KR100629365B1 - 반도체 제조설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 카세트와 공정설비의 사이에 배치되어 카세트와 공정설비에 적재된 웨이퍼를 상호 이송시키는 웨이퍼 이송장치와, 웨이퍼 이송장치의 일측에 설치되어 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하는 감지센서 및 웨이퍼 이송장치의 타측에 설치되어 감지센서에 감지된 결과를 표시하는 표시부를 포함하되, 상기 표시부는 상기 카세트에 적재되는 상기 웨이퍼의 설정된 개수를 표시하는 제 1 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 감지된 상기 카세트에 실제적으로 적재된 웨이퍼의 개수를 확인하는 제 2 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 미감지 슬롯의 위치를 확인하는 제 3 디스플레이장치를 포함한다.

따라서, 표시부가 설치된 반도체 제조설비는 이 표시부에 의해 실시간으로 카세트에 웨이퍼가 적재되는 상황을 확인할 수 있어 공정시간을 단축하는 효과가 있다.

Description

반도체 제조설비{Semiconductor manufacturing equipment}

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 중 하나의 실시예인 열처리설비를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 감지센서의 동작을 설명하기 위해 도시된 도면이다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 표시부를 설명하기위해 도시된 도면이다.

도 4는 본 발명에 따른 감시센서와 표시부의 제어관계를 설명하기 위해 도시한 블럭도이다.

**주요 부분에 대한 부호의 설명**

100 : 웨이퍼 이송장치

110 : 구동축

120 : 로봇암

130 : 헤드부

140 : 블레이드

150 : 감지센서

160 : 표시부

161 : 제 1 디스플레이장치

162 : 제 2 디스플레이장치

163 : 제 3 디스플레이장치

165 : 스킵버튼

170 : 제어부

본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송장치에 장착되는 감지센서에 감지되는 결과를 디스플레이할 수 있는 표시부를 구비한 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조설비는 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 단위공정들을 순차적으로 수행함으로써 제조된다. 때문에, 단위공정들은 순차적으로 수행할 때 웨이퍼의 이송은 빈번하게 이루어진다.

이러한 웨이퍼의 이송관계에 있어서, 통상 동일한 공정을 수행하기 위한 복수개의 웨이퍼는 소정 단위 개수로 카세트에 수용되어 각 공정설비로 이송되고, 이들 각 공정설비에는 수용된 웨이퍼를 카세트로부터 인출하여 공정 수행 위치로 이송시키는 웨이퍼 이송장치를 구비하고 있다.

한편, 폴리실리콘막, 질화막, 산화막 등의 박막을 웨이퍼 상에 증착시키는 데에는 주로 화학기상증착(CVD : chemical vapor deposition)공정 또는 확산공정을 수행하는 열처리설비에서도 웨이퍼 이송장치가 이용되고 있다.

이 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼가 수납되는 카세트와 확산로에 인입되어 공정이 수행되는 보트 사이에 배치되어 미처리된 웨이퍼를 카세트로부터 보트로 이송시키거나, 보트로부터 소정의 공정과정을 완료한 웨이퍼를 카세트로 이송시키는 역할을 한다.

이때, 웨이퍼 이송장치의 일측에는 감지센서가 장착되어 이 감지센서에 의해 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하게 된다.

그러나, 종래의 웨이퍼 이송장치의 일측에 장착되는 감지센서는 카세트에 적재되는 웨이퍼의 미적재 여부를 감지하여 작업자에게 알릴 뿐 감지결과를 실시간으로 확인하는 것은 불가능하다.

따라서, 작업자가 정비 시 미적재된 슬롯에 대한 확인시간이 걸리게 되고 이로 인해 공정시간이 지체되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 이송장치에 장착된 감지센서에 의해 카세트에 적재되는 웨이퍼의 감지결과를 확인할 수 있는 표시부를 장착한 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명은 카세트와 공정설비의 사이에 배치되어 상기 카세트와 상기 공정설비에 적재된 웨이퍼를 상호 이송시키는 웨이퍼 이송장치와, 상기 웨이퍼 이송장치의 일측에 설치되어 상기 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하는 감지센서 및 상기 웨이퍼 이송장치의 타측에 설치되어 상기 감지센서에 감지된 결과를 표시하는 표시부를 포함하되, 상기 표시부는 상기 카세트에 적재되는 상기 웨이퍼의 설정된 개수를 표시하는 제 1 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 감지된 상기 카세트에 실제적으로 적재된 웨이퍼의 개수를 확인하는 제 2 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 미감지 슬롯의 위치를 확인하는 제 3 디스플레이장치를 포함한다.

삭제

또한, 상기 표시부에는 상기 감지센서에 의해 감지되는 웨이퍼가 미적재된 슬롯이 복수개인 경우 다음 슬롯의 위치를 상기 제 3 디스플레이장치에 표시하기 위한 스킵버튼이 설치된다.

바람직하게, 상기 각 디스플레이장치는 발광다이오드소자로 이루어진다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 반도체 제조설비에 대한 구성에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 1은 웨이퍼 이송장치가 이용되는 반도체 제조설비 중 열처리설비에 대해 설명하기 위해 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 감지센서의 동작을 설명하기 위해 도시된 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치에 장착된 표시부를 설명하기위해 도시된 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 감시센서와 표시부의 제어관계를 설명하기 위해 도시한 블럭도이다.

한편, 이해의 편의를 위하여 비록 다른 도면에 속하더라도 동일한 구성요소 에는 동일한 부호를 부여하였음을 주의해야 한다.

먼저 도 1을 참조하면, 웨이퍼 이송장치(100)는 카세트(C)와 보트(B)의 사이에 배치되어 미처리된 웨이퍼(W)를 카세트(C)로부터 보트(B)로 이송시키거나, 보트(B)로부터 소정의 공정과정을 완료한 웨이퍼(W)를 카세트(C)로 이송시키는 역할을 한다.

이때, 웨이퍼 이송장치(100)는 도시되지 않은 모터에 의해 승강이 가능한 구동축(110)과, 이 구동축(110)에 장착되며 공정진행에 따라 소정거리 신축되며 2개의 관절로 이루어진 로봇암(120)으로 이루어진다. 그리고, 이 로봇암(120)이 연결되는 헤드부(130)와 이 헤드부(130)에 결합되어 구동축(110)과 로봇암(120)의 동작에 따라 웨이퍼(W)를 소정 위치로 이송시키는 블레이드(140)로 이루어진다.

이때, 도면에 도시된 웨이퍼 이송장치는 하나의 예시일 뿐 다른 형상의 웨이퍼 이송장치가 이용되어도 무방하다.

도 2를 참조하면, 웨이퍼 이송장치(100)의 일측에는 카세트(C)의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼(W)의 적재유무를 감지하기 위한 감지센서(150)가 장착된다.

이때의 감지센서(150)는 구동축(110)의 상, 하 움직임으로 인해 웨이퍼 이송장치(100)가 상, 하로 이동되어 카세트(C)의 각 슬롯을 감지하게 되고 그 결과를 제어부(170)로 전달하게 된다.

그리고, 이 감지센서(150)는 광센서로써 수광부(미도시)와 발광부(미도시)로 이루어지며, 발광부로부터 조사된 빛이 수광부로 집광되는 여부에 따라 웨이퍼(W)를 감지하게 된다.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼 이송장치(100)의 타측 즉, 헤드부(130)의 상부에는 감지센서(150)에 의해 감지된 카세트(C)의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼(W)의 감지결과를 표시해주는 표시부(160)가 헤드부(130)의 상부에 장착된다.

이 표시부(160)는 카세트(C)에 적재되는 웨이퍼(W)의 설정된 개수를 표시하는 제 1 디스플레이장치(161)와, 감지센서(150)에 의해 카세트(C)에 실제적으로 적재된 웨이퍼(W)의 개수를 표시하는 제 2 디스플레이장치(162)와, 감지센서(150)에 의해 웨이퍼(W)가 미감지된 슬롯의 위치를 확인하는 제 3 디스플레이장치(163)로 이루어진다. 이때, 카세트(C)의 각 슬롯은 소정 방향으로부터 슬롯의 번호가 설정되며, 제 3 디스플레이장치(163)에 미감지 슬롯의 번호를 표시하게 된다.

한편, 표시부(160)의 각 디스플레이장치(161,162,163)는 작업자가 확인하기 쉽도록 숫자를 표시할 수 있는 발광다이오드소자(LED)인 것이 바람직하다.

또한, 감지센서(150)에 의해 카세트(C)에 미적재된 웨이퍼(W)가 둘 이상일 경우 제 3 디스플레이장치(163)에 표시된 번호 이외의 다음 슬롯의 번호를 확인하기 위한 스킵버튼(Skipbutton)(165)이 헤드부(130)의 상부에 장착된다.

이는 스킵버튼(165)을 누름으로써 감지센서(150)가 감지한 다음 슬롯의 번호를 제어부(170)가 다시 제 3 디스플레이장치(163)에 표시해 주는 것이다..

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 대한 작용 및 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저, 웨이퍼 이송장치(100)를 이용하여 보트(B)로부터 소정 공정이 완료된 웨이퍼(W)를 카세트(C)에 적재시킨다.

그리고, 도 4를 참조하면 웨이퍼 이송장치(100)의 일측에 장착된 감지센서(150)를 이용하여 카세트(C)의 각 슬롯에 적재된 웨이퍼(W)의 미적재여부를 감지하게 되고 이 결과를 제어부(170)에 전달한다.

이와 동시에 이 제어부(170)는 제 1 디스플레이장치(161)에 미리 설정된 카세트(C)에 적재되는 웨이퍼(W)의 개수를 표시하고, 제 2 디스플레이장치(162)에는 카세트(C)에 실제적으로 적재된 즉, 감지센서(150)에 의해 감지된 웨이퍼(W)의 개수를 표시한다.

이때, 제 1 디스플레이장치(161)와 제 2 디스플레이장치(162)의 웨이퍼수가 틀릴 경우 이는 카세트(C)에 웨이퍼(W)가 미적재된 슬롯이 존재한다는 것이다.

웨이퍼(W)가 미적재된 슬롯을 확인하기 위하여 제어부(170)에 의해 이 슬롯의 번호를 보여주는 제 3 디스플레이장치(163)에 표시한다.

또한, 웨이퍼(W)가 미적재된 슬롯이 둘 이상일 경우 스킵버튼(165)을 눌러 제어부(170)는 웨이퍼가 미적재된 다음 슬롯의 번호를 제 3 디스플레이장치(163)에 표시해준다.

따라서, 본 발명은 각 디스플레이장치와 스킵버튼를 이용하여 실시간으로 웨이퍼가 미적재된 카세트의 슬롯을 확인할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 미적재 여부를 감지하는 감지센서의 감지결과를 표시해주는 표시부에 의해 실시 간으로 웨이퍼가 카세트에 적재되는 상황을 확인할 수 있어 공정시간을 단축하는 효과가 있다.

본 발명은 도시한 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (4)

1. 카세트와 공정설비의 사이에 배치되어 상기 카세트와 상기 공정설비에 적재된 웨이퍼를 상호 이송시키는 웨이퍼 이송장치;

   상기 웨이퍼 이송장치의 일측에 설치되어 상기 카세트의 각 슬롯에 적재되는 웨이퍼의 적재여부를 감지하는 감지센서;

   상기 웨이퍼 이송장치의 타측에 설치되어 상기 감지센서에 감지된 결과를 표시하는 표시부를 포함하되,

   상기 표시부는 상기 카세트에 적재되는 상기 웨이퍼의 설정된 개수를 표시하는 제 1 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 감지된 상기 카세트에 실제적으로 적재된 웨이퍼의 개수를 확인하는 제 2 디스플레이장치와, 상기 감지센서에 의해 미감지 슬롯의 위치를 확인하는 제 3 디스플레이장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,

   상기 각 디스플레이장치는 발광다이오드소자로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 표시부에는 상기 감지센서에 의해 감지되는 웨이퍼가 미적재된 슬롯이 복수개인 경우 다음 슬롯의 위치를 상기 제 3 디스플레이장치에 표시하기 위한 스킵버튼이 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비.

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