JPH07297255A

JPH07297255A - 基板保持装置

Info

Publication number: JPH07297255A
Application number: JP8878094A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Kamiyama; 勉上山
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-04-26
Filing date: 1994-04-26
Publication date: 1995-11-10

Abstract

(57)【要約】【目的】上下に間隔を隔てて配置された１対のハンド
５０，５１の間隔変更時における振動を減衰する。【構成】この基板保持装置１４は、１対のハンド５
０，５１と間隔制御機構５２と振動減衰機構５３とを備
えている。１対のハンド５０，５１は上下に間隔を隔て
てかつ上下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが
基板を保持可能である。間隔制御機構５２は、１対のハ
ンド５０，５１の一端側を保持するとともに、両者の間
隔を第１間隔と第１間隔より広い第２間隔とに制御す
る。振動減衰機構５３は、１対のハンド５０，５１が第
１間隔から第２間隔に及び第２間隔から第１間隔にそれ
ぞれ相対移動された際に両者の振動を減衰する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板保持装置、特に基
板搬送時に基板を保持する基板搬送装置の基板保持装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示基板や半導体基板等の製造プロ
セスにおいては、回転式洗浄装置、回転式塗布装置、回
転式現像装置、オーブン等の基板処理装置に基板を順次
搬送し、各装置内で処理が行われる。このような製造プ
ロセスに用いられる従来の基板搬送装置としては、たと
えば特開平２−１３２８４０号公報に示される装置があ
る。この装置では、１つの基板処理装置からその装置に
おける処理が完了した処理済み基板を搬出し、その後に
その装置における処理がまだなされていない未処理基板
をその装置に搬入するように構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の基板搬送装置で
は、基板処理装置に対して処理済み基板の搬出と未処理
基板の搬入とが経時的に行われるので、基板の搬送に時
間を要し、製造効率が悪いという問題がある。そこで、
本件出願人は、基板処理装置に対する基板の導入及び取
り出しを効率良く行うことができる基板交換装置を既に
提案している（特願平５−１５１１６０号）。この装置
では、上下に間隔を隔てて１対の基板保持部が配置され
ており、これらの１対の基板保持部の間隔を制御するこ
とが可能である。そしてこのような１対の基板保持部を
用いることにより、一方の基板保持部によって未処理基
板を保持して各基板処理装置に搬入すると同時に、他方
の基板保持部によってその基板処理装置において処理済
みの基板を搬出することができる。この場合、１対の基
板保持部は互いの間隔が制御され、互いに接近する第１
の間隔と離反する第２の間隔とをとり得る。

【０００４】ここで、１対の基板保持部は、基板の出し
入れがスムーズに行えるように片持ち支持されているの
で、間隔制御した際の終端、すなわち第１の間隔から第
２の間隔に変更された際の動作の終了時や、逆の場合の
動作の終了時に基板保持部が上下方向に振動するという
問題がある。このため、その振動が減衰するのを待って
基板を搬入及び搬出する必要があり、基板交換に時間が
かかるという問題がある。また、基板保持部に基板を載
置した後に振動により基板の載置位置がずれてしまうと
いう問題がある。

【０００５】本発明の目的は、互いの間隔が可変な１対
の基板保持部を備えた基板保持装置において、その間隔
が変えられた時の基板保持部の振動を速やかに減衰させ
ることにある。本発明のさらなる目的は、簡単な構成の
基板保持装置を提供することにある。本発明のさらなる
目的は、基板保持部と基板処理装置との間の基板の受渡
しが容易な基板保持装置を提供することにある。

【０００６】本発明のさらなる目的は、１対の基板保持
部間の制御されるべき間隔が変更された場合にも容易に
基板保持部の振動を速やかに減衰させることが可能な基
板保持装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る基板保持装
置は、基板搬送時に基板を保持するものであり、１対の
基板保持部と、間隔制御機構と、振動減衰手段とを備え
ている。１対の基板保持部は上下に間隔を隔ててかつ上
下方向に相対移動可能に配置され、それぞれが基板を保
持可能である。間隔制御機構は、１対の基板保持部の一
端側を支持するとともに、両者の間隔を第１間隔と第１
間隔より広い第２間隔とに制御する機構である。振動減
衰手段は、１対の基板保持部が第１間隔から第２間隔に
及び第２間隔から第１間隔にそれぞれ相対移動された際
に両者の振動を減衰する手段である。

【０００８】前記振動減衰手段は、１対の基板保持部が
相対移動した際に、相対移動終端において互いに当接し
て１対の基板保持部の振動を減衰する振動減衰部材を有
しているのが好ましい。また、前記振動減衰部材は、１
対の基板保持部が第１間隔から第２間隔に相対移動した
際に互いに当接して両者の間隔が第２間隔より広がるの
を禁止する１対の第１当接部材と、１対の基板保持部が
第２間隔から第１間隔に相対移動した際に互いに当接し
て両者の間隔が第１間隔より狭くなるのを禁止する１対
の第２当接部材とを有しているのが好ましい。さらに、
前記１対の第１当接部材及び第２当接部材は、それぞれ
１対の基板保持部に対して着脱自在であるのが好まし
い。

【０００９】前記振動減衰手段は、１対の基板保持部の
基端部に配置されているのが好ましい。前記１対の基板
保持部は、互いに異なる固有振動数を有しているのが好
ましい。

【００１０】

【作用】本発明に係る基板保持装置では、基板搬送時に
おいて、１対の基板保持部のそれぞれに基板を保持可能
である。そして、たとえば基板の移載時において、１対
の基板保持部が相対移動させられ、両者の間隔が第１間
隔から第２間隔にあるいはその逆に駆動される。この間
隔駆動によって基板保持部から基板処理部への未処理基
板の搬入と処理済みの基板の基板処理部からの搬出とが
行われる。１対の基板保持部が相対移動した際に、その
終端時、すなわち相対移動の終了時に１対の基板保持部
が振動しようとするが、この振動は振動減衰手段によっ
て減衰される。

【００１１】ここでは、間隔制御の終端時に基板保持部
の振動が減衰されるので、基板保持部の姿勢が速やかに
安定し、次の動作に素早く移行できる。前記振動減衰手
段が、１対の基板保持部が相対移動した際に、相対移動
終端において互いに当接する振動減衰部材を有している
場合は、振動減衰部材が当接することによって１対の基
板保持部の振動が減衰される。ここでは、簡単な構成に
よって振動を減衰できる。また、相対移動の途中では振
動減衰のための作用がなされないので、相対移動中にお
ける抵抗が少なく速やかな移動が可能である。

【００１２】前記振動減衰部材が第１当接部材及び第２
当接部材を有している場合は、１対の基板保持部が第１
間隔から第２間隔に相対移動した際に第１当接部材が互
いに当接し、１対の基板保持部の間隔が第２間隔より広
がるのを禁止する。また、逆に第２間隔から第１間隔に
相対移動した際に第２当接部材が互いに当接し、両者の
間隔が第１間隔より狭くなるのを禁止する。ここでは、
当接部材によって振動の片側の振幅分が禁止されるの
で、簡単な構成で振動を減衰できる。

【００１３】前記１対の第１当接部材及び第２当接部材
を、それぞれ１対の基板保持部に対して着脱自在とした
場合は、制御すべき間隔が変更された場合に、当接部材
を変更するだけで容易に対応できる。前記振動減衰手段
が１対の基板保持部の基端部に配置されている場合は、
基板保持部の先端側から基板を容易に出し入れできる。

【００１４】前記１対の基板保持部が互いに異なる固有
振動数を有している場合は、両者が当接部材等を介して
当接した場合に、振動の減衰が促進される。

【００１５】

【実施例】図１は本発明の一実施例による基板保持装置
が採用された基板処理システムの概略配置図である。こ
の基板処理システム１は、液晶表示用基板を被処理基板
とし、この被処理基板の表面に電極等のパターンを形成
するためのレジスト膜を塗布するシステムであり、被処
理基板に対して一連の処理を行う処理部Ａ１と、この処
理部Ａ１に沿って図１のＸ方向（水平方向）に被処理基
板を搬送する搬送部Ａ２とを有している。

【００１６】基板処理システム１は、図１及び図２に示
すように、複数の基板処理装置を多段に配列した多段構
成となっている。第１段部分ＡＦ１の処理部Ａ１には、
回転式洗浄装置としてのスピンスクラバーＳＳ、回転式
塗布装置としてのスピンコーターＳＣ、エッジ及びバッ
クリンス部ＥＲがＸ方向に配列されている。また、被処
理基板を一時的に載置可能なインターフェイス部ＩＦ２
が配置されている。

【００１７】第１段部分ＡＦ１の上方には第２段部分Ａ
Ｆ２が設けられている。第２段ＡＦ２は多層構造になっ
ており、第１層目にはホットプレートＨＰ１、ＨＰ４〜
ＨＰ５、クールプレートＣＰ１〜ＣＰ３が配列されてい
る。また、第２層目には被処理基板を一時的に載置可能
なインターフェイス部ＩＦ１が配置されている。処理部
Ａ１の前面側には、Ｘ方向に延びるフレーム２が設けら
れている。その設置高さは、スピンコーターＳＣにおけ
る被処理基板の出し入れ高さ、すなわちパスラインＰＳ
１と、上段の基板処理装置ＣＰ３，ＨＰ６のそれぞれに
おける出し入れ高さＰＬ１，ＰＬ２のうち高位のもの
（すなわち図示の例ではＰＬ２）とのほぼ中間の位置で
ある。フレーム２には、Ｘ方向に延びる２本の平行ガイ
ドレール２ａ，２ｂがＺ方向（上下方向）に間隔を隔て
て固定されている。上方のガイドレール２ａには基板搬
送装置３が設けられており、基板搬送装置３はガイドレ
ール２ａによってガイドされつつＸ方向に移動自在であ
る。また、下方のガイドレール２ｂには２台の基板搬送
装置４，５が設けられており、基板搬送装置４，５はガ
イドレール２ｂによってガイドされつつＸ方向に移動自
在となっている。これらの基板搬送装置３〜５は被処理
基板を各基板処理装置間で搬送するためのものである。

【００１８】次に基板搬送装置３について説明する。他
の基板搬送装置４，５も上下対称でほぼ同様の構成であ
るので、ここでは基板搬送装置３についてのみ説明す
る。基板搬送装置３は、図３に示すように、基板搬送装
置３全体をＸ方向に移動させるためのＸ移動機構１０を
有している。Ｘ移動機構１０には、Ｚ方向に伸縮する垂
直アーム機構１１が連結されており、この垂直アーム機
構１１上部にハウジング１２が支持されている。ハウジ
ング１２はＹ方向（Ｘ方向と直交する水平方向）の両端
が開口した中空の箱型形状であり、内部にはＹ方向に伸
縮可能な水平アーム機構１３が収納されている。水平ア
ーム機構１３の先端には、基板保持装置１４が連結され
ている。

【００１９】Ｘ移動機構１０は、ガイドレール２ａを上
下方向から挟むように配置された車輪２０，２１を有し
ている。車輪２０，２１は支持部材２２に回転自在に支
持されている。支持部材２２の上面にはモータ２３が固
定されており、モータ２３の出力軸には、図４に示すよ
うに、駆動輪２４が連結されている。駆動輪２４はガイ
ドレール２ａに当接している。このような構成によっ
て、基板搬送装置３はＸ方向にガイドレール２ａに沿っ
て移動する。

【００２０】垂直アーム機構１１は、図３及び図４に示
すように、第１垂直アーム３０と第２垂直アーム３１と
モータ３２とを有している。第１垂直アーム３０の基端
部はモータ３２に連結されており、先端は第２垂直アー
ム３１の一端に回動自在に連結されている。そして第２
垂直アーム３１の先端はハウジング１２の側部に回動自
在に連結されている。なお、モータ３２は支持部材２２
に固定されている。このようにして、垂直アーム機構１
１はいわゆるスカラロボット機構となっている。このた
め、モータ３２が回転すると第１及び第２アーム３０，
３１がそれぞれ回転し、ハウジング１２がその姿勢を水
平に維持しつつ上下方向に移動する。

【００２１】また、垂直アーム機構１１は、図５に示す
ように、ハウジング１２の左右両側にそれぞれ設けられ
ている。これらの垂直アーム機構１１は水平方向に延び
る連結部材３５によって相互に連結されている。このた
め、モータ３２の駆動力は連結部材３５を介して逆側の
垂直アーム機構１１にも伝達される。なお、逆側の垂直
アーム機構１１においては、片側の垂直アーム機構１１
におけるモータ３２とのバランスをとるためにトルクば
ね３６が配置されている。

【００２２】水平アーム機構１３は、第１水平アーム４
０と第２水平アーム４１とモータ４３（図３参照）とを
有している。第１水平アーム４０の基端にはモータ４３
が連結されており、その先端には第２水平アーム４１の
基端が回動自在に連結されている。また、第２水平アー
ム４１の先端は基板保持装置１４の一部に回動自在に連
結されている。このように、水平アーム機構１３はスカ
ラロボット機構となっており、モータ４３を回転させる
ことにより、第１及び第２アーム４０，４１を旋回さ
せ、基板保持装置１４をその姿勢を維持したまま進退さ
せることが可能である。

【００２３】基板保持装置１４は、図３及び図５に示す
ように、第１及び第２のハンド５０，５１と、両ハンド
５０，５１の間隔を制御するための間隔制御機構５２
と、両ハンド５０，５１の間隔が制御された際に両者の
振動を減衰するための振動減衰機構５３とが設けられて
いる。両ハンド５０，５１はそれぞれＵ字状のプレート
部材であり、そのそれぞれの上面には基板を保持するた
めの支持突起（図示せず）が設けられている。

【００２４】間隔制御機構５２は、第１及び第２ハンド
５０，５１の基端部の間に配置されており、両ハンド５
０，５１の間隔を第１間隔と、第１間隔より広い第２間
隔とに制御する機構である。この間隔制御機構５２は、
図７に示すように、本体部５５と、本体部５５に装着さ
れたエアシリンダ５６とを有している。本体部５５の一
端には孔５５ａが形成されており、この孔５５ａに第２
水平アーム４１の先端が回動自在に連結されている。図
７に断面で示すように、本体部５５には４本のレール５
７が垂直に形成されており、これらのレール５７には２
つの摺動ブロック５８，５９が摺動自在に装着されてい
る。摺動ブロック５８，５９には第１及び第２ハンド５
０，５１がそれぞれ固定されている。また、エアシリン
ダ５６は圧送される空気圧により双方向に回転する駆動
軸６０を有しており、この駆動軸６０には２つの円形の
偏心カム６１，６２が固定されている。

【００２５】図８に示すように、摺動ブロック５８，５
９には、偏心カム６１，６２が摺動可能なガイド溝５８
ａ，５９ａが形成されている。これらのガイド溝５８
ａ，５９ａは水平方向に延びており、上下１対の内側面
を有している。１対の偏心カム６１，６２は、互いに駆
動軸６０を挟んで逆方向に偏心している。このような構
成により、駆動軸６０が回転すると、偏心カム６１，６
２が摺動ブロック５８，５９の一方を押し上げ、他方を
押し下げる。これにより、第１及び第２ハンド５０，５
１が上下方向に移動して両者の間隔が制御される。

【００２６】振動減衰機構５３は、図３及び図９に示す
ように、第１及び第２ハンド５０，５１の基端部におい
て一側面側に設けられている。この振動減衰機構５３
は、第１間隔用の１対の当接部材７０，７１と、第２間
隔用の１対の当接部材７２，７３とを有している。第１
間隔用上当接部材７０及び第２間隔用上当接部材７２は
それぞれ第１ハンド５０の側面にボルトにより取り外し
自在に装着されており、第１間隔用下当接部材７１及び
第２間隔用下当接部材７３はそれぞれ第２ハンド５１の
側面にボルトにより取り外し自在に装着されている。第
１間隔用の当接部材７０，７１は、それぞれ中央部にス
リット７０ａ，７１ａを有しており、第１ハンド５０と
第２ハンド５１との間隔が第１間隔となったときに両者
が当接してそれ以上両ハンド５０，５１の間隔が狭くな
るのを禁止している。また第２間隔用上当接部材７２は
Ｌ字状であり、また第２間隔用下当接部材７３は逆Ｌ字
状となっている。そして、各当接部材７２，７３のほぼ
中央部には横方向に延びるスリット７２ａ，７３ａが形
成されている。第２間隔用の当接部材７２，７３は、第
１ハンド５０と第２ハンド５１とが第１間隔より広い第
２間隔となったときに、互いにその一部が当接すること
によって係止し、両ハンド５０，５１の間隔が第２間隔
より広がるのを禁止している。

【００２７】なお、第１ハンド５０はチタンにより形成
され、第２ハンド５１はステンレスにより形成されてい
る。そして、第１ハンド５０の固有振動数は３０Ｈｚ
に、第２ハンド５１の固有振動数は５０Ｈｚになるよう
に設定されている。次に動作について説明する。図１０
は、基板搬送装置３を用いて、たとえばホットプレート
ＨＰ等の基板処理装置８０に未処理基板８１を導入し、
また処理済み基板８２を受け取る要領を示す模式図であ
る。ここで、基板処理装置８０には、基板保持装置１４
との間で基板の受渡しを行うための上下２段構造の棚８
３，８４が設けられている。

【００２８】基板処理装置８０で処理が終了した処理済
み基板８２は、たとえば上段の棚８３に載置されてい
る。また未処理基板８１は、第２ハンド５１上に載置さ
れ、基板処理装置８０の下段の棚８４に搬入するものと
する。基板を交換する場合には、基板保持装置１４の第
１ハンド５０と第２ハンド５１との間隔を第１間隔とす
る。この状態で水平アーム機構１３を駆動して基板保持
装置１４を基板処理装置８０内に進入させる。第１ハン
ド５０及び第２ハンド５１が棚８３と棚８４とに挟まれ
る位置に到達したとき、水平アーム機構１３の駆動を停
止する。このとき、第１ハンド５０は処理済み基板８２
の下方に位置し、第２ハンド５１は下段の棚８４の上方
に位置している。次に、間隔制御機構５２により、両ハ
ンド５０，５１の間隔を第１間隔から第２間隔に拡張す
る。この拡張の過程で、処理済み基板８２は棚８３から
第１ハンド５０上にすくい取られ、また第２ハンド５１
上の未処理基板８２は棚８４上に載置される。

【００２９】次に、水平アーム機構１３を駆動して基板
保持装置１４を基板処理装置８０から引き出す。このよ
うにして処理済み基板と未処理基板との交換が行われ
る。以上の基板交換工程において、第１及び第２ハンド
５０，５１の間隔が第１間隔からより広い第２間隔に拡
張されると、その拡張過程の終端において第２間隔用上
当接部材７２と第２間隔用下当接部材７３とが図９に示
すような状態で当接する。この場合には、両ハンド５
０，５１の間隔は縮小可能であるが拡張が禁止される。
このため、間隔を変更した際の移動時終端における振動
のうちの半分がこれらの当接部材７２，７３の当接によ
って抑制され、振動が速やかに減衰される。このとき、
両ハンド５０，５１はそれぞれ異なる固有振動数を有し
ているので、振動の減衰がより促進される。

【００３０】また逆に第２間隔からより狭い第１間隔に
駆動される場合には、間隔駆動の終端において、第１間
隔用の上下の当接部材７０，７１が当接する。ここで
も、前記同様に間隔制御のために移動させた際の終端に
おける振動の片側が規制され、振動が減衰される。な
お、上下の当接部材７０，７１及び７２，７３が当接し
た際、これらの当接部材にはそれぞれスリット７０ａ，
７１ａ，７２ａ，７３ａが形成されているので、衝突時
の衝撃が緩和される。

【００３１】このような実施例では、当接部材を設ける
だけで簡単に振動を減衰させることが可能となる。また
各当接部材７０〜７３は両ハンド５０，５１の基端部に
設けられているので、基板交換時の出し入れがこれらの
当接部材によって妨げられることはない。さらに、両ハ
ンド５０，５１の固有振動数を互いに異ならせているの
で、振動の減衰が促進される。さらに、各当接部材７０
〜７３にはスリットが設けられているので、当接時の衝
撃が緩和される。

【００３２】ここで、各当接部材７０〜７３はボルトに
より着脱自在であるので、たとえば両ハンド５０，５１
の間隔が変更された場合にも、別の当接部材を装着する
ことによって容易に対応が可能である。しかも、本実施
例の振動減衰機構では、間隔駆動の途中では各当接部材
が当接しない。このため、間隔を制御する途中において
は抵抗がなく、速やかな間隔駆動が行える。

【００３３】〔他の実施例〕（ａ）前記実施例では、ハンドの形状をＵ字形状とし
たが、ハンドの形状は前記実施例に限定されるものでは
ない。（ｂ）前記実施例では各ハンドの固有振動数を材質を
変更することにより異ならせたが、形状を変更すること
によって固有振動数を異ならせ、振動減衰を促進するよ
うにしてもよい。（ｃ）振動減衰機構としては当接部材に限定されるも
のではなく、たとえば油圧シリンダ等を両ハンドの間に
配置してもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上のように本発明に係る基板保持装置
では、間隔駆動の終端時に基板保持部の振動が減衰され
るので、基板保持部の姿勢が速やかに安定し、次の動作
に素早く移行することが可能である。振動減衰手段を、
相対移動終端において互いに当接する振動減衰部材とし
た場合には、簡単な構成によって振動を減衰できる。ま
た相対移動の途中で抵抗が発生しないので速やかな間隔
の変更が可能となる。

【００３５】また、前記振動減衰部材を、１対の基板保
持部が相対移動した際にそれらの間隔が互いに広がるの
を禁止したり、逆に狭くなるのを禁止するような部材と
した場合には、当接部材によって振動の片側の振幅分が
禁止されるので、簡単な構成で振動を減衰できる。各当
接部材の基板保持部に対して着脱自在とした場合には、
制御する間隔が変更された場合にも当接部材を変更する
だけで容易に対応できる。

【００３６】振動減衰手段を基板保持部の基端部に配置
した場合には、基板保持部に対して基板を出し入れする
際に振動減衰手段が妨げとならない。１対の基板保持部
が互いに異なる固有振動数を有している場合には、当接
部材を介して両者が当接した場合に振動の減衰が促進さ
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による基板保持装置が採用さ
れる基板処理システムの概略配置図。

【図２】前記基板処理システムの概略側面図。

【図３】本実施例の基板保持装置を有する基板搬送装置
の斜視図。

【図４】前記基板搬送装置の側面図。

【図５】前記基板搬送装置の一部断面平面図。

【図６】前記基板搬送装置の正面図。

【図７】基板保持装置の断面平面図。

【図８】前記基板保持装置の背面図。

【図９】振動減衰機構の斜視図。

【図１０】基板保持部の動作を説明するための模式図。

【符号の説明】

３，４，５基板搬送装置１４基板保持装置５０第１ハンド５１第２ハンド５２間隔制御機構５３振動減衰機構７０，７１第１間隔用当接部材７２，７３第２間隔用当接部材７０ａ，７１ａ，７２ａ，７３ａスリット

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１Ｃ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板搬送時に基板を保持する基板保持装置
であって、上下に間隔を隔ててかつ上下方向に相対移動可能に配置
され、それぞれが基板を保持可能な１対の基板保持部
と、前記１対の基板保持部の一端側を支持するとともに、両
者の間隔を第１間隔と前記第１間隔より広い第２間隔と
に制御する間隔制御機構と、前記１対の基板保持部が前記第１間隔から第２間隔に及
び前記第２間隔から第１間隔にそれぞれ相対移動された
際に両者の振動を減衰する振動減衰手段と、を備えた基
板保持装置。
【請求項２】前記振動減衰手段は、前記１対の基板保持
部が相対移動した際に、相対移動終端において互いに当
接して前記１対の基板保持部の振動を減衰する振動減衰
部材を有している、請求項１に記載の基板保持装置。
【請求項３】前記振動減衰部材は、前記１対の基板保持
部が前記第１間隔から第２間隔に相対移動した際に互い
に当接して両者の間隔が前記第２間隔より広がるのを禁
止する１対の第１当接部材と、前記１対の基板保持部が
前記第２間隔から第１間隔に相対移動した際に互いに当
接して両者の間隔が前記第１間隔より狭くなるのを禁止
する１対の第２当接部材とを有している、請求項２に記
載の基板保持装置。
【請求項４】前記１対の第１当接部材及び第２当接部材
は、それぞれ１対の基板保持部に対して着脱自在であ
る、請求項３に記載の基板保持装置。
【請求項５】前記振動減衰手段は、前記１対の基板保持
部の基端部に配置されている、請求項１ないし４のいず
れかに記載の基板保持装置。
【請求項６】前記１対の基板保持部は、互いに異なる固
有振動数を有している、請求項１ないし５のいずれかに
記載の基板保持装置。