CN220543885U - 一种用于晶圆的定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆的定位装置，涉及晶圆定位装置技术领域，旨在解决晶圆稳定定位的技术问题。其技术方案要点是：包括底板，所述底板的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板，所述侧板的内侧表面均匀设置有若干挡板，所述挡板之间形成有用于放置晶圆的放置槽，所述挡板沿水平方向开设有通槽，所述通槽内穿设有用于对晶圆起到定位作用的定位杆。本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆的定位装置。

Description

一种用于晶圆的定位装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆定位装置，更具体地说，它涉及一种用于晶圆的定位装置。

背景技术

在半导体集成电路生产制造中，为了确保晶圆的安全储存、搬迁并避免破损和污染，广泛运用晶圆匣作为晶圆的承载以及运输工具。参照图1，图1显示的是现有技术中的晶圆匣及承载在其内部的晶圆的三维结构示意图。图1中，包括晶圆匣1，其上端开口且包含有两个彼此相对的侧板101；所述侧板上设有若干贯通于所述开口且横向层叠的槽位102；所述两个侧板上的槽位两两对应并用于承载晶圆103；所述晶圆103在手动传送至所述晶圆匣中 时，正常情况下所述晶圆被插入图1中左右两个侧板上两两对应的槽位中，所谓两两对应的槽位指的是图1中，左右两个侧板上能够使晶圆在同一平面内的两个对应的槽位。

上述技术方案中将晶圆放置于对应的槽位内可以有效保证晶圆在水平方向上的稳定性，但是若在运输或其它震动情况下，其在垂直方向上的稳定性难以保证，晶圆易发生震动，甚至从槽位内颠出，对晶圆造成损坏。

因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆的定位装置。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于晶圆的定位装置，包括底板，所述底板的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板，所述侧板的内侧表面均匀设置有若干挡板，所述挡板之间形成有用于放置晶圆的放置槽，所述挡板沿水平方向开设有通槽，所述通槽内穿设有用于对晶圆起到定位作用的定位杆。

通过采用上述技术方案，在使用该定位装置时，将晶圆放置于对应的放置槽内，晶圆放置完成后，将两根定位杆插入到对应的通槽内，使得定位杆位于每块晶圆的圆心上方，并抵接于晶圆的侧壁，从而对晶圆在竖直方向的运动起到限制作用，以保证其晶圆的稳定性。

本实用新型进一步设置为：所述定位杆的一端设置有抵接板，其另一端设置有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有螺母。

本实用新型进一步设置为：所述定位杆朝向晶圆的侧壁呈抵接于晶圆一侧的第一圆弧凹面，所述第一圆弧凹面的表面设置有第一弹性垫。

本实用新型进一步设置为：所述底板的表面开设有凹槽，所述凹槽内沿竖直方向滑动连接有定位底座，所述凹槽的底部与底座的下表面设置有若干弹簧，所述定位底座的表面呈抵接于晶圆底部的第二圆弧凹面。

本实用新型进一步设置为：所述第二圆弧凹面内设置有第二弹性垫。

本实用新型进一步设置为：所述定位底座的两端设置有水平的压杆。

本实用新型具有以下有益效果：在使用该定位装置时，将晶圆放置于对应的放置槽内，晶圆放置完成后，将两根定位杆插入到对应的通槽内，使得定位杆位于每块晶圆的圆心上方，并抵接于晶圆的侧壁，从而对晶圆在竖直方向的运动起到限制作用，以保证其晶圆的稳定性。

附图说明

图1为现有技术中晶圆定位装置的立体结构示意图；

图2为本实施例的立体结构示意图；

图3为本实施例定位杆的立体结构示意图；

图4为本实施例的剖面结构示意图。

附图说明：1、晶圆匣；101、侧板；102、槽位；103、晶圆；2、底板；3、侧板；4、挡板；5、放置槽；6、定位杆；7、抵接板；8、螺杆；9、螺母；10、第一弹性垫；11、凹槽；12、定位底座；13、弹簧；14、压杆；15、第二弹性垫。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

如图所示，一种用于晶圆的定位装置，包括底板2，底板2的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板3，侧板3的内侧表面均匀设置有若干挡板4，挡板4之间形成有用于放置晶圆的放置槽5，挡板4沿水平方向开设有通槽，通槽内穿设有用于对晶圆起到定位作用的定位杆6。

在使用该定位装置时，将晶圆放置于对应的放置槽5内，晶圆放置完成后，将两根定位杆6插入到对应的通槽内，使得定位杆6位于每块晶圆的圆心上方，并抵接于晶圆的侧壁，从而对晶圆在竖直方向的运动起到限制作用，以保证其晶圆的稳定性。

定位杆6的一端设置有抵接板7，其另一端设置有螺杆8，螺杆8上螺纹连接有螺母9，在将定位杆6插设到通槽内后，使得抵接板7抵接于一端挡板4的外侧壁，在通过将螺母9拧紧入至螺杆8并拧紧，以对定位杆6起到固定作用，以保证对晶圆的定位的稳定性。

定位杆6朝向晶圆的侧壁呈抵接于晶圆一侧的第一圆弧凹面，第一圆弧凹面的表面设置有第一弹性垫10，第一弹性垫10抵接于晶圆的侧壁，以进一步对晶圆起到保护作用。

底板2的表面开设有凹槽11，凹槽11内沿竖直方向滑动连接有定位底座12，凹槽11的底部与底座的下表面设置有若干弹簧13，定位底座12的表面呈抵接于晶圆底部的第二圆弧凹面，定位底座12的两端设置有水平的压杆14，当晶圆放入到对应的放置槽5内后，使得晶圆的底部抵接于第二圆弧凹面，以对晶圆起到初步的定位作用，并通过压杆14将定位底座12向下压，便能将定位杆6顺利的插入到通槽内，再松开地压杆14，在弹簧13弹力作用下，第二圆弧凹面抵紧于晶圆的底部，以提升晶圆的稳定性。

第二圆弧凹面内设置有第二弹性垫15，以对晶圆起到进一步保护作用。

具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (6)

1.一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：包括底板，所述底板的两侧设置有朝向外侧倾斜的侧板，所述侧板的内侧表面均匀设置有若干挡板，所述挡板之间形成有用于放置晶圆的放置槽，所述挡板沿水平方向开设有通槽，所述通槽内穿设有用于对晶圆起到定位作用的定位杆。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位杆的一端设置有抵接板，其另一端设置有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有螺母。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位杆朝向晶圆的侧壁呈抵接于晶圆一侧的第一圆弧凹面，所述第一圆弧凹面的表面设置有第一弹性垫。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述底板的表面开设有凹槽，所述凹槽内沿竖直方向滑动连接有定位底座，所述凹槽的底部与底座的下表面设置有若干弹簧，所述定位底座的表面呈抵接于晶圆底部的第二圆弧凹面。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述第二圆弧凹面内设置有第二弹性垫。

6.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的定位装置，其特征在于：所述定位底座的两端设置有水平的压杆。