JPWO2020049671A1

JPWO2020049671A1 - キャリアの位置決め部材及びキャリア載置台

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Publication number: JPWO2020049671A1
Application number: JP2019510464A
Authority: JP
Inventors: 浩一郎堀; 亨小崎; 山田　亘; 亘山田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2018-09-06
Filing date: 2018-09-06
Publication date: 2020-09-10
Anticipated expiration: 2038-09-06
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Abstract

位置決め部材（３０）は、基台（３）に固定されると共に、複数の板状積載物（５）を表面又は裏面が基台（３）に対向するように収納するキャリア（４）を基台（３）に位置決めするキャリアの位置決め部材である。位置決め部材（３０）は、キャリア（４）の開口（４５）の端部である２つの開口縁部（７）に接触して、キャリア（４）の前側への移動を規制する２つの前側ストッパ（２）と、キャリア（４）の後側に形成された２つの板状端部（６）に接触して、キャリア（４）の後側への移動及び基台（３）と垂直方向への移動を規制する２つの後側ストッパ（１）と、を備えている。

Description

本願は、板状積載物を収納するキャリアを基台に位置決めするキャリアの位置決め部材及びキャリアを載置するキャリア載置台に関するものである。

半導体ウエハ（半導体基板）に半導体素子を形成する際は数百の工程を経る。半導体素子を形成途中において半導体ウエハの各工程間の搬送及び保管は、内側に形成された複数の溝の各々に半導体ウエハを収納するキャリアを用いることが多い。半導体ウエハに半導体素子を形成するための加工装置には、半導体ウエハを１枚ずつ加工する枚葉式の装置が多い。枚葉式の装置では、半導体ウエハが水平になるように基台を含むローダにキャリアを載せ、処理する半導体ウエハをロボットアーム等にて１枚ずつキャリアの溝から取り出し、処理が済んだ半導体ウエハをキャリアに収納している。

例えば、特許文献１には、半導体ウエハを多段に積層収納するカセット（キャリア）が位置決めされて載置される基台を有する載置台に該当する載置装置が開示されている。半導体ウエハをカセットから出し入れする際は、カセットを一定の位置（設定位置）に載置する必要があるため、ローダに相当する基板搬入・搬出ユニットの載置装置にはカセットの位置を決めるための支持部材が設けられている。カセットは、それぞれ基台に設置された支持部材における６個のガイド部材（位置決め部材）により、前側の角部、後側の足、側面の水平位置が規制されて、載置台の設定位置に載置される。

載置台の基台の設定位置にキャリアを載置する他の方法は、キャリアの下側に設けられたバー等をはめ込む溝が形成された位置決めブロック（ガイド部材）によりキャリアを載置台の基台の設定位置に載置する方法（特許文献２参照）、載置台の基台に形成されたピン等（ガイド部材）とキャリアの下側に設けられたキネカティックカップリングとを係合させることでキャリアを載置台の基台の設定位置に載置する方法（特許文献３参照）、などがある。載置台の基台の設定位置にキャリアを載置するいずれの方法においても、キャリアを載置台の基台に載置する際は上側からガイド部材にはめ、キャリアを載置台の基台から移動する際はキャリアを上側へ移動させてガイド部材から抜いている。

特開平９−１４８４２３号公報（図１、図２）特開２００２−９３８７７号公報（図３）特開２０００−２２３５５３号公報（図３）

キャリアは板状積載物の一例である半導体ウエハを出し入れする側が、半導体ウエハをそのまま取り出すことができる構造である。このため、半導体ウエハを水平にした状態でキャリアを載せる載置台では、キャリアが基台に載置される際又はキャリアが基台から移動される際、キャリアが半導体ウエハの出し入れされる側に誤って傾いてしまい、キャリアから半導体ウエハがすべり落ちてしまう問題点がある。

本願明細書に開示される技術は、キャリアが基台に載置される際又はキャリアが基台から移動される際に、半導体ウエハ等の板状積載物がキャリアから滑り落ちることを防止するキャリアの位置決め部材を得ることを目的とする。

本願明細書に開示される一例のキャリアの位置決め部材は、基台に固定されると共に、複数の板状積載物を表面又は裏面が基台に対向するように収納するキャリアを基台に位置決めするキャリアの位置決め部材である。板状積載物が出し入れされるキャリアの開口の側を前側とし、キャリアの開口と反対側を後側とする。キャリアの位置決め部材は、キャリアの開口の端部である２つの開口縁部に接触して、キャリアの前側への移動を規制する２つの前側ストッパと、キャリアの後側に形成された２つの板状端部に接触して、キャリアの後側への移動及び基台と垂直方向への移動を規制する２つの後側ストッパと、を備えている。

本願明細書に開示される一例のキャリアの位置決め部材は、２つの前側ストッパがキャリアの前側への移動を規制し、２つの後側ストッパがキャリアの後側への移動及び基台と垂直方向への移動を規制するので、キャリアが当該キャリアの位置決め部材が固定された基台へ載置される際又はキャリアが当該キャリアの位置決め部材が固定された基台から移動される際に、板状積載物がキャリアから滑り落ちることを防止することができる。

実施の形態１に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図である。図１の後側ストッパの平面を示す図である。図１のキャリア載置台とキャリアを示す図である。図１のキャリア載置台からキャリアを移動する方法を説明する図である。図１のキャリア載置台からキャリアを移動する方法を説明する図である。実施の形態２に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図である。図６の後側ストッパの平面を示す図である。実施の形態２に係る位置決め部材及びキャリア載置台の課題を説明する図である。実施の形態３に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図である。図９の後側ストッパ部の平面を示す図である。図９のキャリア載置台にキャリアを載置する方法を説明する図である。図９のキャリア載置台にキャリアを載置する方法を説明する図である。図９のキャリア載置台にキャリアを載置する方法を説明する図である。実施の形態４に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図である。図１４の後側ストッパの要部を示す平面図である。

実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図である。図２は図１の後側ストッパの平面を示す図であり、図３は図１のキャリア載置台とキャリアを示す図である。図４、図５は、図１のキャリア載置台からキャリアを移動する方法を説明する図である。キャリア載置台５０は、基台３と、位置決め部材３０と、を備えている。位置決め部材３０は、２つの後側ストッパ１と、２つの前側ストッパ２と、を備えている。後側ストッパ１は、キャリア４におけるウエハ５を出し入れする側、すなわちウエハ５を出し入れする開口４５の側（以下、前側と称する）の反対側（以下、後側と称する）の端に位置する足部６をキャリア４が後側（ｘ方向の正側）に動かないように規制すると共に、キャリア４の足部６が基台３の上側（ｚ方向の正側）に移動しないように、すなわち基台３から離れないように規制する。前側ストッパ２は、キャリア４が前側（ｘ方向の負側）に動かないように規制する。基台３は、例えば半導体ウエハに半導体素子を形成するための加工装置におけるローダの台であり、位置決め部材３０が固定ねじ２６により固定されている。図１において、前側ストッパ２から後側ストッパ１の方向がｘ方向であり、基台３における後側ストッパ１及び前側ストッパ２の搭載面に垂直な方向がｚ方向であり、ｘ方向及びｚ方向に垂直な方向がｙ方向である。

図３に示すように、キャリア４は、ウエハ５を保持する胴体４３と、基台３に接触する側の側板４１と、側板４１と反対側の側板４２と、胴体４３に接続された開口縁部７と、ウエハ５を出し入れする開口４５と、を備えている。開口縁部７は、前側ストッパ２のキャリア対向面に対向する開口縁部前面７ａと、ウエハ５を収納する溝が形成された胴体４３の内面と反対側の側面であって開口縁部前面７ａと連接された開口縁部側面７ｂと、を有している。開口縁部７は、開口４５のｙ方向の端部でもある。側板４１、４２は、開口４５の側（開口縁部前面７ａの側）と逆側に板状端部である足部６が形成されている。キャリア４は、一般的にウエハ５の保管の際に、足部６を下側にし、キャリア４の開口４５の側を上側にした状態にされる。適宜、開口４５の側を、開口側と呼ぶ。後側ストッパ１は、孔３３が形成された本体部２２、爪部２５を有している。後側ストッパ１は、キャリア４における板状端部である足部６の後側への移動を規制する本体部２２と、板状端部である足部６の基台３と垂直方向への移動を規制する爪部２５と、を有している。後側ストッパ１は、孔３３に挿入された固定ねじ２６により基台３に固定される。前側ストッパ２にも孔３３が形成されており、前側ストッパ２は孔３３に挿入された固定ねじ２６により基台３に固定される。複数のウエハ５は、表面又は裏面が基台３に対向するようにキャリア４に収納されている。図３では、５枚のウエハ５がキャリア４に収納されている例を示した。

図３では、キャリア４がキャリア載置台５０に載置されている状態を示した。実施の形態１では、前側ストッパ２が立方体であり、後側ストッパ１の本体部２２が立方体である例を示した。前側ストッパ２の後側ストッパ１側の側面である内側面は、キャリア４の開口縁部前面７ａと対向するキャリア対向面である。後側ストッパ１の前側ストッパ２側の本体部２２の側面である内側面は、キャリア４の足部６の底面と対向するキャリア対向面である。後側ストッパ１のキャリア対向面は、キャリア４の足部６の底面と接触している。キャリア４の側板４１における足部６の側板４２と対向する内側面（足部内側面）は、後側ストッパ１の爪部２５の基台３側の内側面（爪部内側面）と接触している。前側ストッパ２のキャリア対向面は、キャリア４の開口縁部前面７ａに接触している。２つの前側ストッパ２は、キャリア４の開口４５の端部である２つの開口縁部７に接触して、キャリア４の前側への移動を規制する。２つの後側ストッパ１は、キャリア４の後側に形成された２つの板状端部である足部６に接触して、キャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制する。キャリア４は、開口縁部前面７ａが前側ストッパ２のキャリア対向面と接触すると共に、足部６が後側ストッパ１における本体部２２のキャリア対向面及び爪部２５の爪部内側面に接触して、水平方向位置が規制されており、すなわちキャリア載置台５０の設定位置に位置決めされている。

図３に示すように、キャリア載置台５０に載置されたキャリア４は、足部６が後側ストッパ１で上側への移動が規制されている。したがって、キャリア４の足部６を真上方向に、すなわち基台３の後側ストッパ１及び前側ストッパ２の搭載面に垂直な方向（ｚ方向の正側）に移動させることができない。さらに、後側ストッパ１の爪部２５により、キャリア４をキャリア載置台５０の基台３へ真上方向からキャリア載置台５０に載置することもできない。位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、爪部２５を有する後側ストッパ１を備えているので、キャリア４を真上方向から載置することができず、かつキャリア４を真上方向に移動させることができない構造になっている。

図４、図５を用いて、キャリア載置台５０からキャリア４を移動する方法を説明する。図４、図５では、基台３を省略している。図３に示すようにキャリア載置台５０に載置されているキャリア４をキャリア載置台５０の基台３から移動する際に、図４で示すようにキャリア４を矢印８で示すように傾かせると、キャリア４の前側である開口縁部７が矢印９で示すように持ち上がる。そして、開口縁部７が前側ストッパ２より高くなるまで傾ける。さらに図５に示すように、キャリア４を後側に傾かせたままにして、開口縁部７が前側ストッパ２によって移動を規制されない状態を保って、キャリア４を矢印１０で示すように前側斜め上に移動させる。このとき、足部６が矢印１１で示すように前側に移動し、後側ストッパ１から抜ける。キャリア４をキャリア載置台５０の基台３から移動する際に、キャリア４の開口縁部７は前側ストッパ２の上側を、前側ストッパ２と接触しながら又は前側ストッパ２と接触せずに通過するので、キャリア４が前側に傾くことはない。

足部６が後側ストッパ１から抜けると、足部６が後側ストッパ１によって移動を規制されないので、キャリア４をキャリア載置台５０の基台３から上側に移動することができる。キャリア４をキャリア載置台５０から移動する際に、キャリア４を後側に傾けるため、誤ってキャリアが前側に傾くことはない。キャリア４をキャリア載置台５０に載置する際は、逆の手順で行う。この場合でも、キャリア４を後側に傾けるため、誤ってキャリア４が前側に傾くことはない。なお、キャリア４のキャリア載置台５０への載置及びキャリア４のキャリア載置台５０からの移動は、加工装置のロボットアーム又は作業者が行う。

実施の形態１の位置決め部材３０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計された後側ストッパ１及び前側ストッパ２を備えているので、誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、キャリア４から板状積載物（ウエハ５）が滑り落ちるのを防ぐことができる。実施の形態１のキャリア載置台５０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計された後側ストッパ１及び前側ストッパ２を備えているので、誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、キャリア４から板状積載物（ウエハ５）が滑り落ちるのを防ぐことができる。

以上のように、実施の形態１の位置決め部材３０は、基台３に固定されると共に、複数の板状積載物（ウエハ５）を表面又は裏面が基台３に対向するように収納するキャリア４を基台３に位置決めするキャリアの位置決め部材である。板状積載物（ウエハ５）が出し入れされるキャリア４の開口４５の側を前側とし、キャリア４の開口４５と反対側を後側とする。実施の形態１の位置決め部材３０は、キャリア４の開口４５の端部である２つの開口縁部７に接触して、キャリア４の前側への移動を規制する２つの前側ストッパ２と、キャリア４の後側に形成された２つの板状端部（足部６）に接触して、キャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制する２つの後側ストッパ１と、を備えている。実施の形態１の位置決め部材３０は、このような構成により、２つの前側ストッパ２がキャリア４の前側への移動を規制し、２つの後側ストッパ１がキャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制するので、キャリア４がキャリアの位置決め部材３０が固定された基台３へ載置される際又はキャリア４がキャリアの位置決め部材３０が固定された基台３から移動される際に、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。

以上のように、実施の形態１のキャリア載置台５０は、基台３と基台３に固定された位置決め部材３０とを備えている。位置決め部材３０は、基台３に固定されると共に、複数の板状積載物（ウエハ５）を表面又は裏面が基台３に対向するように収納するキャリア４を基台３に位置決めするキャリアの位置決め部材である。板状積載物（ウエハ５）が出し入れされるキャリア４の開口４５の側を前側とし、キャリア４の開口４５と反対側を後側とする。位置決め部材３０は、キャリア４の開口４５の端部である２つの開口縁部７に接触して、キャリア４の前側への移動を規制する２つの前側ストッパ２と、キャリア４の後側に形成された２つの板状端部（足部６）に接触して、キャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制する２つの後側ストッパ１と、を備えている。実施の形態１のキャリア載置台５０は、このような構成により、２つの前側ストッパ２がキャリア４の前側への移動を規制し、２つの後側ストッパ１がキャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制するので、キャリア４が当該キャリア載置台５０の基台３へ載置される際又はキャリア４が当該キャリア載置台５０の基台３から移動される際に、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。

実施の形態２．
図６は実施の形態２に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図であり、図７は図６の後側ストッパの平面を示す図である。図８は、実施の形態２に係る位置決め部材及びキャリア載置台の課題を説明する図である。図において実施の形態２と共通する部分は、実施の形態１の図と同一の符号を付してある。実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、基台３に横ずれ防止機能を備えた後側ストッパ１２及び前側ストッパ１３が後側ストッパ１及び前側ストッパ２の代わりに搭載されている点で、実施の形態１の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０と異なる。なお、図８では、基台３を省略している。

図８を用いて、実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０の課題を説明する。実施の形態１の位置決め部材３０が固定されたキャリア載置台５０では、キャリア４が横方向（ｙ方向）に動ける僅かな時間が存在する。すなわち、キャリア４をキャリア載置台５０の基台３から移動する際に、図８に示すように、誤ってキャリア４が横方向にずれた場合にキャリア４の開口縁部７が前側ストッパ２から外れることがある。具体的には、キャリア４の開口縁部７が前側ストッパ２よりも高くなるようにキャリア４が傾くと、前側ストッパ２でキャリア４の開口縁部７の移動が規制できなくなるで、誤ってキャリア４が横方向にずれるとキャリア４の足部６が後側ストッパ１より外れてしまうことがある。キャリア４の足部６が後側ストッパ１より外れることで、誤ってキャリア４が前側に傾いて、ウエハ５がすべり落ちる恐れが生じる。

実施の形態２の位置決め部材３０は、後側ストッパ１２及び前側ストッパ１３が横ずれを防止する機能を備えることで、キャリア４が基台３から移動される際に横方向への移動を規制でき、横ずれから生じるウエハ５の落下を防止することができる。実施の形態２のキャリア載置台５０は、後側ストッパ１２及び前側ストッパ１３が横ずれを防止する機能を備えることで、キャリア４が基台３から移動される際に横方向への移動を規制でき、横ずれから生じるウエハ５の落下を防止することができる。図６、図７を用いて、実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０を詳しく説明する。

位置決め部材３０は、２つの後側ストッパ１２と、２つの前側ストッパ１３と、を備えている。図６において、前側ストッパ１３から後側ストッパ１２の方向がｘ方向であり、基台３における後側ストッパ１２及び前側ストッパ１３の搭載面に垂直な方向がｚ方向であり、ｘ方向及びｚ方向に垂直な方向がｙ方向である。図７では、ｙ方向の正側の後側ストッパ１２を示した。ｙ方向の負側の後側ストッパ１２は、ｙ方向の正側の後側ストッパ１２がｘ方向の破線３８に対して反転した形状になっている。ｙ方向の負側の前側ストッパ１３とｙ方向の正側の前側ストッパ１３とは、互いにｘ方向の破線３８に対して反転した形状になっている。

後側ストッパ１２は、孔３３が形成された本体部２２、爪部２７を有している。後側ストッパ１２は、孔３３に挿入された固定ねじ２６により基台３に固定される。本体部２２には凹部２８が形成されている。前側ストッパ１３は、孔３３が形成されると共に凹部２９を有する本体部２３からなっている。前側ストッパ１３は、孔３３に挿入された固定ねじ２６により基台３に固定される。前側ストッパ１３は、凹部２９を有する本体部２３なので、凹部２９を有していると表現することもできる。

後側ストッパ１２の本体部２２は、キャリア４の足部６が後側（ｘ方向の正側）に動かないように規制すると共にキャリア４の足部６が横方向（ｙ方向）の外側へ動かないように規制する。後側ストッパ１２の爪部２７は、キャリア４の足部６が基台３の上側（ｚ方向の正側）への動きを規制する、すなわち基台３から離れないように規制する。２個、すなわち１組の後側ストッパ１２によって、キャリア４が横方向（ｙ方向の正側及び負側）に動かないように規制している。図６、図７に示すように、本体部２２は凹部２８を有しており、すなわち本体部２２に凹部２８が形成されている。また、凹部２８の側面はキャリア４の足部６の底面及び外側面に対向する本体部２２のキャリア対向面になっている。図６、図７の後側ストッパ１２において記載した破線が、凹部２８の側面すなわちキャリア対向面を示している。後側ストッパ１２は、キャリア４における板状端部である足部６の後側への移動を規制すると共に、基台３に水平な方向であって前側の方向と垂直な方向である横方向でキャリア４の外側への板状端部である足部６の移動を規制する凹部２８が形成された本体部２２と、板状端部である足部６の基台３と垂直方向への移動を規制する爪部２７と、を有している。

前側ストッパ１３は、キャリア４が前側（ｘ方向の負側）に動かないように規制すると共にキャリア４の開口縁部７が横方向（ｙ方向）の外側へ動かないように規制する。２個、すなわち１組の前側ストッパ１３によって、キャリア４の開口縁部７が横方向（ｙ方向の正側及び負側）に動かないように規制している。すなわち、前側ストッパ１３は、キャリア４における開口縁部７の前側への移動を規制すると共に、基台３に水平な方向であって前側の方向と垂直な方向である横方向でキャリアの外側への開口縁部７の移動を規制する凹部２９を有している。

実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、実施の形態１の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０と同様に、後側ストッパ１２がキャリア４の足部６をキャリア４が後側（ｘ方向の正側）に動かないように規制すると共にキャリア４の足部６が基台３の上側（ｚ方向の正側）に移動しないように、すなわち基台３から離れないように規制しており、前側ストッパ１３がキャリア４を前側（ｘ方向の負側）に動かないように規制している。さらに、実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、１組の後側ストッパ１２が凹部２８によりキャリア４の足部６を横方向（ｙ方向）に動かないように規制しており、前側ストッパ１３が凹部２９によりキャリア４の開口縁部７を横方向（ｙ方向）に動かないように規制している。実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、キャリア４の開口縁部７及び足部６が横方向（ｙ方向）に動かないように規制しているので、キャリア４を基台３から移動する際、すなわちキャリア４の開口縁部７が前側ストッパ２よりも高くなる際にキャリア４が基台３の上で横にずれることはなく、図８で説明した横ずれから生じるウエハ５の落下を防止することができる。実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、キャリア４を基台３から移動する際、すなわちキャリア４の開口縁部７が前側ストッパ２よりも高くなる際にキャリア４が基台３の上で横にずれることがないので、キャリア４の開口縁部７が前側ストッパ１３の上側を、前側ストッパ１３と接触しながら又は前側ストッパ１３と接触せずに通過でき、キャリア４が前側に傾くことはない。

実施の形態２の位置決め部材３０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計されており、かつキャリア４が前後方向（ｘ方向）及び横方向（ｙ方向）に動かないように規制する、凹部２８が形成された本体部２２を有する後側ストッパ１２及び凹部２９を有する前側ストッパ１３を備えている。さらに、後側ストッパ１２がキャリア４の基台３からの離脱を規制する爪部２７を備えている。このため実施の形態２の位置決め部材３０は、キャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が横にずれることがなく、かつ誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。実施の形態２のキャリア載置台５０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計されており、かつキャリア４が前後方向（ｘ方向）及び横方向（ｙ方向）に動かないように規制する、凹部２８が形成された本体部２２を有する後側ストッパ１２及び凹部２９を有する前側ストッパ１３を備えている。さらに、後側ストッパ１２がキャリア４の基台３からの離脱を規制する爪部２７を備えている。このため実施の形態２のキャリア載置台５０は、キャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が横にずれることがなく、かつ誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。

実施の形態３．
図９は実施の形態３に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図であり、図１０は図９の後側ストッパ部の平面を示す図である。図１１、図１２、図１３は、図９のキャリア載置台にキャリアを載置する方法を説明する図である。図において実施の形態１、２と共通する部分は、実施の形態１、２の図と同一の符号を付してある。実施の形態３の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、４つのストッパの代わりに２つの支持部材３１ａ、３１ｂを備えている点で、実施の形態１、２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０と異なる。図１１、図１２、図１３では、基台３を省略している。

位置決め部材３０は、２つの支持部材３１ａ、３１ｂを備えている。支持部材３１ａ、３１ｂは、それぞれ後側ストッパ部１５と、前側ストッパ部１６と、後側ストッパ部１５と前側ストッパ部１６とを接続すると共にキャリア４を後側ストッパ部１５に導く誘導部１７と、を備えている。図９において、前側ストッパ部１６から後側ストッパ部１５の方向がｘ方向であり、基台３における後側ストッパ部１５及び前側ストッパ部１６の搭載面に垂直な方向がｚ方向であり、ｘ方向及びｚ方向に垂直な方向がｙ方向である。支持部材３１ａと支持部材３１ｂとは、互いにｘ方向の破線３８に対して反転した形状になっている。図１０では、ｙ方向の正側の後側ストッパ部１５、すなわち支持部材３１ａの後側ストッパ部１５を示した。ｙ方向の負側の後側ストッパ部１５、すなわち支持部材３１ｂの後側ストッパ部１５は、ｙ方向の正側の後側ストッパ部１５がｘ方向の破線３８に対して反転した形状になっている。ｙ方向の負側の前側ストッパ部１６とｙ方向の正側の前側ストッパ部１６とは、互いにｘ方向の破線３８に対して反転した形状になっている。

後側ストッパ部１５は、破線３７よりもｘ方向の正側の部分であり、孔３３が形成された本体部２２、爪部２７を有している。後側ストッパ部１５は、孔３３に挿入された固定ねじ２６により基台３に固定される。前側ストッパ部１６は、破線３９よりもｘ方向の負側の部分であり、孔３３が形成されると共に凹部２９を有する本体部２３からなっている。前側ストッパ部１６は、孔３３に挿入された固定ねじ２６により基台３に固定される。前側ストッパ部１６は、凹部２９を有する本体部２３なので、凹部２９を有していると表現することもできる。誘導部１７は、破線３９から破線３７までの部分であり、キャリア４の板状端部（足部６）を凹部２８及び爪部２７に導く部品である。

後側ストッパ部１５の本体部２２は、キャリア４の足部６が後側（ｘ方向の正側）に動かないように規制すると共にキャリア４の足部６が横方向（ｙ方向）の外側へ動かないように規制する。後側ストッパ部１５の爪部２７はキャリア４の足部６が基台３の上側（ｚ方向の正側）への動きを規制する、すなわち基台３から離れないように規制する。２個、すなわち１組の支持部材３１ａ、３１ｂの後側ストッパ部１５によって、キャリア４が横方向（ｙ方向の正側及び負側）に動かないように規制している。図９、図１０に示すように、本体部２２は凹部２８を有しており、すなわち本体部２２に凹部２８が形成されている。また、凹部２８の側面はキャリア４の足部６の底面及び外側面に対向する本体部２２のキャリア対向面になっている。図９、図１０の後側ストッパ部１５において記載した破線が、凹部２８の側面すなわちキャリア対向面を示している。

前側ストッパ部１６は、キャリア４が前側（ｘ方向の負側）に動かないように規制すると共にキャリア４の開口縁部７が横方向（ｙ方向）の外側へ動かないように規制する。２個、すなわち１組の支持部材３１ａ、３１ｂの前側ストッパ部１６によって、キャリア４の開口縁部７が横方向（ｙ方向の正側及び負側）に動かないように規制している。すなわち、前側ストッパ部１６は、キャリア４における開口縁部７の前側への移動を規制すると共に、基台３に水平な方向であって前側の方向と垂直な方向である横方向でキャリアの外側への開口縁部７の移動を規制する凹部２９を有している。

実施の形態１の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０では、キャリア４を基台３に載置する際に、キャリア４の足部６を後側ストッパ１の前側に位置をあわせて置き、さらに後側ストッパ１に爪部２５と基台３との隙間に正しく差し入れる必要がある。キャリア４と後側ストッパ１との位置が大きくずれたまま誤ってキャリア４を後側（ｘ方向の正側）に移動させると、キャリア４の足部６が後側ストッパ１に当たらないため、さらにキャリア４が後側に移動して、２つの足部６の中間に位置する一方の後側ストッパ１がキャリア４の側板４１における足部６がない部分に入り込む場合がある。キャリア４の側板４１側（基台３側）にウエハ５が入っていた場合、後側ストッパ１が側板４１側のウエハ５に衝突してしまう恐れがある。

実施の形態３の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は、支持部材３１ａ、３１ｂがキャリア４を後側ストッパ部１５に導く誘導部１７を備えることで、キャリア４がキャリア載置台５０の基台３に載置される際に後側ストッパ部１５との位置合わせが確実になり、後側ストッパ部１５と側板４１側のウエハ５との衝突を防止することができる。図１１〜図１３を用いて、実施の形態３のキャリア載置台５０にキャリア４を載置する方法を説明する。

キャリア４をキャリア載置台５０の基台３に載置する際、図１１に示すようにキャリア４の足部６を支持部材３１ａ、３１ｂの誘導部１７の内側に矢印１８で示すように入れる。キャリア４の開口縁部７は支持部材３１ａ、３１ｂの前側ストッパ部１６の上側を、前側ストッパ部１６と接触しながら又は前側ストッパ部１６と接触せずに通過するので、キャリア４が前側に傾くことはない。次に図１２に示すようにキャリア４の足部６を矢印１９で示すように後側（ｘ方向の正側）に動かすと、誘導部１７が足部６を後側ストッパ部１５へ導き入れ、後側ストッパ部１５がキャリア４の足部６の移動を規制するので、キャリア４はそれ以上後ろに動かない。次に図１３に示すようにキャリア４を矢印２０のように回転させて基台３に対して垂直に起こすと、キャリア４の開口縁部７が矢印２１で示すように支持部材３１ａ、３１ｂの前側ストッパ部１６にはまる。

実施の形態３の支持部材３１ａ、３１ｂは、実施の形態２の後側ストッパ１２と同様の形状の後側ストッパ部１５及び実施の形態２の前側ストッパ１３と同様の形状の前側ストッパ部１６を備えているので、実施の形態３の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は実施の形態２の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０と同様の効果を奏する。すなわち、実施の形態３の位置決め部材３０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計されており、かつキャリア４が前後方向（ｘ方向）及び横方向（ｙ方向）に動かないように規制する、凹部２８が形成された本体部２２を有する後側ストッパ部１５及び凹部２９を有する前側ストッパ部１６を備えている。さらに、後側ストッパ部１５がキャリア４の基台３からの離脱を規制する爪部２７を備えている。このため実施の形態３の位置決め部材３０は、キャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が横にずれることがなく、かつ誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。さらに、実施の形態３の位置決め部材３０は、支持部材３１ａ、３１ｂがキャリア４を後側ストッパ部１５に導く誘導部１７を備えることで、キャリア４が基台３に載置される際に後側ストッパ部１５との位置合わせが確実になり、後側ストッパ部１５と側板４１側のウエハ５との衝突を防止することができる。

実施の形態３のキャリア載置台５０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計されており、かつキャリア４が前後方向（ｘ方向）及び横方向（ｙ方向）に動かないように規制する、凹部２８が形成された本体部２２を有する後側ストッパ部１５及び凹部２９を有する前側ストッパ部１６を備えている。さらに、後側ストッパ部１５がキャリア４の基台３からの離脱を規制する爪部２７を備えている。このため実施の形態３のキャリア載置台５０は、キャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が横にずれることがなく、かつ誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。さらに、実施の形態３のキャリア載置台５０は、支持部材３１ａ、３１ｂがキャリア４を後側ストッパ部１５に導く誘導部１７を備えることで、キャリア４が基台３に載置される際に後側ストッパ部１５との位置合わせが確実になり、後側ストッパ部１５と側板４１側のウエハ５との衝突を防止することができる。

実施の形態３の位置決め部材３０は、基台３に固定されると共に、複数の板状積載物（ウエハ５）を表面又は裏面が基台３に対向するように収納するキャリア４を基台３に位置決めするキャリアの位置決め部材である。板状積載物（ウエハ５）が出し入れされるキャリア４の開口４５の側を前側とし、キャリア４の開口４５と反対側を後側とする。実施の形態３の位置決め部材３０は、キャリア４の開口４５の一方の端部である第一の開口縁部７に接触して、キャリア４の前側への移動を規制する第一の前側ストッパ部１６と、キャリア４の後側に形成された第一の板状端部（足部６）に接触して、キャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制する第一の後側ストッパ部１５と、第一の前側ストッパ部１６と第一の後側ストッパ部１５とを接続すると共に第一の後側ストッパ部１５へキャリア４の第一の板状端部（足部６）を導く第一の誘導部１７と、を有する第一の支持部材３１ａを備えている。さらに、実施の形態３の位置決め部材３０は、キャリア４の開口４５の他方の端部である第二の開口縁部７に接触して、キャリア４の前側への移動を規制する第二の前側ストッパ部１６と、キャリア４の後側に形成された第二の板状端部（足部６）に接触して、キャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制する第二の後側ストッパ部１５と、第二の前側ストッパ部１６と第二の後側ストッパ部１５とを接続すると共に第二の後側ストッパ部１５へキャリア４の第二の板状端部（足部６）を導く第二の誘導部１７と、を有する第二の支持部材３１ｂを備えている。実施の形態３の位置決め部材３０は、このような構成により、２つの前側ストッパ部１６がキャリア４の前側への移動を規制し、２つの後側ストッパ部１５がキャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制するので、キャリア４がキャリアの位置決め部材３０が固定された基台３へ載置される際又はキャリア４がキャリアの位置決め部材３０が固定された基台３から移動される際に、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。

実施の形態３のキャリア載置台５０は、基台３と基台３に固定された位置決め部材３０とを備えている。位置決め部材３０は、基台３に固定されると共に、複数の板状積載物（ウエハ５）を表面又は裏面が基台３に対向するように収納するキャリア４を基台３に位置決めするキャリアの位置決め部材である。板状積載物（ウエハ５）が出し入れされるキャリア４の開口４５の側を前側とし、キャリア４の開口４５と反対側を後側とする。位置決め部材３０は、キャリア４の開口４５の一方の端部である第一の開口縁部７に接触して、キャリア４の前側への移動を規制する第一の前側ストッパ部１６と、キャリア４の後側に形成された第一の板状端部（足部６）に接触して、キャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制する第一の後側ストッパ部１５と、第一の前側ストッパ部１６と第一の後側ストッパ部１５とを接続すると共に第一の後側ストッパ部１５へキャリア４の第一の板状端部（足部６）を導く第一の誘導部１７と、を有する第一の支持部材３１ａを備えている。さらに、位置決め部材３０は、キャリア４の開口４５の他方の端部である第二の開口縁部７に接触して、キャリア４の前側への移動を規制する第二の前側ストッパ部１６と、キャリア４の後側に形成された第二の板状端部（足部６）に接触して、キャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制する第二の後側ストッパ部１５と、第二の前側ストッパ部１６と第二の後側ストッパ部１５とを接続すると共に第二の後側ストッパ部１５へキャリア４の第二の板状端部（足部６）を導く第二の誘導部１７と、を有する第二の支持部材３１ｂを備えている。実施の形態３のキャリア載置台５０は、このような構成により、２つの前側ストッパ部１６がキャリア４の前側への移動を規制し、２つの後側ストッパ部１５がキャリア４の後側への移動及び基台３と垂直方向への移動を規制するので、キャリア４が当該キャリア載置台５０の基台３へ載置される際又はキャリア４が当該キャリア載置台５０の基台３から移動される際に、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。

実施の形態４．
実施の形態３では、誘導部１７が後側ストッパ部１５と前側ストッパ部１６とを接続している位置決め部材３０の例を示したが、誘導部１７が前側ストッパ部１６に接続されていなくても構わない。すなわち、図１４のように、位置決め部材３０が１組の前側ストッパ１３及び１組の誘導部１７を有する後側ストッパ１２を備えていてもよい。図１４は実施の形態４に係る位置決め部材及びキャリア載置台を示す図であり、図１５は図１４の後側ストッパの要部を示す平面図である。図において実施の形態１〜３と共通する部分は、実施の形態１〜３の図と同一の符号を付してある。

前側ストッパ１３は実施の形態２の前側ストッパ１３と同じである。後側ストッパ１２は、実施の形態２の後側ストッパ１２とは、前側（ｘ方向の負側）にキャリア４を本体部２２及び爪部２７に導く誘導部１７を有する点で異なる。誘導部１７は破線３７から前側の部分である。本体部２２は破線３７から後側の部分である。後側ストッパ１２は、本体部２２、爪部２７、本体部２２及び爪部２７に導く誘導部１７を有している。図１４において、前側ストッパ１３から後側ストッパ１２の方向がｘ方向であり、基台３における後側ストッパ１２及び前側ストッパ１３の搭載面に垂直な方向がｚ方向であり、ｘ方向及びｚ方向に垂直な方向がｙ方向である。図１５では、ｙ方向の正側の後側ストッパ１２の要部を示した。ｙ方向の負側の後側ストッパ１２は、ｙ方向の正側の後側ストッパ１２がｘ方向の破線３８に対して反転した形状になっている。ｙ方向の負側の前側ストッパ１３とｙ方向の正側の前側ストッパ１３とは、互いにｘ方向の破線３８に対して反転した形状になっている。

実施の形態４の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は後側ストッパ１２が実施の形態３と同様の誘導部１７を備えているので、実施の形態４の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０は実施の形態３の位置決め部材３０及びキャリア載置台５０と同様の効果を奏する。すなわち、実施の形態４の位置決め部材３０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計されており、かつキャリア４が前後方向（ｘ方向）及び横方向（ｙ方向）に動かないように規制する、凹部２８が形成された本体部２２を有する後側ストッパ１２及び凹部２９を有する前側ストッパ１３を備えている。さらに、後側ストッパ１２がキャリア４の基台３からの離脱を規制する爪部２７を備えている。このため実施の形態４の位置決め部材３０は、キャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が横にずれることがなく、かつ誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。さらに、実施の形態４の位置決め部材３０は、後側ストッパ１２がキャリア４を凹部２８及び爪部２７に導く誘導部１７を備えることで、キャリア４が基台３に載置される際に本体部２２及び爪部２７との位置合わせが確実になり、本体部２２及び爪部２７と側板４１側のウエハ５との衝突を防止することができる。

実施の形態４のキャリア載置台５０は、キャリア４が基台３に載置される際又はキャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が必ず後側に傾くように設計されており、かつキャリア４が前後方向（ｘ方向）及び横方向（ｙ方向）に動かないように規制する、凹部２８が形成された本体部２２を有する後側ストッパ１２及び凹部２９を有する前側ストッパ１３を備えている。さらに、後側ストッパ１２がキャリア４の基台３からの離脱を規制する爪部２７を備えている。このため実施の形態４のキャリア載置台５０は、キャリア４が基台３から移動される際に、キャリア４が横にずれることがなく、かつ誤ってキャリア４が前側に傾くことがなく、板状積載物（ウエハ５）がキャリア４から滑り落ちることを防止することができる。さらに、実施の形態４のキャリア載置台５０は、後側ストッパ１２がキャリア４を凹部２８及び爪部２７に導く誘導部１７を備えることで、キャリア４が基台３に載置される際に本体部２２及び爪部２７との位置合わせが確実になり、本体部２２及び爪部２７と側板４１側のウエハ５との衝突を防止することができる。

なお、本願は、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。

１…後側ストッパ、２…前側ストッパ、３…基台、４…キャリア、５…ウエハ（板状積載物）、６…足部（板状端部）、７…開口縁部、１２…後側ストッパ、１３…前側ストッパ、１５…後側ストッパ部、１６…前側ストッパ部、１７…誘導部、２２…本体部、２５、２７…爪部、２８、２９…凹部、３０…位置決め部材、３１ａ、３１ｂ…支持部材、４５…開口、５０…キャリア載置台

本願明細書に開示される一例のキャリアの位置決め部材は、基台に固定されると共に、複数の板状積載物を表面又は裏面が基台に対向するように収納するキャリアを基台に位置決めするキャリアの位置決め部材である。位置決め部材は、キャリアが基台に載置される際及びキャリアが基台から移動される際に、基台に移動することなく固定されている。板状積載物が出し入れされるキャリアの開口の側を前側とし、キャリアの開口と反対側を後側とする。キャリアの位置決め部材は、キャリアの開口の端部である２つの開口縁部に接触して、キャリアの前側への移動を規制する２つの前側ストッパと、キャリアの後側に形成された２つの板状端部に接触して、キャリアの後側への移動及び基台と垂直方向への移動を規制する２つの後側ストッパと、を備えている。

Claims

基台に固定されると共に、複数の板状積載物を表面又は裏面が前記基台に対向するように収納するキャリアを前記基台に位置決めするキャリアの位置決め部材であって、
前記板状積載物が出し入れされる前記キャリアの開口の側を前側とし、前記キャリアの前記開口と反対側を後側とし、
前記キャリアの前記開口の端部である２つの開口縁部に接触して、前記キャリアの前記前側への移動を規制する２つの前側ストッパと、
前記キャリアの前記後側に形成された２つの板状端部に接触して、前記キャリアの前記後側への移動及び前記基台と垂直方向への移動を規制する２つの後側ストッパと、を備えたキャリアの位置決め部材。
前記後側ストッパは、前記キャリアにおける前記板状端部の前記後側への移動を規制する本体部と、前記板状端部の前記基台と垂直方向への移動を規制する爪部と、を有する請求項１記載のキャリアの位置決め部材。
前記後側ストッパは、前記キャリアにおける前記板状端部の前記後側への移動を規制すると共に、前記基台に水平な方向であって前記前側の方向と垂直な方向である横方向で前記キャリアの外側への前記板状端部の移動を規制する凹部が形成された本体部と、前記板状端部の前記基台と垂直方向への移動を規制する爪部と、を有する請求項１記載のキャリアの位置決め部材。
前記後側ストッパは、前記本体部に接続されると共に、前記凹部に前記キャリアの前記板状端部を導く誘導部を有する請求項３記載のキャリアの位置決め部材。
前記前側ストッパは、前記キャリアにおける前記開口縁部の前記前側への移動を規制すると共に、前記基台に水平な方向であって前記前側の方向と垂直な方向である横方向で前記キャリアの外側への前記開口縁部の移動を規制する凹部を有する請求項１から４のいずれか１項に記載のキャリアの位置決め部材。
基台に固定されると共に、複数の板状積載物を表面又は裏面が前記基台に対向するように収納するキャリアを前記基台に位置決めするキャリアの位置決め部材であって、
前記板状積載物が出し入れされる前記キャリアの開口の側を前側とし、前記キャリアの前記開口と反対側を後側とし、
前記キャリアの前記開口の一方の端部である第一の開口縁部に接触して、前記キャリアの前記前側への移動を規制する第一の前側ストッパ部と、前記キャリアの前記後側に形成された第一の板状端部に接触して、前記キャリアの前記後側への移動及び前記基台と垂直方向への移動を規制する第一の後側ストッパ部と、前記第一の前側ストッパ部と前記第一の後側ストッパ部とを接続すると共に前記第一の後側ストッパ部へ前記キャリアの前記第一の板状端部を導く第一の誘導部と、を有する第一の支持部材と、
前記キャリアの前記開口の他方の端部である第二の開口縁部に接触して、前記キャリアの前記前側への移動を規制する第二の前側ストッパ部と、前記キャリアの前記後側に形成された第二の板状端部に接触して、前記キャリアの前記後側への移動及び前記基台と垂直方向への移動を規制する第二の後側ストッパ部と、前記第二の前側ストッパ部と前記第二の後側ストッパ部とを接続すると共に前記第二の後側ストッパ部へ前記キャリアの前記第二の板状端部を導く第二の誘導部と、を有する第二の支持部材と、を備えたキャリアの位置決め部材。
前記第一の後側ストッパ部は、前記キャリアにおける前記第一の板状端部の前記後側への移動を規制すると共に、前記基台に水平な方向であって前記前側の方向と垂直な方向である横方向で前記キャリアの外側への前記第一の板状端部の移動を規制する凹部が形成された本体部と、前記第一の板状端部の前記基台と垂直方向への移動を規制する爪部と、を有しており、
前記第二の後側ストッパ部は、前記キャリアにおける前記第二の板状端部の前記後側への移動を規制すると共に、前記基台に水平な方向であって前記前側の方向と垂直な方向である横方向で前記キャリアの外側への前記第二の板状端部の移動を規制する凹部が形成された本体部と、前記第二の板状端部の前記基台と垂直方向への移動を規制する爪部と、を有する請求項６記載のキャリアの位置決め部材。
前記第一の前側ストッパ部は、前記第一の開口縁部の前記前側への移動を規制すると共に、前記基台に水平な方向であって前記前側の方向と垂直な方向である横方向で前記キャリアの外側への前記第一の開口縁部の移動を規制する凹部を有しており、
前記第二の前側ストッパ部は、前記第二の開口縁部の前記前側への移動を規制すると共に、前記基台に水平な方向であって前記前側の方向と垂直な方向である横方向で前記キャリアの外側への前記第二の開口縁部の移動を規制する凹部を有する請求項６または７に記載のキャリアの位置決め部材。
基台と、前記基台に固定された請求項１から８のいずれか１項に記載のキャリアの位置決め部材と、を備えたキャリア載置台。