KR101546099B1 - 라미네이팅 유니트 및 이를 포함한 라미네이팅 장치 - Google Patents

라미네이팅 유니트 및 이를 포함한 라미네이팅 장치 Download PDF

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Abstract

태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 태양전지모듈의 가압 또는 가압 해제를 위하여 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 다이아프램 챔버; 를 포함하는 라미네이팅 유니트 및 상기 라미네이팅 유니트가 다단으로 적층된 라미네이팅 장치가 기재된다.

Description

라미네이팅 유니트 및 이를 포함한 라미네이팅 장치{LAMINATING UNIT AND LAMINATING DEVICE INCLUDING THE SAME}
본 발명은 태양전지모듈을 가열하여 라미네이팅시키는 라미네이팅 유니트 및 상기 라미네이팅 유니트를 포함하는 라미네이팅 장치에 관한 것이다.
저탄소 시대를 맞아 태양 전지에 대한 다양한 개발이 이루어지고 있다. 단결정 실리콘이나 다결정 실리콘을 이용한 결정형이나, 아몰퍼스 실리콘(비결정 실리콘)을 이용한 비결정형 등의 다양한 태양전지들이 개발되고 있지만, 어느 종류의 것이라도 화학적 변화를 일으키기 쉽고, 물리적인 충격에 약한 성질이 있다.
따라서, 일반적으로는, 태양 전지를 투명한 필름이나 강화 유리, 내열 유리 등으로 라미네이팅한 태양전지모듈이 개발되고 있다. 태양전지모듈의 라미네이팅 구조는, 비닐 필름이나 백 시트의 사이에, 예를 들어 EVA(에틸렌비닐 아세테이트) 수지 등의 충전재를 통해서 스트링(태양 전지 셀)을 끼워넣고, 진공 상태에서 가열하여 피 라미네이트체 내부의 충전재를 녹인 것이다.
종래, 이러한 태양 전지 모듈 등을 제조하기 위한 다양한 종류의 라미네이팅 장치들이 개발되고 있는 실정이다.
본 발명은 다이아프램으로 태양전지모듈을 균일하게 가압할 수 있고 태양전지모듈의 휨이나 처짐에 의한 라미네이팅 불량을 억제할 수 있는 라미네이팅 유니트와, 태양전지모듈의 라미네이팅 과정을 동시에 여러 개 수행할 수 있도록 라미네이팅 유니트를 다단으로 적층시킨 라미네이팅 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 유니트는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 태양전지모듈의 가압 또는 가압 해제를 위하여 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 다이아프램 챔버; 를 포함하며, 상기 다이아프램 챔버에 상기 다이아프램이 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 유니트는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 태양전지모듈을 상기 히팅 프레임에 접촉 또는 이격시키도록 상기 히팅 프레임을 관통하여 승강되는 복수의 핀이 마련되는 핀 프레임을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램을 구비하며, 상기 다이아프램의 배면에 진공이 형성되는 다이아프램 챔버; 를 포함하며, 상기 히팅 프레임이 상기 태양전지모듈을 가열할 때, 상기 핀 프레임이 상기 히팅 프레임 방향으로 상승되고, 상기 핀 프레임과 함께 상승되는 상기 핀이 상기 태양전지모듈을 상기 히팅 프레임으로부터 이격시키는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 유니트는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 태양전지모듈의 가압 또는 가압 해제를 위하여 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀과, 상기 제1 에어홀과 상기 다이아프램의 배면 사이에 배치되며 상기 제1 에어홀보다 작은 직경을 갖는 복수의 통공이 형성된 통공판을 구비하는 다이아프램 챔버; 를 포함하며, 상기 제1 에어홀 및 상기 통공을 통하여 상기 다이아프램이 상기 통공판에 흡착되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 유니트는, 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 다이아프램 챔버; 상기 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버; 상기 히팅 챔버 내부에서 상기 히팅 프레임을 상기 다이아프램에 접근 또는 이격시키는 히팅 프레임 승강부; 를 포함한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 유니트는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 승강 챔버; 상기 히팅 챔버와 맞물리는 클로즈 상태 및 상기 히팅 챔버와 맞물림이 해제되는 오픈 상태로 승강되며, 상기 승강 챔버가 내부에 수용되는 다이아프램 챔버; 상기 다이아프램 챔버 내부에서 상기 승강 챔버를 상기 히팅 프레임에 접근 또는 이격시키는 승강 챔버 승강부; 를 포함한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 장치는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 태양전지모듈의 가압 또는 가압 해제를 위하여 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 다이아프램 챔버; 를 포함하는 라미네이팅 유니트가 다단으로 적층되며, 상기 다이아프램 챔버에 상기 다이아프램이 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 장치는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 태양전지모듈을 상기 히팅 프레임에 접촉 또는 이격시키도록 상기 히팅 프레임을 관통하여 승강되는 복수의 핀이 마련되는 핀 프레임을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램을 구비하며, 상기 다이아프램의 배면에 진공이 형성되는 다이아프램 챔버; 를 포함하는 라미네이팅 유니트가 다단으로 적층되며, 상기 히팅 프레임이 상기 태양전지모듈을 가열할 때, 상기 핀 프레임이 상기 히팅 프레임 방향으로 상승되고, 상기 핀 프레임과 함께 상승되는 상기 핀이 상기 태양전지모듈을 상기 히팅 프레임으로부터 이격시키는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 장치는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임을 구비하는 히팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 태양전지모듈의 가압 또는 가압 해제를 위하여 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀과, 상기 제1 에어홀과 상기 다이아프램의 배면 사이에 배치되며 상기 제1 에어홀보다 작은 직경을 갖는 복수의 통공이 형성된 통공판을 구비하는 다이아프램 챔버; 를 포함하는 라미네이팅 유니트가 다단으로 적층되며, 상기 제1 에어홀 및 상기 통공을 통하여 상기 다이아프램이 상기 통공판에 흡착되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 장치는, 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 다이아프램 챔버; 상기 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버; 상기 히팅 챔버 내부에서 상기 히팅 프레임을 상기 다이아프램에 접근 또는 이격시키는 히팅 프레임 승강부; 를 포함하는 라미네이팅 유니트가 다단으로 적층되는 것을 특징으로 한다.
일 실시예로서, 본 발명의 라미네이팅 장치는, 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히 팅 챔버; 상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 승강 챔버; 상기 히팅 챔버와 맞물리는 클로즈 상태 및 상기 히팅 챔버와 맞물림이 해제되는 오픈 상태로 승강되며, 상기 승강 챔버가 내부에 수용되는 다이아프램 챔버; 상기 다이아프램 챔버 내부에서 상기 승강 챔버를 상기 히팅 프레임에 접근 또는 이격시키는 승강 챔버 승강부; 를 포함하는 라미네이팅 유니트가 다단으로 적층되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다이아프램으로 태양전지모듈을 기포나 주름없이 균일하게 가압할 수 있고, 핀이 마련되므로 태양전지모듈의 휨이나 처짐에 의한 라미네이팅 불량을 억제할 수 있으며, 다이아프램의 유지 보수가 용이하고 다이아프램의 파지력을 조절할 수 있고, 통공판이 마련되므로 다이아프램이 균일하게 흡착되며, 라미네이팅 유니트를 다단으로 적층시킴으로써 태양전지모듈의 라미네이팅 과정을 동시에 여러 개 수행할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의 된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 다단 라미네이팅이 가능한 라미네이팅 장치를 도시한 측단면도인데, 도 1은 오픈 상태, 도 2는 클로즈 상태를 도시한다.
도 1 및 도 2를 참조하면 라미네이팅 유니트(100)가 다단으로 적층되어 라미네이팅 작업을 복수로 동시에 수행할 수 있는 다단 라미네이팅 장치(101)가 도시된다.
라미네이팅 장치(101)에 다수 적층되는 라미네이팅 유니트(100)는 히팅 챔버(110)와 다이아프램 챔버(120)가 서로 맞물리는 클로즈 상태에서 태양전지모듈(10)을 가열하고 가열된 태양전지모듈(10)을 가압하여 태양전지모듈(10)의 입자들을 크로스 링킹(cross linking)시킨다.
라미네이팅 작업을 위하여 새로운 태양전지모듈(10)을 투입하거나 라미네이팅 작업이 완료된 태양전지모듈(10)의 배출은 히팅 챔버(110)와 다이아프램 챔버(120)의 맞물림이 해제되는 오픈 상태에서 이송 벨트(192)를 구비한 이송부(190)에 의하여 수행된다.
다이아프램 챔버(120)는 히팅 챔버(110)의 상측에 위치하며, 태양전지모듈(10)을 가압하는 다이아프램(121)과, 다이아프램(121)의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀(125)을 구비한다. 제1 에어홀(125)은 에어 채널(126)을 통하여 공기가 흡기 또는 배기될 수 있다.
히팅 챔버(110)는 태양전지모듈(10)을 가열하는 히팅 프레임(112)과, 히팅 프레임(112) 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀(129)을 구비한다. 이하, 다이아프램 챔버(120) 및 히팅 챔버(110)를 통칭하여 '챔버'로 부른다.
라미네이팅 유니트(100)의 동작을 설명하면 다음과 같다. 우선, 태양전지모듈(10)을 로딩한다. 그리고, 다이아프램 챔버(120)를 하강시켜 히팅 챔버(110)에 클로즈시킨다. 다이아프램(121)의 배면의 공간인 제1 영역(A1) 및 히팅 프레임(112) 주변의 공간인 제2 영역(A2)의 공기를 흡입하여 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2)을 포함한 다이아프램 챔버(120) 및 히팅 챔버(110) 내부를 진공(저압) 분위기로 만든다. 히팅 프레임(112)으로 태양전지모듈(10)을 소정 온도로 균일하게 가열한다.
이어서, 제1 에어홀(125)을 개방 상태로 하여 제1 영역(A1)을 대기압(고압)상태로 만들며 제2 영역(A2)의 진공 상태에 의하여 다이아프램(121)이 팽창된다. 일정 시간동안 다이아프램(121)이 태양전지모듈(10)을 가압하며, 눌려지는 태양전지모듈(10)이 피라미네이트체와 크로스 링킹된다.
제2 에어홀(129)을 개방하여 진공 분위기를 파괴하고 다이아프램 챔버(120)를 상승시키며, 라미네이팅 완료된 태양전지모듈(10)을 히팅 챔버(110) 내부에서 언로딩시킨다.
즉, 유리와, EVA와, 태양전지를 구성하는 반도체와, 백시트로 구성된 태양전지모듈(10)을 협지시킨 상태에서, 다이아프램 챔버(120)를 히팅 챔버(110) 쪽으로 하강하여 챔버 내부를 밀폐시킨 후, 다이아프램(121)의 배후의 제1 영역(A1)과 태양전지모듈(10)이 로딩된 히팅 프레임(112) 주위를 진공(저압)으로 만들고 다이아 프램(121)을 가압하여 태양전지모듈(10)을 피라미네이트체와 라미네이팅시키게 된다.
이때, 다수의 태양전지모듈(10)을 처리하는 방안으로 히팅 프레임(112) 및 다이아프램(121)의 면적을 크게 하여, 넓은 영역에서 많은 수 또는 넓은 면적의 태양전지모듈(10)을 라미네이팅시키는 방법을 생각해 볼 수 있지만 장치의 점유 면적이 커지거나, 히팅 프레임(112)이 불균일하게 가열되거나, 다이아프램(121)의 가압 압력이 불균일하게 분포되거나, 태양전지모듈(10)의 면적이 증가할수록 휨이나 처짐 발생이 증가되는 문제점이 발생한다.
따라서, 본 발명은 생산성 향상과 품질 확보의 상충되는 목표를 동시에 달성하기 위하여, 라미네이팅 유니트(100)를 수직으로 다단 적층하는 구조의 라미네이팅 장치(101)를 제공한다.
도시된 라미네이팅 장치(101)는, 각각의 라미네이팅 유니트(100)가 서로 일정 간격으로 적층되어 있고, 서로 접근 또는 이격되며, 라미네이팅 유니트(100) 각각에 대하여 개별적으로 진공 분위기를 형성/미형성할 수 있어 단별로 라미네이팅 유니트(100)의 제어가 가능하며, 라미네이팅 유니트(100) 각각에 이송부(190)가 마련되어 태양전지모듈(10)의 로딩/언로딩 작업을 개별적으로 수행할 수 있다.
도 3 내지 도 16에 대한 후술하는 설명에서 언급되듯이, 본 발명의 라미네이팅 장치(101)는 라미네이팅 유니트(100)가 갖는 특징을 그대로 가지므로, 다이아프램 챔버(120)에 다이아프램(121)을 착탈 가능하게 장착할 수 있고, 일정 간격으로 촘촘하게 배열된 핀(131)이 태양전지모듈(10)을 지지하므로 태양전지모듈(10)의 면 적의 대소와 상관없이 태양전지모듈(10)의 휨이나 처짐에 의한 불균일한 온도 분포를 개선할 수 있으며, 통공판(140)을 구비하므로 다이아프램(121)의 흡착 균일성을 향상시킬 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 라미네이팅 유니트(100) 외에도 도 3 내지 도 16에 도시된 라미네이팅 유니트(100)의 실시예 및 도시되지 않은 변형 실시예를 다단으로 적층함으로써 본 발명의 라미네이팅 장치를 구성할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다이아프램 챔버(120)의 일 실시예에 대한 평면도이다. 도 4는 도 3의 절단선 A-A'에 대한 단면도이다. 도 5는 도 3의 절단선 B-B'에 대한 단면도이다. 도 6은 도 3의 다이아프램 챔버(120)의 조립 구조를 순차적으로 도시한 단면도이다. 도 3 내지 도 6을 함께 참조하며 다이아프램(121)이 착탈 가능하게 장착되는 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도시된 바와 같이 본 발명의 라미네이팅 유니트(100)는 다이아프램 챔버(120)에 다이아프램(121)이 착탈 가능하게 장착될 수 있다. 즉, 반복적으로 작업을 수행하는 경우 다이아프램(121)이 팽창 수축을 반복하면서 다이아프램(121)의 파지력이 약해지거나 다이아프램(121)이 손상되어 진공 형성이 불량인 고장이 발생할 수 있는데, 본 발명은 클램프(122)의 경사면이 마련되므로 클램프(122)를 왕복시킴으로써 다이아프램(121)의 파지력을 조절할 수 있고 다이아프램(121)의 교체 작업을 쉽게 진행할 수 있다.
이를 위하여, 다이아프램 챔버(120)에 다이아프램(121)을 착탈 가능하게 결 합시키고 다이아프램(121)의 파지력을 조절할 수 있는 클램프(122)가 마련된다. 즉, 공압 실린더, 솔레노이드와 같은 액츄에이터(123)가 진공 분위기 형성에 방해가 되지 않도록 다이아프램 챔버(120) 외부에 장착되고, 다이아프램(121)의 가장자리를 파지하여 고정시키는 클램프(122)가 다이아프램 챔버(120) 내부에 마련되며, 클램프(122)와 액츄에이터(123)를 연결하는 클램프 로드(122s)가 다이아프램 챔버(120)를 관통하여 마련된다.
다이아프램(121)은 챔버의 내부를 제1 영역(A1)과 제2 영역(A2)으로 구분한다. 다이아프램(121)의 배면은 제1 영역(A1)이 되고 다이아프램(121)의 가압면 및 히팅 프레임(112)의 주변은 제2 영역(A2)이 된다. 챔버를 닫은 후 태양전지모듈(10)의 상부를 다이아프램(121)으로 가압하여 라미네이팅을 한다.
일 실시예로서, 액츄에이터(123)는 클램프(122)를 전진 또는 후진시킨다.
제1 에어홀(125)은 제1 영역(A1)의 공기를 흡기 또는 배기시키고, 제2 에어홀(129)은 제2 영역(A2)의 공기를 흡기 또는 배기시킨다.
이송부(190)는 이송 벨트(192)를 주행시켜 태양전지모듈(10)을 챔버 내부에 로딩시키거나 챔버 외부로 언로딩시킨다.
오링(128)은 챔버 사이에 개재되어 진공 누설(leak)를 방지한다.
히팅 프레임(112)은 히팅 챔버(110) 내부에 설치되어 EVA, 백시트, 글라스 등을 포함하는 태양전지모듈(10)을 소정 온도(예를 들어 150℃)로 가열한다.
일 실시예로서, 다이아프램(121)은 장방형이고, 다이아프램(121)의 장축(x축) 방향 가장 자리는 클램프(122)의 직선 이동에 의하여 고정되며, 다이아프 램(121)의 단축(y축) 방향 가장 자리는 후크(127)의 회동에 의하여 고정된다.
에지부(124)는 다이아프램(121)의 가장자리가 고정되는 것이며, 다이아프램 챔버(120)의 승강에 따라 히팅 챔버(110)에 밀착된다. 에지부(124)는 에지부 경사면(124a)과 오링(128)을 구비한다. 다이아프램(121)을 조절 가능한 소정 위치에서 로킹시키는 클램프 경사면(122a)과 에지부 경사면(124a)이 서로 미끄럼 접촉된다. 오링(128)은 히팅 챔버(110) 또는 다이아프램 챔버(120)를 실링한다.
도 6을 참조하며 다이아프램(121)의 장착 과정을 설명한다. 참조 부호 (1) 내지 (5)를 순차적으로 수행하여 다이아프램(121)을 장착한다. 먼저, 참조부호 (1)과 같이 다이아프램(121)의 단축에 설치된 클램프(122)를 액츄에이터(123)를 이용하여 후진시키고, 에지부(124) 상부에 다이아프램(121)을 배치한다. 참조 부호 (2)와 같이 다이아프램 챔버(120)를 하강시켜 다이아프램(121) 및 에지부(124)가 다이아프램 챔버(120)에 밀착되게 한다.
참조 부호 (3)과 같이 클램프(122)를 전진시켜 에지부(124) 및 다이아프램(121)이 다이아프램 챔버(120)에 고정되게 한다. 일 실시예로서 에지부(124)의 에지부 경사면(124a) 및 클램프(122)의 클램프 경사면(122a)이 미끄럼 접촉되며, 클램프(122)의 전진 거리 또는 후진 거리에 따라 다이아프램(121)의 장착 높이나 에지부(124)가 다이아프램(121)을 인장시켜 파지하는 파지력을 조절할 수 있다.
참조 부호 (4)와 같이 장축에 설치된 후크(127)를 회동시켜 다이아프램(121)을 고정시킨다. 참조 부호 (5)와 같이 다이아프램(121)이 완전히 고정된다. 상기 순서를 역으로 수행하면 다이아프램(121)을 쉽게 분리할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예로서 핀 프레임(130)을 포함한 라미네이팅 장치의 주요부를 발췌하여 도시한 측단면도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예로서, 핀 프레임(130)을 포함한 라미네이팅 장치의 동작 과정을 순차적으로 도시한 측단면도이다. 도 9는 본 발명의 핀 프레임(130)을 포함한 라미네이팅 장치의 작용 및 효과를 설명하는 그래프이다. 도 7 내지 도 9를 함께 참조하며, 핀 프레임(130)을 구비한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
히팅 챔버(110)에는 핀 프레임(130)이 마련되며, 핀 프레임(130)은 태양전지모듈(10)을 상기 히팅 프레임(112)에 접촉 또는 이격시키도록 상기 히팅 프레임(112)을 관통하여 승강되는 복수의 핀(131)이 착탈 가능하게 일정 간격으로 촘촘히 배치된다. 핀(131)은 고정 부재(132)에 의하여 핀 프레임(130)에 착탈 가능하게 결합된다. 핀(131)은 태양전지모듈(10)의 휨이나 처짐에 따른 열전달 차이에 의한 온도 불균일을 방지한다.
히팅 프레임(112)이 태양전지모듈(10)을 가열할 때, 핀 프레임(130)이 히팅 프레임(112) 방향으로 상승되고, 핀 프레임(130)과 함께 상승되는 핀(131)이 태양전지모듈(10)을 히팅 프레임(112)으로부터 이격시킨다.
핀(131)이 관통되도록 히팅 프레임(112)에 복수의 핀 홀(136)이 천공되고, 히팅 챔버(110)의 제2 영역(A2)에 진공 형성을 위하여 핀 홀(136)을 통하여 공기가 흡기된다.
가상의 제1축 방향을 따라 왕복 이동되는 실린더(133)에 연결되며 경사면을 갖는 실린더 캠(134)과, 상기 핀 프레임(130)에 마련되며 상기 실린더 캠(134)의 경사면에 접촉되어 상기 제1축에 수직한 가상의 제2축 방향을 따라 승강되는 핀 프레임 캠(135)이 마련되며,
핀 프레임(130)은, 실린더 캠(134)과 핀 프레임 캠(135)의 상호 작용에 따라 히팅 프레임(112)에 접근되는 방향 또는 이격되는 방향으로 승강된다. 핀(131)은 핀 프레임(130)으로부터 돌출되며 핀 프레임(130)과 함께 승강되면서 태양전지모듈(10)을 히팅 프레임(112)에 접촉 또는 이격시킨다.
도 8을 참조하면, 참조 부호 (1) 내지 (6)을 순차적으로 거치며 라미네이팅 유니트(100)의 동작이 진행된다. 참조 부호 (1)에 따르면, 이송부(190)에 의하여 다수의 태양전지모듈(10)이 동시에 로딩된다. 참조 부호 (2)에 따르면, 다이아프램 챔버(120)가 하강되어 클로즈 상태가 된다. 참조 부호 (3)에 따르면, 제1 에어홀(125) 및 제2 에어홀(129)을 통하여 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2)을 진공 분위기로 만들고 핀(131)을 상승시켜 히팅 프레임(112)에서 태양전지모듈(10)을 이격시킨 다음 태양전지모듈(10)을 가열한다. 히팅 프레임(112)에는 히터(112c)가 배치된다.
핀(131)이 없는 경우 태양전지모듈(10)의 자중에 의한 휨이나 처짐이 발생하지만, 촘촘한 간격으로 배치되는 핀(131)에 의하여 태양전지모듈(10)이 지지되면 태양전지모듈(10)의 면적에 상관없이 휨이나 처짐이 일정하게 된다. 따라서, 휨이나 처짐에 의한 온도 불균일이 방지된다.
참조 부호(4)에 따르면, 핀(131)을 하강시켜 히팅 프레임(112)에 태양전지모 듈(10)을 접촉시키고 제1 에어홀(125)을 개방하여 제1 영역(A1)을 대기압(고압) 상태로 만든다. 이때, 균일 가압을 위하여 제1 에어홀(125) 개방에 의한 압력 제어를 다단으로 진행하는 것이 바람직하다.
참조 부호 (5)에 따르면 다이아프램(121)으로 태양전기모듈을 일정시간 가압하여 태양전지모듈(10)을 크로스 링킹시킨다. 참조부호 (6)에 따르면, 라미네이팅이 완료된 태양전지모듈(10)을 챔버에서 언로딩한다.
도 9를 참조하면 핀(131)이 없는 경우에 비하여 핀(131)이 마련되는 경우 태양전지모듈(10)의 중앙부는 물론 가장자리에서 시간에 따른 온도 증가 상태가 일정함을 알 수 있다.
도 10은 본 발명과 비교하기 위한 가상의 실시예로서, 석션시의 문제점을 설명하는 그림이다. 도 11은 본 발명의 일 실시예로서, 통공판(140) 및 서포터(150)을 도시한 사시도이다. 도 12 및 도 13은 도 11의 통공판(140) 및 서포터(150)의 동작을 설명하는 측단면도이다. 도 10 내지 도 13을 함께 참조하며, 통공판(140) 및 서포터(150)가 마련되는 실시예를 상세히 설명한다.
먼저 도 10을 참조하면, 다이아프램 챔버(120)에 석션 구멍을 1~3개 뚫어 제1 영역(A1)의 석션을 진행하는 경우 다이아프램(121)이 석션 구멍을 막아버려 다이아프램(121)의 형상이 도시된 바와 같이 편평하지 못하고 굴곡이 발생할 수 있으며, 이는 가압 불균일을 야기하여 작업 불량을 유발한다. 따라서, 다이아프램(121)의 배면을 균일하게 석션할 수 있는 수단이 필요하다. 이를 위하여 본 발명은 통공 판(140) 또는 서포터(150)를 포함한다.
즉, 제1 에어홀(125)과 다이아프램(121)의 배면 사이에 배치되며 제1 에어홀(125)보다 작은 직경을 갖는 복수의 통공(141)이 형성된 통공판(140)이 마련된다. 제1 에어홀(125) 및 통공(141)을 통하여 다이아프램(121)이 통공판(140)에 편평하게 흡착된다. 통공(141)은 1~3개보다 휠씬 많게 일정한 간격으로 촘촘하게 배치되는 것이 바람직하다.
이와 함께, 제1 에어홀(125)과 통공판(140) 사이에 개재되는 서포터(150)가 마련되는 것이 더욱 바람직하다. 서포터(150)는 통공(141)을 감싸는 파이프 형상의 부재로서 통공판(140)을 지지하며 제1 에어홀(125)과 통공(141)을 연결하는 공기 통로를 형성한다. 이때, 다이아프램(121)의 배면, 미세 크기의 통공(141), 서포터(150)의 내부, 제1 에어홀(125)을 순차적으로 거치는 공기의 유동 경로가 형성되어 다이아프램(121)이 균일하게 흡착된다.
일 실시예로서, 서포터(150)는 직경 2mm의 원형 링이며, 통공(141)에 일대일 대응하여 통공(141)과 동중심으로 배치된다.
도 14는 본 발명과 비교하기 위한 가상의 실시예로서, 가압시의 문제점을 설명하는 그림이다. 도 15는 본 발명의 다이아프램 챔버(120)의 일 실시예의 동작 과정을 순차적으로 도시한 측단면도이다.
도 14를 참조하면, 다이아프램 챔버(22)의 측면에 제1 에어홀(25)을 배치하여 제1 영역(A1)의 전체에 대하여 압력 조절하고 히팅 챔버(21)의 측면에 제2 에어 홀(26)을 배치하여 제2 영역(A2)의 전체에 대하여 압력 조절하는 경우, 태양전지모듈(10)을 가압할 때 다이아프램의 전체 면적이 동시에 가압된다. 이는 마치 스티커를 유리면에 붙일 때 기포나 주름이 스티커 면에 생기는 것과 마찬가지로, 다이아프램 및 태양전지모듈(10) 사이에 기포나 주름이 발생하여 가압 상태가 균일하지 못한 문제점이 발생할 수 있다.
이에 대한 대책으로 도 15를 참조하면, 본 발명의 라미네이팅 유니트(100)는, 히팅 챔버(110a) 내부에서 히팅 프레임(112a)을 다이아프램(121a)에 접근 또는 이격시키는 히팅 프레임 승강부(112d)를 구비한다. 다이아프램 챔버(120a) 및 히팅 챔버(110a)가 서로 맞물린 클로즈 상태에서 히팅 프레임 승강부(112d)가 동작된다.
일 실시예로서, 제1 에어홀(125a)은 다이아프램 챔버(120a)의 중앙부에 배치되고, 제2 에어홀(129a)은 히팅 챔버(110a)의 중앙부에 배치된다.
일 실시예로서, 히팅 프레임 승강부(112d)는 히팅 챔버(110a)의 외부로부터 히팅 챔버(110a)를 관통하여 히팅 프레임(112a)에 연결되며, 이에 따라 챔버의 진공 누설이 방해받지 않는다.
본 실시예의 동작은 다음과 같다. 참조 부호 (1)과 같이, 다이아프램 챔버(120a)를 하강하여 히팅 챔버(110a)와 클로즈 상태로 만든 후, 제1 에어홀(125a) 및 제2 에어홀(129a)을 통하여 챔버 내부를 진공(저압) 상태로 만든다.
참조 부호 (2)와 같이 제1 에어홀(125a)을 개방하여 다이아프램(121a)의 배면을 대기압(고압) 상태로 만들고 태양전지모듈(10)의 가열을 시작한다. 이때, 다이아프램(121a)의 자중에 의하여 다이아프램(121a)이 참조 부호 (2)와 같이 중앙부 에 처짐이 발생하거나, 제1 에어홀(125a)이 다이아프램 챔버(120a)의 중앙부에 마련됨으로 인하여 다이아프램에 처짐이 발생한다.
가열이 완료되면 참조 부호 (3)과 같이, 히팅 프레임 승강부(112d)를 동작시켜 태양전지모듈(10)을 다이아프램(121a)에 밀착 가압시킨다. 이때, 태양전지모듈(10)과 다이아프램(121a)은 중앙부로부터 가장자리를 향하여 점진적으로 접촉되므로 기포나 주름 발생이 원천적으로 차단될 수 있다.
도 16은 본 발명의 다이아프램 챔버(120b)의 다른 일 실시예의 동작 과정을 순차적으로 도시한 측단면도이다. 도 16은 도 15의 변형된 실시예이다.
도시된 라미네이팅 유니트는, 태양전지모듈(10)을 가열하는 히팅 프레임(112)과 상기 히팅 프레임(112) 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀(129b)을 구비하는 히팅 챔버(110b)와, 태양전지모듈(10)을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램(121b)과 다이아프램(121b)의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀(125b)을 구비하는 승강 챔버(120c)와, 히팅 챔버(110b)와 맞물리는 클로즈 상태 및 상기 히팅 챔버(110b)와 맞물림이 해제되는 오픈 상태로 승강되며 승강 챔버(120c)가 내부에 수용되는 다이아프램 챔버(120b)와, 다이아프램 챔버(120b) 내부에서 승강 챔버(120c)를 히팅 프레임(112)에 접근 또는 이격시키는 승강 챔버 승강부(120d)를 포함한다.
다이아프램 챔버(120b) 및 상기 히팅 챔버(110b)가 서로 맞물린 클로즈 상태에서 상기 승강 챔버 승강부(120d)가 동작된다.
제1 에어홀(125b)은 승강 챔버(120c)의 중앙부에 배치되고 승강 챔버(120c)의 외부로 돌출되어 다이아프램 챔버(120b)의 중앙부를 관통하여 외부로 연장되고, 제2 에어홀(129b)은 히팅 챔버(110b)의 중앙부에 배치된다.
그 동작을 설명하면 다음과 같다. 참조 부호 (1)과 같이, 태양전지모듈(10)을 로딩한다. 참조 부호 (2)와 같이, 다이아프램 챔버(120b)를 하강시켜 히팅 챔버(110b)에 클로즈시키고, 제1 에어홀(125b) 및 제2 에어홀(129b)을 통하여 제1 영역(A1) 및 제2 영역(A2)을 진공(저압) 상태로 만들며, 히팅 프레임(112)으로 태양전지모듈(10)을 가열한다.
참조 부호 (3)과 같이 제1 에어홀(125b)을 개방하여 다이아프램(121b)를 팽창시킨다. 자중 또는 승강 챔버(120c)의 중앙에 제1 에어홀(125b)이 마련되므로 다이아프램(121b)의 중앙부가 약간 처지게 된다.
참조 부호 (4)와 같이 승강 챔버 승강부(120d)를 동작시켜 승강 챔버(120c)를 하강시킨다. 이에 따라 태양전지모듈(10)이 가압된다. 태양전지모듈(10)과 다이아프램(121b)은 중앙부로부터 가장자리를 향하여 점진적으로 접촉되므로 기포나 주름 발생이 원천적으로 차단될 수 있다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 다단 라미네이팅이 가능한 라미네이팅 장치를 도시한 측단면도인데, 도 1은 오픈 상태, 도 2는 클로즈 상태를 도시한다.
도 3은 본 발명의 다이아프램 챔버의 일 실시예에 대한 평면도이다.
도 4는 도 3의 절단선 A-A'에 대한 단면도이다.
도 5는 도 3의 절단선 B-B'에 대한 단면도이다.
도 6은 도 3의 다이아프램 챔버의 조립 구조를 순차적으로 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예로서 핀 프레임을 포함한 라미네이팅 장치의 주요부를 발췌하여 도시한 측단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예로서, 핀 프레임을 포함한 라미네이팅 장치의 동작 과정을 순차적으로 도시한 측단면도이다.
도 9는 본 발명의 핀 프레임을 포함한 라미네이팅 장치의 작용 및 효과를 설명하는 그래프이다.
도 10은 본 발명과 비교하기 위한 가상의 실시예로서, 석션시의 문제점을 설명하는 그림이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예로서, 통공판 및 서포터을 도시한 사시도이다.
도 12 및 도 13은 도 11의 통공판 및 서포터의 동작을 설명하는 측단면도이다.
도 14는 본 발명과 비교하기 위한 가상의 실시예로서, 가압시의 문제점을 설 명하는 그림이다.
도 15는 본 발명의 다이아프램 챔버의 일 실시예의 동작 과정을 순차적으로 도시한 측단면도이다.
도 16은 본 발명의 다이아프램 챔버의 다른 일 실시예의 동작 과정을 순차적으로 도시한 측단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10...태양전지모듈 21...히팅 챔버
22...다이아프램 챔버 23...다이아프램
24...히팅 프레임 25...제1 에어홀
26...제2 에어홀 100...라미네이팅 유니트
101...라미네이팅 장치 110,110a,110b,110f...히팅 챔버
112,112a...히팅 프레임 112c...히터
112d...히팅 프레임 승강부 120,120a,120b,120f...다이아프램 챔버
120c...승강 챔버 120d...승강 챔버 승강부
121,121a,121b,121f...다이아프램
122...클램프 122a...클램프 경사면
122s...클램프 로드 123...액츄에이터
124...에지부 124a...에지부 경사면
125,125a,125b...제1 에어홀 126...에어 채널
127...후크 128...오링
129,129a,129b...제2 에어홀 130...핀 프레임
131...핀 132...고정 부재
133...실린더 134...실린더 캠
135...핀 프레임 캠 136...핀 홀
140...통공판 141...통공
150...서포터 190...이송부
192...이송 벨트 A1...제1 영역
A2...제2 영역

Claims (20)

  1. 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버;
    상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 태양전지모듈의 가압 또는 가압 해제를 위하여 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 다이아프램 챔버; 및
    액츄에이터에 클램프 로드로 연결되어 직선 이동되면서 상기 다이아프램 챔버에 상기 다이아프램을 착탈하는 클램프;를 포함하며,
    상기 다이아프램 챔버에 상기 다이아프램이 착탈 가능하게 결합되는 라미네이팅 유니트.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 다이아프램의 가장자리가 고정되고, 상기 다이아프램 챔버의 승강에 따라 상기 히팅 챔버에 밀착되며, 상기 다이아프램이 상기 다이아프램 챔버에 장착되는 위치에서 상기 다이아프램을 로킹시키는 클램프 경사면과 미끄럼 접촉되는 에지부 경사면을 구비하고, 상기 히팅 챔버 또는 상기 다이아프램 챔버를 실링하는 오링이 마련되는 에지부; 를 포함하는 라미네이팅 유니트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 다이아프램은 장방형이고,
    상기 다이아프램의 장축 방향 가장 자리는 상기 클램프의 직선 이동에 의하여 고정되며,
    상기 다이아프램의 단축 방향 가장 자리는 후크의 회동에 의하여 고정되는 라미네이팅 유니트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 히팅 챔버 및 상기 다이아프램 챔버 사이에 상기 태양전지모듈을 입출하는 이송부; 를 포함하는 라미네이팅 유니트.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 태양전지모듈을 가열하는 히팅 프레임과, 상기 히팅 프레임 주변에 진공을 형성하는 제2 에어홀을 구비하는 히팅 챔버;
    상기 태양전지모듈을 가압하여 라미네이팅시키는 다이아프램과, 상기 태양전지모듈의 가압 또는 가압 해제를 위하여 상기 다이아프램의 배면에 공기를 입출하는 제1 에어홀을 구비하는 다이아프램 챔버; 및
    액츄에이터에 클램프 로드로 연결되어 직선 이동되면서 상기 다이아프램 챔버에 상기 다이아프램을 착탈하는 클램프;를 포함하는 라미네이팅 유니트가 다단으로 적층되며,
    상기 다이아프램 챔버에 상기 다이아프램이 착탈 가능하게 결합되는 라미네이팅 장치.
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  19. 삭제
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KR102638297B1 (ko) 2016-09-23 2024-02-20 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치
KR101955902B1 (ko) * 2017-11-10 2019-06-24 (주)피브이스타일 태양 전지 모듈 라미네이션 장치
CN107833942B (zh) * 2017-11-24 2024-01-23 河北羿珩科技有限责任公司 多功能层压机及其使用方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3890206B2 (ja) * 2001-05-22 2007-03-07 日清紡績株式会社 ラミネート装置におけるダイヤフラムの取付方法とこの方法を用いたラミネート装置
JP4308769B2 (ja) * 2002-10-02 2009-08-05 株式会社エヌ・ピー・シー ラミネート装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3890206B2 (ja) * 2001-05-22 2007-03-07 日清紡績株式会社 ラミネート装置におけるダイヤフラムの取付方法とこの方法を用いたラミネート装置
JP4308769B2 (ja) * 2002-10-02 2009-08-05 株式会社エヌ・ピー・シー ラミネート装置

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