승하는 형태여도 된다.
C : 제어부
S, S1, S2 : 기판
10 : 챔버
11 : 개구부
12 : 게이트 밸브
20 : 제 1 플레이트
22 : 히터 (가열부)
30, 30A : 제 2 플레이트
32 : 히터 (가열부)
40 : 리프트부
41 : 리프트 핀
50 : 압압 기구
51 : 하중축
51A : 제 1 하중축 (중앙 하중축)
51B : 제 2 하중축 (주변 하중축)
51C : 제 3 하중축 (주변 하중축)
51D : 제 4 하중축 (주변 하중축)
51E : 제 5 하중축 (주변 하중축)
52 : 구동부
51A : 제 1 하중축 (중앙 하중축)
51B : 제 2 하중축 (주변 하중축)
51C : 제 3 하중축 (주변 하중축)
51D : 제 4 하중축 (주변 하중축)
51E : 제 5 하중축 (주변 하중축)
60 : 얼라인먼트 기구
70 : 스페이서 기구
100 : 기판 첩부 장치

Claims (13)

  1. 복수의 기판을 겹친 상태에서 사이에 두는 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트와,
    상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트 중 어느 일방을 어느 타방에 압박하는 압압 기구를 갖고,
    상기 압압 기구는,
    상기 복수의 기판의 중앙부에 대응하여 배치되는 중앙 하중축과,
    상기 중앙부를 제외한 상기 복수의 기판의 주변부에 대응하여 배치되는 복수의 주변 하중축과,
    상기 중앙 하중축 및 상기 복수의 주변 하중축의 각각을 개별적으로 구동하는 복수의 구동부를 구비하는, 기판 첩부 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 주변 하중축의 각각은, 상기 중앙 하중축과의 사이의 거리가 동일한, 기판 첩부 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 기판의 각각은, 평면에서 볼 때 사각형상이며,
    상기 복수의 주변 하중축은, 상기 기판의 4 개의 코너부에 대응하여 배치되는, 기판 첩부 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 플레이트는, 고정된 상태로 형성되고, 상기 복수의 기판을 얹어 지지 가능하고,
    상기 제 2 플레이트는, 상기 제 1 플레이트의 상방에서 승강 가능하고,
    상기 압압 기구는, 상기 제 2 플레이트를 하강시켜 상기 제 1 플레이트를 향하여 압박하는, 기판 첩부 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 플레이트는, 복수의 다리부의 상단에서 지지됨으로써 고정되어 있는, 기판 첩부 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 중앙 하중축 및 상기 복수의 주변 하중축은, 상기 제 2 플레이트로부터 이간한 상태로 배치되고, 상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트로 상기 복수의 기판을 사이에 둘 때에 상기 제 2 플레이트에 맞닿는, 기판 첩부 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 플레이트를 관통하여 형성되고, 상기 제 2 플레이트에 대해 상기 복수의 기판 또는 1 개의 상기 기판을 승강시키는 리프트 핀을 구비하는, 기판 첩부 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트의 일방 또는 쌍방은, 상기 복수의 기판을 가열하기 위한 가열부를 구비하는, 기판 첩부 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트를 수용하는 챔버를 구비하는, 기판 첩부 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 구동부를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 중앙 하중축 및 상기 복수의 주변 하중축의 각각에 대해 개별적으로 구동 타이밍 및 하중의 일방 또는 쌍방을 제어하는, 기판 첩부 장치.
  11. 복수의 기판을 겹친 상태에서 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트로 사이에 둠으로써 상기 복수의 기판을 첩부하는 방법으로서,
    상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트 중 어느 일방을 어느 타방에 압박할 때에, 상기 복수의 기판의 중앙부에 대응하는 부분에 대한 압압, 및 상기 중앙부를 제외한 상기 복수의 기판의 주변부에 대응하는 복수의 부분에 대한 각 압압을, 개별적으로 각각 설정하는 것을 포함하는, 기판 첩부 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 중앙부에 대응하는 부분에 대한 압압, 및 상기 주변부에 대응하는 복수의 부분에 대한 각 압압은, 각각의 목표 하중에 도달할 때까지 단계적으로 하중을 증가시키도록 실시하는, 기판 첩부 방법.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 중앙부에 대응하는 부분에 대한 압압, 및 상기 주변부에 대응하는 복수의 부분에 대한 각 압압은, 구동 타이밍이 상이한, 기판 첩부 방법.
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