KR20040023858A - 반도체 소자 제조에 사용되는 런박스 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조에 사용되는 런박스에 관한 것으로, 런박스는 내부에 반도체 기판들을 수납하는, 그리고 정면, 양측면, 후면, 바닥면 및 개방된 상부를 가지는 몸체와 경첩에 의해 상기 몸체와 결합되고, 상기 경첩을 중심으로 회전함으로써 상기 몸체의 상부를 개폐하는 덮개를 구비한다. 상기 덮개는 상기 상부면이 상기 몸체의 후면과 평행이 되는 위치까지 열릴 때 상기 몸체의 후면과 상기 덮개의 상부면은 동일 평면에 위치된다.
따라서 파티션이 연결된 스테이션상에 위치된 런박스의 덮개가 스테이션과 수직한 위치까지 열릴 때, 덮개의 상부면만이 파티션에 맞닿아 덮개와 파티션사이의 지렛대 원리에 의해 런 박스가 떨어지거나 내부의 카세트가 쏟아지는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 소자 제조에 사용되는 런박스{Run box for manufacturing semiconductor device}
본 발명은 반도체 소자를 제조하는 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 웨이퍼 캐리어를 안전하게 보관 및 이송하는 런박스에 관한 것이다.
하나의 반도체 장치를 제조하기 위하여는 포토공정, 식각공정, 확산공정, 증착공정 및 금속공정 등을 통하여 적절한 전기적 특성들을 갖는 소자들을 웨이퍼 상에 형성하고, 이렇게 처리된 웨이퍼를 조립공정에 따라 다이싱하고, 팩케이징하는 등의 여러 공정들을 거치게 된다. 웨이퍼는 이들 공정들 간에 수 차례 이동이 불가피하며, 이 때 취급 부주의로 인하여 웨이퍼가 긁히거나 부스러지는 등의 손상이 유발되면 제조 수율에 치명적인 영향을 미치게 된다.
이를 방지하기 위해 롯 단위의 웨이퍼를 다수매로 적재시킨 캐리어(Carrier)를 안전하게 보관 및 이송하기 위해 캐리어를 수용하는 런박스(Run Box)가 이용된다.
도 1과 도 2는 일반적인 런박스가 열리고 닫힌 상태를 보여주는 도면이다. 이를 참조하면 런박스는 전면, 양측면, 후면, 바닥면 그리고 개방된 상부를 가지는 몸체(420)와 전면, 양측면, 후면, 상부면을 가지는 덮개(440)를 구비한다. 덮개의 후면 하단과 몸체의 후면 상단에는 경첩(460)이 설치되고, 덮개는 경첩을 중심으로 회전함으로써 몸체의 상부를 개폐한다. 그러나 도 2에서 보는 바와 같이, 덮개가몸체에 닫힌 상태에서 90°회전되어 열리면, 덮개의 후면(446)과 몸체의 후면(426)은 'ㄱ'자 형상을 가진다. 즉, 덮개의 후면(446)은 몸체의 후면(426) 뒤쪽에 위치된다. 이것은 다음과 같은 문제가 발생한다.
도 3과 같이 런박스가 파티션(400)과 후면을 맞대고 스테이션(500)상에 재치된 경우, 런박스가 열리면 도 4에서 보는 바와 같이 런박스의 덮개와 파티션사이에 지렛대의 원리가 작용하게 된다. 런박스의 앞쪽은 다리(430)에 의해 고정되고 뒤쪽이 스테이션(500)로부터 들리게 되어 런박스가 스테이션에서 떨어지거나 런박스 안의 카세트가 앞쪽으로 쏟아지게 된다.
본 발명은 전술한 문제점을 방지하기 위해, 벽 또는 파티션에 연결된 스테이션상에서 덮개를 안정적으로 열 수 있는 런박스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 일반적인 런박스의 닫힌 상태를 보여주는 도면;
도 2는 도 1의 런박스의 열린 상태를 보여주는 도면;
도 3은 일반적인 런박스가 파티션이 설치된 스테이션상에 재치된 상태를 보여주는 도면;
도 4는 도 3의 런박스가 열린상태를 보여주는 도면;
도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 덮개가 닫힌 상태의 런박스의 사시도;
도 6은 도 5의 측면도;
도 7은 도 5의 런박스가 열린 상태를 보여주는 사시도;
도 8은 도 7의 측면도;그리고
도 9는 파티션이 설치된 스테이션상에 재치된 런박스가 열린 상태를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 런박스 120 : 몸체
124 : 몸체의 후면 140 : 덮개
144 : 덮개의 상부면 160 : 경첩
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 런박스는 내부에 반도체 기판들을 수납하는, 그리고 정면, 양측면, 후면, 바닥면 및 개방된 상부를 가지는 몸체와 경첩에 의해 상기 몸체와 결합되고, 상기 경첩을 중심으로 회전함으로써 상기 몸체의 상부를 개폐하는 덮개를 구비한다. 상기 덮개는 상기 상부면이 상기 몸체의 후면과 평행이 되는 위치까지 열릴 때 상기 몸체의 후면과 상기 덮개의 상부면은 동일 평면에 위치된다.
바람직하게는 상기 몸체의 양측면의 상단은 후면에서 멀어질수록 높이가 낮아지는 경사부를 가지고, 상기 덮개의 양측면의 하단은 상기 몸체의 양측면에 상응되는 경사부를 가진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 5 및 도 9를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.
본 발명의 실시예는 여러가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
도 5와 도 7은 본 발명인 바람직한 일실시예에 따른 런박스의 닫힌 상태와 열린 상태를 보여주는 사시도이다.
도 5와 도 7을 참조하면, 런박스(Run Box)(100)는 다수의 웨이퍼를 적재한 캐리어(도시되지 않음)가 담겨지는 몸체(Body)(120)와 상기 몸체(120)의 상부를 개폐하는 덮개(Lid)(140)를 구비한다.
상기 몸체(120)는 전면(122), 양측면(123a,123b), 후면(124), 다리(126)를 가지는 바닥면(125), 그리고 개방된 상부로 이루어진다. 도 5의 측면도인 도 6를 참조하면상기 몸체(120)의 양측면(123a, 123b) 상단은 후면(124)에서 멀어질수록 높이가 낮아지는 경사부(128)를 가진다.
상기 덮개(140)는 상부면(144), 전면(142), 양측면(143a, 143b), 그리고 개방된 후면을 가진다. 상기 덮개(140)의 양측면(143a, 143b) 하단은 상기 덮개(140)가 상기 몸체(120)에 닫힌 상태에서 상기 몸체(120)의 상기 양측면(123a, 123b)에 상응되는 형상을 가진다. 따라서 본 실시예에서 상기 덮개(140)는 일반적인 경우와 달리 후면을 가지지 않는다.
상기 몸체(120)와 상기 덮개(140)는 경첩(160)에 의해서 연결된다. 상기 경첩(160)은 상기 몸체(120)의 후면(124)과 상기 덮개(140)의 상부면(144)이 맞닿는 곳에 위치된다. 상기 덮개(140)는 상기 경첩(160)에 의해 회전함으로써 상기 몸체(120)의 상부를 개폐한다.
상술한 구조를 가진 본 발명인 런박스(100)에서, 상기 덮개(140)가 닫힌상태에서 90°회전되어 열리면, 도 7의 측면도인 도 8에서 보는 바와 같이 상기 몸체(120)의 후면(124)과 상기 덮개(140)의 상부면(144)은 'ㅣ'자 형상을 이룬다.
도 9를 참조하면, 상술한 구조를 가지는 본 발명인 런박스(100)는 하나의 공정이 완료된 웨이퍼들을 적재한 캐리어를 보관한 상태로 다음 공정이 진행되는 설비로 이동되어 파티션(partition)(300)이 배치된 스테이션(station)(200)상에 놓여진다. 설비내로 웨이퍼를 로딩하기 위해 런박스(100)의 상기 덮개(140)를 열 때, 본발명인 런박스(100)는 상기 몸체(120)의 후면(124)과 상기 덮개(140)의 상부면(144)이 'ㅣ'자를 이루므로, 도 4에 도시된 일반적인 런박스처럼 덮개가 스테이션에 수직한 위치까지 열릴 때 덮개의 후면이 몸체의 후면보다 뒤쪽에 위치되어 런박스가 스테이션 앞쪽으로 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
본 발명인 런박스에 의하면, 파티션이 연결된 스테이션상에 위치된 런박스의덮개가 스테이션과 수직한 위치까지 열릴 때, 덮개의 상부면과 몸체의 후면이 동일평면을 이루어 파티션과 평행이 되므로, 덮개의 상부면만이 파티션에 맞닿아 덮개와 파티션사이의 지렛대 원리에 의해 런 박스가 떨어지거나 내부의 카세트가 쏟아지는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 반도체 기판 제조에서 파티션이 설치된 스테이션상에 재치되는 런박스에 있어서,
    내부에 반도체 기판들을 수납하는, 그리고 정면, 양측면, 후면, 바닥면 및 개방된 상부를 가지는 몸체와;
    결합부에 의해 상기 몸체와 결합되고, 상기 결합부를 중심으로 회전함으로써 상기 몸체의 상부를 개폐하는 덮개를 구비하되,
    상기 덮개는 상기 상부면이 상기 몸체의 후면과 평행이 되는 위치까지 열릴 때 상기 몸체의 후면과 상기 덮개의 상부면은 동일 평면에 위치되는 것을 특징으로 하는 런박스.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 결합부는 경첩을 포함하는 것을 특징으로 하는 런박스.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 몸체의 양측면의 상단은 상기 몸체의 후면에서 멀어질수록 높이가 낮아지는 경사부를 가지고,
    상기 덮개의 양측면의 하단은 상기 몸체의 양측면의 상단에 상응되는 경사부를 가지는 것을 특징으로 하는 런박스.
KR1020020055294A 2002-09-12 2002-09-12 반도체 소자 제조에 사용되는 런박스 KR20040023858A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110197806A (zh) * 2018-02-24 2019-09-03 特铨股份有限公司 弹扣式盒体开盒设备以及弹扣式盒体开盒方法

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