KR100238947B1 - 반도체 웨이퍼 탑재장치 - Google Patents

Abstract

웨이퍼가 탑재된 카세트로부터 탑재간격이 다른 카세트로 웨이퍼를 옮겨 탑재하기 위한 반도체 웨이퍼 탑재장치에 관한 것이다.

본 발명의 반도체 웨이퍼 탑재장치는, 웨이퍼 탑재간격의 슬롯이 서로 다른 2개의 카세트를 올려놓기 위한 장착대(10)와, 일측은 상기 장착대를 받쳐지지하고 타측은 장착대가 회전축(12)을 중심으로 회전가능하도록 연결된 받침대(11)와, 상기 장착대에 놓여지는 양측 카세트 사이에 설치되어 서로 다른 탑재간격의 슬롯을 연결하는 슬롯이 형성된 슬라이더(13)와, 상기 장착대의 일측에 회전가능하게 설치되어 장착된 카세트를 고정하는 덮개(14)와, 상기 덮개가 장착대에 선택적으로 고정 및 고정해제되도록 하는 잠금수단으로 구성된다.

따라서 웨이퍼의 탑재간격이 서로 다른 카세트 상호간에 다수매의 웨이퍼를 옮기는 작업이 한 번에 이루어져 작업이 매우 편리하고 시간이 단축됨으로써 작업성 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 탑재장치

본 발명은 반도체 웨이퍼 탑재장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 탑재된 카세트로부터 탑재간격이 다른 카세트로 웨이퍼를 옮겨 탑재하기 위한 반도체 웨이퍼 탑재장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치는 많은 공정을 반복적으로 수행하여 제조되므로 하나의 공정에서 다른 공정으로 수시로 이동하게 되고, 이동시 다수매의 웨이퍼가 일정간격으로 탑재되도록 형성된 카세트를 이용하고 있다.

따라서 공정수행시 카세트로부터 웨이퍼를 수시로 빼내고 다시 탑재하여야 하고, 이러한 작업은 주로 진공척(Vacuum Chuck)을 이용한 진공흡착방식과 웨이퍼를 파지하여 들어올리는 아암(Arm)방식을 사용하고 있다.

그러나 웨이퍼의 두께 변화 또는 각 공정에서 웨이퍼를 이송시키는 진공척 또는 아암의 두께변화로 인해 카세트에 탑재되는 웨이퍼의 간격이 종류에 따라 다르게 되고, 이로써 탑재간격이 다른 카세트에 웨이퍼를 옮겨 탑재하는 작업이 필요하게 되었다.

종래에는 상기와 같은 작업시 작업자가 직접 진공척을 이용하여 하나씩 카세트로부터 꺼내어 탑재간격이 다른 카세트의 슬롯에 일일이 탑재시켰던 것으로, 이는 작업자가 웨이퍼를 일일이 옮겨야하므로 작업이 번거로워 작업성을 저하시키게 되었고, 많은 시간을 소요하게 되므로 공정을 지연시켜 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 웨이퍼의 탑재간격이 다른 카세트 상호간에 웨이퍼를 옮겨 탑재하는 작업이 매우 편리하게 이루어질 수 있고, 옮겨 탑재하는데 소요되는 시간이 대폭 단축되도록 하여 작업성을 향상시킬 수 있는 반도체 웨이퍼 탑재장치를 제공함에 있다.

도1은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 탑재장치를 나타낸 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 탑재장치를 나타낸 정면도이다.

도3은 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 탑재장치의 동작상태를 나타낸 종단면도이다.

도4는 본 발명의 반도체 웨이퍼 탑재장치에서 슬라이더를 나타낸 단면도이다.

도5는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 탑재장치의 록킹수단을 나타낸 상세단면도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 장착대10a : 걸림돌기

11 : 받침대12 : 회전축

13 : 슬라이더13a, 21a, 22a : 슬롯

14 : 덮개15 : 연결핀

16 : 후크17 : 토션스프링

21, 22 : 카세트W : 웨이퍼

상기의 목적은 웨이퍼 탑재간격의 슬롯이 서로 다른 2개의 카세트를 올려놓기 위한 장착대와, 일측은 상기 장착대를 받쳐지지하고 타측은 장착대가 회전축을 중심으로 회전가능하도록 연결된 받침대와, 상기 장착대에 놓여지는 양측 카세트 사이에 설치되어 서로 다른 탑재간격의 슬롯을 연결하는 슬롯이 형성된 슬라이더와, 상기 장착대의 일측에 회전가능하게 설치되어 장착된 카세트를 고정하는 덮개와, 상기 덮개가 장착대에 선택적으로 고정 및 고정해제되도록 하는 잠금수단을 포함하여 됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 탑재장치에 의해 달성될 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1 및 도2는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 탑재장치를 나타낸 것으로, 웨이퍼 탑재간격이 서로 다른 2개의 카세트(21)(22)를 올려놓을 수 있는 장착대(10)와 이 장착대(10)를 받쳐지지하는 받침대(11)를 구비한다.

상기 받침대(11)는 장착대(10)의 일측을 받쳐지지함과 동시에 받침대(11)의 타측과 장착대(10)의 타측은 회전축(12)으로 연결되어 장착대(10)가 회전축(12)을 중심으로 소정각도 회전가능하게 되어 있다.

또한 상기 장착대(10)에 놓여지는 2개의 카세트(21)(22) 사이에는 슬라이더(13)가 설치되고, 이 슬라이더(13)는 양쪽 카세트(21)(22)의 슬롯(21a)(22a) 간격과 동일한 간격으로 배치된 슬롯(13a)을 형성한 것으로, 예를 들면 도3에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)의 탑재간격이 좁은 카세트(21)의 슬롯(21a)으로부터 웨이퍼 탑재간격이 넓은 카세트(22)의 슬롯(22a)으로 웨이퍼(W)를 옮기는 경우, 슬라이더(13)의 일측의 슬롯(13a) 간격은 탑재간격이 좁은 카세트(21)의 슬롯(21a) 간격과 동일하게 형성하고, 타측의 슬롯(13a) 간격은 탑재간격이 넓은 카세트(22)의 슬롯(22a) 간격과 동일하게 형성함으로써 슬라이더(13)의 슬롯(13a)에 의해 탑재간격이 좁은 카세트(21)의 슬롯(21a)과 탑재간격이 넓은 카세트(22)의 슬롯(22a)이 상호 연결되게 한다.

그리고 상기 장착대(10)의 일측에는 장착대(10)에 놓여진 양쪽 카세트(21)(22)를 고정하는 덮개(14)가 연결핀(15)으로 연결되어 연결핀(15)을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 이 덮개(14)는 양쪽 카세트(21)(22)의 상면을 눌러 고정하도록 되어 있으며, 덮개(14)의 자유단부측에는 도5에 도시된 바와 같이 후크(16)가 회동가능하게 토션스프링(17)으로 탄력설치되어 장착대(10)의 대향측에 형성된 걸림돌기(10a)와 선택적으로 고정 및 고정해제되도록 한 구성이다.

또한 웨이퍼(W)가 옮겨지는 카세트(22)와 접하는 장착대(10)의 일측면에는 완충부재(18)를 구비하여 웨이퍼(W)의 이동작업시 웨이퍼(W)가 장착대(10)의 일측면에 충돌하여 손상되는 것을 방지하도록 하는 것이 바람직하다.

이러한 구성의 본 발명은 웨이퍼 탑재간격이 서로 다른 카세트(21)(22) 상호간에 웨이퍼(W)를 옮겨 탑재하는 것이 가능하다. 즉 도1 및 도2는 웨이퍼(W)의 탑재간격이 좁은 카세트(21)에서 웨이퍼의 탑재간격이 넓은 카세트(22)로 웨이퍼(W)를 옮겨 탑재하는 경우의 일예를 나타낸 것으로, 탑재간격이 좁은 슬롯(21a)에 다수매의 웨이퍼(W)가 탑재된 카세트(21)를 장착대(10) 상에 장착하되, 동일간격의 슬롯(13a)을 갖는 슬라이더(13) 일측에 장착하고, 이보다 슬롯(22a) 간격이 넓은 카세트(22)는 동일간격의 슬롯(13a)을 갖는 슬라이더(13)의 타측에 장착하여 탑재간격이 좁은 카세트(21)와 탑재간격이 넓은 카세트(22)가 슬라이더(13)에 의해 연결되도록 한다.

그리고 덮개(14)를 회동시켜 닫게 되면, 덮개(14)가 양쪽 카세트(21)(22)의 상면을 눌러 고정함과 동시에 자유단부측에 설치된 후크(16)가 토션스프링(17)에 의해 도5의 가상선 상태와 같이 탄성변형하면서 장착대(10)의 걸림돌기(10a)에 고정되므로 양쪽 카세트(21)(22)는 장착대(10)에 견고하게 고정된 상태가 된다.

이러한 상태에서 도3에 도시된 바와 같이 장착대(10)를 들어올려 회전축(12)을 중심으로 소정각도 회동시키게 되면, 양쪽의 카세트(21)(22)는 물론 이들 사이의 슬라이더(13)가 소정각도 경사지게 되므로 탑재간격이 좁은 카세트(21) 내의 웨이퍼(W)가 자중에 의해 미끄러져 내려가게 되고, 웨이퍼(W)는 슬라이더(13)를 통과하여 탑재간격이 넓은 카세트(22)로 이동하게 된다.

이때 탑재간격이 좁은 카세트(21)의 각 슬롯(21a)은 슬라이더(13)의 슬롯(13a)에 의해 탑재간격이 넓은 카세트(22)의 각 슬롯(22a)과 연결된 것이므로 탑재간격이 좁은 카세트(21)의 각 슬롯(21a)에 탑재된 웨이퍼(W)는 탑재간격이 넓은 카세트(22)의 각 슬롯(22a)으로 이동되어지고, 이와 같이 다수매의 웨이퍼(W)를 다른 카세트로 옮겨 탑재하는 작업이 한 번에 이루어지므로 작업이 용이하고 시간이 단축되어진다.

또한 장착대(10)의 일측면에 구비된 완충부재(18)에 의해서는 웨이퍼가 이동하는 과정에서 발생하는 충격을 감소시키게 되므로 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있게 된다.

이와 같이하여 웨이퍼(W)의 이동이 끝나게 되면, 도5에 도시된 바와 같이 후크(16)를 눌러 걸림돌기(10a)로부터 고정해제하고, 덮개(14)를 들어올려 양쪽 카세트(21)(22)를 장착대(10)로부터 분리해냄으로써 작업이 완료되어진다.

이러한 웨이퍼 탑재장치는 일예로 탑재간격이 좁은 카세트에서 탑재간격이 넓은 카세트로 웨이퍼를 옮기는 형태에 대해서 설명하였지만 약간의 설계변경으로 탑재간격이 넒은 카세트에서 탑재간격이 좁은 카세트로 웨이퍼를 옮길 수 있도록 구성할 수 있고, 양쪽의 경우를 동시에 수행할 수 있도록 구성할 수도 있다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 탑재장치에 의하면, 웨이퍼의 탑재간격이 서로 다른 카세트 상호간에 다수매의 웨이퍼를 옮기는 작업이 한 번에 이루어져 작업이 매우 편리하고 시간이 단축됨으로써 작업성 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

1. 웨이퍼 탑재간격의 슬롯이 서로 다른 2개의 카세트를 올려놓기 위한 장착대;

   일측은 상기 장착대를 받쳐지지하고 타측은 장착대가 회전축을 중심으로 회전가능하도록 연결된 받침대;

   상기 장착대에 놓여지는 양측 카세트 사이에 설치되어 서로 다른 탑재간격의 슬롯을 연결하는 슬롯이 형성된 슬라이더;

   상기 장착대의 일측에 회전가능하게 설치되어 장착된 카세트를 고정하는 덮개; 및

   상기 덮개가 장착대에 선택적으로 고정 및 고정해제되도록 하는 잠금수단;

   을 포함하여 됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 탑재장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 장착대의 일측면에 웨이퍼의 이동시 충격을 흡수하는 완충부재가 구비됨을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 탑재장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 잠금수단은, 덮개의 자유단부에 토션스프링으로 탄력설치된 후크와, 이와 대응하는 위치의 장착대에 형성되어 후크가 고정 및 고정해제되는 걸림돌기로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 웨이퍼 탑재장치.

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