KR20210033511A - 캐리어의 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대 - Google Patents
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Abstract
위치 결정 부재(30)는 기대(3)에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물(5)을 표면 또는 이면이 기대(3)에 대향하도록 수납하는 캐리어(4)를 기대(3)에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재이다. 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)의 개구(45)의 단부인 2개의 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하는 2개의 전측 스토퍼(2)와, 캐리어(4)의 후측에 형성된 2개의 판형상 단부(6)에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 2개의 후측 스토퍼(1)를 구비하고 있다.
Description
본원은 판형상 적재물을 수납하는 캐리어를 기대에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재 및 캐리어를 탑재하는 캐리어 탑재대에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼(반도체 기판)에 반도체 소자를 형성할 때는 수백의 공정을 거친다. 반도체 소자를 형성하는 도중에 있어서 반도체 웨이퍼의 각 공정간의 반송 및 보관은, 내측에 형성된 복수의 홈의 각각에 반도체 웨이퍼를 수납하는 캐리어를 이용하는 일이 많다. 반도체 웨이퍼에 반도체 소자를 형성하기 위한 가공 장치에는, 반도체 웨이퍼를 1매씩 가공하는 매엽식의 장치가 많다. 매엽식의 장치에서는, 반도체 웨이퍼가 수평이 되도록 기대를 포함하는 로더에 캐리어를 탑재하고, 처리하는 반도체 웨이퍼를 로봇 아암 등으로 1매씩 캐리어의 홈으로부터 취출하여, 처리가 끝난 반도체 웨이퍼를 캐리어에 수납하고 있다.
예를 들어, 특허문헌 1에는, 반도체 웨이퍼를 다단으로 적층 수납하는 카세트(캐리어)가 위치 결정되어서 탑재되는 기대를 갖는 탑재대에 해당하는 탑재 장치가 개시되어 있다. 반도체 웨이퍼를 카세트로부터 출입(出入)시킬 때는, 카세트를 일정한 위치(설정 위치)에 탑재할 필요가 있기 때문에, 로더에 상당하는 기판 반입·반출 유닛의 탑재 장치에는 카세트의 위치를 결정하기 위한 지지 부재가 마련되어 있다. 카세트는, 각각 기대에 설치된 지지 부재에 있어서의 6개의 가이드 부재(위치 결정 부재)에 의해, 전측의 각부, 후측의 발, 측면의 수평 위치가 규제되어서, 탑재대의 설정 위치에 탑재된다.
탑재대의 기대의 설정 위치에 캐리어를 탑재하는 다른 방법은, 캐리어의 하측에 마련된 바아 등을 끼워 넣는 홈이 형성된 위치 결정 블록(가이드 부재)에 의해 캐리어를 탑재대의 기대의 설정 위치에 탑재하는 방법(특허문헌 2 참조), 탑재대의 기대에 형성된 핀 등(가이드 부재)과 캐리어의 하측에 마련된 키네카틱 커플링(kinematic coupling)을 결합시킴으로써 캐리어를 탑재대의 기대의 설정 위치에 탑재하는 방법(특허문헌 3 참조) 등이 있다. 탑재대의 기대의 설정 위치에 캐리어를 탑재하는 어느 방법에 있어서도, 캐리어를 탑재대의 기대에 탑재할 때는 상측으로부터 가이드 부재에 끼우고, 캐리어를 탑재대의 기대로부터 이동할 때는 캐리어를 상측으로 이동시켜서 가이드 부재로부터 빼내고 있다.
캐리어는 판형상 적재물의 일례인 반도체 웨이퍼를 출입시키는 측이 반도체 웨이퍼를 그대로 취출할 수 있는 구조이다. 이 때문에, 반도체 웨이퍼를 수평으로 한 상태로 캐리어를 탑재하는 탑재대에서는, 캐리어가 기대에 탑재될 때 또는 캐리어가 기대로부터 이동될 때, 캐리어가 반도체 웨이퍼의 출입되는 측으로 잘못하여 기울어져 버려서, 캐리어로부터 반도체 웨이퍼가 미끄러져 떨어져 버리는 문제점이 있다.
본원 명세서에 개시되는 기술은, 캐리어가 기대에 탑재될 때 또는 캐리어가 기대로부터 이동될 때에, 반도체 웨이퍼 등의 판형상 적재물이 캐리어로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지하는 캐리어의 위치 결정 부재를 얻는 것을 목적으로 한다.
본원 명세서에 개시되는 일례의 캐리어의 위치 결정 부재는, 기대에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물을 표면 또는 이면이 기대에 대향하도록 수납하는 캐리어를 기대에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재이다. 판형상 적재물이 출입되는 캐리어의 개구측을 전측으로 하고, 캐리어의 개구와 반대측을 후측으로 한다. 캐리어의 위치 결정 부재는 캐리어의 개구의 단부인 2개의 개구 가장자리부에 접촉하여, 캐리어의 전측으로의 이동을 규제하는 2개의 전측 스토퍼와, 캐리어의 후측에 형성된 2개의 판형상 단부에 접촉하여, 캐리어의 후측으로의 이동 및 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 2개의 후측 스토퍼를 구비하고 있다.
본원 명세서에 개시되는 일례의 캐리어의 위치 결정 부재는, 2개의 전측 스토퍼가 캐리어의 전측으로의 이동을 규제하고, 2개의 후측 스토퍼가 캐리어의 후측으로의 이동 및 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하므로, 캐리어가 해당 캐리어의 위치 결정 부재가 고정된 기대에 탑재될 때 또는 캐리어가 해당 캐리어의 위치 결정 부재가 고정된 기대로부터 이동될 때에, 판형상 적재물이 캐리어로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 실시형태 1에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 후측 스토퍼의 평면을 도시하는 도면이다.
도 3은 도 1의 캐리어 탑재대와 캐리어를 도시하는 도면이다.
도 4는 도 1의 캐리어 탑재대로부터 캐리어를 이동하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 5는 도 1의 캐리어 탑재대로부터 캐리어를 이동하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 6은 실시형태 2에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다.
도 7은 도 6의 후측 스토퍼의 평면을 도시하는 도면이다.
도 8은 실시형태 2에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대의 과제를 설명하는 도면이다.
도 9는 실시형태 3에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다.
도 10은 도 9의 후측 스토퍼부의 평면을 도시하는 도면이다.
도 11은 도 9의 캐리어 탑재대에 캐리어를 탑재하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 12는 도 9의 캐리어 탑재대에 캐리어를 탑재하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 13은 도 9의 캐리어 탑재대에 캐리어를 탑재하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 14는 실시형태 4에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다.
도 15는 도 14의 후측 스토퍼의 주요부를 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1의 후측 스토퍼의 평면을 도시하는 도면이다.
도 3은 도 1의 캐리어 탑재대와 캐리어를 도시하는 도면이다.
도 4는 도 1의 캐리어 탑재대로부터 캐리어를 이동하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 5는 도 1의 캐리어 탑재대로부터 캐리어를 이동하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 6은 실시형태 2에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다.
도 7은 도 6의 후측 스토퍼의 평면을 도시하는 도면이다.
도 8은 실시형태 2에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대의 과제를 설명하는 도면이다.
도 9는 실시형태 3에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다.
도 10은 도 9의 후측 스토퍼부의 평면을 도시하는 도면이다.
도 11은 도 9의 캐리어 탑재대에 캐리어를 탑재하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 12는 도 9의 캐리어 탑재대에 캐리어를 탑재하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 13은 도 9의 캐리어 탑재대에 캐리어를 탑재하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 14는 실시형태 4에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다.
도 15는 도 14의 후측 스토퍼의 주요부를 도시하는 평면도이다.
실시형태 1.
도 1은 실시형태 1에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이다. 도 2는 도 1의 후측 스토퍼의 평면을 도시하는 도면이며, 도 3은 도 1의 캐리어 탑재대와 캐리어를 도시하는 도면이다. 도 4, 도 5는 도 1의 캐리어 탑재대로부터 캐리어를 이동시키는 방법을 설명하는 도면이다. 캐리어 탑재대(50)는 기대(3)와, 위치 결정 부재(30)를 구비하고 있다. 위치 결정 부재(30)는 2개의 후측 스토퍼(1)와, 2개의 전측 스토퍼(2)를 구비하고 있다. 후측 스토퍼(1)는 캐리어(4)에 있어서의 웨이퍼(5)를 출입하는 측, 즉, 웨이퍼(5)를 출입하는 개구(45)측(이하, 전측이라 칭함)의 반대측(이하, 후측이라 칭함)의 단에 위치하는 족(足)부(6)를 캐리어(4)가 후측(x방향의 정측)으로 이동하지 않도록 규제하는 동시에, 캐리어(4)의 족부(6)가 기대(3)의 상측(z방향의 정측)으로 이동하지 않도록, 즉, 기대(3)로부터 떨어지지 않도록 규제한다. 전측 스토퍼(2)는 캐리어(4)가 전측(x방향의 부측(負側))으로 이동하지 않도록 규제한다. 기대(3)는 예를 들면, 반도체 웨이퍼에 반도체 소자를 형성하기 위한 가공 장치에 있어서의 로더의 대(台)이며, 위치 결정 부재(30)가 고정 나사(26)에 의해 고정되어 있다. 도 1에 있어서, 전측 스토퍼(2)로부터 후측 스토퍼(1)의 방향이 x방향이며, 기대(3)에 있어서의 후측 스토퍼(1) 및 전측 스토퍼(2)의 탑재면에 수직인 방향이 z방향이며, x방향 및 z방향으로 수직인 방향이 y방향이다.
도 3에 도시되는 바와 같이, 캐리어(4)는 웨이퍼(5)를 보지하는 몸통체(43)와, 기대(3)에 접촉하는 측의 측판(41)과, 측판(41)과 반대측의 측판(42)과, 몸통체(43)에 접속된 개구 가장자리부(7)와, 웨이퍼(5)를 출입하는 개구(45)를 구비하고 있다. 개구 가장자리부(7)는 전측 스토퍼(2)의 캐리어 대향면에 대향하는 개구 가장자리부 전면(7a)과, 웨이퍼(5)를 수납하는 홈이 형성된 몸통체(43)의 내면과 반대측의 측면이며 개구 가장자리부 전면(7a)과 연접된 개구 가장자리부 측면(7b)을 갖고 있다. 개구 가장자리부(7)는 개구(45)의 y방향의 단부이기도 하다. 측판(41, 42)은 개구(45)측(개구 가장자리부 전면(7a)측)과 반대측에 판형상 단부인 족부(6)가 형성되어 있다. 캐리어(4)는 일반적으로 웨이퍼(5)의 보관 시에, 족부(6)를 하측으로 하고, 캐리어(4)의 개구(45)측을 상측으로 한 상태로 된다. 적절하게, 개구(45)측을, 개구측이라고 부른다. 후측 스토퍼(1)는 구멍(33)이 형성된 본체부(22), 클로부(25)를 갖고 있다. 후측 스토퍼(1)는 캐리어(4)에 있어서의 판형상 단부인 족부(6)의 후측으로의 이동을 규제하는 본체부(22)와, 판형상 단부인 족부(6)의 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 클로부(25)를 갖고 있다. 후측 스토퍼(1)는 구멍(33)에 삽입된 고정 나사(26)에 의해 기대(3)에 고정된다. 전측 스토퍼(2)에도 구멍(33)이 형성되어 있고, 전측 스토퍼(2)는 구멍(33)에 삽입된 고정 나사(26)에 의해 기대(3)에 고정된다. 복수의 웨이퍼(5)는 표면 또는 이면이 기대(3)에 대향하도록 캐리어(4)에 수납되어 있다. 도 3에서는, 5매의 웨이퍼(5)가 캐리어(4)에 수납되어 있는 예를 도시하였다.
도 3에서는, 캐리어(4)가 캐리어 탑재대(50)에 탑재되어 있는 상태를 도시하였다. 실시형태 1에서는, 전측 스토퍼(2)가 입방체이며, 후측 스토퍼(1)의 본체부(22)가 입방체인 예를 나타냈다. 전측 스토퍼(2)의 후측 스토퍼(1)측의 측면인 내측면은, 캐리어(4)의 개구 가장자리부 전면(7a)과 대향하는 캐리어 대향면이다. 후측 스토퍼(1)의 전측 스토퍼(2)측의 본체부(22)의 측면인 내측면은, 캐리어(4)의 족부(6)의 바닥면과 대향하는 캐리어 대향면이다. 후측 스토퍼(1)의 캐리어 대향면은 캐리어(4)의 족부(6)의 바닥면과 접촉하여 있다. 캐리어(4)의 측판(41)에 있어서의 족부(6)의 측판(42)과 대향하는 내측면(족부 내측면)은, 후측 스토퍼(1)의 클로부(25)의 기대(3)측의 내측면(클로부 내측면)과 접촉하여 있다. 전측 스토퍼(2)의 캐리어 대향면은 캐리어(4)의 개구 가장자리부 전면(7a)에 접촉하여 있다. 2개의 전측 스토퍼(2)는 캐리어(4)의 개구(45)의 단부인 2개의 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제한다. 2개의 후측 스토퍼(1)는 캐리어(4)의 후측에 형성된 2개의 판형상 단부인 족부(6)에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제한다. 캐리어(4)는 개구 가장자리부 전면(7a)이 전측 스토퍼(2)의 캐리어 대향면과 접촉하는 동시에, 족부(6)가 후측 스토퍼(1)에 있어서의 본체부(22)의 캐리어 대향면 및 클로부(25)의 클로부 내측면에 접촉하여, 수평 방향 위치가 규제되어 있고, 즉, 캐리어 탑재대(50)의 설정 위치에 위치 결정되어 있다.
도 3에 도시되는 바와 같이, 캐리어 탑재대(50)에 탑재된 캐리어(4)는 족부(6)가 후측 스토퍼(1)에서 상측으로의 이동이 규제되어 있다. 따라서, 캐리어(4)의 족부(6)를 바로 윗방향으로, 즉, 기대(3)의 후측 스토퍼(1) 및 전측 스토퍼(2)의 탑재면에 수직인 방향(z방향의 정측)으로 이동시킬 수 없다. 게다가, 후측 스토퍼(1)의 클로부(25)에 의해, 캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로 바로 윗방향으로부터 캐리어 탑재대(50)에 탑재하는 것도 할 수 없다. 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 클로부(25)를 갖는 후측 스토퍼(1)를 구비하고 있으므로, 캐리어(4)를 바로 윗방향으로부터 탑재할 수 없고, 또한 캐리어(4)를 바로 윗방향으로 이동시킬 수 없는 구조로 되어 있다.
도 4, 도 5를 이용하여, 캐리어 탑재대(50)로부터 캐리어(4)를 이동시키는 방법을 설명한다. 도 4, 도 5에서는, 기대(3)를 생략하고 있다. 도 3에 도시되는 바와 같이 캐리어 탑재대(50)에 탑재되어 있는 캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로부터 이동시킬 때에, 도 4에서 도시되는 바와 같이 캐리어(4)를 화살표(8)로 나타내는 바와 같이 기울어지게 하면, 캐리어(4)의 전측인 개구 가장자리부(7)가 화살표(9)로 나타내는 바와 같이 들어올려진다. 그리고, 개구 가장자리부(7)가 전측 스토퍼(2)보다 높아질 때까지 기울어진다. 게다가 도 5에 도시되는 바와 같이, 캐리어(4)를 후측으로 기울어진 채로 하여, 개구 가장자리부(7)가 전측 스토퍼(2)에 의해서 이동이 규제되지 않는 상태를 유지하고, 캐리어(4)를 화살표(10)로 나타내는 바와 같이 전측 경사 상방으로 이동시킨다. 이때, 족부(6)가 화살표(11)로 나타내는 바와 같이 전측으로 이동하고, 후측 스토퍼(1)로부터 빼낸다. 캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로부터 이동할 때에, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)는 전측 스토퍼(2)의 상측을, 전측 스토퍼(2)와 접촉하면서 또는 전측 스토퍼(2)와 접촉하지 않고 통과하므로, 캐리어(4)가 전측으로 기울어지지 않는다.
족부(6)가 후측 스토퍼(1)로부터 빼내지면, 족부(6)가 후측 스토퍼(1)에 의해서 이동이 규제되지 않으므로, 캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로부터 상측으로 이동시킬 수 있다. 캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)로부터 이동시킬 때에, 캐리어(4)를 후측으로 기울이기 때문에, 잘못하여 캐리어가 전측으로 기울어지지 않는다. 캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)에 탑재할 때는, 반대의 순서로 실행한다. 본 경우에서도, 캐리어(4)를 후측으로 기울이기 때문에, 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지지 않는다. 또한, 캐리어(4)의 캐리어 탑재대(50)로의 탑재 및 캐리어(4)의 캐리어 탑재대(50)로부터의 이동은, 가공 장치의 로봇 아암 또는 작업자가 실행한다.
실시형태 1의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계된 후측 스토퍼(1) 및 전측 스토퍼(2)를 구비하고 있으므로, 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 캐리어(4)로부터 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 미끄러져 떨어지는 것을 막을 수 있다. 실시형태 1의 캐리어 탑재대(50)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계된 후측 스토퍼(1) 및 전측 스토퍼(2)를 구비하고 있으므로, 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 캐리어(4)로부터 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 미끄러져 떨어지는 것을 막을 수 있다.
이상과 같이, 실시형태 1의 위치 결정 부재(30)는 기대(3)에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물(웨이퍼(5))을 표면 또는 이면이 기대(3)에 대향하도록 수납하는 캐리어(4)를 기대(3)에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재이다. 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 출입되는 캐리어(4)의 개구(45)측을 전측으로 하고, 캐리어(4)의 개구(45)와 반대측을 후측으로 한다. 실시형태 1의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)의 개구(45)의 단부인 2개의 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하는 2개의 전측 스토퍼(2)와, 캐리어(4)의 후측에 형성된 2개의 판형상 단부(족부(6))에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 2개의 후측 스토퍼(1)를 구비하고 있다. 실시형태 1의 위치 결정 부재(30)는 이러한 구성에 의해, 2개의 전측 스토퍼(2)가 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하고, 2개의 후측 스토퍼(1)가 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하므로, 캐리어(4)가 캐리어의 위치 결정 부재(30)가 고정된 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 캐리어의 위치 결정 부재(30)가 고정된 기대(3)로부터 이동될 때에, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
이상과 같이, 실시형태 1의 캐리어 탑재대(50)는 기대(3)와 기대(3)에 고정된 위치 결정 부재(30)를 구비하고 있다. 위치 결정 부재(30)는 기대(3)에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물(웨이퍼(5))을 표면 또는 이면이 기대(3)에 대향하도록 수납하는 캐리어(4)를 기대(3)에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재이다. 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 출입되는 캐리어(4)의 개구(45)측을 전측으로 하고, 캐리어(4)의 개구(45)와 반대측을 후측으로 한다. 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)의 개구(45)의 단부인 2개의 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하는 2개의 전측 스토퍼(2)와, 캐리어(4)의 후측에 형성된 2개의 판형상 단부(족부(6))에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 2개의 후측 스토퍼(1)를 구비하고 있다. 실시형태 1의 캐리어 탑재대(50)는 이러한 구성에 의해, 2개의 전측 스토퍼(2)가 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하고, 2개의 후측 스토퍼(1)가 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하므로, 캐리어(4)가 해당 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 해당 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로부터 이동될 때에, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
실시형태 2.
도 6은 실시형태 2에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이며, 도 7은 도 6의 후측 스토퍼의 평면을 도시하는 도면이다. 도 8은 실시형태 2에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대의 과제를 설명하는 도면이다. 도면에 있어서 실시형태 2와 공통되는 부분은, 실시형태 1의 도면과 동일한 부호를 부여하고 있다. 실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 기대(3)에 횡방향 어긋남 방지 기능을 구비한 후측 스토퍼(12) 및 전측 스토퍼(13)가 후측 스토퍼(1) 및 전측 스토퍼(2) 대신에 탑재되어 있는 점에서, 실시형태 1의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)와 상이하다. 또한, 도 8에서는, 기대(3)를 생략하고 있다.
도 8을 이용하여, 실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)의 과제를 설명한다. 실시형태 1의 위치 결정 부재(30)가 고정된 캐리어 탑재대(50)에서는, 캐리어(4)를 횡방향(y방향)으로 이동되는 약간의 시간이 존재한다. 즉, 캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로부터 이동시킬 때에, 도 8에 도시되는 바와 같이, 잘못하여 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋났을 경우에 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 전측 스토퍼(2)로부터 벗어나는 일이 있다. 구체적으로는, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 전측 스토퍼(2)보다 높아지도록 캐리어(4)가 기울어지면, 전측 스토퍼(2)로 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)의 이동을 규제할 수 없게 됨으로써, 잘못하여 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋나면 캐리어(4)의 족부(6)가 후측 스토퍼(1)보다 벗어나 버리는 일이 있다. 캐리어(4)의 족부(6)가 후측 스토퍼(1)에서 벗어남으로써, 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어져서, 웨이퍼(5)가 미끄러져 떨어질 우려가 생긴다.
실시형태 2의 위치 결정 부재(30)는 후측 스토퍼(12) 및 전측 스토퍼(13)가 횡방향 어긋남을 방지하는 기능을 구비함으로써, 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에 횡방향으로의 이동을 규제할 수 있고, 횡방향 어긋남으로부터 생기는 웨이퍼(5)의 낙하를 방지할 수 있다. 실시형태 2의 캐리어 탑재대(50)는 후측 스토퍼(12) 및 전측 스토퍼(13)가 횡방향 어긋남을 방지하는 기능을 구비함으로써, 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에 횡방향으로의 이동을 규제할 수 있고, 횡방향 어긋남으로부터 생기는 웨이퍼(5)의 낙하를 방지할 수 있다. 도 6, 도 7을 이용하여, 실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)를 상세하게 설명한다.
위치 결정 부재(30)는 2개의 후측 스토퍼(12)와, 2개의 전측 스토퍼(13)를 구비하고 있다. 도 6에 있어서, 전측 스토퍼(13)로부터 후측 스토퍼(12)의 방향이 x방향이며, 기대(3)에 있어서의 후측 스토퍼(12) 및 전측 스토퍼(13)의 탑재면에 수직인 방향이 z방향이며, x방향 및 z방향에 수직인 방향이 y방향이다. 도 7에서는, y방향의 정측의 후측 스토퍼(12)를 도시하였다. y방향의 부측의 후측 스토퍼(12)는, y방향의 정측의 후측 스토퍼(12)가 x방향의 파선(38)에 대해서 반전한 형상으로 되어 있다. y방향의 부측의 전측 스토퍼(13)와 y방향의 정측의 전측 스토퍼(13)는, 서로 x방향의 파선(38)에 대해서 반전한 형상으로 되어 있다.
후측 스토퍼(12)는 구멍(33)이 형성된 본체부(22), 클로부(27)를 갖고 있다. 후측 스토퍼(12)는 구멍(33)에 삽입된 고정 나사(26)에 의해 기대(3)에 고정된다. 본체부(22)에는 오목부(28)가 형성되어 있다. 전측 스토퍼(13)는 구멍(33)이 형성되는 동시에 오목부(29)를 갖는 본체부(23)로부터 되어 있다. 전측 스토퍼(13)는 구멍(33)에 삽입된 고정 나사(26)에 의해 기대(3)에 고정된다. 전측 스토퍼(13)는 오목부(29)를 갖는 본체부(23)이므로, 오목부(29)를 갖고 있다고 표현할 수도 있다.
후측 스토퍼(12)의 본체부(22)는 캐리어(4)의 족부(6)가 후측(x방향의 정측)으로 이동하지 않도록 규제하는 동시에, 캐리어(4)의 족부(6)가 횡방향(y방향)의 외측으로 이동하지 않도록 규제한다. 후측 스토퍼(12)의 클로부(27)는 캐리어(4)의 족부(6)가 기대(3)의 상측(z방향의 정측)으로의 이동을 규제한다, 즉, 기대(3)로부터 떨어지지 않도록 규제한다. 2개, 즉, 1세트의 후측 스토퍼(12)에 의해서, 캐리어(4)가 횡방향(y방향의 정측 및 부측)으로 이동하지 않도록 규제하고 있다. 도 6, 도 7에 도시되는 바와 같이, 본체부(22)는 오목부(28)를 갖고 있고, 즉, 본체부(22)에 오목부(28)가 형성되어 있다. 또한, 오목부(28)의 측면은 캐리어(4)의 족부(6)의 바닥면 및 외측면에 대향하는 본체부(22)의 캐리어 대향면이 되어 있다. 도 6, 도 7의 후측 스토퍼(12)에 있어서 기재된 파선이, 오목부(28)의 측면, 즉, 캐리어 대향면을 나타내고 있다. 후측 스토퍼(12)는 캐리어(4)에 있어서의 판형상 단부인 족부(6)의 후측으로의 이동을 규제하는 동시에, 기대(3)에 수평인 방향이며 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향이며 캐리어(4)의 외측으로의 판형상 단부인 족부(6)의 이동을 규제하는 오목부(28)가 형성된 본체부(22)와, 판형상 단부인 족부(6)의 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 클로부(27)를 갖고 있다.
전측 스토퍼(13)는 캐리어(4)가 전측(x방향의 부측)으로 이동하지 않도록 규제하는 동시에, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 횡방향(y방향)의 외측으로 이동하지 않도록 규제한다. 2개, 즉, 1세트의 전측 스토퍼(13)에 의해서, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 횡방향(y방향의 정측 및 부측)으로 이동하지 않도록 규제하고 있다. 즉, 전측 스토퍼(13)는 캐리어(4)에 있어서의 개구 가장자리부(7)의 전측으로의 이동을 규제하는 동시에, 기대(3)에 수평인 방향이며 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 캐리어의 외측으로의 개구 가장자리부(7)의 이동을 규제하는 오목부(29)를 갖고 있다.
실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는, 실시형태 1의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)와 마찬가지로, 후측 스토퍼(12)가 캐리어(4)의 족부(6)를 캐리어(4)가 후측(x방향의 정측)에 이동하지 않도록 규제하는 동시에 캐리어(4)의 족부(6)가 기대(3)의 상측(z방향의 정측)으로 이동하지 않도록, 즉, 기대(3)로부터 떨어지지 않도록 규제하고 있고, 전측 스토퍼(13)가 캐리어(4)를 전측(x방향의 부측)으로 이동하지 않도록 규제하고 있다. 게다가, 실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 1세트의 후측 스토퍼(12)가 오목부(28)에 의해 캐리어(4)의 족부(6)를 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하고 있고, 전측 스토퍼(13)가 오목부(29)에 의해 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)를 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하고 있다. 실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7) 및 족부(6)가 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하고 있으므로, 캐리어(4)를 기대(3)로부터 이동시킬 때, 즉, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 전측 스토퍼(2)보다 높아질 때에 캐리어(4)가 기대(3) 위에서 횡방향으로 어긋나는 일 없이, 도 8에서 설명한 횡방향 어긋남으로부터 생기는 웨이퍼(5)의 낙하를 방지할 수 있다. 실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 캐리어(4)를 기대(3)로부터 이동시킬 때, 즉, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 전측 스토퍼(2)보다 높아질 때에 캐리어(4)가 기대(3) 위에서 횡방향으로 어긋나지 않으므로, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 전측 스토퍼(13)의 상측을, 전측 스토퍼(13)와 접촉하면서 또는 전측 스토퍼(13)와 접촉하지 않고 통과할 수 있고, 캐리어(4)가 전측으로 기울어지지 않는다.
실시형태 2의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계되어 있고, 또한 캐리어(4)가 전후 방향(x방향) 및 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하는, 오목부(28)가 형성된 본체부(22)를 갖는 후측 스토퍼(12) 및 오목부(29)를 갖는 전측 스토퍼(13)를 구비하고 있다. 게다가, 후측 스토퍼(12)가 캐리어(4)의 기대(3)로부터의 이탈을 규제하는 클로부(27)를 구비하고 있다. 이 때문에, 실시형태 2의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋나는 일 없이, 또한, 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 실시형태 2의 캐리어 탑재대(50)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계되어 있고, 또한 캐리어(4)가 전후 방향(x방향) 및 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하는, 오목부(28)가 형성된 본체부(22)를 갖는 후측 스토퍼(12) 및 오목부(29)를 갖는 전측 스토퍼(13)를 구비하고 있다. 게다가, 후측 스토퍼(12)가 캐리어(4)의 기대(3)로부터의 이탈을 규제하는 클로부(27)를 구비하고 있다. 이 때문에 실시형태 2의 캐리어 탑재대(50)는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋나는 일없이, 또한, 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
실시형태 3.
도 9는 실시형태 3에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이며, 도 10은 도 9의 후측 스토퍼부의 평면을 도시하는 도면이다. 도 11, 도 12, 도 13은 도 9의 캐리어 탑재대에 캐리어를 탑재하는 방법을 설명하는 도면이다. 도면에 있어서 실시형태 1, 2와 공통되는 부분은 실시형태 1, 2의 도면과 동일한 부호를 부여하고 있다. 실시형태 3의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는, 4개의 스토퍼 대신에 2개의 지지 부재(31a, 31b)를 구비하고 있는 점에서, 실시형태 1, 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)와 상이하다. 도 11, 도 12, 도 13에서는, 기대(3)를 생략하고 있다.
위치 결정 부재(30)는 2개의 지지 부재(31a, 31b)를 구비하고 있다. 지지 부재(31a, 31b)는, 각각 후측 스토퍼부(15)와, 전측 스토퍼부(16)와, 후측 스토퍼부(15)와 전측 스토퍼부(16)를 접속하는 동시에 캐리어(4)를 후측 스토퍼부(15)로 인도하는 유도부(17)를 구비하고 있다. 도 9에 있어서, 전측 스토퍼부(16)로부터 후측 스토퍼부(15)의 방향이 x방향이며, 기대(3)에 있어서의 후측 스토퍼부(15) 및 전측 스토퍼부(16)의 탑재면에 수직인 방향이 z방향이며, x방향 및 z방향에 수직인 방향이 y방향이다. 지지 부재(31a)와 지지 부재(31b)는 서로 x방향의 파선(38)에 대해서 반전한 형상으로 되어 있다. 도 10에서는, y방향의 정측의 후측 스토퍼부(15), 즉, 지지 부재(31a)의 후측 스토퍼부(15)를 도시하였다. y방향의 부측의 후측 스토퍼부(15), 즉, 지지 부재(31b)의 후측 스토퍼부(15)는, y방향의 정측의 후측 스토퍼부(15)가 x방향의 파선(38)에 대해서 반전한 형상으로 되어 있다. y방향의 부측의 전측 스토퍼부(16)와 y방향의 정측의 전측 스토퍼부(16)는, 서로 x방향의 파선(38)에 대해서 반전한 형상으로 되어 있다.
후측 스토퍼부(15)는 파선(37)보다 x방향의 정측의 부분이며, 구멍(33)이 형성된 본체부(22), 클로부(27)를 갖고 있다. 후측 스토퍼부(15)는 구멍(33)에 삽입된 고정 나사(26)에 의해 기대(3)에 고정된다. 전측 스토퍼부(16)는 파선(39)보다 x방향의 부측의 부분이며, 구멍(33)이 형성되는 동시에 오목부(29)를 갖는 본체부(23)로 되어 있다. 전측 스토퍼부(16)는 구멍(33)에 삽입된 고정 나사(26)에 의해 기대(3)에 고정된다. 전측 스토퍼부(16)는 오목부(29)를 갖는 본체부(23)이므로, 오목부(29)를 갖고 있다고 표현할 수도 있다. 유도부(17)는 파선(39)으로부터 파선(37)까지의 부분이며, 캐리어(4)의 판형상 단부(족부(6))를 오목부(28) 및 클로부(27)로 인도하는 부품이다.
후측 스토퍼부(15)의 본체부(22)는 캐리어(4)의 족부(6)가 후측(x방향의 정측)으로 이동하지 않도록 규제하는 동시에, 캐리어(4)의 족부(6)가 횡방향(y방향)의 외측으로 이동하지 않도록 규제한다. 후측 스토퍼부(15)의 클로부(27)는 캐리어(4)의 족부(6)가 기대(3)의 상측(z방향의 정측)으로의 이동을 규제한다, 즉, 기대(3)로부터 떨어지지 않도록 규제한다. 2개, 즉, 1세트의 지지 부재(31a, 31b)의 후측 스토퍼부(15)에 의해서, 캐리어(4)가 횡방향(y방향의 정측 및 부측)으로 이동하지 않도록 규제하고 있다. 도 9, 도 10에 도시되는 바와 같이, 본체부(22)는 오목부(28)를 갖고 있고, 즉, 본체부(22)에 오목부(28)가 형성되어 있다. 또한, 오목부(28)의 측면은 캐리어(4)의 족부(6)의 바닥면 및 외측면에 대향하는 본체부(22)의 캐리어 대향면이 되어 있다. 도 9, 도 10의 후측 스토퍼부(15)에 있어서 기재한 파선이 오목부(28)의 측면, 즉, 캐리어 대향면을 나타내고 있다.
전측 스토퍼부(16)는 캐리어(4)가 전측(x방향의 부측)으로 이동하지 않도록 규제하는 동시에, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 횡방향(y방향)의 외측으로 이동하지 않도록 규제한다. 2개, 즉, 1세트의 지지 부재(31a, 31b)의 전측 스토퍼부(16)에 의해서, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 횡방향(y방향의 정측 및 부측)으로 이동하지 않도록 규제하고 있다. 즉, 전측 스토퍼부(16)는 캐리어(4)에 있어서의 개구 가장자리부(7)의 전측으로의 이동을 규제하는 동시에, 기대(3)에 수평인 방향이며 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 캐리어의 외측으로의 개구 가장자리부(7)의 이동을 규제하는 오목부(29)를 갖고 있다.
실시형태 1의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)에서는, 캐리어(4)를 기대(3)에 탑재할 때에, 캐리어(4)의 족부(6)를 후측 스토퍼(1)의 전측에 위치를 맞춰서 두고, 게다가 후측 스토퍼(1)에 클로부(25)와 기대(3)의 간극에 올바르게 차입할 필요가 있다. 캐리어(4)와 후측 스토퍼(1)의 위치가 크게 어긋난 채로 잘못하여 캐리어(4)를 후측(x방향의 정측)으로 이동시키면, 캐리어(4)의 족부(6)가 후측 스토퍼(1)에 닿지 않기 때문에, 게다가 캐리어(4)가 후측으로 이동하여, 2개의 족부(6)의 중간에 위치하는 일방의 후측 스토퍼(1)가 캐리어(4)의 측판(41)에 있어서의 족부(6)가 없는 부분에 차입되는 경우가 있다. 캐리어(4)의 측판(41)측(기대(3)측)에 웨이퍼(5)가 들어갔을 경우, 후측 스토퍼(1)가 측판(41)측의 웨이퍼(5)에 충돌해버릴 우려가 있다.
실시형태 3의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는, 지지 부재(31a, 31b)가 캐리어(4)를 후측 스토퍼부(15)에 인도하는 유도부(17)를 구비함으로써, 캐리어(4)가 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)에 탑재될 때에 후측 스토퍼부(15)와의 위치 맞춤이 확실하게 되고, 후측 스토퍼부(15)와 측판(41)측의 웨이퍼(5)의 충돌을 방지할 수 있다. 도 11 내지 도 13을 이용하여, 실시형태 3의 캐리어 탑재대(50)에 캐리어(4)를 탑재하는 방법을 설명한다.
캐리어(4)를 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)에 탑재할 때, 도 11에 도시되는 바와 같이 캐리어(4)의 족부(6)를 지지 부재(31a, 31b)의 유도부(17)의 내측에 화살표(18)로 나타내는 바와 같이 넣는다. 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)는 지지 부재(31a, 31b)의 전측 스토퍼부(16)의 상측을, 전측 스토퍼부(16)와 접촉하면서 또는 전측 스토퍼부(16)와 접촉하지 않고 통과하므로, 캐리어(4)가 전측으로 기울어지지 않는다. 다음에 도 12에 도시되는 바와 같이 캐리어(4)의 족부(6)를 화살표(19)로 나타내는 바와 같이 후측(x방향의 정측)으로 이동시키면, 유도부(17)가 족부(6)를 후측 스토퍼부(15)로 도입시키고, 후측 스토퍼부(15)가 캐리어(4)의 족부(6)의 이동을 규제하므로, 캐리어(4)는 그 이상 뒤로 이동하지 않는다. 다음에 도 13에 도시되는 바와 같이 캐리어(4)를 화살표(20)와 같이 회전시켜서 기대(3)에 대해서 수직으로 일으키면, 캐리어(4)의 개구 가장자리부(7)가 화살표(21)로 나타내는 바와 같이 지지 부재(31a, 31b)의 전측 스토퍼부(16)에 끼워진다.
실시형태 3의 지지 부재(31a, 31b)는, 실시형태 2의 후측 스토퍼(12)와 마찬가지의 형상의 후측 스토퍼부(15) 및 실시형태 2의 전측 스토퍼(13)와 마찬가지의 형상의 전측 스토퍼부(16)를 구비하고 있으므로, 실시형태 3의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 실시형태 2의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)와 마찬가지의 효과를 발휘한다. 즉, 실시형태 3의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계되어 있고, 또한 캐리어(4)가 전후 방향(x방향) 및 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하는, 오목부(28)가 형성된 본체부(22)를 갖는 후측 스토퍼부(15) 및 오목부(29)를 갖는 전측 스토퍼부(16)를 구비하고 있다. 게다가, 후측 스토퍼부(15)가 캐리어(4)의 기대(3)로부터의 이탈을 규제하는 클로부(27)를 구비하고 있다. 이 때문에 실시형태 3의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋나는 일 없이, 또한 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 실시형태 3의 위치 결정 부재(30)는 지지 부재(31a, 31b)가 캐리어(4)를 후측 스토퍼부(15)로 인도하는 유도부(17)를 구비함으로써, 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때에 후측 스토퍼부(15)와의 위치 맞춤이 확실히 되어, 후측 스토퍼부(15)와 측판(41)측의 웨이퍼(5)의 충돌을 방지할 수 있다.
실시형태 3의 캐리어 탑재대(50)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계되어 있고, 또한 캐리어(4)가 전후 방향(x방향) 및 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하는, 오목부(28)가 형성된 본체부(22)를 갖는 후측 스토퍼부(15) 및 오목부(29)를 갖는 전측 스토퍼부(16)를 구비하고 있다. 게다가, 후측 스토퍼부(15)가 캐리어(4)의 기대(3)로부터의 이탈을 규제하는 클로부(27)를 구비하고 있다. 이 때문에 실시형태 3의 캐리어 탑재대(50)는, 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋나는 일 없이, 또한 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 실시형태 3의 캐리어 탑재대(50)는 지지 부재(31a, 31b)가 캐리어(4)를 후측 스토퍼부(15)로 인도하는 유도부(17)를 구비함으로써, 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때에 후측 스토퍼부(15)와의 위치 맞춤이 확실하게 되고, 후측 스토퍼부(15)와 측판(41)측의 웨이퍼(5)의 충돌을 방지할 수 있다.
실시형태 3의 위치 결정 부재(30)는 기대(3)에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물(웨이퍼(5))을 표면 또는 이면이 기대(3)에 대향하도록 수납하는 캐리어(4)를 기대(3)에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재이다. 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 출입되는 캐리어(4)의 개구(45)측을 전측으로 하고, 캐리어(4)의 개구(45)와 반대측을 후측으로 한다. 실시형태 3의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)의 개구(45)의 일방의 단부인 제 1 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하는 제 1 전측 스토퍼부(16)와, 캐리어(4)의 후측에 형성된 제 1 판형상 단부(족부(6))에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 제 1 후측 스토퍼부(15)와, 제 1 전측 스토퍼부(16)와 제 1 후측 스토퍼부(15)를 접속하는 동시에, 제 1 후측 스토퍼부(15)로 캐리어(4)의 제 1 판형상 단부(족부(6))를 인도하는 제 1 유도부(17)를 갖는 제 1 지지 부재(31a)를 구비하고 있다. 게다가, 실시형태 3의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)의 개구(45)의 타방의 단부인 제 2 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하는 제 2 전측 스토퍼부(16)와, 캐리어(4)의 후측에 형성된 제 2 판형상 단부(족부(6))에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)로 수직 방향으로의 이동을 규제하는 제 2 후측 스토퍼부(15)와, 제 2 전측 스토퍼부(16)와 제 2 후측 스토퍼부(15)를 접속하는 동시에, 제 2 후측 스토퍼부(15)에 캐리어(4)의 제 2 판형상 단부(족부(6))를 인도하는 제 2 유도부(17)를 갖는 제 2 지지 부재(31b)를 구비하고 있다. 실시형태 3의 위치 결정 부재(30)는 이러한 구성에 의해, 2개의 전측 스토퍼부(16)가 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하고, 2개의 후측 스토퍼부(15)가 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하므로, 캐리어(4)가 캐리어의 위치 결정 부재(30)가 고정된 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 캐리어의 위치 결정 부재(30)가 고정된 기대(3)로부터 이동될 때에, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
실시형태 3의 캐리어 탑재대(50)는 기대(3)와 기대(3)에 고정된 위치 결정 부재(30)를 구비하고 있다. 위치 결정 부재(30)는 기대(3)에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물(웨이퍼(5))을 표면 또는 이면이 기대(3)에 대향하도록 수납하는 캐리어(4)를 기대(3)에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재이다. 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 출입되는 캐리어(4)의 개구(45)측을 전측으로 하고, 캐리어(4)의 개구(45)와 반대측을 후측으로 한다. 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)의 개구(45)의 일방의 단부인 제 1 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하는 제 1 전측 스토퍼부(16)와, 캐리어(4)의 후측에 형성된 제 1 판형상 단부(족부(6))에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 제 1 후측 스토퍼부(15)와, 제 1 전측 스토퍼부(16)와 제 1 후측 스토퍼부(15)를 접속하는 동시에, 제 1 후측 스토퍼부(15)에 캐리어(4)의 제 1 판형상 단부(족부(6))를 인도하는 제 1 유도부(17)를 갖는 제 1 지지 부재(31a)를 구비하고 있다. 게다가, 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)의 개구(45)의 타방의 단부인 제 2 개구 가장자리부(7)에 접촉하여, 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하는 제 2 전측 스토퍼부(16)와, 캐리어(4)의 후측에 형성된 제 2 판형상 단부(족부(6))에 접촉하여, 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 제 2 후측 스토퍼부(15)와, 제 2 전측 스토퍼부(16)와 제 2 후측 스토퍼부(15)를 접속하는 동시에, 제 2 후측 스토퍼부(15)로 캐리어(4)의 제 2 판형상 단부(족부(6))를 인도하는 제 2 유도부(17)를 갖는 제 2 지지 부재(31b)를 구비하고 있다. 실시형태 3의 캐리어 탑재대(50)는 이러한 구성에 의해, 2개의 전측 스토퍼부(16)가 캐리어(4)의 전측으로의 이동을 규제하고, 2개의 후측 스토퍼부(15)가 캐리어(4)의 후측으로의 이동 및 기대(3)와 수직 방향으로의 이동을 규제하므로, 캐리어(4)가 해당 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 해당 캐리어 탑재대(50)의 기대(3)로부터 이동될 때에, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
실시형태 4.
실시형태 3에서는, 유도부(17)가 후측 스토퍼부(15)와 전측 스토퍼부(16)를 접속하고 있는 위치 결정 부재(30)의 예를 나타냈지만, 유도부(17)가 전측 스토퍼부(16)에 접속되어 있지 않아도 상관없다. 즉, 도 14와 같이, 위치 결정 부재(30)가 1세트의 전측 스토퍼(13) 및 1세트의 유도부(17)를 갖는 후측 스토퍼(12)를 구비하고 있어도 좋다. 도 14는 실시형태 4에 따른 위치 결정 부재 및 캐리어 탑재대를 도시하는 도면이며, 도 15는 도 14의 후측 스토퍼의 주요부를 도시하는 평면도이다. 도면에 있어서 실시형태 1 내지 3과 공통되는 부분은, 실시형태 1 내지 3의 도면과 동일한 부호를 부여하고 있다.
전측 스토퍼(13)는 실시형태 2의 전측 스토퍼(13)와 동일하다. 후측 스토퍼(12)는 실시형태 2의 후측 스토퍼(12)와는, 전측(x방향의 부측)으로 캐리어(4)를 본체부(22) 및 클로부(27)에 인도하는 유도부(17)를 갖는 점에서 상이하다. 유도부(17)는 파선(37)으로부터 전측의 부분이다. 본체부(22)는 파선(37)으로부터 후측의 부분이다. 후측 스토퍼(12)는 본체부(22), 클로부(27), 본체부(22) 및 클로부(27)에 인도하는 유도부(17)를 갖고 있다. 도 14에 있어서, 전측 스토퍼(13)로부터 후측 스토퍼(12)의 방향이 x방향이며, 기대(3)에 있어서의 후측 스토퍼(12) 및 전측 스토퍼(13)의 탑재면에 수직인 방향이 z방향이며, x방향 및 z방향에 수직인 방향이 y방향이다. 도 15에서는, y방향의 정측의 후측 스토퍼(12)의 주요부를 도시하였다. y방향의 부측의 후측 스토퍼(12)는, y방향의 정측의 후측 스토퍼(12)가 x방향의 파선(38)에 대해서 반전한 형상이 되어 있다. y방향의 부측의 전측 스토퍼(13)와 y방향의 정측의 전측 스토퍼(13)는, 서로 x방향의 파선(38)에 대해서 반전한 형상이 되어 있다.
실시형태 4의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 후측 스토퍼(12)가 실시형태 3과 마찬가지의 유도부(17)를 구비하고 있으므로, 실시형태 4의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)는 실시형태 3의 위치 결정 부재(30) 및 캐리어 탑재대(50)와 마찬가지의 효과를 발휘한다. 즉, 실시형태 4의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계되어 있고, 또한 캐리어(4)가 전후 방향(x방향) 및 횡방향(y방향)으로 이동하지 않도록 규제하는, 오목부(28)가 형성된 본체부(22)를 갖는 후측 스토퍼(12) 및 오목부(29)를 갖는 전측 스토퍼(13)를 구비하고 있다. 게다가, 후측 스토퍼(12)가 캐리어(4)의 기대(3)로부터의 이탈을 규제하는 클로부(27)를 구비하고 있다. 이 때문에 실시형태 4의 위치 결정 부재(30)는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋나는 일 없이, 또한 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 실시형태 4의 위치 결정 부재(30)는 후측 스토퍼(12)가 캐리어(4)를 오목부(28) 및 클로부(27)에 인도하는 유도부(17)를 구비함으로써, 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때에 본체부(22) 및 클로부(27)와의 위치 맞춤이 확실하게 되고, 본체부(22) 및 클로부(27)와 측판(41)측의 웨이퍼(5)의 충돌을 방지할 수 있다.
실시형태 4의 캐리어 탑재대(50)는 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때 또는 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 반드시 후측으로 기울어지도록 설계되어 있고, 또한 캐리어(4)가 전후 방향(x방향) 및 횡방향(y방향)으로 움직이지 않도록 규제하는, 오목부(28)가 형성된 본체부(22)를 갖는 후측 스토퍼(12) 및 오목부(29)를 갖는 전측 스토퍼(13)를 구비하고 있다. 게다가, 후측 스토퍼(12)가 캐리어(4)의 기대(3)로부터의 이탈을 규제하는 클로부(27)를 구비하고 있다. 이 때문에 실시형태 4의 캐리어 탑재대(50)는, 캐리어(4)가 기대(3)로부터 이동될 때에, 캐리어(4)가 횡방향으로 어긋나는 일 없이, 또한 잘못하여 캐리어(4)가 전측으로 기울어지는 일 없이, 판형상 적재물(웨이퍼(5))이 캐리어(4)로부터 미끄러져 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 실시형태 4의 캐리어 탑재대(50)는 후측 스토퍼(12)가 캐리어(4)를 오목부(28) 및 클로부(27)에 인도하는 유도부(17)를 구비함으로써, 캐리어(4)가 기대(3)에 탑재될 때에 본체부(22) 및 클로부(27)와의 위치 맞춤이 확실하게 되고, 본체부(22) 및 클로부(27)와 측판(41)측의 웨이퍼(5)의 충돌을 방지할 수 있다.
또한, 본원은 여러 가지 예시적인 실시형태 및 실시예가 기재되어 있지만, 1개, 또는 복수의 실시형태에 기재된 여러 가지 특징, 태양, 및 기능은 특정의 실시형태의 적용으로 한정되는 것이 아니며, 단독으로, 또는 여러 가지 조합으로 실시형태에 적용 가능하다. 따라서, 예시되어 있지 않은 무수한 변형예가 본원 명세서에 개시되는 기술의 범위 내에 있어서 상정된다. 예를 들어, 적어도 1개의 구성요소를 변형하는 경우, 추가하는 경우 또는 생략하는 경우, 또한, 적어도 1개의 구성요소를 추출하고, 다른 실시형태의 구성요소와 조합시키는 경우가 포함되는 것으로 한다.
1 : 후측 스토퍼, 2 : 전측 스토퍼, 3 : 기대, 4 : 캐리어, 5 : 웨이퍼(판형상 적재물), 6 : 족부(판형상 단부), 7 : 개구 가장자리부, 12 : 후측 스토퍼, 13 : 전측 스토퍼, 15 : 후측 스토퍼부, 16 : 전측 스토퍼부, 17 : 유도부, 22 : 본체부, 25, 27 : 클로부, 28, 29 : 오목부, 30 : 위치 결정 부재, 31a, 31b : 지지 부재, 45 : 개구, 50 : 캐리어 탑재대
Claims (9)
- 기대에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물을 표면 또는 이면이 상기 기대에 대향하도록 수납하는 캐리어를 상기 기대에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재에 있어서,
상기 판형상 적재물이 출입되는 상기 캐리어의 개구측을 전측으로 하고, 상기 캐리어의 상기 개구와 반대측을 후측으로 하고,
상기 캐리어의 상기 개구의 단부인 2개의 개구 가장자리부에 접촉하여, 상기 캐리어의 상기 전측으로의 이동을 규제하는 2개의 전측 스토퍼와,
상기 캐리어의 상기 후측에 형성된 2개의 판형상 단부에 접촉하여, 상기 캐리어의 상기 후측으로의 이동 및 상기 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 2개의 후측 스토퍼를 구비한
캐리어의 위치 결정 부재. - 제 1 항에 있어서,
상기 후측 스토퍼는 상기 캐리어에 있어서의 상기 판형상 단부의 상기 후측으로의 이동을 규제하는 본체부와, 상기 판형상 단부의 상기 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 클로부를 갖는
캐리어의 위치 결정 부재. - 제 1 항에 있어서,
상기 후측 스토퍼는 상기 캐리어에 있어서의 상기 판형상 단부의 상기 후측으로의 이동을 규제하는 동시에, 상기 기대에 수평인 방향이며 상기 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 상기 캐리어의 외측으로의 상기 판형상 단부의 이동을 규제하는 오목부가 형성된 본체부와, 상기 판형상 단부의 상기 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 클로부를 갖는
캐리어의 위치 결정 부재. - 제 3 항에 있어서,
상기 후측 스토퍼는 상기 본체부에 접속되는 동시에, 상기 오목부에 상기 캐리어의 상기 판형상 단부를 인도하는 유도부를 갖는
캐리어의 위치 결정 부재. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전측 스토퍼는 상기 캐리어에 있어서의 상기 개구 가장자리부의 상기 전측으로의 이동을 규제하는 동시에, 상기 기대에 수평인 방향이며 상기 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 상기 캐리어의 외측으로의 상기 개구 가장자리부의 이동을 규제하는 오목부를 갖는
캐리어의 위치 결정 부재. - 기대에 고정되는 동시에, 복수의 판형상 적재물을 표면 또는 이면이 상기 기대에 대향하도록 수납하는 캐리어를 상기 기대에 위치 결정하는 캐리어의 위치 결정 부재에 있어서,
상기 판형상 적재물이 출입되는 상기 캐리어의 개구측을 전측으로 하고, 상기 캐리어의 상기 개구와 반대측을 후측으로 하고,
상기 캐리어의 상기 개구의 일방의 단부인 제 1 개구 가장자리부에 접촉하여, 상기 캐리어의 상기 전측으로의 이동을 규제하는 제 1 전측 스토퍼부와, 상기 캐리어의 상기 후측에 형성된 제 1 판형상 단부에 접촉하여, 상기 캐리어의 상기 후측으로의 이동 및 상기 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 제 1 후측 스토퍼부와, 상기 제 1 전측 스토퍼부와 상기 제 1 후측 스토퍼부를 접속하는 동시에 상기 제 1 후측 스토퍼부로 상기 캐리어의 상기 제 1 판형상 단부를 인도하는 제 1 유도부를 갖는 제 1 지지 부재와,
상기 캐리어의 상기 개구의 타방의 단부인 제 2 개구 가장자리부에 접촉하여, 상기 캐리어의 상기 전측으로의 이동을 규제하는 제 2 전측 스토퍼부와, 상기 캐리어의 상기 후측에 형성된 제 2 판형상 단부에 접촉하여, 상기 캐리어의 상기 후측으로의 이동 및 상기 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 제 2 후측 스토퍼부와, 상기 제 2 전측 스토퍼부와 상기 제 2 후측 스토퍼부를 접속하는 동시에 상기 제 2 후측 스토퍼부로 상기 캐리어의 상기 제 2 판형상 단부를 인도하는 제 2 유도부를 갖는 제 2 지지 부재를 구비한
캐리어의 위치 결정 부재. - 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 후측 스토퍼부는 상기 캐리어에 있어서의 상기 제 1 판형상 단부의 상기 후측으로의 이동을 규제하는 동시에, 상기 기대에 수평인 방향이며 상기 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 상기 캐리어의 외측으로의 상기 제 1 판형상 단부의 이동을 규제하는 오목부가 형성된 본체부와, 상기 제 1 판형상 단부의 상기 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 클로부를 갖고 있고,
상기 제 2 후측 스토퍼부는 상기 캐리어에 있어서의 상기 제 2 판형상 단부의 상기 후측으로의 이동을 규제하는 동시에, 상기 기대에 수평인 방향이며 상기 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 상기 캐리어의 외측으로의 상기 제 2 판형상 단부의 이동을 규제하는 오목부가 형성된 본체부와, 상기 제 2 판형상 단부의 상기 기대와 수직 방향으로의 이동을 규제하는 클로부를 갖는
캐리어의 위치 결정 부재. - 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
상기 제 1 전측 스토퍼부는 상기 제 1 개구 가장자리부의 상기 전측으로의 이동을 규제하는 동시에, 상기 기대에 수평인 방향이며 상기 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 상기 캐리어의 외측으로의 상기 제 1 개구 가장자리부의 이동을 규제하는 오목부를 갖고 있고,
상기 제 2 전측 스토퍼부는 상기 제 2 개구 가장자리부의 상기 전측으로의 이동을 규제하는 동시에, 상기 기대에 수평인 방향이며 상기 전측의 방향과 수직인 방향인 횡방향으로 상기 캐리어의 외측으로의 상기 제 2 개구 가장자리부의 이동을 규제하는 오목부를 갖는
캐리어의 위치 결정 부재. - 기대와, 상기 기대에 고정된 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 캐리어의 위치 결정 부재를 구비한
캐리어 탑재대.
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