KR19980066360A - 슬롯 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트의 전방 양측부와 후방 돌출부에 슬롯번호를 모두 표시하여 웨이퍼 카세트의 전, 후방 위치에 관계없이 슬롯번호를 용이하게 식별할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트의 구조에 관한 것이다.

본 발명의 목적은 카세트 스테이션에 올려 놓여진 웨이퍼 카세트의 슬롯번호를 용이하게 확인할 수 있도록 한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조는 웨이퍼의 카세트의 전방 양측부 및 후방 돌출부 모두에 슬롯번호가 표시되어 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 담당작업자가 카세트 스테이션에 놓여진 웨이퍼 카세트를 전혀 움직이지 않고도 웨이퍼 카세트의 후방에서도 슬롯번호를 용이하게 확인할 수 있다.

Description

슬롯 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조

본 발명은 웨이퍼 카세트의 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 카세트의 전방 양측부와 후방 돌출부에 슬롯번호를 모두 표시하여 웨이퍼 카세트의 전, 후방 위치에 관계없이 슬롯번호를 용이하게 식별할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트의 구조에 관한 것이다.

일반적으로 널리 알려진 바와 같이, 웨이퍼 카세트의 본체에는 웨이퍼의 운송과 보관의 편리함을 위해 웨이퍼를 안착하기 위한 슬롯들이 형성되어 있다. 운송 효율의 측면을 고려하여 반도체제조라인의 공정설비와 공정설비의 사이 또는 공정설비와 계측설비의 사이에서는 여러 장의 웨이퍼들이 웨이퍼 카세트에 탑재된 상태로 운송되고 있다. 또한, 작업자의 신체적 접촉에 의한 오염을 방지하기 위해 적어도 한 장의 웨이퍼도 웨이퍼 카세트에 탑재된 상태로 운송되고 있다. 상기 설비의 카세트 스테이션은 로봇의 로딩방식에 따라 다르지만, 대부분의 설비가 상기 웨이퍼 카세트의 손잡이를 상측으로 향하는 방식을 채택하고 있다.

상기 웨이퍼 카세트가 해당 공정 또는 계측을 위한 설비로 운송되면, 담당작업자가 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 카세트(10)의 상측부에 형성된 손잡이(15)를 잡고 웨이퍼 카세트(10)를 설비(20)의 카세트 스테이션(21)에 올려 놓은 후 설비(20)를 가동시킨다.

설비(20)의 가동이 시작하면, 웨이퍼 카세트(10)의 슬롯(11)에 탑재된 웨이퍼들(도시안됨)이 로봇(도시안됨)에 의해 한 장씩 설비(20)의 원하는 위치에 로딩되어 처리된다.

그런데, 공정설비의 경우, 생산성 향상을 시키기 위해 상기 웨이퍼들이 웨이퍼 카세트(10)의 슬롯들(11)에 모두 탑재되나 계측설비의 경우, 슬롯들(11)의 일부에만 웨이퍼들이 탑재되는 경우가 자주 있다. 이러한 경우, 담당작업자가 어느 슬롯에 웨이퍼가 탑재되었는 지를 미리 확인한 후 웨이퍼 카세트(10)를 카세트 스테이션(21)에 올려 놓는다. 하지만, 담당작업자가 계측을 시작하기 전에 웨이퍼가 탑재된 슬롯의 슬롯번호를 다시 한 번 확인하기도 한다.

그러나, 종래의 웨이퍼 카세트(10)는 각각의 슬롯(11)을 용이하게 구분할 수 있도록 하기 위해 도 2A에 도시된 바와 같이, 전방 좌, 우 양측부(12)에 슬롯번호(13)가 표시되어 있고 후방 돌출부(17)에는 도 2B에 도시된 바와 같이, 아무런 슬롯번호가 표시되어 있지 않는 구조로 이루어져 있다. 여기서, 후방 돌출부(17)는 웨이퍼 카세트(10)의 전방 양측부(13)가 위로 향하도록 작업대와 같은 영역에 놓여질 때 직접 작업대에 접촉하게 된다.

이와 같이 구성된 종래의 웨이퍼 카세트의 경우, 담당작업자가 단지 웨이퍼 카세트를 전방에서 바라볼 때에만 슬롯번호의 식별이 가능하였다.

그러나, 웨이퍼 카세트(10)가 도 1에 도시된 바와 같이, 카세트 스테이션(21)에 놓여지면, 웨이퍼 카세트(10)의 전방부가 설비(20)에 대면하게 되므로 담당작업자는 단지 웨이퍼 카세트(10)의 후방부만을 볼 수 밖에 없었다.

이러한 상태에서 웨이퍼 카세트의 원하는 슬롯에 웨이퍼가 존재하는 지를 확인하기 위해서는 담당작업자가 웨이퍼 카세트(10)의 손잡이(15)를 잡고 웨이퍼 카세트(10)를 카세트 스테이션(21)으로부터 약간 들어 올린 후 자신의 고개를 숙여 전방 양측부(12)에 표시된 슬롯번호(13)를 확인할 수 밖에 없었다.

이로 인해, 담당작업자는 슬롯번호를 식별하는데 불편함을 감수하여야 했다. 또한, 이 과정에서 웨이퍼 카세트(10)가 기울어지면서 웨이퍼와의 마찰이 발생하므로 오염원인 파티클이 발생할 수 있고, 만약에 웨이퍼 카세트(10)의 각 술롯(11)에 소정 공정을 완료한 패턴화된 웨이퍼가 탑재되었으면, 웨이퍼의 패턴 손상이 유발되어 웨이퍼 레벨의 양품 수율이 낮아질 수 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 카세트 스테이션에 올려 놓여진 웨이퍼 카세트의 슬롯번호를 용이하게 확인할 수 있도록 한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조를 제공하는데 있다.

도 1은 일반적인 반도체제조라인의 설비에 웨이퍼 카세트가 설치된 상태를 나타낸 개략도.

도 2A와 도 2B는 종래 기술에 의한 웨이퍼 카세트의 전방 및 후방 구조를 각각 나타낸 사시도.

도 3은 본 발명에 의한 슬롯 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조를 나타낸 후방 사시도.

도면의주요부분에대한부호의설명

10: 웨이퍼 카세트 11: 슬롯(slot) 12: 전방 양측부 13: 슬롯번호 15: 손잡이 17: 후방 돌출부 20: 설비 21: 카세트 스테이션(cassette station) 30:웨이퍼 카세트 33: 슬롯번호

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조는 웨이퍼의 카세트의 전방 양측부 및 후방 돌출부 모두에 슬롯번호가 표시되어 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 담당작업자가 카세트 스테이션에 놓여진 웨이퍼 카세트를 전혀 움직이지 않고도 웨이퍼 카세트의 후방에서도 슬롯번호를 용이하게 확인할 수 있다.

이하, 본 발명에 의한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 종래의 부분과 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여한다.

도 3은 본 발명에 의한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조를 나타낸 후방사시도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 카세트(30)는 2개의 후방 돌출부(17)에 슬롯번호(33)가 추가로 표시된 것을 제외하면 종래의 웨이퍼 카세트 구조와 동일한 구조를 갖고 있다.

이와 같이 구성되는 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트의 작용을 간단히 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 담당작업자가 이송되어온 웨이퍼 카세트(30)의 소정 슬롯들(11)에 웨이퍼들이 탑재되었는 가를 확인한다. 이때, 웨이퍼 카세트(30)의 전방 양측부(12)에 형성된 슬롯번호(11)가 이용되는 것은 당연하다.

이후, 담당작업자가 종래와 동일한 방법으로 웨이퍼 카세트(30)를 원하는 계측설비(도시안됨)의 카세트 스테이션에 올려 놓는다.

이러한 상태에서 담당작업자는 웨이퍼가 탑재된 슬롯번호를 다시 확인할 경우, 웨이퍼 카세트(10)의 후방부에도 형성된 슬롯(11)을 통하여 웨이퍼가 존재하는 것을 식별할 수 있다. 이때, 웨이퍼가 존재하는 슬롯(11)의 슬롯번호를 후방 돌출부(31)에 형성된 슬롯번호(33)를 이용하여 용이하게 확인할 수 있다.

따라서, 담당작업자가 웨이퍼 카세트를 카세트 스테이션으로부터 들어 올리고 고개를 숙여 확인하는 불편을 해소할 수 있다. 또한, 웨이퍼 카세트를 들어 올리는 것으로 인한 파티클 발생 또는 패턴화된 웨이퍼의 패턴 손상을 방지할 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조는 웨이퍼 카세트의 전방 좌, 우 양측부 뿐만 아니라 후방 돌출부에도 슬롯번호가 표시되어 있어 담당작업자가 반도체제조라인의 공정설비 또는 계측설비의 카세트 스테이션에 웨이퍼 카세트를 놓은 후에도 전방 양측부의 슬롯번호를 확인하지 않는 대신에 후방 돌출부의 슬롯번호를 확인할 수 있다.

따라서, 본 발명은 슬롯번호를 확인하는 과정에서 웨이퍼 카세트를 들어 올려야 하는 것을 배제하여 파티클의 발생 및 웨이퍼의 패턴 손상을 방지할 수 있고 이로 인하여 웨이퍼 레벨의 양품 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (3)

1. 본체의 전방부에 슬롯번호가 표시된 웨이퍼 카세트에 있어서,

   상기 본체의 후방부의 소정영역에 상기 술롯번호가 표시된 것을 특징으로 하는 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 본체의 후방 돌출부에 상기 슬롯번호가 표시된 것을 특징으로 하는 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 본체의 좌, 우 양측 후방 돌출부에 상기 슬롯번호가 표시된 것을 특징으로 하는 슬롯번호 식별을 위한 웨이퍼 카세트의 구조.