JP4580719B2 - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents
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Description
において、前記搬送速度設定手段は、前記面粗度判定手段により第1の所定の枚数の前記基板から判定された前記面粗度に基づいて、第2の所定の枚数の前記基板の搬送速度を設定することを特徴とする。
において、前記基板の位置ずれ量を測定する位置ずれ量測定手段をさらに備え、前記搬送速度設定手段は、前記面粗度判定手段により判定された面粗度と、前記基板の任意の搬送速度及び該任意の搬送速度に対応する前記位置ずれ量の関係とに基づいて、前記基板の搬送速度を設定することを特徴とする。
1 基板処理システム
2,80,90 基板処理装置
3 ウエハ搬送装置
4,81 T/M(トランスファモジュール)
5A〜5D,20A,20B,21A,21B ゲートバルブ
6A〜6D,82A〜F,91 P/C(プロセスチャンバ)
7A〜7D サセプタ
8,83,92 移載アーム
9A〜9D,93 L/L(ロードロック)室
10A〜10D ウエハカセット
11 ウエハカセット載置台
12 L/M(ローダモジュール)
13 搬送アーム
14 ガイドレール
15 ボールネジ
16 基部
17 駆動モータ
18 オリエンタ
19A,19B ウエハ載置台
23 搬送アーム腕部
24 ピック
25 マッピングアーム
26 アーム基端部支柱
27 昇降台
28 回転基準台
29 光学センサ
30,32A,32B,32C 面粗度センサ
31 ウエハ位置測定器
33 発光素子
34 受光素子
35 受光率算出部
36 制御部
37 シャッタ
94 プロセスシップ
Claims (10)
- 基板を載置して該基板に処理を施す基板処理装置へ搬送する搬送手段を備える基板搬送装置において、
前記基板における載置面の面粗度を判定する面粗度判定手段と、
前記面粗度判定手段により判定された面粗度に基づいて前記搬送手段による前記基板の搬送速度を設定する搬送速度設定手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記面粗度判定手段は、前記搬送手段により搬送される前記基板の搬送経路上に配置されることを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記搬送速度設定手段は、前記判定された面粗度に基づいて前記載置面の摩擦係数を算出することを特徴とする請求項1又は2記載の基板搬送装置。
- 前記搬送速度設定手段は、前記面粗度判定手段により第1の所定の枚数の前記基板から判定された前記面粗度に基づいて、第2の所定の枚数の前記基板の搬送速度を設定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
- 前記基板の位置ずれ量を測定する位置ずれ量測定手段をさらに備え、
前記搬送速度設定手段は、前記面粗度判定手段により判定された面粗度と、前記基板の任意の搬送速度及び該任意の搬送速度に対応する前記位置ずれ量の関係とに基づいて、前記基板の搬送速度を設定することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板搬送装置。 - 前記位置ずれ量測定手段は、前記搬送手段により搬送される前記基板の搬送経路上に配置されることを特徴とする請求項5記載の基板搬送装置。
- 基板を載置して該基板に処理を施す基板処理装置へ搬出入する搬送手段によって前記基板を搬送する基板搬送方法であって、
前記基板における載置面の面粗度を判定する面粗度判定ステップと、
前記判定された面粗度に基づいて前記搬送手段による前記基板の搬送速度を設定する搬送速度設定ステップと、を有することを特徴とする基板搬送方法。 - 前記搬送速度設定ステップは、前記面粗度判定ステップで判定された面粗度に基づいて前記載置面の摩擦係数を算出することを特徴とする請求項7記載の基板搬送方法。
- 前記搬送速度設定ステップは、前記面粗度判定ステップにより第1の所定の枚数の前記基板から判定された前記面粗度に基づいて、第2の所定の枚数の前記基板の搬送速度を設定することを特徴とする請求項7又は8記載の基板搬送方法。
- 前記基板の位置ずれ量を測定する位置ずれ量測定ステップをさらに有し、
前記搬送速度設定ステップでは、前記面粗度判定ステップにより判定された面粗度と、前記位置ずれ量測定ステップにより測定された、前記基板の任意の搬送速度及び該任意の搬送速度に対応する位置ずれ量の関係とに基づいて、前記基板の搬送速度を設定することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の基板搬送方法。
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