JP2504119Y2 - ウェ―ハキャリア - Google Patents

ウェ―ハキャリア

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JP2504119Y2
JP2504119Y2 JP7246190U JP7246190U JP2504119Y2 JP 2504119 Y2 JP2504119 Y2 JP 2504119Y2 JP 7246190 U JP7246190 U JP 7246190U JP 7246190 U JP7246190 U JP 7246190U JP 2504119 Y2 JP2504119 Y2 JP 2504119Y2
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JP
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wafer
wafer carrier
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plates
holding
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郁夫 上柿
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Fujitsu Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 複数枚のウェーハを収納保持して処理装置・試験装置
等のウェーハ自動受け渡し等に使用するウェーハキャリ
アに関し、 正規の寸法・形状のウェーハ以外に、異形ウェーハを
収納することが可能なウェーハキャリアを提供すること
を目的とし、 ［１］対向する二枚の側板11,12間に複数枚の保持板13
が略水平且つ等間隔に架設されており、該保持板13の上
面は双方の側板11,12側から中央に向けて下方に傾斜し
ているように構成する。
［２］前記［１］において保持板13の下面は双方の側板
11,12側から中央に向けて上方に傾斜しているように構
成する。
〔産業上の利用分野〕
本考案は、複数枚のウェーハを収納保持して処理装置
・試験装置等のウェーハ自動受け渡し等に使用するウェ
ーハキャリアに関する。
〔従来の技術〕
従来のウェーハキャリアは、第３図にその一部を示し
たように、通常、二枚の側板31、32が所定の間隔で対向
しており（図示はないが、連結棒、連結板等で固定され
ている）、両側板31、32の内側にはそれぞれ複数の溝31
A、32Aが水平方向に等間隔で設けられている。この溝31
A、32Aにウェーハ１を挿入してその周縁部裏面で支持す
る。
〔考案が解決しようとする課題〕
ところがこのような従来のウェーハキャリアでは、異
形ウェーハ（正規の寸法のウェーハの一部がハンドリン
グ中の破損やモニタチップ取得のための切除等によって
欠如しているもの）は落下してしまい、正規の寸法・形
状のウェーハしか保持出来ない、という問題があった。
本考案は、このような問題を解決し、正規の寸法・形
状のウェーハ以外に、異形ウェーハを収納することが可
能なウェーハキャリアを提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この目的は、本考案によれば、［１］対向する二枚の
側板11,12間に複数枚の保持板13が略水平且つ等間隔に
架設されており、該保持板13の上面は双方の側板11,12
側から中央に向けて下方に傾斜していることを特徴とす
るウェーハキャリアとすることで、［２］前記［１］に
おいて保持板13の下面は双方の側板11,12側から中央に
向けて上方に傾斜しているようにすることで、達成され
る。
〔作用〕
ウェーハを溝ではなく板で保持するため、正規の寸法
・形状のウェーハ以外に、正規の寸法に満たない異形ウ
ェーハを収納することが可能となる。しかもその板の上
面が左右の側板側から中央に向けて下方に傾斜した形と
なっているため、ウェーハの裏面全面がこの板に接触す
ることなく、周縁の一部しか接触しないため、塵埃付着
の可能性を増すことはない。更に下面についても左右の
側板側から中央に向けて上方に傾斜した形にしておけ
ば、ウェーハを収納したこのウェーハキャリアを一時的
にウェーハが垂直になる姿勢にしても、ウェーハ表面に
傷が着くことはない。
〔実施例〕
本考案に基づくウェーハキャリアの一実施例を第１図
及び第２図を参照しながら説明する。第１図は本考案の
ウェーハキャリアの斜視図であり、第２図は本考案のウ
ェーハキャリアのウェーハ保持方法を示す図である。図
中、11及び12は側板であり、両者は上下に固着した連結
棒14により所定の間隔で対向している。13は保持板であ
り、複数枚（例えば26枚）が等間隔で水平に配設されて
いる（左右両縁が側板11、12に固着されている）。この
保持板13は第２図（ａ）から明らかなように上下面共に
僅かに傾斜して、側板11,12側が厚く、中央部が薄くな
っている。但し、中央部分は斜面でなくてもよい。又、
保持板13には切り込み13A及び13Bが設けられている。前
者はウェーハ受け渡し機構の逃げであり、後者はウェー
ハ有無検知のための逃げである。15はストッパである。
このウェーハキャリアには、ウェーハは切り込み13A
側から出し入れするが、ウェーハを収納した状態で保管
する際等には、ストッパ15側を下にしてウェーハを直立
させてもよい。
本考案は以上の実施例に限定されることなく、更に種
々変形して実施出来る。例えば、ウェーハを直立させる
ことがない用途の場合には、保持板13の下面に傾斜を付
ける必要はない。
〔考案の効果〕
以上説明したように、本考案によれば、正規の寸法・
形状のウェーハ以外に、異形ウェーハを収納することが
可能なウェーハキャリアを提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のウェーハキャリアの斜視図、 第２図は本考案のウェーハキャリアのウェーハ保持方法
を示す図、 第３図は従来のウェーハキャリアのウェーハ保持方法を
示す部分断面図、である。 図中、１は通常ウェーハ、２は異形ウェーハ、11,12,3
1,32は側板、13は保持板、31A,32Aは溝、である。

Claims (2)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】対向する二枚の側板（11,12）間に複数枚
    の保持板（13）が略水平且つ等間隔に架設されており、 該保持板（13）の上面は双方の側板（11,12）側から中
    央に向けて下方に傾斜していることを特徴とするウェー
    ハキャリア。
  2. 【請求項２】前記保持板（13）の下面は双方の側板（1
    1,12）側から中央に向けて上方に傾斜していることを特
    徴とする請求項１記載のウェーハキャリア。
JP7246190U 1990-07-06 1990-07-06 ウェ―ハキャリア Expired - Lifetime JP2504119Y2 (ja)

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JPH0430740U JPH0430740U (ja) 1992-03-12
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JP2003086667A (ja) * 2001-09-12 2003-03-20 Takatori Corp 薄厚ウェーハ用カセット及び吸着ハンド

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JPH0430740U (ja) 1992-03-12

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