KR20040089151A - 반도체 소자 제조에 사용되는 캐리어 박스 - Google Patents

Abstract

본 발명인 캐리어 박스에 관한 것으로, 상기 박스는 캐리어가 수용되는 몸체와 상기 몸체의 개방된 상부면을 개폐하는 덮개를 가진다. 상기 몸체의 저면은 돋을새김형상으로 형성되고, 상기 몸체의 저면에서 아래로 함입된 부분에는 상기 몸체의 내부에서 발생된 파티클들이 배출되는 배출홀들이 형성된다.

본 발명에 의하면 캐리어 박스 내에서 발생된 파티클들은 캐리어 박스내의 저면으로 떨어진 후 배출홀들을 통해 외부로 배출되므로, 파티클들이 캐리어 박스 내의 웨이퍼 상에 부착되는 것을 최소화 할 수 있다.

Description

반도체 소자 제조에 사용되는 캐리어 박스{CARRIER BOX USED IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DIVICES}

본 발명은 반도체 소자 제조에 사용되는 캐리어 박스에 관한 것으로, 더 상세하게는 복수의 웨이퍼들이 안착된 캐리어를 수납하는 캐리어 박스에 관한 것이다.

반도체 소자를 제조하기 위해 반도체 웨이퍼는 증착, 사진, 식각, 세정, 그리고 이온주입 등 다양한 공정이 수행된다. 웨이퍼들(W)은 상술한 공정 진행을 위해 25 내지 50매가 하나의 그룹을 이루면서 각각의 공정이 수행되는 설비로 이동된다. 웨이퍼들은 도 1에 도시된 바와 같이 캐리어(10) 내의 슬롯에 삽입되고, 캐리어(10)는 외부의 파티클들이 웨이퍼 상에 부착되는 것을 방지하기 위해 캐리어 박스(20) 내부에 놓여진 채로 이동된다.

캐리어 박스(20)가 열린 상태를 보여주는 도 2를 참조하면, 캐리어 박스(20)는 몸체(22)와 몸체(22)의 오픈된 상부면을 개폐하기 위해 몸체(22)의 상부면의 일측에 결합된 덮개(24)를 가진다. 몸체(22)는 상부면을 제외한 측면 및 저면이 모두 외부와 밀폐된 구조를 가지고 있다.

도 3a 내지 도 3c는 일반적인 캐리어 박스(20) 사용시 문제점을 보여주는 도면이다. 도 3a에서 보는 바와 같이 처음에 캐리어(10)가 캐리어 박스(20) 내에 놓여질 때, 캐리어(10)와 캐리어 박스(20)는 모두 세정된 상태이므로 캐리어 박스(20) 내부에 파티클들(particles)이 존재하지 않는다. 그러나 캐리어 박스(20)가 덮개(24)에 의해 외부와 차단된 상태에서 이동되면, 도 3b에서 보는 바와 같이 웨이퍼(W)와 캐리어(10)가 접촉되는 부분 및 캐리어(10)와 캐리어 박스(20)가 접촉되는 부분에서 마모로 인한 파티클들(30)이 발생되고, 파티클들(30)은 캐리어 박스(20) 내에 누적된다. 이후에 캐리어 박스(20)의 흔들림 등에 의해, 캐리어 박스(20) 내의 파티클들(30)은 캐리어 박스(20) 내에서 부유하게 되고, 이들은 도 3c에서 보는 바와 같이 웨이퍼들(W)에 부착된다. 결국 공정 진행 후 이들 파티클들(30)에 의해 불량이 발생하여 전체적인 수율(yield)을 감소시킨다.

본 발명은 웨이퍼와 캐리어, 또는 캐리어와 박스의 접촉되는 부분의 마모로 인해 발생되는 파티클들이 웨이퍼에 부착되는 것을 방지할 수 있는 캐리어 박스를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 일반적인 웨이퍼 캐리어의 사시도;

도 2는 일반적인 캐리어 박스의 사시도;

도 3a, 3b, 그리고 3c는 일반적인 캐리어 박스 사용시 문제점을 보여주는 도면;

도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 캐리어 박스의 사시도;

도 5는 도 4의 캐리어 박스 저면의 형상을 보여주는 캐리어 박스 저면의 단면도;그리고

도 6은 도 4의 캐리어 박스 사용시 내부에서 발생된 파티클들의 이동경로를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 웨이퍼 캐리어 20, 100 : 캐리어 박스

22, 120 : 몸체 24, 140 : 덮개

30 : 파티클 126 : 배출홀

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 캐리어 박스는 캐리어가 수용되는 몸체와 상기 몸체의 개방된 상부면을 개폐하는 덮개를 가진다. 상기 몸체의 저면은 돋을새김형상으로 형성되고, 상기 몸체의 저면에서 아래로 함입된 부분에는 상기 몸체의 내부에서 발생된 파티클들이 배출되는 배출홀들이 형성된다.

본 발명에 의하면, 캐리어 박스 내에서 발생된 파티클들은 캐리어 박스내의 저면으로 떨어진 후 배출홀들을 통해 외부로 배출되므로, 파티클들이 캐리어 박스내의 웨이퍼 상에 부착되는 것을 최소화 할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 4 내지 도 6을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 캐리어 박스(carrier box)(100)의 사시도이다. 캐리어 박스(100)는 내부에 수납된 웨이퍼(W)를 외부 충격으로부터 보호하고, 웨이퍼들(W)이 운반될 때 외부 공기로부터 오염되는 것을 방지하는 위한 것으로, 몸체(housing)(120)와 덮개(lid)(140)를 가진다.

몸체(120)는 웨이퍼 캐리어(wafer carrier)(10)가 내부에 놓여질 수 있는 공간을 제공하는 부분으로, 도 4에서 보는 바와 같이 상부는 개방되고, 측면의 후단부는 전단부에 비해 높게 형성된다. 몸체(120)의 바닥면 아래에는 박스를 지지하는 받침대(124)가 형성될 수 있다.

몸체의 바닥면(122)에는 복수의 배출홀들(exhaust holes)(126)이 형성된다. 이들 배출홀들(126)은 몸체(120) 내부에서 웨이퍼(W)와 캐리어(10)의 접촉부에서, 또는 캐리어(10)와 캐리어 박스(100)의 접촉부에서 이들간의 마모로 인해 발생되는 파티클들(30)을 외부로 배출하는 통로로서 기능한다.

도 5는 몸체(120)의 바닥면의 단면을 보여주는 도면으로, 도 5를 참조하면, 몸체의 바닥면(122)은 돋을새김(emboss)형상으로 형성되고, 배출홀들(126)은 바닥면에서 아래로 함입된 부분에 형성된다. 이는 캐리어 박스(100)의 내부에서 발생되는 파티클들(30)의 방출을 용이하게 하기 위한 것이다. 그러나 이와 달리 바닥면은 평평한 형상을 가지고, 바닥면에 복수의 배출홀들이 형성될 수 있다.

덮개(140)는 몸체(120)의 개방된 상부면을 개폐하는 부분으로, 몸체(120)의 상부면에 피봇(pivot)에 의해 결합되고, 이를 축으로 하여 회전될 수 있다. 이와 달리 덮개는 몸체로부터 완전히 분리되는 구조를 가질 수 있다.

웨이퍼들(W)은 각각 캐리어(10)의 슬롯에 삽입되며, 캐리어(10)는 캐리어 박스(100) 내에 놓여진 상태에서 각 공정 설비간 이송된다.

하나의 공정이 완료되면, 웨이퍼들(W)은 캐리어(10)에 탑재된다. 캐리어 박스(100)의 덮개(140)가 열린 상태에서 캐리어(10)는 캐리어 박스(100) 내에 놓여지고, 이후에 덮개(140)가 닫힌다. 캐리어 박스(100)는 다음 공정으로 이송되며, 캐리어 박스(100)의 이송중에 충격이나 진동에 의해 웨이퍼들(W)과 캐리어(10), 그리고 캐리어(10)와 캐리어 박스(100)간의 접촉부위에서 마모가 일어난다. 본 발명의 캐리어 박스(100)는 바닥면이 돋을새김(emboss)형상으로 형성되고, 저면에서 함입부에는 배출홀들(126)이 형성되어 있으므로 마모에 의해 발생되는 파티클들(30)은 캐리어 박스(100)의 흔들림에 의해 캐리어 박스(100) 내부의 바닥으로 떨어 진 후, 배출홀들(126)을 통해 외부로 배출된다.

본 발명에 의하면, 캐리어 박스의 저면은 돋을새김형상으로 형성되고, 저면에서 아래로 함입된 부분에는 배출홀들이 형성되며, 캐리어 박스 내에서 발생된 파티클들은 배출홀들을 통해 외부로 배출되므로 파티클들이 웨이퍼 상에 부착되는 것을 최소화 할 수 있어 수율이 향상되는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 반도체 소자 제조에 사용되는 캐리어 박스에 있어서,

   캐리어가 수용되는 몸체와;그리고

   상기 몸체의 개방된 상부면을 개폐하는 덮개를 구비하되;

   상기 몸체는 몸체의 내부에서 발생된 파티클들을 배출하는 배출홀들이 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 박스.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 배출홀들은,

   상기 몸체의 저면에 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 박스.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 캐리어 박스의 저면은 돋을새김(emboss)형상으로 형성되고,

   상기 배출홀은 상기 캐리어 박스 저면에서 아래로 함입된 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 박스.