KR100772845B1 - 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치 - Google Patents

반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 양방향 사용가능한 웨이퍼 수납장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 웨이퍼 수납장치에 의하면, 웨이퍼가 수납되는 풉 본체부의 개구 프레임 상단 및 하단에 각각 도어 로킹홈을 형성하고, 풉 본체부를 들어올릴수 있도록 하는 홀딩부 및 로드포트에 풉 본체부를 고정시킬 수 있도록 하는 핀 홀을 풉 본체부의 상면 및 하면에 각각 형성하고, 슬롯 가이드의 위치를 나타내는 슬롯 표시부를 형성하며, 상기 풉 본체부를 밀폐하기 위한 풉 도어부에는 상기 도어 로킹홈과 결합되는 도어 로킹부를 상하 방향으로 작동시키기 위한 키 조립체를 좌측 또는 우측으로 회전가능하도록 형성함을 특징으로 한다. 상기와 같은 구조로 웨이퍼 수납장치를 구현함으로써, 상하 방향에 구애받지 않고 로드포트에 웨이퍼 수납장치를 용이하게 탑재시킬 수 있게 된다.
반도체, 웨이퍼, 풉, 로드포트

Description

반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치{wafer loading equipment in semiconductor device manufacturing apparatus}
도 1은 통상의 로드포트에 풉이 탑재된 상태를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 제조된 풉의 사시구조를 나타낸다.
도 3은 본 발명에 따른 풉의 투영 사시 구조를 나타낸다.
도 4a 내지 4c는 본 발명에 따른 풉의 도어부 정면 구조를 나타낸다.
도 5는 본 발명에 따른 풉 본체부의 개구 프레임 구조를 나타낸다.
도 6은 본 발명에 따른 풉의 후면 구조를 나타낸다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 풉 102: 풉 본체부
104: 풉 도어부 106: 슬롯 가이드
108: 개구 프레임 110a: 제1도어 로킹홈
110b: 제2도어 로킹홈 112a: 제1홀딩부
112b: 제2홀딩부 114a: 제1핀 홀
114b: 제2핀 홀 116a: 제1도어 로킹부
116b: 제2도어 로킹부 118: 키 조립체
120a: 제1슬롯 표시부 120b: 제2슬롯 표시부
본 발명은 반도체 디바이스 제조설비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 수납장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스는 웨이퍼 표면 상부에 절연막 또는 도전막등의 여러 물질막을 증착한 뒤, 이를 패터닝하여 다양한 회로 기하구조를 형성함으로써 제조하게 된다. 이러한 반도체 디바이스를 제조하기 위한 단위 공정은, 크게 반도체 내부로 3B족(예컨대, B) 또는 5B(예컨대, P 또는 As)족의 불순물 이온을 주입하는 불순물 이온주입 공정, 반도체 기판 상에 절연성 또는 도전성의 물질막을 형성하는 박막 증착(deposition)공정, 상기 박막 증착 공정을 통해 형성된 물질막을 소정의 패턴으로 형성하는 식각 공정, 그리고 웨이퍼 상부에 층간절연막등을 증착한 후에 일괄적으로 웨이퍼 표면을 연마하여 단차를 없애는 평탄화(CMP:Chemical Mechanical Polishing) 공정을 비롯하여 웨이퍼 및 프로세스 챔버 내부의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정등과 같은 여러 단위 공정들로 구분할 수 있다.
따라서, 반도체 디바이스는 상기와 같은 여러 단위 공정들을 반복 실시함으로써 제조하게 된다. 그리고, 상기와 같은 단위 공정들이 실시되어질 웨이퍼들은 25매 또는 50매 단위로 웨이퍼 수납장치에 수납된 상태로 대기(standby)하였다가 단위 공정을 위한 각각의 프로세스 챔버 내부로 이동하게 된다.
한편, 웨이퍼 사이즈가 8인치(inch) 이하인 경우에는 개방형 웨이퍼 카세트가 많이 사용되었다. 그러나, 최근 웨이퍼의 사이즈가 300mm 구경으로 증가되고 카세트 과정에서 발생할 수 있는 오염을 방지하기 위해 밀폐형 용기인 풉(Front Open Unified Pod:FOUP)이 주로 사용되고 있다. 통상적으로, 풉은 실질적으로 웨이퍼가 수납되는 풉 본체부와 상기 풉 본체부를 밀폐하는 풉 도어부로 구성된다. 그리고, 상기 풉 도어부는 로봇 암에 의해 열려지도록 구성되어 있다.
도 1에는 통상의 로드포트(10)에 풉(14)이 탑재되어 있는 상태가 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 상기 로드포트(10)의 플레이트(12)상에 풉(14)이 탑재되어 있다. 상기 풉(14)의 본체부 내부에는 슬롯 가이드가 형성되어 있으며, 이러한 슬롯 가이드에는 다수장의 웨이퍼가 나란히 수납되어 있다.
따라서, 상기 풉(14)이 로드포트(10)의 플레이트(12)상에 탑재되면, 로드포트 내부에서 작동하고 있는 로봇 암(도시되지 않음)에 의해 상기 풉(14)의 도어가 열리고, 그 내부의 웨이퍼가 프로세스 챔버측으로 이송되어 이온주입 공정, 증착공정 또는 평탄화 공정등의 단위 공정이 진행된다.
그러나, 종래 기술에 의한 풉 구조에 의하면, 로드포트(10)에 탑재되는 풉의 방향이 정해져 있었다. 즉, 도 1에 도시된 것과 같이, 풉(14)의 상부를 "A"면이라 가정했을 때, 항상 "A"면이 상부를 향하도록 로드포트(10)에 풉을 탑재할 수 밖에 없었다.
따라서, 공정 진행하는 과정에서 웨이퍼의 방향을 바꾸어야 할 필요가 있을 경우, 다음과 같은 문제점이 도출된다. 첫째, 웨이퍼의 방향을 바꾸고자 계측기를 사용할 경우, 계측기 구비를 위한 설비투자 비용이 증가할 뿐 아니라 많은 공수 타임이 소요된다. 둘째, 티져를 이용하여 웨이퍼의 방향을 바꾸고자 할 경우, 티져에 의해 홀딩된 부분에 스크래치가 발생하거나 브로큰되어 웨이퍼 로스가 발생하게 된다.
상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 웨이퍼 방향을 용이하게 변경할 수 있도록 하는 웨이퍼 수납장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 설비투자 비용을 절감할 수 있는 웨이퍼 수납장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 티져에 의한 스크래치 또는 브로큰의 위험으로부터 웨이퍼를 보호할 수 있는 웨이퍼 수납장치를 제공함에 있다.
상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 수납장치는, 반송시스템이 들어올릴 수 있도록 하는 홀딩부와, 로드포트에 고정결합되는 핀 홀부가 상면 및 하면에 각각 형성되어 있는 풉 본체부; 및 키 조립체의 좌우 회전 조작에 의 해 상하 방향으로 작동되어 상기 풉 본체부의 도어 로킹홈과 결합하는 도어 로킹부가 형성되어 있는 풉 도어부를 포함함을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 수납장치는, 웨이퍼가 수납되는 슬롯 가이드가 내장되어 있으며, 웨이퍼가 반입 또는 반출되는 개구 프레임의 제1단 및 상기 제1단과 대응되는 제2단에 각각 제1 및 제2도어 로킹홈이 형성되어 있으며, 로드포트에 탑재되는 제1면 및 상기 제1면과 대응되는 제2면에 반송시스템이 들어올릴 수 있도록 하는 홀딩부와 로드포트에 고정결합되는 핀 홀부가 각각 형성되어 있으며, 상기 슬롯 가이드의 위치를 나타내는 슬롯 표시부가 형성되어 있는 풉 본체부; 및 키 조립체의 좌우 회전 조작에 의해 상하 방향으로 작동되어 상기 제1 또는 제2도어 로킹홈과 결합됨으로써 상기 풉 본체부를 밀폐하는 제1 및 제2도어 로킹부가 형성되어 있는 풉 도어부를 포함함을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1 및 제2도어 로킹홈은 상기 개구 프레임의 제1단 및 제2단에 각각 하나 또는 복수개로 형성되어 있다.
또한, 상기 제1 및 제2도어 로킹부는 키 조립체의 회전 조작에 의해 업/다운된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 본 발명의 카테고리를 벗어나지 않는 범위내에서 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
반도체 소자의 제조공정에서 수율 향상 및 제조 원가를 절감하기 위해 300mm 구경의 웨이퍼를 이용한 반도체 디바이스 제조공정이 활기를 띠고 있다. 일반적으로 300mm 이하의 크기를 갖는 웨이퍼인 경우에는 웨이퍼를 보관하고 수납하고 운반하기 위한 웨이퍼 캐리어로서, 개방형 캐리어가 주로 사용되었다. 그러나, 웨이퍼의 크기가 300mm 구경으로 커짐에 따라 웨이퍼들이 다량으로 탑재되어 있는 웨이퍼 캐리어를 작업자가 핸들링하기에는 다소 무리가 따르게 된다.
따라서, 이러한 문제를 해결하기 위해 300mm 웨이퍼 제조공정에서는 웨이퍼의 보관, 취급 및 이송이 로봇시스템인 웨이퍼 이송 시스템에 의해 이루어지도록 하였다. 이에 따라 300mm 구경의 웨이퍼를 이용한 반도체 디바이스 제조공정에서는 웨이퍼 캐리어로서, 종래의 개방형 캐리어 대신에 밀폐형 용기 형태인 FOUP을 사용하게 되었다.
FOUP은 300mm 웨이퍼를 25매 단위로 보관 및 저장하는 일종의 웨이퍼 수납장치이다. 통상적으로, 풉은 실질적으로 웨이퍼가 수납되는 풉 본체부와 상기 풉 본체부를 밀폐하는 풉 도어부로 구성된다. 그리고, 상기 풉 본체부의 내부 양측 벽면에는 웨이퍼를 수납하기 위한 슬롯 가이드가 나란히 형성되어 있다. 따라서, 웨이퍼 수납장치로서 이러한 풉을 이용하여 웨이퍼에 대하여 이온주입 공정, 증착공정 또는 평탄화 공정등의 단위 공정을 진행하고자 할 때에는 반도체 디바이스 제조설비중의 일부인 로드포트에 탑재되어 웨이퍼가 인출되도록 하고, 단위 공정이 완료된 후에는 다시 풉에 웨이퍼를 수납하여 보관하게 된다. 그리고, 상기 반도체 디바이스 제조설비에서 웨이퍼를 가공하기 위한 단위 공정이 모두 끝나면, 풉의 전방 문(front door)은 닫히게 된다. 그리고, 수동반송시스템인 PGV(Personal Guided Vehicle) 또는 OHT(Overhead Transfer), OHC(Overhead Conveyor), AGV(Automatic Guided Vehicle)등의 자동반송시스템을 통해 후속 공정을 위한 반도체 디바이스 제조설비로 이송된다.
그러나, 종래 기술에 의한 풉에 의하면, 로드포트에 풉을 한 방향으로만 탑재할 수 있는 구조로 이루어져 있었다. 따라서, 공정 진행하는 과정에서 웨이퍼의 방향을 바꾸고자 하는 경우 계측기를 사용하거나 티져가 이용되었다. 그러나, 계측기를 이용할 경우, 계측기 구비로 인해 설비투자 비용이 증가되며, 많은 공수 타임이 소요되는 문제점이 있다. 그리고, 티져를 이용하여 웨이퍼의 방향을 바꿀 경우 티져에 의해 홀딩된 부분에 스크래치가 발생하거나 브로큰되어 웨이퍼 로스가 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명에서는 상기한 종래의 문제점을 해소하기 위하여, "상하 방향에 구애받지 않고(양방향 사용가능) 로드포트에 탑재 가능한 풉"을 제안하게 된 것이다. 본 발명에 따른 풉은 로드포트의 포드에 상하 방향에 구애받지 않고 탑재시킬 수 있어 설비 활용도를 극대화하여 원가를 절감시킬 수 있음은 물론 웨이퍼의 방향을 자유롭게 변경할 수 있고, 웨이퍼 로스를 최소화할 수 있는 효과가 있다.
그러면, 하기의 도면들을 참조하여, 본 발명에 따른 풉의 구조를 살펴보기로 하자.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 제조된 풉(100)의 사시도를 나타낸다.
도 2를 참조하면, 상기 풉(100)은 웨이퍼(W)가 수납되는 풉 본체부(102)와 상기 풉 본체부(102)를 개폐하는 풉 도어부(104)로 구성된다. 여기서, 상기 풉 도어부(104)는 로드포트에 장착된 별도의 도어 개폐장치에 의해 상기 풉 본체부(102)와 밀착결합 및 분리됨으로써, 상기 풉 본체부(102) 내부로의 이물질 침입을 방지하게 된다.
그리고, 상기 풉 본체부(102) 내부에는 웨이퍼(W)를 수납하기 위한 슬롯 가이드(106)가 형성되어 있다. 그리고, 상기 풉 도어부(104)가 밀착 결합되며 웨이퍼가 반입/반출되는 출입구인 풉 본체부(102)의 개구 프레임(108)의 상단 및 하단에는 상기 풉 도어부(104)에 형성되어 있는 제1도어 로킹부(116a) 및 제2도어 로킹부(116b)가 각각 삽입되는 제1도어 로킹홈(110a) 및 제2도어 로킹홈(110b)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 도어 로킹홈(110a, 110b)은 개구 프레임(108)의 상단 및 하단에 하나씩 형성할 수도 있으나, 풉 도어부(104)와의 보다 안정적인 밀폐를 위하여 상단 및 하단에 두 개 이상 형성하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 풉 본체부(102)의 상면 및 하면에는 수동반송시스템인 PGV 또는 자동반송시스템인 OHT, OHC, AGV등이 풉(100)을 들어올릴 수 있도록 하는 제1홀딩부(112a) 및 제2홀딩부(112b:도면구조상 도시되지 않음)와 로드포트에 풉(100)을 고정시킬 수 있도록 하는 제1핀 홀(114a) 및 제2핀 홀(114b:도면구조상 도시되지 않음)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 풉 도어부(104)에는 제1도어 로킹부(116a) 및 제2도어 로킹부(116b)를 상하 방향으로 작동시키기 위한 한쌍의 키 조립체(118)가 형성되어 있다. 따라서, 상기 키 조립체(118)를 좌측 또는 우측으로 회전시킴에 따라 상기 제1 도어 로킹부(116a) 또는 제2도어 로킹부(116b)가 업/다운되어 상기 제1도어 로킹홈(110a) 또는 제2도어 로킹홈(110b)과 결합하게 된다.
그리고, 도면상에 도시되지는 않았지만, 상기 풉 본체부(102)의 후면 양측에는 풉 본체부(102)의 내부에 형성되어 있는 슬롯 가이드(106)의 위치를 나타내는 슬롯 표시부(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 상기 풉 본체부(102)의 후면 양측에 각각 형성되어 있는 슬롯 표시부(도시하지 않음)에는 슬롯 가이드(106) 위치를 나타내는 숫자가 서로 반대 순서로 기재되어 있다. 따라서, 로드포트에 탑재되는 풉(100)의 방향에 구애받지 않고 풉(100) 내부의 슬롯 가이드(106) 위치를 용이하게 확인할 수 있게 된다.
상기와 같은 풉(100)을 구현함에 있어서, 상기 풉 본체부(102)는 내부의 슬롯 가이드(106)를 확인할 수 있도록 투명 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 예컨대, 상기 풉 본체부(102)는 플라스틱 또는 강화 유리등의 투명 재질로 형성할 수 있다. 그리고, 상기 풉 도어부(104)는 금속 오염을 방지하기 위해 수지 또는 금속 재질로 형성할 수 있으며, 상기 풉 도어부(104)의 가장자리는 상기 개구 프레임(108)과의 밀착을 위하여 통상적으로 패킹 처리되어 있다.
상기와 같은 구조의 풉(100)이 로드포트에 탑재되면, 로봇암에 의해 상기 풉 도어부(104)가 오픈된다. 그리고, 상기 풉 본체부(102) 내부에 수납된 웨이퍼가 로드락 챔버 내부에 일시적으로 보관된 후, 프로세스 챔버 내부로 이동하게 됨으로써, 박막 증착공정이나 식각 공정등과 같은 단위 공정이 진행되어진다.
상기 도 2를 통해 설명한 바와 같이, 상기 풉 본체부(102) 개구 프레임(108)의 상단 및 하단에 상기 풉 도어부(104)에 형성되어 있는 제1 및 제2도어 로킹부(116a, 116b)가 삽입되는 제1 및 제2도어 로킹홈(110a, 110b)을 형성한 것, ② 상기 풉 본체부(102)의 상면 및 하면에 수동반송시스템 또는 자동반송시스템이 풉(100)을 들어올릴 수 있도록 하는 제1 및 제2홀딩부(112a,112b)와 로드포트에 풉(100)을 고정시킬 수 있도록 하는 제1 및 제2핀 홀(114a,114b)을 형성한 것, ③ 상기 제1 및 제2도어 로킹부(116a,116b)를 상기 풉 본체부(102)의 제1 및 제2도어 로킹홈(110a,110b)과 결합시키기 위하여, 상기 키 조립체(118)를 좌측 또는 우측으로 회전가능하도록 형성한 것, ④ 상기 풉 본체부(102)의 후면 양측에는 풉 본체부(102)의 내부에 형성되어 있는 슬롯 가이드(106)의 위치를 나타내는 슬롯 표시부가 형성되어 있는 것이 본 발명에 따른 풉(100)의 핵심적 구성이다.
종래 기술에 따르면, 로드포트에 탑재되는 풉의 방향이 미리 정해져 있었다. 즉, 풉 본체부의 상면에는 OHT가 풉을 들어올릴 수 있도록 하는 홀딩부가 형성되어 있었으며, 풉 본체부의 하면에는 로드포트에 풉을 고정시킬 수 있도록 하는 핀 홀이 형성되어 있었다. 그리고, 풉 본체부 개구 프레임의 상단에만 풉 도어부에 형성되어 있는 도어 로킹부가 삽입되는 도어 로킹홈이 형성되어 있었다. 따라서, 종래에는 핀 홀이 형성되어 있는 면이 하부를 향하도록 풉을 로드포트에 탑재할 수 밖에 없었다. 이처럼, 풉의 탑재 방향이 미리 정해져 있음으로 인해, 풉 본체부에 수납되어 있는 웨이퍼의 방향을 바꾸고자 하는 경우 계측기 또는 티져를 이용함으로 인해 설비투자 비용이 증가되고, 웨이퍼가 손실되는 문제점이 도출되었다.
따라서, 본 발명에서는 종래의 문제점을 해소하고자, 상기 ①, ②, ③, ④ 의 구성과 같이 풉의 구조를 개선한 것이다. 상기 ①, ②, ③, ④의 구성과 같이 풉의 구조를 개선함으로써, 풉의 방향에 구애받지 않고 로드포트에 풉을 탑재시킬 수 있어, 설비의 활용도를 극대화하여 원가를 절감함은 물론 공수 타임없이 웨이퍼의 방향을 자유롭게 변경할 수 있는등의 여러 효과를 얻을 수 있게 된 것이다.
그러면, 하기의 도면들을 참조하여 상기 본 발명에 따른 풉의 구조적 특징을 구체적으로 살펴보기로 하자.
먼저, 도 3은 본 발명에 따른 풉(100)의 투영 사시 구조를 나타낸다.
보다 구체적으로, 도 3은 상기 도 2에 도시된 풉(100)의 상부면을 "A"로 가정하고, 상기 "A"면과 반대면을 "B"면으로 가정하였을 경우, 상기 "B"면이 상부로 올라오도록 풉(100)을 돌려 놓은 상태를 나타낸다.
상기 도 2에 도시된 것과 같이, 본 발명에서는 풉 본체부(102)의 "A" 면에 수동반송시스템인 PGV 또는 자동반송시스템인 OHT, OHC, AGV등이 풉(100)을 들어올릴 수 있도록 하는 제1홀딩부(112a)와 로드포트에 풉을 고정시킬 수 있도록 하는 제1핀 홀(114a)을 형성한다. 그리고, 도 3에 도시된 것과 같이, 상기 "A"면의 반대면인 "B"면에도 수동반송시스템인 PGV 또는 자동반송시스템인 OHT, OHC, AGV등이 풉(100)을 들어올릴 수 있도록 하는 제2홀딩부(112b)와 로드포트에 풉(100)을 고정시킬 수 있도록 하는 제2핀 홀(114b)을 형성한 것이 특징이다.
이처럼, 본 발명에서는 풉 본체부(102)의 양면에 홀딩부(112a,112b)와 핀 홀(114a,114b)을 모두 형성함으로써, 풉(100)의 방향에 구애받지 않고 로드포트에 풉(100)을 탑재시킬 수 있게 된다. 그로 인해 설비 활용도를 극대화하여 원가를 절 감시킬 수 있음은 물론 웨이퍼의 방향을 자유롭게 변경할 수 있고, 웨이퍼 로스를 최소화할 수 있게 된다.
한편, 도 4a 내지 4c는 본 발명에 따른 풉(100)의 도어부(104) 정면 구조를 나타낸다.
먼저, 도 4a를 참조하면, 상기 풉 도어부(104)에 제1도어 로킹부(116a) 및 제2도어 로킹부(116b)가 형성되어 있으며, 상기 제1도어 로킹부(116a) 및 제2도어 로킹부(116b)를 상하 방향으로 작동시키기 위한 키 조립체(118)가 형성되어 있다. 여기서, 상기 도어 로킹부를 참조부호 116a 및 116b로 구분하였으나, 상기 도어 로킹부는 하나의 긴 바(bar) 형태로서, 상기 키 조립체(118)의 회전 조작에 의해 업/다운된다. 이때, 상기 키 조립체(118)는 화살표로 나타낸 것과 같이, 좌측 또는 우측방향으로의 회전이 가능하다. 따라서, 상기 키 조립체(118)의 회전방향에 따라 제1도어 로킹부(116a) 또는 제2도어 로킹부(116b)가 업/다운되는데, 이러한 키 조립체(118)의 회전 동작이 도 4b 및 도 4c에 도시되어 있다.
먼저, 도 4b는 상기 키 조립체(118)를 우측 방향으로 회전시킨 상태를 나타낸다.
도 4b에 도시된 것과 같이, 상기 키 조립체(118)를 우측 방향으로 90°회전시킬 경우, 풉 도어부(104)의 제1도어 로킹부(116a)가 돌출된다. 그리고, 이처럼 돌출된 제1도어 로킹부(116a)는 상기 도 2에 도시된 풉 본체부(102)의 개구 프레임(108) 상단에 형성되어 있는 제1도어 로킹홈(110a)과 결합하여 풉 본체부(102)를 풉 도어부(104)로 밀폐할 수 있도록 한다. 그리고, 상기 풉 본체부(102)로부터 풉 도어부(104)를 분리시킬 경우에는 상기 키 조립체(118)를 좌측 방향으로 90°회전시켜 돌출된 도어 로킹부(116a)를 풉 도어부(104) 내부로 밀어 넣음으로써, 상기 풉 본체부(102)로부터 풉 도어부(104)를 분리시킨다.
도 4c는 상기 키 조립체(118)를 좌측 방향으로 회전시킨 상태를 나타낸다.
도 4c에 도시된 것과 같이, 상기 키 조립체(118)를 좌측 방향으로 90°회전시킬 경우, 풉 도어부(104)의 제2도어 로킹부(116b)가 돌출된다. 그리고, 이처럼 돌출된 제2도어 로킹부(116b)는 상기 도 2에 도시된 풉 본체부(102)의 개구 프레임(108) 하단에 형성되어 있는 도어 로킹홈(110b)과 결합하여 풉 본체부(102)를 풉 도어부(104)로 밀폐할 수 있도록 한다. 그리고, 상기 풉 본체부(102)로부터 풉 도어부(104)를 분리시킬 경우에는 상기 키 조립체(118)를 우측 방향으로 90°회전시켜 돌출된 제2도어 로킹부(116b)를 풉 도어부(104) 내부로 밀어 넣음으로써, 상기 풉 본체부(102)로부터 풉 도어부(104)를 분리시킨다.
상기한 바와 같이, 본 발명에서는 풉 도어부(104)의 키 조립체(118)를 좌우 양측으로 회전 가능하도록 구현하였다. 따라서, 풉(100)의 방향이 도 2에서와 같이 "A"면이 위로 향하도록 로드포트에 탑재되거나, 도 3에서와 같이 "B"면이 위로 향하도록 로드포트에 탑재될 경우, 풉(100)의 탑재 방향에 구애받지 않고 상기 풉 본체부(102)와 풉 도어부(104)를 자유롭게 밀착 결합 및 분리시킬 수 있게 된다. 여기서, 상기 키 조립체(118)의 회전 각도는 0~360°범위에서 얼마든지 조절가능하다.
한편, 도 5는 본 발명에 따른 풉 본체부(102)의 개구 프레임(108)을 나타낸 다.
도 5를 참조하면, 상기 풉 본체부(102)의 개구 프레임(108) 상단 및 하단에는 상기 풉 도어부(104)에 형성되어 있는 제1 및 제2도어 로킹부(116a,116b)가 각각 삽입되는 제1 및 제2도어 로킹홈(110a, 110b)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 개구 프레임(108)에 형성되어 있는 제1도어 로킹홈(110a)에는 풉 도어부(104)의 제1도어 로킹부(116a)가 결합되고, 상기 개구 프레임(108)에 형성되어 있는 제2도어 로킹홈(110b)에는 상기 풉 도어부(104)의 제2도어 로킹부(116b)가 결합된다.
보다 구체적으로, 상기 풉(100)의 "A"면이 상부로 향하도록 로드포트에 탑재하고자 할 경우에는 풉 도어부(104)를 풉 본체부(102)에 밀착시킨다. 그리고 나서, 상기 도 4b에 도시된 것과 같이, 상기 키 조립체(118)를 우측 방향으로 90°회전시켜 제1도어 로킹부(116a)를 돌출시킴으로써, 상기 제1도어 로킹홈(110a)에 제1도어 로킹부(116a)가 결합되도록 한다.
이와 반대로, 상기 풉(100)의 "B"면이 상부로 향하도록 로드포트에 탑재하고자 할 경우에는 풉 도어부(104)를 풉 본체부(102)에 밀착시킨다. 그리고 나서, 상기 도 4c에 도시된 것과 같이, 상기 키 조립체(118)를 좌측 방향으로 90°회전시켜 제2도어 로킹부(116b)를 돌출시킴으로써, 상기 제2도어 로킹홈(110b)에 제2도어 로킹부(116b)가 결합되도록 한다.
이처럼, 본 발명에서는 풉 도어부(104)에 형성되어 있는 제1 및 제2도어 로킹부(116a,116b)와 각각 대응하여 결합하는 제1 및 제2도어 로킹홈(110a,110b)을 풉 본체부(102)의 개구 프레임(108) 상단 및 하단에 형성한다. 그 결과, 로드포트에 탑재되는 풉(100)의 방향에 따라 상기 제1도어 로킹부(116a)가 제1도어 로킹홈(110a)에 결합되도록 하거나, 상기 제2도어 로킹부(116b)가 제2도어 로킹홈(110b)에 결합되도록 함으로써, 풉의 방향에 구애받지 않고 로드포트에 풉(100)을 탑재시킬 수 있게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 풉(100)의 후면 구조를 나타낸다.
도 6을 참조하면, 풉 본체부(102)의 내부에 형성되어 있는 슬롯 가이드(106)의 위치를 나타내는 제1슬롯 표시부(120a) 및 제2슬롯 표시부(120b)가 풉 본체부(102)의 후면 양측에 형성되어 있다. 이러한 상기 제1슬롯 표시부(120a) 및 제2슬롯 표시부(120b)에는 슬롯 가이드(106) 개수에 따라 숫자가 넘버링되어 있는데, 예컨대 1~25까지의 숫자가 넘버링될 수 있다. 그리고, 상기 제1슬롯 표시부(120a) 및 제2슬롯 표시부(120b)의 숫자는 서로 반대 순서로 기재하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 상기 제1슬롯 표시부(120a) 및 제2슬롯 표시부(120b)의 숫자가 서로 반대 순서로 기재되어 있어야 로드포트에 탑재되는 풉(100)의 방향에 구애받지 않고 풉 내부의 슬롯 가이드(106) 위치를 용이하게 확인할 수 있기 때문이다.
그리고, 상기 제1슬롯 표시부(120a) 및 제2슬롯 표시부(120b)는 풉 본체부(102) 내부의 슬롯 가이드(106) 위치를 용이하게 확인할 수 있는 영역에 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 제1슬롯 표시부(120a) 및 제2슬롯 표시부(120b)는 도 6에 도시된 것과 같은 풉 본체부(102)의 후면 양측을 비롯하여 풉 본체부(102)의 양측 사이드 또는 그 이외의 슬롯 가이드(106)의 위치를 용이하게 확인할 수 있는 영역에 얼마든지 형성할 수 있다.
이처럼, 본 발명에서는 풉 본체부(102)의 내부에 형성되어 있는 슬롯 가이드(106)의 위치를 나타내는 슬롯 표시부(120a, 120b)를 풉 본체부(102)의 소정영역에 형성함을 특징으로 한다. 그 결과, 풉(100)의 "A"면 또는 "B"면이 위로 향하도록 로드포트에 탑재시키더라도 풉 본체부(102) 내부의 슬롯 가이드(106) 위치를 용이하게 확인할 수 있게 된다.
이상, 도 2 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 풉의 구조를 설명하였다. 그러나, 상기 도 2 내지 도 6을 통해 설명되어진 풉은 본 발명을 설명하기 위하여 제시된 하나의 바람직한 실시예에 불과한 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 범위 내에서 상기한 풉 구조 이외에 다양한 응용 및 변형이 가능함은 물론이다.
상기한 바와 같이 본 발명에서는, 웨이퍼가 수납되는 풉을 구현함에 있어서, 상하 방향에 구애받지 않고 로드포트에 탑재시킬 수 있도록 풉 본체부 및 풉 도어부의 구조를 개선한다. 이처럼 풉 본체부 및 풉 도어부의 구조를 개선하여 양방향 사용가능하도록 함으로써, 설비 활용도를 극대화하여 원가를 절감하고 웨이퍼 로스 또한 최소화하면서도 웨이퍼 방향을 용이하게 변경할 수 있게 된다.

Claims (19)

  1. 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치에 있어서:
    반송시스템이 들어올릴 수 있도록 하는 홀딩부와, 로드포트에 고정결합되는 핀 홀부가 상면 및 하면에 각각 형성되어 있는 풉 본체부; 및
    키 조립체의 조작에 따라 작동되어 상기 풉 본체부의 도어 로킹홈과 결합하는 도어 로킹부가 형성되어 있는 풉 도어부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 풉 도어부는 로드포트에 장착된 도어 개폐장치에 의해 상기 풉 본체부와 밀착결합되거나 상기 풉 본체부로부터 분리됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 풉 도어부의 가장자리는 패킹 처리 되어 있음을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 도어 로킹부는 키 조립체의 회전 조작에 의해 업/다 운됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 키 조립체는 좌측 및 우측으로 회전 조작됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  6. 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치에 있어서:
    웨이퍼가 수납되는 슬롯 가이드가 내장되어 있으며, 웨이퍼가 반입 또는 반출되는 개구 프레임의 제1단 및 상기 제1단과 대응되는 제2단에 각각 제1 및 제2도어 로킹홈이 형성되어 있으며, 로드포트에 탑재되는 제1면 및 상기 제1면과 대응되는 제2면에 반송시스템이 들어올릴 수 있도록 하는 홀딩부와 로드포트에 고정결합되는 핀 홀부가 각각 형성되어 있는 풉 본체부; 및
    키 조립체의 조작에 따라 작동되어 상기 제1 또는 제2도어 로킹홈과 결합됨으로써 상기 풉 본체부를 밀폐하는 제1 및 제2도어 로킹부가 형성되어 있는 풉 도어부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 제1 및 제2도어 로킹홈은 상기 개구 프레임의 제1단 및 제2단에 각각 하나 또는 복수개로 형성되어 있음을 특징으로 하는 반도체 디바 이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 제1 및 제2도어 로킹부는 키 조립체의 회전 조작에 의해 업/다운됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 키 조립체는 좌측 및 우측으로 회전됨으로써, 상기 제1 및 제2도어 로킹부를 업/다운시킴을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 키 조립체를 제1방향으로 회전시킬 경우, 상기 개구 프레임의 제1단에 형성되어 있는 제1도어 로킹홈과 결합되는 제1도어 로킹부가 업/다운되며, 상기 키 조립체를 제2방향으로 회전시킬 경우, 상기 개구 프레임의 제2단에 형성되어 있는 제2도어 로킹홈과 결합되는 제2도어 로킹부가 업/다운됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 풉 본체부에는 슬롯 가이드의 위치를 나타내는 슬롯 표시부가 더 형성되어 있음을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 슬롯 표시부는 풉 본체부의 서로 다른 영역에 두 개 이상 형성함을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 각각의 슬롯 표시부에는 슬롯 가이드의 위치를 나타내는 숫자가 서로 반대 순서로 넘버링되어 있음을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 풉 본체부는 투명 재질로 형성함을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 풉 본체부는 플라스틱 또는 강화 유리로 형성함을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 풉 도어부는 수지 또는 금속 재질로 형성함을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 풉 도어부의 가장자리는 패킹 처리 되어 있음을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  18. 제 17항에 있어서, 상기 풉 도어부는 로드포트에 장착된 도어 개폐장치에 의해 상기 풉 본체부와 밀착결합되거나 상기 풉 본체부로부터 분리됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 제조설비에서의 웨이퍼 수납장치.
  19. 삭제
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