JP2000040736A - ウェハ収納装置 - Google Patents

ウェハ収納装置

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JP2000040736A
JP2000040736A JP10208402A JP20840298A JP2000040736A JP 2000040736 A JP2000040736 A JP 2000040736A JP 10208402 A JP10208402 A JP 10208402A JP 20840298 A JP20840298 A JP 20840298A JP 2000040736 A JP2000040736 A JP 2000040736A
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JP
Japan
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wafer
storage device
wafers
wafer storage
view
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Withdrawn
Application number
JP10208402A
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English (en)
Inventor
Kazumi Masui
一三 増井
Yasuyuki Hayashi
保幸 林
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のウェハ収納装置では異なる直径のウェハ
はそれぞれ専用のウェハ収納装置を使用しなければなら
ない。 【解決手段】ウェハ収納装置の側板と収納棚を傾斜した
形状にする。側板４は開口部から奥に向かって狭まる形
状になっている。また収納棚５は取り付け部から中央に
むかって上方に傾斜する形状になっている。これにより
異なる直径のウェハ６、８がともに収納可能である。収
納棚５の断面形状は曲面であり、収納するウェハへの収
納棚の接触による損傷の軽減が可能である。 【効果】異なる直径のウェハを同種類のウェハ収納装置
に収納することが可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウェハ収納装置に関
し、特に費用削減および作業効率向上を可能とする技術
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハ収納装置の形状としては、
例えば５インチウェハ用のウェハ収納装置であれば、図
２に示すようにウェハ収納装置内部は５インチウェハの
みが最適に収納可能となる寸法となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来は直径の異なるウ
ェハを扱う際にはそれぞれ専用のウェハ収納装置を使用
していた。従ってウェハの直径が変わればウェハ収納装
置も交換しなければならなかった。
【０００４】本発明は上記の問題を解消するためになさ
れたもので、ウェハ収納装置及びウェハを収納すること
を目的とする棚の形状を変更することで異なる直径のウ
ェハを同一種類のウェハ収納装置に収納可能とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハ収納装置
は、異なる直径のウェハを水平に収納する際、開口部水
平幅寸法が最奥部水平幅寸法より大きい形状である事を
特徴としている。直径の大きいウェハはウェハ収納装置
の開口部に近い部分に収納され、直径の小さいウェハは
最奥部に収納される。ウェハ収納装置内部には異なる直
径のウェハを保持する棚が設けられており、その棚は取
り付け位置から中央部に向かって高くなるように傾斜し
ている。側板の形状によりウェハを中央、右側、左側に
揃えて収納が可能になる。棚とウェハとの接触部の断面
形状はウェハへの損傷を防止するため曲面とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は本発明のウェハ収納装置の
正面図および上面図、図２は従来のウェハ収納装置の正
面図および上面図である。１は天板、２は底板、３は正
面図における側板、４は上面図における側板、５はウェ
ハ収納棚、６は正面図における任意の直径のウェハ、７
は上面図における任意の直径のウェハ、８は正面図にお
ける５とは直径の異なるウェハ、９は上面図における７
とは直径の異なるウェハである。図５の３６は収納棚の
断面図である。図１に示すように側板は開口部から奥に
向かって狭まる形状になっており、異なる直径のウェハ
がともに収納可能である。また図１の５に示すように収
納棚は取り付け部から中央にむかって上方に傾斜する形
状になっており異なる直径のウェハがともに収納可能で
ある。図５に示すように収納棚の断面形状は曲面であ
り、収納するウェハへの収納棚の接触による損傷の軽減
が可能である。
【０００７】図３は本発明の実施例２のウェハ収納装置
の正面図および上面図である。本実施例ではウェハは右
側板に揃えて収納される。
【０００８】図４は本発明の実施例３のウェハ収納装置
の正面図および上面図である。本実施例ではウェハは左
側板に揃えて収納される。
【０００９】なお、これらの実施の形態で示したウェハ
収納装置あくまで一例であり、任意の直径のウェハに対
して本発明は実現可能である。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
ウェハ収納装置の形状を開口部から奥部に向かって狭ま
るように傾斜させるとともに収納棚を取り付け位置から
中央に向かって高くなるように傾斜した形状にすること
で、異なる直径のウェハを同種類のウェハ収納装置に収
納することが可能となる。またウェハを中央、右側揃
え、左側揃えの位置に収納することにより多種多様なウ
ェハ搬送装置に対応することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１におけるウェハ収納装置の正
面図および上面図。
【図２】従来のウェハ収納装置の正面図および上面図。
【図３】本発明の実施例２におけるウェハ収納装置の正
面図および上面図。
【図４】本発明の実施例３におけるウェハ収納装置の正
面図および上面図。
【図５】本発明のウェハ収納装置の収納棚の断面図。
【符号の説明】 １ 実施例１における天板 ２ 実施例１における底板 ３ 実施例１の正面図における側板 ４ 実施例１の上面図における側板 ５ 実施例１における収納棚 ６ 実施例１の正面図における任意の直径のウェハ ７ 実施例１の上面図における任意の直径のウェハ ８ 実施例１の正面図における６とは異なる直径のウェ
ハ ９ 実施例１の上面図における７とは異なる直径のウェ
ハ １０ 従来例における天板 １１ 従来例における底板 １２ 従来例の正面図における側板 １３ 従来例の上面図における側板 １４ 従来例における収納棚 １５ 従来例の正面図における特定の直径のウェハ １６ 従来例の上面図における特定の直径のウェハ １７ 実施例２における天板 １８ 実施例２における底板 １９ 実施例２の正面図における側板 ２０ 実施例２の上面図における側板 ２１ 実施例２における収納棚 ２２ 実施例２の正面図における任意の直径のウェハ ２３ 実施例２の上面図における任意の直径のウェハ ２４ 実施例２の正面図における２２とは異なる直径の
ウェハ ２５ 実施例２の上面図における２３とは異なる直径の
ウェハ ２６ 実施例３における天板 ２７ 実施例３における底板 ２８ 実施例３の正面図における側板 ２９ 実施例３の上面図における側板 ３０ 実施例３における収納棚 ３１ 実施例３の正面図における任意の直径のウェハ ３２ 実施例３の上面図における任意の直径のウェハ ３３ 実施例３の正面図における３１とは異なる直径の
ウェハ ３４ 実施例３の上面図における３２とは異なる直径の
ウェハ ３５ 実施例１、２、３の正面図における側板の一部分 ３６ 実施例１、２、３の正面図における収納棚の一部
分 ３７ 実施例１、２、３の正面図におけるウェハの一部
分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA16 BB04 CA01 CB03 DA18 DA30 DB01 FA15 GA03 GA04 5F031 BB01 BC02 MM02

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ウェハ収納装置において、ウェハを水平に
    収納する際、その形状において開口部水平幅寸法が最奥
    部水平幅寸法より大きい事により、直径の異なるウェハ
    が収納可能であることを特徴とするウェハ収納装置。
  2. 【請求項２】請求項１記載のウェハ収納装置において、
    ウェハを水平に収納することを目的とする棚の内側が取
    り付け部より高い形状であることにより、直径の異なる
    ウェハの収納において接触部面積が小さいことを特徴と
    するウェハ収納装置。
  3. 【請求項３】請求項１記載のウェハ収納装置において、
    ウェハを中央に揃えて収納することを特徴とするウェハ
    収納装置。
  4. 【請求項４】請求項１記載のウェハ収納装置において、
    ウェハを右側板に揃えて収納することを特徴とするウェ
    ハ収納装置。
  5. 【請求項５】請求項１記載のウェハ収納装置において、
    ウェハを左側板に揃えて収納することを特徴とするウェ
    ハ収納装置。
  6. 【請求項６】請求項１記載のウェハ収納装置において、
    ウェハを水平に収納することを目的とする棚の断面形状
    が曲面であることにより、直径の異なるウェハの収納に
    おいて接触部の損傷が小さいことを特徴とするウェハ収
    納装置。
JP10208402A 1998-07-23 1998-07-23 ウェハ収納装置 Withdrawn JP2000040736A (ja)

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