JPH05112378A - 半導体基板収納箱 - Google Patents

半導体基板収納箱

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Publication number
JPH05112378A
JPH05112378A JP26808191A JP26808191A JPH05112378A JP H05112378 A JPH05112378 A JP H05112378A JP 26808191 A JP26808191 A JP 26808191A JP 26808191 A JP26808191 A JP 26808191A JP H05112378 A JPH05112378 A JP H05112378A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor substrate
storage box
plate
box
housing box
Prior art date
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Pending
Application number
JP26808191A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoto Tashiro
直登 田代
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
Priority to JP26808191A priority Critical patent/JPH05112378A/ja
Publication of JPH05112378A publication Critical patent/JPH05112378A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体基板を収納した半導体基板収納箱を傾け
た場合に、半導体基板が半導体基板収納箱からすべり落
ちて破壊するのを防ぐ。 【構成】板状の突起５の上面に凹部９を設け、半導体基
板収納時は凹部７の接触面１０で半導体基板と接触す
る。段差面２は、半導体基板のすべりによる移動の範囲
を限定するストッパーの働きをし、半導体基板が移動し
てもこの段差面２に当たって半導体基板収納箱外に出な
い。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェハ等の半導体基板
を収納する半導体基板収納箱に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２に半導体基板収納箱７の斜視図を示
す。半導体基板３（ウェハ）は、搬送手段により半導体
基板移動方向６に移動し、収納されたり取り出されたり
する。半導体基板収納箱７の内壁には半導体基板移動方
向６の両側に板状の突起が多数設けられた半導体基板保
持部４によって半導体基板３の両端部が各突起の板の上
面に乗って保持される。従来の半導体基板保持部４の一
部を拡大した詳細を図３に示す。収納箱７の壁８から３
つの板状の突起５が水平に形成されていて、半導体基板
３は突起５の上面との自重による摩擦により移動しない
で乗っているだけである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体基板
収納箱の基板保持部４は、半導体基板３を突起５の板の
上面に乗せているだけなため、半導体基板収納箱７に振
動や衝撃が外部より加わった場合、半導体基板３が容易
に半導体基板収納箱の突起５の上面からすべり出てしま
い落下して破壊するという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体基板収納
箱は、板状の突起５の上面に半導体基板の縁部が入る凹
部を設けてあり、半導体基板が移動しても凹部の側面の
段差面２に基板の縁部の側面が当たって移動が止まり、
基板が収納箱外へ出ない構成になっている。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の半導体基板保持部４の詳
細図である。この半導体基板保持部４には、凹部９とそ
の側壁の段差面２が設けられており、半導体基板収納時
は凹部９の低い側の面で半導体基板の縁部を保持する
（基板との接触面１０の一例を斜線にて示す）。段差面
２により半導体基板のすべりの範囲が限定されるので、
ストッパーの働きを生じさせている。段差面２の高さの
寸法は、０．３ｍｍ以上あると顕著な効果を得ることが
できる。なお、正常な半導体基板（ウェハ）の取り出し
と収納では、従来より、基板縁部と突起の摩擦によるゴ
ミの発生を防ぐため、基板３を突起と突起の間の所定の
空間へ垂直に移動して離した後に、水平方向（つまり半
導体基板移動方向６）に移動していたので、この垂直方
向への移動を段差面２の高さ以上にしておけばよいだけ
である。
【０００６】なお凹部は、従来の板状の突起５を凹部９
内だけ除去する加工を施しても良いし、逆に段差面を側
面とする板をはり付けて形成してもよい。またはり付け
る板の形状は、半導体基板がすべり出ない機能を有する
限り、自由な形状で良い。（板状の突起５は、ガイド板
と呼ばれることもある。）
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体基
板保持部の板状の突起に凹部を設けたので、半導体基板
が傾いた半導体基板収納箱からすべり出ることを防げる
という効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の半導体基板保持部の部分詳
細図である。
【図２】半導体基板収納箱の斜視図である。
【図３】従来の半導体基板保持部の部分詳細図である。
【符号の説明】
１ 本発明の半導体基板保持部 ２ 段差面 ３ 半導体基板 ４ 半導体基板保持部 ５ 突起 ６ 半導体基板移動方向 ７ 半導体基板収納箱 ８ 壁 ９ 凹部 １０ 接触面

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体基板保持部に段差を設けた事を特
    徴とする半導体基板収納箱。
  2. 【請求項２】 半導体基板保持部の複数の板状の突起の
    上面に凹部を設けたことを特徴とする半導体基板収納
    箱。
JP26808191A 1991-10-17 1991-10-17 半導体基板収納箱 Pending JPH05112378A (ja)

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JP26808191A JPH05112378A (ja) 1991-10-17 1991-10-17 半導体基板収納箱

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JPH05112378A true JPH05112378A (ja) 1993-05-07

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040011995A (ko) * 2002-07-31 2004-02-11 삼성전자주식회사 200 ㎜ 및 300 ㎜ 웨이퍼 겸용 웨이퍼 캐리어
JP2013089845A (ja) * 2011-10-20 2013-05-13 Disco Abrasive Syst Ltd ウエーハカセット

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6054634A (ja) * 1983-01-21 1985-03-29 Urahoro Furiizudorai Kk 毛ガニの真空凍結乾燥の乾燥時間短縮と復元時間短縮の

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6054634A (ja) * 1983-01-21 1985-03-29 Urahoro Furiizudorai Kk 毛ガニの真空凍結乾燥の乾燥時間短縮と復元時間短縮の

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19970826