JPS62195144A - 半導体基板収納箱 - Google Patents
半導体基板収納箱Info
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- JPS62195144A JPS62195144A JP61037825A JP3782586A JPS62195144A JP S62195144 A JPS62195144 A JP S62195144A JP 61037825 A JP61037825 A JP 61037825A JP 3782586 A JP3782586 A JP 3782586A JP S62195144 A JPS62195144 A JP S62195144A
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- JP
- Japan
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- semiconductor substrate
- semiconductor
- substrates
- guide plate
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
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- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67326—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置製造工程において、特に半導体基
板を収納し、運搬、′保管、及び各種処理を行なうにあ
たシ、半導体基板の保持をするための治工具として使用
する、半導体基板収納箱に関する。
板を収納し、運搬、′保管、及び各種処理を行なうにあ
たシ、半導体基板の保持をするための治工具として使用
する、半導体基板収納箱に関する。
従来、この種の治工具は、設置面に対し、半導体基板が
垂直となる様保持される構造となっていた。
垂直となる様保持される構造となっていた。
上述した従来の半導体基板収納箱は、半導体基板を挿入
するための案内板及び、半導体基板の保持部に、半導体
装置を形成する半導体基板片面が接触し、半導体基板を
保持した状態で治工具を運搬、保管及び、半導体装置製
造工程における、各種処理で生じる振動によシ、接触部
分に損傷を与える。また、半導体装置を形成する半導体
基板表面は、裏面に比べ凹凸が荒いため表面が接触する
と摩耗によ多発生する摩耗粉で半導体装置に致命的欠陥
を与えるという欠点がある。
するための案内板及び、半導体基板の保持部に、半導体
装置を形成する半導体基板片面が接触し、半導体基板を
保持した状態で治工具を運搬、保管及び、半導体装置製
造工程における、各種処理で生じる振動によシ、接触部
分に損傷を与える。また、半導体装置を形成する半導体
基板表面は、裏面に比べ凹凸が荒いため表面が接触する
と摩耗によ多発生する摩耗粉で半導体装置に致命的欠陥
を与えるという欠点がある。
本発明の半導体基板収納箱は、半導体基板を挿入するた
めの案内板と半導体基板を保持する支持部が、半導体基
板を設置面に対し垂直方向に保つという基本性能をそこ
なわない程度に傾斜し、半導体基板挿入時及び保持の際
半導体基板表面が、前述の案内板及び支持部と接触しに
くい構造を有している。
めの案内板と半導体基板を保持する支持部が、半導体基
板を設置面に対し垂直方向に保つという基本性能をそこ
なわない程度に傾斜し、半導体基板挿入時及び保持の際
半導体基板表面が、前述の案内板及び支持部と接触しに
くい構造を有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例で、第１図（ａｌは斜視図、
第１図ｔｂ）は第１図（ａ）の縦断面図である。３は半
導体基板であり半導体基板収納箱の設置面に垂直な方向
から角度０に傾斜した、半導体基板案内板１よシ、半導
体装置を形成する表面３−ａ′（ｉ：上面、裏面３−ｂ
を下面として、表面３− ａが、案内板１と接触しない
様に挿入し、同じく角度Ｏをなす半導体基板支持部２に
よシ半導体基板３を保持する０ 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、半導体基板収納箱の案内
板及び支持部に傾斜を持たせることによシ、半導体基板
挿入時や保持の際、半導体装置を形成する半導体基板表
面が、前記案内板及び支持部と接触するのを回避するこ
とができる。
第１図ｔｂ）は第１図（ａ）の縦断面図である。３は半
導体基板であり半導体基板収納箱の設置面に垂直な方向
から角度０に傾斜した、半導体基板案内板１よシ、半導
体装置を形成する表面３−ａ′（ｉ：上面、裏面３−ｂ
を下面として、表面３− ａが、案内板１と接触しない
様に挿入し、同じく角度Ｏをなす半導体基板支持部２に
よシ半導体基板３を保持する０ 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、半導体基板収納箱の案内
板及び支持部に傾斜を持たせることによシ、半導体基板
挿入時や保持の際、半導体装置を形成する半導体基板表
面が、前記案内板及び支持部と接触するのを回避するこ
とができる。
更に、運搬等で大きい揺れを生じる際においても前記傾
斜を有することによって半導体基板を安定して保持する
事ができ、半導体基板表面の摩擦による損傷をなくすば
かシではなく衝撃による半導体基板周辺の破損などをな
くす効果がある。また、本発明の半導体基板収納箱に複
数枚の半導体基板を収納した場合、半導体基板は前記支
持部にならい、整然保持できるので、半導体装置製造工
程における各種処理の際に生じる他の半導体基板収納箱
への半導体基板の移しかえを複数枚同時に、半導体基板
に損傷を与えることなく円滑に行なう事ができる効果が
ある。
斜を有することによって半導体基板を安定して保持する
事ができ、半導体基板表面の摩擦による損傷をなくすば
かシではなく衝撃による半導体基板周辺の破損などをな
くす効果がある。また、本発明の半導体基板収納箱に複
数枚の半導体基板を収納した場合、半導体基板は前記支
持部にならい、整然保持できるので、半導体装置製造工
程における各種処理の際に生じる他の半導体基板収納箱
への半導体基板の移しかえを複数枚同時に、半導体基板
に損傷を与えることなく円滑に行なう事ができる効果が
ある。
第１図（ａ）は本発明の半導体基板収納箱の斜視図、第
１図（ｂＪは、第１図（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である
。 １・・・半導体基板案内板、２・・半導体基板支持部、
３・・・半導体基板、３−ａ・・半導体装置を形成する
、半導体基板表面、３−ｂ・・・・・・半導体基板裏面
。
１図（ｂＪは、第１図（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である
。 １・・・半導体基板案内板、２・・半導体基板支持部、
３・・・半導体基板、３−ａ・・半導体装置を形成する
、半導体基板表面、３−ｂ・・・・・・半導体基板裏面
。
Claims (1)
- 複数の半導体基板を収納し、半導体基板の運搬保管も
しくは、半導体基板上への半導体装置製造工程に於ける
各種処理を行なうための、半導体基板収納箱において、
個々の半導体基板の半導体装置を形成する片面と、半導
体基板収納箱の案内溝及び支持部が接触しない様、前記
案内溝及び支持部が傾斜している事を特徴とする半導体
基板収納箱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61037825A JPS62195144A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | 半導体基板収納箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61037825A JPS62195144A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | 半導体基板収納箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62195144A true JPS62195144A (ja) | 1987-08-27 |
Family
ID=12508298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61037825A Pending JPS62195144A (ja) | 1986-02-21 | 1986-02-21 | 半導体基板収納箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62195144A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0769986A1 (en) * | 1994-07-13 | 1997-05-02 | Inc. Middlesex General Industries | Conveyor cassette for wafers |
-
1986
- 1986-02-21 JP JP61037825A patent/JPS62195144A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0769986A1 (en) * | 1994-07-13 | 1997-05-02 | Inc. Middlesex General Industries | Conveyor cassette for wafers |
| EP0769986A4 (en) * | 1994-07-13 | 2000-01-19 | Middlesex General Ind Inc | DISC CARTRIDGE |
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