JP2587362Y2 - ウエハキャリア位置決め機構 - Google Patents
ウエハキャリア位置決め機構Info
- Publication number
- JP2587362Y2 JP2587362Y2 JP1993042728U JP4272893U JP2587362Y2 JP 2587362 Y2 JP2587362 Y2 JP 2587362Y2 JP 1993042728 U JP1993042728 U JP 1993042728U JP 4272893 U JP4272893 U JP 4272893U JP 2587362 Y2 JP2587362 Y2 JP 2587362Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- carrier
- wafer
- positioning mechanism
- leaf springs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、ウエハを収納するウエ
ハキャリアの洗浄装置等に使用されるウエハキャリア位
置決め機構に関する。
ハキャリアの洗浄装置等に使用されるウエハキャリア位
置決め機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハキャリアを自動洗浄するキャリア
洗浄装置では、洗浄槽内の所定位置にウエハキャリアを
位置決めする必要がある。従来の位置決め機構として
は、図１に示すように、洗浄槽の槽底面に載置されたウ
エハキャリア１０の四隅部を、槽底面に設けた４つの位
置決めブロック１１により包囲して係止するものが多用
されている。
洗浄装置では、洗浄槽内の所定位置にウエハキャリアを
位置決めする必要がある。従来の位置決め機構として
は、図１に示すように、洗浄槽の槽底面に載置されたウ
エハキャリア１０の四隅部を、槽底面に設けた４つの位
置決めブロック１１により包囲して係止するものが多用
されている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】このようなウエハキャ
リア位置決め機構は、ウエハキャリアを簡単に着脱でき
る利点がある。また、キャリア材質が、洗浄槽に収容さ
れる洗浄液より比重が大きい石英、テフロン等の場合
は、ウエハキャリアが浮上するおそれもない。しかし、
ウエハキャリアがポリプロピレンのような洗浄液より比
重が小さい材質で形成されている場合は、ウエハキャリ
アの浮き上がりを防止できないという問題がある。
リア位置決め機構は、ウエハキャリアを簡単に着脱でき
る利点がある。また、キャリア材質が、洗浄槽に収容さ
れる洗浄液より比重が大きい石英、テフロン等の場合
は、ウエハキャリアが浮上するおそれもない。しかし、
ウエハキャリアがポリプロピレンのような洗浄液より比
重が小さい材質で形成されている場合は、ウエハキャリ
アの浮き上がりを防止できないという問題がある。
【０００４】本考案の目的は、ウエハキャリアの着脱が
容易で、しかも、その浮上を確実に防止できるウエハキ
ャリア位置決め機構を提供することにある。
容易で、しかも、その浮上を確実に防止できるウエハキ
ャリア位置決め機構を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案のウエハキャリア
位置決め機構は、ウエハキャリアが載置されるキャリア
載置面上にウエハキャリアを位置決めする位置決め機構
において、キャリア載置面上に位置決めされたウエハキ
ャリアをウエハ並列方向両端から挟んで対向する一対の
板バネをキャリア載置面に立設し、各板バネの上端部
に、ウエハキャリアのウエハ並列方向両端に設けられた
端板の上縁部に係合する押さえブロックを取り付けると
共に、対向する板バネの間にウエハキャリアを挿入する
ときに押さえブロックが互いに離反するように押さえブ
ロックの上面を傾斜させ、また、対向する板バネの間か
らウエハキャリアを引き上げるときに押さえブロックが
互いに離反するように押さえブロックの下面を傾斜させ
たことを特徴とする。
位置決め機構は、ウエハキャリアが載置されるキャリア
載置面上にウエハキャリアを位置決めする位置決め機構
において、キャリア載置面上に位置決めされたウエハキ
ャリアをウエハ並列方向両端から挟んで対向する一対の
板バネをキャリア載置面に立設し、各板バネの上端部
に、ウエハキャリアのウエハ並列方向両端に設けられた
端板の上縁部に係合する押さえブロックを取り付けると
共に、対向する板バネの間にウエハキャリアを挿入する
ときに押さえブロックが互いに離反するように押さえブ
ロックの上面を傾斜させ、また、対向する板バネの間か
らウエハキャリアを引き上げるときに押さえブロックが
互いに離反するように押さえブロックの下面を傾斜させ
たことを特徴とする。
【０００６】
【作用】一対の板バネの上端部に連結した押さえブロッ
クがウエハキャリアの上縁部に係合することにより、ウ
エハキャリアがポリプロピレンのような洗浄液より比重
が小さい材質で形成されている場合も、そのウエハキャ
リアの浮き上がりが確実に防止される。また、ウエハキ
ャリアに凹部を設ける必要がなく、改造や設計変更が不
要である。ウエハキャリアをセットするとき、即ち一対
の板バネの間にウエハキャリアを挿入するときも、ウエ
ハキャリアを取り外すとき、即ち一対の板バネの間から
ウエハキャリアを引き上げるときも、一対の板バネが外
側に撓んで押さえブロックの間隔が広がるので、押さえ
ブロックはウエハキャリアの着脱の妨げにならない。板
バネがウエハ並列方向の両端側に設けられ、押さえブロ
ックがウエハキャリアの端板に係合するので、ロボット
によるチャッキング、ウエハキャリアの側板に設けられ
ているウエハ嵌合溝（スリット）を通した液流通、及び
スリットのブラシ洗浄等が阻害されない。ちなみに、ロ
ボットによるチャッキングはウエハキャリアの両側の側
板上縁部に対して行われる。
クがウエハキャリアの上縁部に係合することにより、ウ
エハキャリアがポリプロピレンのような洗浄液より比重
が小さい材質で形成されている場合も、そのウエハキャ
リアの浮き上がりが確実に防止される。また、ウエハキ
ャリアに凹部を設ける必要がなく、改造や設計変更が不
要である。ウエハキャリアをセットするとき、即ち一対
の板バネの間にウエハキャリアを挿入するときも、ウエ
ハキャリアを取り外すとき、即ち一対の板バネの間から
ウエハキャリアを引き上げるときも、一対の板バネが外
側に撓んで押さえブロックの間隔が広がるので、押さえ
ブロックはウエハキャリアの着脱の妨げにならない。板
バネがウエハ並列方向の両端側に設けられ、押さえブロ
ックがウエハキャリアの端板に係合するので、ロボット
によるチャッキング、ウエハキャリアの側板に設けられ
ているウエハ嵌合溝（スリット）を通した液流通、及び
スリットのブラシ洗浄等が阻害されない。ちなみに、ロ
ボットによるチャッキングはウエハキャリアの両側の側
板上縁部に対して行われる。
【０００７】
【実施例】以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明
する。図２は本考案のウエハキャリア位置決め機構の一
例を示す斜視図、図３はそのウエハキャリア位置決め機
構を用いた洗浄槽の縦断面図である。
する。図２は本考案のウエハキャリア位置決め機構の一
例を示す斜視図、図３はそのウエハキャリア位置決め機
構を用いた洗浄槽の縦断面図である。
【０００８】洗浄槽２０は、槽本体２１の中に堰２２を
設け、堰２２の内側の槽底上にウエハキャリア１０を位
置決めする構成となっている。ウエハキャリア１０は、
一対の側板１１，１１の内面に多数の縦溝（スリット）
を設け、その縦溝により、一対の端板１２，１２の間に
多数枚のウエハを並列させて支持するようになってい
る。端板１２，１２の上部は半円形あるいは台形状に切
り欠かれている。
設け、堰２２の内側の槽底上にウエハキャリア１０を位
置決めする構成となっている。ウエハキャリア１０は、
一対の側板１１，１１の内面に多数の縦溝（スリット）
を設け、その縦溝により、一対の端板１２，１２の間に
多数枚のウエハを並列させて支持するようになってい
る。端板１２，１２の上部は半円形あるいは台形状に切
り欠かれている。
【０００９】洗浄液は、槽底に接続した供給管２３から
堰２２の内側に供給され、ウエハキャリア１０の洗浄に
用いられた後、堰２２の外側にオバーフローする。オバ
ーフロー液は槽底に接続した廃液管２４から逐次排出さ
れる。洗浄後には堰２２より内側の洗浄液が、槽底に接
続した廃液管２５から槽外へ排出される。
堰２２の内側に供給され、ウエハキャリア１０の洗浄に
用いられた後、堰２２の外側にオバーフローする。オバ
ーフロー液は槽底に接続した廃液管２４から逐次排出さ
れる。洗浄後には堰２２より内側の洗浄液が、槽底に接
続した廃液管２５から槽外へ排出される。
【００１０】ウエハキャリア位置決め機構３０は、槽底
面の４箇所に突設された位置決めブロック３１を有す
る。４つの位置決めブロック３１は、上方から見てＬ状
に屈曲し、槽底面に載置されたウエハキャリア１０の四
隅部を係止して、ウエハキャリア１０を水平方向に位置
決めする。
面の４箇所に突設された位置決めブロック３１を有す
る。４つの位置決めブロック３１は、上方から見てＬ状
に屈曲し、槽底面に載置されたウエハキャリア１０の四
隅部を係止して、ウエハキャリア１０を水平方向に位置
決めする。
【００１１】両側の位置決めブロック３１，３１間およ
び３１，３１間には、槽底面から上方に延びる板バネ３
２，３２がそれぞれ配設されている。板バネ３２，３２
は槽底上に位置決めされたウエハキャリア１０の端板１
２，１２に若干の隙間をあけてそれぞれ対向し、上端部
は外側に若干折れ曲がっている。板バネ３２，３２の上
端には、ウエハキャリア１０の端板１２，１２の上縁部
に係合する押さえブロック３３，３３がそれぞれ取り付
けられている。
び３１，３１間には、槽底面から上方に延びる板バネ３
２，３２がそれぞれ配設されている。板バネ３２，３２
は槽底上に位置決めされたウエハキャリア１０の端板１
２，１２に若干の隙間をあけてそれぞれ対向し、上端部
は外側に若干折れ曲がっている。板バネ３２，３２の上
端には、ウエハキャリア１０の端板１２，１２の上縁部
に係合する押さえブロック３３，３３がそれぞれ取り付
けられている。
【００１２】ウエハキャリア１０は、板バネ３２，３２
の間に上方から挿入されて、位置決めブロック３１によ
り所定位置に固定される。ウエハキャリア１０を取り出
すときは、そのウエハキャリア１０を板バネ３２，３２
の間から上方へ引き抜く。
の間に上方から挿入されて、位置決めブロック３１によ
り所定位置に固定される。ウエハキャリア１０を取り出
すときは、そのウエハキャリア１０を板バネ３２，３２
の間から上方へ引き抜く。
【００１３】押さえブロック３３，３３の上面３３ａ，
３３ａは、板バネ３２，３２の間にウエハキャリア１０
を挿入するときに、板バネ３２，３２が外側へ撓んで押
さえブロック３３，３３が相反する方向へ移動するよう
に、内側へ向かって下方へ急傾斜したガイド面になって
いる。
３３ａは、板バネ３２，３２の間にウエハキャリア１０
を挿入するときに、板バネ３２，３２が外側へ撓んで押
さえブロック３３，３３が相反する方向へ移動するよう
に、内側へ向かって下方へ急傾斜したガイド面になって
いる。
【００１４】押さえブロック３３，３３の下面３３ｂ，
３３ｂは、位置決め箇所にセットされたウエハキャリア
１０の浮上を阻止し、且つ、そのウエハキャリア１０を
板バネ３２，３２の間から上方へ強制的に引き抜くとき
には、押さえブロック３３，３３が外側へ容易に移動す
るように、内側へ向かって上方へ緩傾斜したガイド面に
なっている。
３３ｂは、位置決め箇所にセットされたウエハキャリア
１０の浮上を阻止し、且つ、そのウエハキャリア１０を
板バネ３２，３２の間から上方へ強制的に引き抜くとき
には、押さえブロック３３，３３が外側へ容易に移動す
るように、内側へ向かって上方へ緩傾斜したガイド面に
なっている。
【００１５】板バネ３２，３２の材質としては、弾性を
有し、腐食しにくいステンレスや樹脂等を用いるのが良
い。また、押さえブロック３３，３３の材質としては、
ウエハキャリア１０を疵付けないように、樹脂等の軟質
材を用いるのが良い。
有し、腐食しにくいステンレスや樹脂等を用いるのが良
い。また、押さえブロック３３，３３の材質としては、
ウエハキャリア１０を疵付けないように、樹脂等の軟質
材を用いるのが良い。
【００１６】このようなウエハキャリア位置決め機構３
０によると、位置決めブロック３１により所定位置に固
定されたウエハキャリア１０が、押さえブロック３３，
３３によって上方から保持されるので、ウエハキャリア
１０の材質が、洗浄槽２０内に導入される洗浄液より小
さい比重の場合も、ウエハキャリア１０の浮き上がりが
防止される。
０によると、位置決めブロック３１により所定位置に固
定されたウエハキャリア１０が、押さえブロック３３，
３３によって上方から保持されるので、ウエハキャリア
１０の材質が、洗浄槽２０内に導入される洗浄液より小
さい比重の場合も、ウエハキャリア１０の浮き上がりが
防止される。
【００１７】また、位置決め箇所にウエハキャリア１０
をセットするときには、ウエハキャリア１０の側板１
１，１１の上端部をロボットハンドでチャックして、そ
のウエハキャリア１０を板バネ３２，３２間に押し込
む。その操作に伴って板バネ３２，３２が外側へ撓んで
押さえブロック３３，３３の間が広がり、ウエハキャリ
ア１０を取り出すときにも、その操作に伴って板バネ３
２，３２が外側へ撓んで押さえブロック３３，３３の間
が広がる。そのため、押さえブロック３３，３３は、ウ
エハキャリア１０の着脱の妨げにならない。従って、従
来どおりの簡単な操作性を維持したまま、ウエハキャリ
ア１０の浮き上がりが防止される。
をセットするときには、ウエハキャリア１０の側板１
１，１１の上端部をロボットハンドでチャックして、そ
のウエハキャリア１０を板バネ３２，３２間に押し込
む。その操作に伴って板バネ３２，３２が外側へ撓んで
押さえブロック３３，３３の間が広がり、ウエハキャリ
ア１０を取り出すときにも、その操作に伴って板バネ３
２，３２が外側へ撓んで押さえブロック３３，３３の間
が広がる。そのため、押さえブロック３３，３３は、ウ
エハキャリア１０の着脱の妨げにならない。従って、従
来どおりの簡単な操作性を維持したまま、ウエハキャリ
ア１０の浮き上がりが防止される。
【００１８】また、ウエハキャリア１０において押さえ
ブロック３３，３３が接触する端板１２，１２の上縁部
は、ウエハが接触しない部分であるので、押さえブロッ
ク３３，３３の接触によってここに若干の汚れが残った
としても、ウエハを汚染する原因にはならない。端板１
２，１２の上縁部は又、ロボットハンドによってチャッ
クされない部分であるので、ロボットハンドとの干渉が
回避される。更に、端板１２，１２の側に板バネ３２，
３２があることにより、側板１１，１１の縦溝（スリッ
ト）を通した液流通や、縦溝（スリット）内のブラシ洗
浄も阻害されない。
ブロック３３，３３が接触する端板１２，１２の上縁部
は、ウエハが接触しない部分であるので、押さえブロッ
ク３３，３３の接触によってここに若干の汚れが残った
としても、ウエハを汚染する原因にはならない。端板１
２，１２の上縁部は又、ロボットハンドによってチャッ
クされない部分であるので、ロボットハンドとの干渉が
回避される。更に、端板１２，１２の側に板バネ３２，
３２があることにより、側板１１，１１の縦溝（スリッ
ト）を通した液流通や、縦溝（スリット）内のブラシ洗
浄も阻害されない。
【００１９】なお、板バネ３２，３２及び押さえブロッ
ク３３，３３は、ウエハキャリア１０の端板１２，１２
の上縁部を押さえるものであれば、２組以上設けること
が可能である。
ク３３，３３は、ウエハキャリア１０の端板１２，１２
の上縁部を押さえるものであれば、２組以上設けること
が可能である。
【００２０】
【考案の効果】以上の説明から明らかなように、本考案
のウエハキャリア位置決め機構は、キャリア載置面上に
位置決めされたウエハキャリアを押さえブロックにより
上方から保持するので、ウエハキャリアの浮き上がりを
防止することができる。また、押さえブロックを板バネ
に取り付け、且つその上下面を傾斜させたことにより、
ウエハキャリアのセットおよび取り外しに伴って押さえ
ブロックがウエハキャリアから自然に外れるので、ウエ
ハキャリアの着脱が容易である。押さえブロックによる
保持位置を端板の上縁部としたので、ウエハキャリアの
改造や設計変更を要しないだけでなく、ロボットによる
チャッキング、ウエハ嵌合溝を通した液流通、及び嵌合
溝のブラシ洗浄等を阻害しない。
のウエハキャリア位置決め機構は、キャリア載置面上に
位置決めされたウエハキャリアを押さえブロックにより
上方から保持するので、ウエハキャリアの浮き上がりを
防止することができる。また、押さえブロックを板バネ
に取り付け、且つその上下面を傾斜させたことにより、
ウエハキャリアのセットおよび取り外しに伴って押さえ
ブロックがウエハキャリアから自然に外れるので、ウエ
ハキャリアの着脱が容易である。押さえブロックによる
保持位置を端板の上縁部としたので、ウエハキャリアの
改造や設計変更を要しないだけでなく、ロボットによる
チャッキング、ウエハ嵌合溝を通した液流通、及び嵌合
溝のブラシ洗浄等を阻害しない。
【図１】従来のウエハキャリア位置決め機構を示す斜視
図である。
図である。
【図２】本考案のウエハキャリア位置決め機構の一例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】本考案のウエハキャリア位置決め機構の使用例
を示す洗浄槽の縦断面図である。
を示す洗浄槽の縦断面図である。
１０ ウエハキャリア ２０ 洗浄槽 ３０ ウエハキャリア位置決め機構 ３１ 位置決めブロック ３２ 板バネ ３３ 押さえブロック ３３ａ 押さえブロック３３の上面 ３３ｂ 押さえブロック３３の下面
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハキャリアが載置されるキャリア載
置面上にウエハキャリアを位置決めする位置決め機構に
おいて、 キャリア載置面上に位置決めされたウエハキャリアをウ
エハ並列方向両端から挟んで対向する一対の板バネをキ
ャリア載置面に立設し、各板バネの上端部に、ウエハキ
ャリアのウエハ並列方向両端に設けられた端板の上縁部
に係合する押さえブロックを取り付けると共に、対向す
る板バネの間にウエハキャリアを挿入するときに押さえ
ブロックが互いに離反するように押さえブロックの上面
を傾斜させ、また、対向する板バネの間からウエハキャ
リアを引き上げるときに押さえブロックが互いに離反す
るように押さえブロックの下面を傾斜させたことを特徴
とするウエハキャリア位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993042728U JP2587362Y2 (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | ウエハキャリア位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993042728U JP2587362Y2 (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | ウエハキャリア位置決め機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0710943U JPH0710943U (ja) | 1995-02-14 |
| JP2587362Y2 true JP2587362Y2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=12644123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993042728U Expired - Lifetime JP2587362Y2 (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | ウエハキャリア位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2587362Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020049671A1 (ja) | 2018-09-06 | 2020-03-12 | 三菱電機株式会社 | キャリアの位置決め部材及びキャリア載置台 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61189025U (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | ||
| JP2771645B2 (ja) * | 1989-11-15 | 1998-07-02 | 株式会社荏原製作所 | ウエハキャリヤの洗浄槽に設けられる位置決め装置 |
| JP3191338B2 (ja) * | 1991-09-18 | 2001-07-23 | セイコーエプソン株式会社 | ウェハ保持器の保持装置 |
-
1993
- 1993-07-07 JP JP1993042728U patent/JP2587362Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0710943U (ja) | 1995-02-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20060044862A (ko) | 박판 지지용기용 덮개 | |
| JP2008156758A (ja) | 基板ホルダ及びめっき装置 | |
| JP3176294B2 (ja) | 半導体ウェーハ用キャリア | |
| US6520191B1 (en) | Carrier for cleaning silicon wafers | |
| JP3623315B2 (ja) | 円形薄板状物の支持治具 | |
| JP2587362Y2 (ja) | ウエハキャリア位置決め機構 | |
| KR100226489B1 (ko) | 웨이퍼 지지 및 이송 기구 | |
| JP2003197595A (ja) | 半導体ウェーハガイド及びこれを備えた半導体湿式洗浄装置 | |
| JPH0837172A (ja) | ウェット処理装置 | |
| JPH03289154A (ja) | 半導体ウエーハチャック装置 | |
| JPH03209822A (ja) | 半導体ウェーハーの薬液処理槽及び自動洗浄処理装置 | |
| JPS62279640A (ja) | ウエハ洗浄装置 | |
| JPH06286869A (ja) | 基板保持具 | |
| KR100843983B1 (ko) | 식각기용 카세트 | |
| JP2872895B2 (ja) | 基板保持カセット | |
| JPS6317248Y2 (ja) | ||
| JPH10199963A (ja) | 搬送具 | |
| KR930010825B1 (ko) | 반도체장치 지지캐리어 | |
| WO2000024041A1 (en) | Carrier for cleaning silicon wafers | |
| JPH0566970U (ja) | 液処理治具 | |
| JP2999064B2 (ja) | ウエット処理装置 | |
| JPH03153029A (ja) | 半導体ウェーハー薬液処理槽及び自動洗浄処理装置 | |
| JP2000164689A (ja) | 基板保持具および基板処理装置 | |
| KR20230150110A (ko) | 웨이퍼 지지장치 | |
| JPH11135606A (ja) | ウエハ洗浄用のウエハキャリア |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071016 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081016 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081016 Year of fee payment: 10 |