JPH0710943U - ウエハキャリア位置決め機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 洗浄槽２０内に位置決めされたウエハキャリ
ア１０の浮き上がりを防ぐ。ウエハキャリア１０の着脱
操作を複雑にしない。 【構成】 位置決めされたウエハキャリア１０を挟んで
対向する一対の板バネ３２，３２を設ける。板バネ３
２，３２の上端に、ウエハキャリア１０の上縁部に係合
する押さえブロック３３，３３を取り付ける。ウエハキ
ャリア１０を着脱するときに、押さえブロック３３，３
３の間隔が広がるように、それぞれの上面３３ａおよび
下面３３ｂを傾斜させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエハを収納するウエハキャリアの洗浄装置等に使用されるウエハ キャリア位置決め機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハキャリアを自動洗浄するキャリア洗浄装置では、洗浄槽内の所定位置に ウエハキャリアを位置決めする必要がある。従来の位置決め機構としては、図１ に示すように、洗浄槽の槽底面に載置されたウエハキャリア１０の四隅部を、槽 底面に設けた４つの位置決めブロック１１により包囲して係止するものが多用さ れている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

このようなウエハキャリア位置決め機構は、ウエハキャリアを簡単に着脱でき る利点がある。また、キャリア材質が、洗浄槽に収容される洗浄液より比重が大 きい石英、テフロン等の場合は、ウエハキャリアが浮上するおそれもない。しか し、ウエハキャリアがポリプロピレンのような洗浄液より比重が小さい材質で形 成されている場合は、ウエハキャリアの浮き上がりを防止できないという問題が ある。

【０００４】 本考案の目的は、ウエハキャリアの着脱が容易で、しかも、その浮上を確実に 防止できるウエハキャリア位置決め機構を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案のウエハキャリア位置決め機構は、ウエハキャリアが載置されるキャリ ア載置面上にウエハキャリアを位置決めする位置決め機構において、 キャリア載置面上に位置決めされたウエハキャリアを挟んで対向する少なくと も一対の板バネをキャリア載置面に立設し、各板バネの上端部に、ウエハキャリ アの上縁部に係合する押さえブロックを取り付けると共に、対向する板バネの間 にウエハキャリアを挿入するときに押さえブロックが互いに離反するように押さ えブロックの上面を傾斜させ、また、対向する板バネの間からウエハキャリアを 引き上げるときに押さえブロックから互いに離反するように押さえブロックの下 面を傾斜させたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】

一対の板バネの上端部に連結した押さえブロックがウエハキャリアの上縁部に 係合することにより、ウエハキャリアの浮き上がりが防止される。ウエハキャリ アをセットするとき、即ち一対の板バネの間にウエハキャリアを挿入するときも 、ウエハキャリアを取り外すとき、即ち一対の板バネの間からウエハキャリアを 引き上げるときも、一対の板バネが外側に撓んで押さえブロックの間隔が広がる ので、押さえブロックはウエハキャリアの着脱の妨げにならない。

【０００７】

【実施例】

以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図２は本考案のウエハキャ リア位置決め機構の一例を示す斜視図、図３はそのウエハキャリア位置決め機構 を用いた洗浄槽の縦断面図である。

【０００８】 洗浄槽２０は、槽本体２１の中に堰２２を設け、堰２２の内側の槽底上にウエ ハキャリア１０を位置決めする構成となっている。ウエハキャリア１０は、一対 の側板１１，１１の内面に多数の縦溝を設け、その縦溝により、一対の端板１２ ，１２の間に多数枚のウエハを並列させて支持するようになっている。端板１２ ，１２の上部は半円形あるいは台形状に切り欠かれている。

【０００９】 洗浄液は、槽底に接続した供給管２３から堰２２の内側に供給され、ウエハキ ャリア１０の洗浄に用いられた後、堰２２の外側にオバーフローする。オバーフ ロー液は槽底に接続した廃液管２４から逐次排出される。洗浄後には堰２２より 内側の洗浄液が、槽底に接続した廃液管２５から槽外へ排出される。

【００１０】 ウエハキャリア位置決め機構３０は、槽底面の４箇所に突設された位置決めブ ロック３１を有する。４つの位置決めブロック３１は、上方から見てＬ状に屈曲 し、槽底面に載置されたウエハキャリア１０の四隅部を係止して、ウエハキャリ ア１０を水平方向に位置決めする。

【００１１】 両側の位置決めブロック３１，３１間および３１，３１間には、槽底面から上 方に延びる板バネ３２，３２がそれぞれ配設されている。板バネ３２，３２は槽 底上に位置決めされたウエハキャリア１０の端板１２，１２に若干の隙間をあけ てそれぞれ対向し、上端部は外側に若干折れ曲がっている。板バネ３２，３２の 上端には、ウエハキャリア１０の端板１２，１２の上縁部に係合する押さえブロ ック３３，３３がそれぞれ取り付けられている。

【００１２】 ウエハキャリア１０は、板バネ３２，３２の間に上方から挿入されて、位置決 めブロック３１により所定位置に固定される。ウエハキャリア１０を取り出すと きは、そのウエハキャリア１０を板バネ３２，３２の間から上方へ引き抜く。

【００１３】 押さえブロック３３，３３の上面３３ａ，３３ａは、板バネ３２，３２の間に ウエハキャリア１０を挿入するときに、板バネ３２，３２が外側へ撓んで押さえ ブロック３３，３３が相反する方向へ移動するように、内側へ向かって下方へ急 傾斜したガイド面になっている。

【００１４】 押さえブロック３３，３３の下面３３ｂ，３３ｂは、位置決め箇所にセットさ れたウエハキャリア１０の浮上を阻止し、且つ、そのウエハキャリア１０を板バ ネ３２，３２の間から上方へ強制的に引き抜くときには、押さえブロック３３， ３３が外側へ容易に移動するように、内側へ向かって上方へ緩傾斜したガイド面 になっている。

【００１５】 板バネ３２，３２の材質としては、弾性を有し、腐食しにくいステンレスや樹 脂等を用いるのが良い。また、押さえブロック３３，３３の材質としては、ウエ ハキャリア１０を疵付けないように、樹脂等の軟質材を用いるのが良い。

【００１６】 このようなウエハキャリア位置決め機構３０によると、位置決めブロック３１ により所定位置に固定されたウエハキャリア１０が、押さえブロック３３，３３ によって上方から保持されるので、ウエハキャリア１０の材質が、洗浄槽２０内 に導入される洗浄液より小さい比重の場合も、ウエハキャリア１０の浮き上がり が防止される。

【００１７】 また、位置決め箇所にウエハキャリア１０をセットするときには、その操作に 伴って板バネ３２，３２が外側へ撓んで押さえブロック３３，３３の間が広がり 、ウエハキャリア１０を取り出すときにも、その操作に伴って板バネ３２，３２ が外側へ撓んで押さえブロック３３，３３の間が広がる。そのため、押さえブロ ック３３，３３は、ウエハキャリア１０の着脱の妨げにならない。従って、従来 どおりの簡単な操作性を維持したまま、ウエハキャリア１０の浮き上がりが防止 される。

【００１８】 また、ウエハキャリア１０において押さえブロック３３，３３が接触する端板 １２，１２の上縁部は、ウエハが接触しない部分であるので、押さえブロック３ ３，３３の接触によってここに若干の汚れが残ったとしても、ウエハを汚染する 原因にはならない。

【００１９】 なお、上記実施例では、ウエハキャリア１０の端板１２，１２の上縁部を押さ えるようにしているが、洗浄必要箇所以外ならば他の場所を押さえてもよく、そ の数についても２箇所に限らず、３箇所以上を押さえるようにしてもよい。すな わち、板バネおよび押さえブロックは３組以上設けることが可能である。

【００２０】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案のウエハキャリア位置決め機構は、キ ャリア載置面上に位置決めされたウエハキャリアを押さえブロックにより上方か ら保持するので、ウエハキャリアの浮き上がりを防止することができる。また、 押さえブロックを板バネに取り付け、且つその上下面を傾斜させたことにより、 ウエハキャリアのセットおよび取り外しに伴って押さえブロックがウエハキャリ アから自然に外れるので、ウエハキャリアの着脱が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のウエハキャリア位置決め機構を示す斜視
図である。

【図２】本考案のウエハキャリア位置決め機構の一例を
示す斜視図である。

【図３】本考案のウエハキャリア位置決め機構の使用例
を示す洗浄槽の縦断面図である。

【符号の説明】

１０ ウエハキャリア ２０ 洗浄槽 ３０ ウエハキャリア位置決め機構 ３１ 位置決めブロック ３２ 板バネ ３３ 押さえブロック ３３ａ 押さえブロック３３の上面 ３３ｂ 押さえブロック３３の下面

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハキャリアが載置されるキャリア載
   置面上にウエハキャリアを位置決めする位置決め機構に
   おいて、 キャリア載置面上に位置決めされたウエハキャリアを挟
   んで対向する少なくとも一対の板バネをキャリア載置面
   に立設し、各板バネの上端部に、ウエハキャリアの上縁
   部に係合する押さえブロックを取り付けると共に、対向
   する板バネの間にウエハキャリアを挿入するときに押さ
   えブロックが互いに離反するように押さえブロックの上
   面を傾斜させ、また、対向する板バネの間からウエハキ
   ャリアを引き上げるときに押さえブロックから互いに離
   反するように押さえブロックの下面を傾斜させたことを
   特徴とするウエハキャリア位置決め機構。