KR200266736Y1 - 웨이퍼 카세트 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 카세트를 제공한다. 본 발명은 대략 직육면체를 이루며 전방부가 개방된 중공의 본체와, 상기 본체의 좌, 우 양 내측면에 수평 돌출하며 수직 방향으로 일정 간격을 두고 배열된 가이드부를 갖는다. 또한, 웨이퍼 지지부가 상기 본체의 후면부에서 상기 전방부를 향해 상기 가이드부와 수평으로 돌출한다.

따라서, 본 고안은 상기 웨이퍼 카세트의 각 슬롯 내의 웨이퍼의 중앙부가 상기 웨이퍼 지지부에 의해 지지되고, 가장자리부가 가이드부에 의해 지지되므로 상기 웨이퍼의 대구경화가 진행되더라도 상기 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼가 하향 휨 현상을 일으키지 않는다. 그 결과, 로봇암과 같은 웨이퍼 이송장치가 상기 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼를 외부로 이송시키기 위해 상기 웨이퍼 카세트로 진입하더라도 상기 웨이퍼와의 충돌을 일으키지 않고 나아가 상기 웨이퍼의 파손을 방지할 수가 있다.

Description

웨이퍼 카세트{Wafer Cassette}

본 고안은 웨이퍼 카세트(Wafer Cassette)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 대구경화가 진행되더라도 웨이퍼를 하향 휨을 일으키지 않고 수평으로 지지하도록 한 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.

일반적으로 각종 반도체소자가 형성되는 웨이퍼는 운반, 보관 및 공정 진행동안에 시종일관 최고의 물리적, 화학적 상태가 유지되어야 한다. 만약, 상기 웨이퍼가 제한량 이상의 먼지나 기타 오염물에 노출되면, 상기 반도체소자의 불량율이높아진다. 따라서, 반도체 제조현장에서는 상기 웨이퍼를 운반, 보관, 공정 진행동안에 상기 웨이퍼의 보호를 위해 별도의 웨이퍼 관리장치로서 상기 웨이퍼를 넣어두기 위한 웨이퍼 카세트가 사용되어 왔다.

상기 웨이퍼 카세트는 본체의 전방에 개폐용 도아가 없는 타입과, 본체의 전방에 개폐용 도아가 있는 FOUP(Front Opening Unified Pod) 타입으로 구분된다. 최근에 들어, 상기 웨이퍼 카세트는 상기 웨이퍼의 대구경화가 진행됨에 따라 상기 웨이퍼를 수납할 수 있도록 대형화되는 추세에 있다. 상기 웨이퍼 카세트는 본체의 전방에 개폐용 도아가 없는 타입과, 본체의 전방에 개폐용 도아가 있는 FOUP(Front Opening Unified Pod) 타입으로 구분된다.

종래의 웨이퍼 카세트(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 대략 직육면체를 이루며 전방부가 개방된 중공의 본체(11)로 이루어진다. 상기 본체(11)의 좌, 우 양 내측면에 웨이퍼(1)를 한 장씩 수납하기 위한 공간인 슬롯들(13)을 구분함과 아울러 상기 슬롯들(13) 내에서 상기 웨이퍼(1)의 수평 이동을 가이드시켜주는 가이드부(15)가 좌, 우 대향하여 수평 돌출하면서 수직 방향을 따라 일정 간격을 두고 배열된다. 상기 본체(11)의 외측 상부면에 상기 웨이퍼 카세트(10)를 작업자의 손에 의해 잡을 수 있는 손잡이부(17)가 상향 돌출한다. 상기 본체(11)의 외측 하부면에 받침대(19)가 하향 돌출한다.

이와 같이 구성된 종래의 웨이퍼 카세트의 경우, 상기 본체(11)가 완전한 중공 상태이므로 상기 웨이퍼(1)의 가장자리부만이 좌, 우 양측의 대향하는 가이드부(15)에 의해 지지되지만, 상기 웨이퍼(1)의 하면 중앙부가 전혀 지지되지않았다.

그런데, 상기 웨이퍼(1)의 대구경화가 6, 8인치까지 진행되었을 때는 상기 웨이퍼(1)가 아래로 휘어지는 현상이 발생하지 않았다.

그러나, 상기 웨이퍼(1)의 대구경화가 12인치까지 진행됨에 따라 상기 웨이퍼(1)의 중량이 증가하므로 도 2의 점선으로 도시된 바와 같이, 상기 웨이퍼(1)의 하향 휨 현상이 다발한다. 더욱이, 후속의 패키징공정에서 웨이퍼의 두께를 얇게 하기 위한 후면 연마공정이 실시되고 나면, 상기 웨이퍼(1)의 하향 휨 현상이 더욱 심해진다.

이로써, 로봇암과 같은 웨이퍼 이송장치가 상기 웨이퍼 카세트(10) 내의 웨이퍼(1)를 상기 웨이퍼 카세트(10)의 외부로 이송시키기 위해 상기 웨이퍼(1)를 향해 수평으로 진입할 때, 상기 로봇암이 상기 하향 휨 현상을 일으킨 웨이퍼(1)와의 충돌을 일으키기가 쉽다. 그 결과, 상기 웨이퍼(1)의 파손이 다발한다. 나아가 상기 웨이퍼(1)의 파손에 따른 원가 부담이 상승한다.

따라서, 본 고안의 목적은 웨이퍼의 대구경화가 진행되더라도 웨이퍼의 하향 휨을 방지하면서 지지하도록 한 웨이퍼 카세트를 제공하는데 있다.

본 고안의 다른 목적은 웨이퍼의 이송시 로봇암과 웨이퍼와의 충돌을 방지하여 웨이퍼 파손을 방지하도록 한 웨이퍼 카세트를 제공하는데 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트(Wafer Cassette)를 나타낸 사시도.

도 2는 종래의 웨이퍼 카세트의 구조 및 웨이퍼의 하향 휨 현상을 나타낸 요부 단면도.

도 3은 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트를 나타낸 사시도.

도 4는 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트의 단면 구조를 나타낸 요부 단면도.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트는

전방부가 개방된 중공의 본체;

상기 본체의 좌, 우 양 내측면에 대향하며 수평 돌출 형성되어, 웨이퍼를 한 장씩 수납하기 위한 슬롯을 구분하며 상기 슬롯에서 상기 웨이퍼의 수평 이동을 가이드시켜주는 가이드부; 및

상기 본체의 후면부에서 상기 전방부를 향해 수평 돌출되어, 상기 웨이퍼의 하면부를 지지함으로써 상기 웨이퍼의 하향 휨을 방지하는 웨이퍼 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는 상기 웨이퍼 지지부가 상기 가이드부와 수평을 이루며 일자형으로 형성될 수 있다.

이하, 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 종래의 부분과 동일 구성 및 동일 작용의 부분에는 동일 부호를 부여한다.

도 3은 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트를 나타낸 요부 단면도이다.

도 3을 참조하면, 본 고안의 웨이퍼 카세트(20)는 대략 직육면체를 이루며 전방부가 개방된 중공의 본체(11)로 이루어진다. 상기 본체(11)의 좌, 우 양 내측면에 가이드부(15)가 좌, 우 대향하여 수평 돌출하면서 수직 방향을 따라 일정 간격을 두고 복수개 배열된다. 상기 가이드부(15)는 웨이퍼(1)를 한 장씩 수납하기 위한 공간인 슬롯들(13)을 각각 구분함과 아울러 상기 슬롯들(13)에서 상기 웨이퍼(1)의 수평 이동을 가이드시켜준다. 상기 본체(11)의 외측 상부면에 상기 웨이퍼 카세트(10)를 작업자의 손에 의해 잡을 수 있는 손잡이부(17)가 상향 돌출한다. 상기 본체(11)의 외측 하부면에 받침대(19)가 하향 돌출한다.

또한, 상기 웨이퍼 카세트(20)의 웨이퍼 지지부(21)가 상기 본체(11)의 후면부에서부터 상기 전방부를 향해 돌출하고, 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 가이드부(15)와 수평을 이루며, 해당 슬롯들(13) 내의 웨이퍼(1)의 하면 중앙부를 지지한다. 이때, 상기 웨이퍼 지지부(21)는 웨이퍼(1)를 수평으로 유지시키기 위해 일정 두께를 갖고 있어야 하되 가능한 한 얇은 것이 바람직하다.

한편, 상기 웨이퍼 카세트(20)의 각 부분은 일체로 연결된다. 또한, 상기 웨이퍼 카세트(20)는 통상 내화학성 및 절연성 재질의 고분자 재질로 구성되거나 내화학성 금속재질로 구성된다.

이와 같이 구성되는 본 고안의 웨이퍼 카세트의 경우, 해당 슬롯(13) 내의 웨이퍼(1)의 가장자리부가 좌, 우 양측의 대향하는 가이드부(15)에 의해 지지된다. 더욱이, 상기 웨이퍼(1)의 하면 중앙부가 상기 웨이퍼 지지부(21)에 의해 지지된다. 따라서, 상기 웨이퍼(1)가 8인치에서 12인치의 직경으로 대구경화되더라도 상기 웨이퍼(1)의 자체 중량에 의한 웨이퍼(1)의 하향 휨 현상이 발생하지 않는다. 뿐만 아니라, 상기 웨이퍼(1)의 각 칩을 패키징하기 위한 공정을 진행하기 위해 상기 웨이퍼(1)의 후면을 연마함으로써 상기 웨이퍼(1)가 300∼750μm의 얇은 두께로 되더라도 상기 웨이퍼(1)의 하향 휨 현상이 발생하지 않는다. 따라서, 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼 카세트(20)에서 항상 수평 상태를 유지한다.

따라서, 로봇암과 같은 웨이퍼 이송장치가 상기 웨이퍼 카세트(20) 내의 웨이퍼(1)를 상기 웨이퍼 카세트(20)의 외부로 이송시키기 위해 상기 웨이퍼(1)를 향해 수평으로 상기 웨이퍼 카세트(20)로 진입할 때, 상기 로봇암과 상기 웨이퍼(1)의 충돌이 일어나지 않는다. 그러므로, 상기 웨이퍼(1)의 파손이 방지되고, 나아가 상기 웨이퍼(1)의 파손에 따른 원가 부담의 상승이 억제될 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트는 대략 직육면체를 이루며 전방부가 개방된 중공의 본체와, 상기 본체의 좌, 우 양 내측면에 수평 돌출하며 수직 방향으로 일정 간격을 두고 배열된 가이드부를 갖는다. 또한, 웨이퍼 지지부가 상기 본체의 후면부에서 상기 전방부를 향해 상기 가이드부와 수평으로 돌출한다.

따라서, 본 고안은 상기 웨이퍼 카세트의 각 슬롯 내의 웨이퍼의 중앙부가 상기 웨이퍼 지지부에 의해 지지되고, 상기 웨이퍼의 가장자리부가 상기 가이드부에 의해 지지되므로 상기 웨이퍼의 대구경화가 진행되더라도 상기 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼가 하향 휨 현상을 일으키지 않는다. 따라서, 로봇암과 같은 웨이퍼 이송장치가 상기 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼를 외부로 이송시키기 위해 상기 웨이퍼카세트로 진입하더라도 상기 웨이퍼와의 충돌을 일으키지 않고 나아가 상기 웨이퍼의 파손을 방지할 수가 있다.

한편, 본 고안은 도시된 도면과 상세한 설명에 기술된 내용에 한정하지 않으며 본 고안의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 변형도 가능함은 이 분야에 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 사실이다.

Claims (3)

1. 전방부가 개방된 중공의 본체;

   상기 본체의 좌, 우 양 내측면에 대향하며 수평 돌출 형성되어, 웨이퍼를 한 장씩 수납하기 위한 슬롯을 구분하며 상기 슬롯에서 상기 웨이퍼의 수평 이동을 가이드시켜주는 가이드부; 및

   상기 본체의 후면부에서 상기 전방부를 향해 수평 돌출되어, 상기 웨이퍼의 하면부를 지지함으로써 상기 웨이퍼의 하향 휨을 방지하는 웨이퍼 지지부를 포함하는 웨이퍼 카세트.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지부가 상기 가이드부와 수평을 이루는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지부가 일자형으로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.