KR102628421B1 - 반송 로봇의 정상 여부 판단 시스템, 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법 및 기판 처리 장치 - Google Patents

반송 로봇의 정상 여부 판단 시스템, 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법 및 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

기판을 반송하기 위한 반송 챔버를 포함하는 기판 처리 장치가 개시된다. 상기 반송 챔버는, 상기 기판이 놓여지는 핸드; 상기 핸드에 연결되는 아암; 상기 핸드 및 아암을 지지하며, 상기 기판의 반송을 위해 움직이는 제1 부재; 상기 제1 부재를 지지하기 위해 제공되는 제2 부재; 상기 제1 부재에 부착되는 센서 감지 부재; 및 상기 제2 부재에 부착된 센서 부재;를 포함하며, 상기 센서 감지 부재와 상기 센서 부재와의 거리를 통해 상기 반송 챔버에서의 반송의 정상 여부를 판단하는 판단부;를 포함할 수 있다.

Description

반송 로봇의 정상 여부 판단 시스템, 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법 및 기판 처리 장치{A SYSTEM FOR DETERMINING WHETHER THE TRANSFER ROBOT IS NORMAL, A METHOD FOR DETERMINING WHETHER THE TRANSFER ROBOT IS NORMAL, AND SUBSTRATE TREATING APPARTUS}
본 발명은 반송 로봇의 정상 여부 판단 시스템, 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법 및 기판 처리 장치에 관한 발명이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 이온주입, 박막 증착, 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이 중 사진 공정은 기판 상에 원하는 회로 패턴을 형성하기 위한 공정으로, 도포 공정, 노광 공정, 그리고 현상 공정이 순차적으로 진행된다. 도포 공정에는 기판 상에 포토 레지스트와 같은 감광액을 도포하고, 노광 공정에는 감광막이 형성된 기판 상에 회로 패턴을 노광하며, 현상 공정에는 기판 상에 노광 처리된 영역을 선택적으로 현상 처리한다. 그리고 기판의 식각 공정 또는 세정 공정은 크게 케미칼 처리 단계, 린스 처리 단계, 그리고 건조 처리 단계가 순차적으로 수행된다. 케미칼 처리 단계에는 기판 상에 형성된 박막을 식각 처리하거나 기판 상의 이물을 제거하기 위한 케미칼을 기판으로 공급하고, 린스 처리 단계에는 기판 상에 순수와 같은 린스액이 공급된다. 이 같은 기판 처리 장치는 이송 로봇을 통해 기판을 일 위치에서 다른 위치로 이송한다.
그러나 이송 로봇의 구동 중 다양한 문제가 발생할 수 있다. 구동 중 발생할 수 있는 문제점 중 하나는, 이송 로봇의 구동 중 축의 틀어짐 혹은 기준점을 측정하는 센서의 고장으로 인한 하드웨어적 기준점이 틀어지게 되어, 각각 티칭 된 유닛들의 목표점에 틀어진 채로 웨이퍼를 반송하게 되어, 정확한 웨이퍼의 이송이 불가한 문제가 있었다. 또 다른 문제점은, 이송 로봇은 웨이퍼의 포지션을 측정하여 웨이퍼가 틀어진 양만큼 보정하여 유닛의 목표점에 내려놓는데, 웨이퍼를 측정하는 센서의 틀어짐이 발생하면 기준점이 틀어진 만큼 오차가 발생하여 유닛에 부정확하게 안착하게 되는 문제점이 있었다.
따라서 상기와 같은 문제들을 사전에 인식하고 검출하기 위한 장치 및 방법이 요구되었다.
본 발명에서는 반송 로봇의 정상 여부를 주기적으로 판단 가능한 시스템을 제안하고자 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않는다. 언급되지 않은 다른 기술적 과제들은 이하의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 예시에 따른 기판을 반송하는 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있는 판단 시스템이 개시된다.
상기 시스템은, 상기 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재에 부착된 센서 감지 부재; 및 상기 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재를 지지하는 지지부재에 부착된 센서 부재;를 포함하고, 상기 센서 감지 부재와 상기 센서 부재와의 거리를 통해 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하는 판단부;를 포함할 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재는 모터를 통해 구동되며, 상기 판단부는 상기 모터에서의 Z상을 이용하여 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 판단부는, 상기 센서 부재에 상기 센서 감지 부재가 감지될 수 있는 위치를 제1 위치로 설정하고, 상기 제1 위치로부터 상기 모터에서의 Z상 만큼 상기 움직이는 부재가 이동한 위치를 제2 위치로 설정할 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 판단부는, 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치와의 차이값을 기준으로 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 판단부는 미리 계측한 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치와의 차이값을 기준값으로 하고, 주기적으로 상기 제2 위치와 상기 제1 위치와의 차이값을 측정하여, 일정 범위 이상 상기 기준값과 차이가 발생하는 경우 알람을 발생하도록 제어할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 기판을 반송하기 위한 반송 챔버를 포함하는 기판 처리 장치가 개시된다.
상기 반송 챔버는, 상기 기판이 놓여지는 핸드; 상기 핸드에 연결되는 아암; 상기 핸드 및 아암을 지지하며, 상기 기판의 반송을 위해 움직이는 제1 부재; 상기 제1 부재를 지지하기 위해 제공되는 제2 부재; 상기 제1 부재에 부착되는 센서 감지 부재; 및 상기 제2 부재에 부착된 센서 부재;를 포함하며, 상기 센서 감지 부재와 상기 센서 부재와의 거리를 통해 상기 반송 챔버에서의 반송의 정상 여부를 판단하는 판단부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 기판을 반송하는 반송 로봇의 정상 여부를 판단하는 방법이 개시된다.
상기 방법은, 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하기 위한 기준값을 측정하는 단계; 상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계; 상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계; 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값과 상기 기준값을 비교하는 단계;를 포함할 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계;는, 상기 반송 로봇을 구동하기 위한 제1 부재에 부착되는 센서 감지 부재에, 상기 제1 부재를 지지하기 위한 제2 부재에 부착되는 센서 부재가 감지되는 위치로 반송 로봇을 위치시킬 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계; 는, 상기 제1 부재를 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 구동시켰을 때의 위치로 반송 로봇을 위치시킬 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값과 상기 기준값을 비교하는 단계;는, 상기 기준값의 오차 범위 밖에 상기 차이값이 위치하는 경우, 알람을 발생시킬 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계; 상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계; 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값과 상기 기준값을 비교하는 단계; 는, 일정 주기로 반복될 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하기 위한 기준값을 측정하는 단계;는, 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값을 측정하여 평균을 낸 값을 기준값으로 설정할 수 있다.
본 발명에 따르면 반송 로봇을 주기적으로 검사함으로써 에러가 발생하기 이전에 조치를 취할 수 있다.
본 발명에 따르면, 반송 로봇의 컨디션을 사전 진단하는 것을 통해, 구동 중 문제가 발생하여 설비 운용 및 웨이퍼의 손실을 사전 예방할 수 있다.
본 발명의 효과는 상술한 효과들로 제한되지 않는다. 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 기판 처리 장치를 상부에서 바라본 도면이다.
도 2는 도 1의 설비를 A-A 방향에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 설비를 B-B 방향에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 1의 설비를 C-C 방향에서 바라본 도면이다.
도 5는 이송 로봇을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 반송 챔버를 나타내는 단면도이다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 반송 챔버를 이용하여 로봇 진단을 수행하는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 로봇 진단 방법을 나타내는 순서도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 명세서 전체에서 사용되는 '~부'는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위로서, 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그렇지만 '~부'가 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부'는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다.
일 예로서 '~부'는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함할 수 있다. 구성요소와 '~부'에서 제공하는 기능은 복수의 구성요소 및 '~부'들에 의해 분리되어 수행될 수도 있고, 다른 추가적인 구성요소와 통합될 수도 있다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
본 실시예의 설비는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 패널과 같은 기판에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 특히 본 실시예의 설비는 노광장치에 연결되어 기판에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 아래에서는 기판으로 웨이퍼가 사용된 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1은 기판 처리 장치를 상부에서 바라본 도면이고, 도 2는 도 1의 설비를 A-A 방향에서 바라본 도면이고, 도 3은 도 1의 설비를 B-B 방향에서 바라본 도면이고, 도 4는 도 1의 설비를 C-C 방향에서 바라본 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 연계 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)을 포함한다. 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 연계 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)은 순차적으로 일 방향으로 일렬로 배치된다.
이하, 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 연계 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)이 배치된 방향을 제 1 방향(12)이라 칭하고, 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(12)과 수직한 방향을 제 2 방향(14)이라 칭하고, 제 1 방향(12) 및 제 2 방향(14)과 각각 수직한 방향을 제 3 방향(16)이라 칭한다.
기판(W)은 카세트(20) 내에 수납된 상태로 이동된다. 이때 카세트(20)는 외부로부터 밀폐될 수 있는 구조를 가진다. 예컨대, 카세트(20)로는 전방에 도어를 가지는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod; FOUP)가 사용될 수 있다.
이하에서는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 연계 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)에 대해 상세히 설명한다.
로드 포트(100)는 기판들(W)이 수납된 카세트(20)가 놓여지는 재치대(120)를 가진다. 재치대(120)는 복수개가 제공되며, 재치대들(200)은 제 2 방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 2에서는 4개의 재치대(120)가 제공되었다.
인덱스 모듈(200)은 로드 포트(100)의 재치대(120)에 놓인 카세트(20)와 연계 모듈(300) 간에 기판(W)을 이송한다. 인덱스 모듈(200)은 프레임(210), 인덱스 로봇(220), 그리고 가이드 레일(230)을 가진다. 프레임(210)은 대체로 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 로드 포트(100)와 연계 모듈(300) 사이에 배치된다. 인덱스 모듈(200)의 프레임(210)은 후술하는 연계 모듈(300)의 프레임(310)보다 낮은 높이로 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(220)과 가이드 레일(230)은 프레임(210) 내에 배치된다. 인덱스 로봇(220)은 기판(W)을 픽업 및 플레이싱 한다. 인덱스 로봇(220)은 가이드 레일(230)을 따라 이동될 수 있다. 또한, 인덱스 로봇(220)은 가이드 레일(230)에 대해 회전 될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 프레임(210)에는 카세트(20)의 도어를 개폐하는 도어 오프너가 더 제공된다.
연계 모듈(300)은 처리될 기판이 카세트(20)에서 반출된 후 반입되거나, 처리된 기판이 카세트(20)로 반출되는 경로에 위치되어 기판이 임시로 위치될 수 있다. 연계 모듈(300)은 프레임(310), 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)을 가진다. 프레임(310)은 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 인덱스 모듈(200)과 도포 및 현상 모듈(400) 사이에 배치된다. 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)은 프레임(310) 내에 위치된다. 냉각 챔버(350), 제 2 버퍼(330), 그리고 제 1 버퍼(320)는 순차적으로 아래에서부터 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 제 1 버퍼(320)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 도포 모듈(401)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 현상 모듈(402)과 대응되는 높이에 위치된다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼(320)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 위치된다.
제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330)는 각각 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 버퍼(330)는 하우징(331)과 복수의 지지대들(332)을 가진다. 지지대들(332)은 하우징(331) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(332)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(331)은 인덱스 로봇(220), 제 1 버퍼 로봇(360), 그리고 후술하는 현상 모듈(402)의 현상부 로봇(482)이 하우징(331) 내 지지대(332)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향, 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향, 그리고 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 1 버퍼(320)는 제 2 버퍼(330)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 1 버퍼(320)의 하우징(321)에는 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향 및 후술하는 도포 모듈(401)에 위치된 도포부 로봇(432)이 제공된 방향에 개구를 가진다. 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수와 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 동일하거나 상이할 수 있다. 일 예에 의하면, 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수보다 많을 수 있다.
제 1 버퍼 로봇(360)은 제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330) 간에 기판(W)을 이송시킨다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 핸드(361), 아암(362), 그리고 지지대(363)를 가진다. 핸드(361)는 아암(362)에 고정 설치된다. 아암(362)은 신축 가능한 구조로 제공되어, 핸드(361)가 제 2 방향(14)을 따라 이동 가능하도록 한다. 아암(362)은 지지대(363)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(363)에 결합된다. 지지대(363)는 제 2 버퍼(330)에 대응되는 위치부터 제 1 버퍼(320)에 대응되는 위치까지 연장된 길이를 가진다. 지지대(363)는 이보다 위 또는 아래 방향으로 더 길게 제공될 수 있다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 단순히 핸드(361)가 제 2 방향(14) 및 제 3 방향(16)을 따른 2축 구동만 되도록 제공될 수 있다.
냉각 챔버(350)는 각각 기판(W)을 냉각한다. 냉각 챔버(350)는 하우징(351)과 냉각 플레이트(352)를 가진다. 냉각 플레이트(352)는 기판(W)이 놓이는 상면 및 기판(W)을 냉각하는 냉각 수단(353)을 가진다. 냉각 수단(353)으로는 냉각수에 의한 냉각이나 열전 소자를 이용한 냉각 등 다양한 방식이 사용될 수 있다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 기판(W)을 냉각 플레이트(352) 상에 위치시키는 리프트 핀 어셈블리(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 하우징(351)은 인덱스 로봇(220) 및 후술하는 현상 모듈(402)에 제공된 현상부 로봇(482)이 냉각 플레이트(352)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향 및 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 상술한 개구를 개폐하는 도어들(도시되지 않음)이 제공될 수 있다.
도포 및 현상 모듈(400)은 노광 공정 전에 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 공정 및 노광 공정 후에 기판(W)을 현상하는 공정을 수행한다. 도포 및 현상 모듈(400)은 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 도포 및 현상 모듈(400)은 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)을 가진다. 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 도포 모듈(401)은 현상 모듈(402)의 상부에 위치된다.
도포 모듈(401)은 기판(W)에 대해 포토레지스트와 같은 감광액을 도포하는 공정 및 레지스트 도포 공정 전후에 기판(W)에 대해 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 도포 모듈(401)은 레지스트 도포 챔버(410), 베이크 챔버(420), 그리고 반송 챔버(430)를 가진다. 레지스트 도포 챔버(410), 베이크 챔버(420), 그리고 반송 챔버(430)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 레지스트 도포 챔버(410)와 베이크 챔버(420)는 반송 챔버(430)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 레지스트 도포 챔버(410)는 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 레지스트 도포 챔버(410)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(420)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(420)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(420)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.
반송 챔버(430)는 연계 모듈(300)의 제 1 버퍼(320)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(430) 내에는 도포부 로봇(432)과 가이드 레일(433)이 위치된다. 반송 챔버(430)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 도포부 로봇(432)은 베이크 챔버들(420), 레지스트 도포 챔버들(400), 연계 모듈(300)의 제 1 버퍼(320), 그리고 후술하는 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(520) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(433)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(433)은 도포부 로봇(432)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 도포부 로봇(432)은 핸드(434), 아암(435), 지지대(436), 그리고 받침대(437)를 가진다. 핸드(434)는 아암(435)에 고정 설치된다. 아암(435)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(434)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(436)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(435)은 지지대(436)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(436)에 결합된다. 지지대(436)는 받침대(437)에 고정 결합되고, 받침대(437)는 가이드 레일(433)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(433)에 결합된다.
레지스트 도포 챔버들(410)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 레지스트 도포 챔버(410)에서 사용되는 포토 레지스트의 종류는 서로 상이할 수 있다. 일 예로서 포토 레지스트로는 화학 증폭형 레지스트(chemical amplification resist)가 사용될 수 있다. 레지스트 도포 챔버(410)는 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포한다. 레지스트 도포 챔버(410)는 하우징(411), 지지 플레이트(412), 그리고 노즐(413)을 가진다. 하우징(411)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(412)는 하우징(411) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(412)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(413)은 지지 플레이트(412)에 놓인 기판(W) 상으로 포토 레지스트를 공급한다. 노즐(413)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 포토 레지스트를 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(413)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(413)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 추가적으로 레지스트 도포 챔버(410)에는 포토 레지스트가 도포된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(414)이 더 제공될 수 있다.
베이크 챔버(420)는 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 챔버들(420)은 포토 레지스트를 도포하기 전에 기판(W)을 소정의 온도로 가열하여 기판(W) 표면의 유기물이나 수분을 제거하는 프리 베이크(prebake) 공정이나 포토레지스트를 기판(W) 상에 도포한 후에 행하는 소프트 베이크(soft bake) 공정 등을 수행하고, 각각의 가열 공정 이후에 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. 베이크 챔버(420)는 냉각 플레이트(421) 또는 가열 플레이트(422)를 가진다. 냉각 플레이트(421)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(423)이 제공된다. 또한 가열 플레이트(422)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(424)이 제공된다. 냉각 플레이트(421)와 가열 플레이트(422)는 하나의 베이크 챔버(420) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버(420)들 중 일부는 냉각 플레이트(421)만을 구비하고, 다른 일부는 가열 플레이트(422)만을 구비할 수 있다.
현상 모듈(402)은 기판(W) 상에 패턴을 얻기 위해 현상액을 공급하여 포토 레지스트의 일부를 제거하는 현상 공정, 및 현상 공정 전후에 기판(W)에 대해 수행되는 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 현상모듈(402)은 현상 챔버(800), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)를 가진다. 현상 챔버(800), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 현상 챔버(800)와 베이크 챔버(470)는 반송 챔버(480)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 현상 챔버(800)는 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 현상 챔버(800)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(470)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(470)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(470)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.
반송 챔버(480)는 연계 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(480) 내에는 현상부 로봇(482)과 가이드 레일(483)이 위치된다. 반송 챔버(480)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 현상부 로봇(482)은 베이크 챔버들(470), 현상 챔버들(800), 연계 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350), 그리고 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(483)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(483)은 현상부 로봇(482)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 현상부 로봇(482)은 핸드(484), 아암(485), 지지대(486), 그리고 받침대(487)를 가진다. 핸드(484)는 아암(485)에 고정 설치된다. 아암(485)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(484)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(486)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(485)은 지지대(486)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(486)에 결합된다. 지지대(486)는 받침대(487)에 고정 결합된다. 받침대(487)는 가이드 레일(483)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(483)에 결합된다.
버퍼 모듈(500)은 도포 및 현상 모듈(400)과 노광 전후 처리 모듈(600) 사이에 기판(W)이 운반되는 통로로서 제공된다. 또한, 버퍼 모듈(500)은 기판(W)에 대해 냉각 공정이나 에지 노광 공정 등과 같은 소정의 공정을 수행한다. 버퍼 모듈(500)은 프레임(510), 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)을 가진다. 프레임(510)은 직육면체의 형상을 가진다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)은 프레임(510) 내에 위치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에 대응하는 높이에 배치된다. 제 2 냉각 챔버(540)는 현상 모듈(402)에 대응하는 높이에 배치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 제 2 냉각 챔버(540)는 순차적으로 제 3 방향(16)을 따라 일렬로 배치된다. 상부에서 바라볼 때 버퍼(520)은 도포 모듈(401)의 반송 챔버(430)와 제 1 방향(12)을 따라 배치된다. 에지 노광 챔버(550)는 버퍼(520) 또는 제 1 냉각 챔버(530)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 배치된다.
제 2 버퍼 로봇(560)은 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550) 간에 기판(W)을 운반한다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 에지 노광 챔버(550)와 버퍼(520) 사이에 위치된다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 제 1 버퍼 로봇(360)과 유사한 구조로 제공될 수 있다. 제 1 냉각 챔버(530)와 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 후속 공정을 수행한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판(W)을 냉각한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 냉각 챔버(350)과 유사한 구조를 가진다. 에지 노광 챔버(550)는 제 1 냉각 챔버(530)에서 냉각 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 그 가장자리를 노광한다. 버퍼(520)는 에지 노광 챔버(550)에서 공정이 수행된 기판(W)들이 후술하는 전처리 모듈(601)로 운반되기 전에 기판(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 냉각 챔버(540)는 후술하는 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)이 현상 모듈(402)로 운반되기 전에 기판들(W)을 냉각한다. 버퍼 모듈(500)은 현상 모듈(402)와 대응되는 높이에 추가된 버퍼를 더 가질 수 있다. 이 경우, 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)은 추가된 버퍼에 일시적으로 보관된 후 현상 모듈(402)로 운반될 수 있다.
노광 전후 처리 모듈(600)은, 노광 장치(900)가 액침 노광 공정을 수행하는 경우, 액침 노광시에 기판(W)에 도포된 포토레지스트 막을 보호하는 보호막을 도포하는 공정을 처리할 수 있다. 또한, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 이후에 기판(W)을 세정하는 공정을 수행할 수 있다. 또한, 화학증폭형 레지스트를 사용하여 도포 공정이 수행된 경우, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 후 베이크 공정을 처리할 수 있다.
노광 전후 처리 모듈(600)은 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)을 가진다. 전처리 모듈(601)은 노광 공정 수행 전에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행하고, 후처리 모듈(602)은 노광 공정 이후에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행한다. 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 전처리 모듈(601)은 후처리 모듈(602)의 상부에 위치된다. 전처리 모듈(601)은 도포 모듈(401)과 동일한 높이로 제공된다. 후처리 모듈(602)은 현상 모듈(402)과 동일한 높이로 제공된다. 전처리 모듈(601)은 보호막 도포 챔버(610), 베이크 챔버(620), 그리고 반송 챔버(630)를 가진다. 보호막 도포 챔버(610), 반송 챔버(630), 그리고 베이크 챔버(620)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 보호막 도포 챔버(610)와 베이크 챔버(620)는 반송 챔버(630)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 보호막 도포 챔버(610)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 보호막 도포 챔버(610)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 베이크 챔버(620)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 베이크 챔버(620)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다.
반송 챔버(630)는 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(530)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(630) 내에는 전처리 로봇(632)이 위치된다. 반송 챔버(630)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 전처리 로봇(632)은 보호막 도포 챔버들(610), 베이크 챔버들(620), 버퍼 모듈(500)의 버퍼(520), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 1 버퍼(720) 간에 기판(W)을 이송한다. 전처리 로봇(632)은 핸드(633), 아암(634), 그리고 지지대(635)를 가진다. 핸드(633)는 아암(634)에 고정 설치된다. 아암(634)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 아암(634)은 지지대(635)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(635)에 결합된다.
보호막 도포 챔버(610)는 액침 노광 시에 레지스트 막을 보호하는 보호막을 기판(W) 상에 도포한다. 보호막 도포 챔버(610)는 하우징(611), 지지 플레이트(612), 그리고 노즐(613)을 가진다. 하우징(611)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(612)는 하우징(611) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(612)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(613)은 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W) 상으로 보호막 형성을 위한 보호액을 공급한다. 노즐(613)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 보호액을 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(613)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(613)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 이 경우, 지지 플레이트(612)는 고정된 상태로 제공될 수 있다. 보호액은 발포성 재료를 포함한다. 보호액은 포토 레지스터 및 물과의 친화력이 낮은 재료가 사용될 수 있다. 예컨대, 보호액은 불소계의 용제를 포함할 수 있다. 보호막 도포 챔버(610)는 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 보호액을 공급한다.
베이크 챔버(620)는 보호막이 도포된 기판(W)을 열처리한다. 베이크 챔버(620)는 냉각 플레이트(621) 또는 가열 플레이트(622)를 가진다. 냉각 플레이트(621)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(623)이 제공된다. 또는 가열 플레이트(622)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(624)이 제공된다. 가열 플레이트(622)와 냉각 플레이트(621)는 하나의 베이크 챔버(620) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버들(620) 중 일부는 가열 플레이트(622) 만을 구비하고, 다른 일부는 냉각 플레이트(621) 만을 구비할 수 있다.
후처리 모듈(602)은 세정 챔버(660), 노광 후 베이크 챔버(670), 그리고 반송 챔버(680)를 가진다. 세정 챔버(660), 반송 챔버(680), 그리고 노광 후 베이크 챔버(670)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 세정 챔버(660)와 노광 후 베이크 챔버(670)는 반송 챔버(680)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 세정 챔버(660)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 세정 챔버(660)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 노광 후 베이크 챔버(670)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다.
반송 챔버(680)는 상부에서 바라볼 때 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(680)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 반송 챔버(680) 내에는 후처리 로봇(682)이 위치된다. 후처리 로봇(682)은 세정 챔버들(660), 노광 후 베이크 챔버들(670), 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 2 버퍼(730) 간에 기판(W)을 운반한다. 후처리 모듈(602)에 제공된 후처리 로봇(682)은 전처리 모듈(601)에 제공된 전처리 로봇(632)과 동일한 구조로 제공될 수 있다.
세정 챔버(660)는 노광 공정 이후에 기판(W)을 세정한다. 세정 챔버(660)는 하우징(661), 지지 플레이트(662), 그리고 노즐(663)을 가진다. 하우징(661)는 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(662)는 하우징(661) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(662)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(663)은 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W) 상으로 세정액을 공급한다. 세정액으로는 탈이온수와 같은 물이 사용될 수 있다. 세정 챔버(660)는 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 세정액을 공급한다. 선택적으로 기판(W)이 회전되는 동안 노즐(663)은 기판(W)의 중심 영역에서 가장자리 영역까지 직선 이동 또는 회전 이동할 수 있다.
노광 후 베이크 챔버(670)는 원자외선을 이용하여 노광 공정이 수행된 기판(W)을 가열한다. 노광 후 베이크 공정은 기판(W)을 가열하여 노광에 의해 포토 레지스트에 생성된 산(acid)을 증폭시켜 포토 레지스트의 성질 변화를 완성시킨다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 가열 플레이트(672)를 가진다. 가열 플레이트(672)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(674)이 제공된다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 그 내부에 냉각 플레이트(671)를 더 구비할 수 있다. 냉각 플레이트(671)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(673)이 제공된다. 또한, 선택적으로 냉각 플레이트(671)만을 가진 베이크 챔버가 더 제공될 수 있다.
상술한 바와 같이 노광 전후 처리 모듈(600)에서 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 완전히 분리되도록 제공된다. 또한, 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(680)는 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 보호막 도포 챔버(610)와 세정 챔버(660)는 서로 동일한 크기로 제공되어 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 베이크 챔버(620)와 노광 후 베이크 챔버(670)는 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다.
인터페이스 모듈(700)은 노광 전후 처리 모듈(600), 및 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 이송한다. 인터페이스 모듈(700)은 프레임(710), 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)를 가진다. 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)은 프레임(710) 내에 위치된다. 제 1 버퍼(720)와 제 2 버퍼(730)는 서로 간에 일정거리 이격되며, 서로 적층되도록 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 제 2 버퍼(730)보다 높게 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)에 대응되는 높이에 배치된다. 상부에서 바라볼 때 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되게 위치된다.
인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720) 및 제 2 버퍼(730)와 제 2 방향(14)으로 이격되게 위치된다. 인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 운반한다. 인터페이스 로봇(740)은 제 2 버퍼 로봇(560)과 대체로 유사한 구조를 가진다.
제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)에서 공정이 수행된 기판(W)들이 노광 장치(900)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 그리고 제 2 버퍼(730)는 노광 장치(900)에서 공정이 완료된 기판(W)들이 후처리 모듈(602)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 제 1 버퍼(720)는 하우징(721)과 복수의 지지대들(722)을 가진다. 지지대들(722)은 하우징(721) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(722)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(721)은 인터페이스 로봇(740) 및 전처리 로봇(632)이 하우징(721) 내로 지지대(722)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 전처리 로봇(632)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 2 버퍼(730)는 제 1 버퍼(720)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 2 버퍼(730)의 하우징(731)에는 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 후처리 로봇(682)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 인터페이스 모듈에는 기판(W)에 대해 소정의 공정을 수행하는 챔버의 제공 없이 상술한 바와 같이 버퍼들 및 로봇만 제공될 수 있다.
현상 챔버들(800)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 현상 챔버(800)에서 사용되는 현상액의 종류는 서로 상이할 수 있다. 현상 챔버(800)는 기판을 현상 처리하는 장치로 제공된다. 현상 챔버(800)는 기판(W) 상의 포토 레지스트 중 광이 조사된 영역을 제거한다. 이때, 보호막 중 광이 조사된 영역도 같이 제거된다. 선택적으로 사용되는 포토 레지스트의 종류에 따라 포토 레지스트 및 보호막의 영역들 중 광이 조사되지 않은 영역만이 제거될 수 있다.
도 5는 반송 로봇을 나타내는 도면이다.
반송 로봇(1000)은 인덱스 로봇(220), 도포부 로봇(432), 현상부 로봇(482), 전처리 로봇(632), 후처리 로봇(682), 인터페이스 로봇(740) 등과 같이 기판 처리 장치(1)에 제공되어, 기판(S1, S2)을 일 위치에서 다른 위치로 이송할 수 있다.
도 5를 참조하면, 반송 로봇(1000)은 하나 이상의 핸드(2210, 2220), 받침대(2200) 및 센서들(2230)을 포함한다.
이송 로봇(1000)은 위쪽에서 아래 방향으로 위치되는 제1핸드(2210) 및 제2핸드(2220)를 포함할 수 있다. 제1핸드(2210) 및 제2핸드(2220)는 각각 제1기판(S1) 및 제2기판(S2)을 픽업 및 플레이싱 한다. 핸드(2210, 2220)에는 기판(S1, S2)을 흡착시키는 진공압을 형성하는 진공홀(2300)이 제공된다. 진공홀(2300)은 복수개로 제공될 수 있다.
받침대(2200)는 핸드(2210, 2220)를 지지한다. 예를 들어, 받침대(2200)는 설정 체적을 갖는 블록 형상으로 제공되고, 제1핸드(2210) 및 제2핸드(2220)는 각각 받침대(2200)에 전후 방향으로 이동 가능하게 결합된다. 핸드(2210, 2220)는 내측이 상하 방향으로 개방된 형상으로 제공되고, 기판(S1, S2)의 외측 저면을 지지하도록 제공될 수 있다.
센서들(2230)은 핸드(2210, 2220)에 위치된 기판(S1, S2)의 위치를 감지한다.
예를 들어, 센서들(2230)은 4개가 서로 마주 보는 위치에 제공될 수 있다. 센서들(2230)은 발광부들(2231) 및 수광부들(2232)을 포함한다. 발광부들(2231) 및 수광부들(2232)은 기판(S1, S2)의 외측 모서리에 대응되는 위치에 제공되어, 각각의 센서들(2230)은 기판(S1, S2)의 외측 모서리의 위치를 감지할 수 있다.
발광부들(2231)은 제2핸드(2220)의 아래쪽에 위치되고, 수광부들(2232)은 발광부들(2231)과 상하 방향으로 마주보도록 제1핸드(2210)의 위쪽에 위치될 수 있다. 예를 들어, 발광부들(2231)은 받침대(2200)의 상면 또는 측면에 위치되고, 수광부들(2232)은 제1핸드(2210)와 위쪽으로 설정거리 이격 되어 위치될 수 있다. 또한, 위와 유사한 방식으로 수광부들(2232)은 제2핸드(2220)의 아래쪽에 위치되고, 발광부들(2231)은 수광부들(2232)과 상하 방향으로 마주보도록 제1핸드(2210)의 위쪽에 위치될 수 있다. 발광부들(2231)과 수광부들(2232)이 마주보는 공간에는 핸드(2210, 2220)들(2210, 2220)의 구성이 위치되지 않아, 발광부들(2231)에서 조사된 빛은 수광부들(2232)에 의해 수광될 수 있다. 그리고, 핸드(2210, 2220)들(2210, 2220)에 기판(S1, S2)이 위치된 경우 기판(S1, S2)이 빛을 차단하고, 수광부들(2232)은 빛이 수광되는 영역 또는 차단된 영역을 통해 기판(S1, S2)의 외측 위치를 감지할 수 있다.
제어부(900)는 센서들(2230)이 제공하는 신호를 통해 기판(S1, S2)의 위치정보를 산출할 수 있다. 그리고 기판(S1, S2)을 플레이싱 할 때, 제어부(900)는 산출된 기판(S1, S2)의 위치정보를 이용하여 기판(S1, S2)이 정위치에 플레이싱 되도록 인덱스 로봇(220)을 제어한다. 예를 들어, 제어부(900)는 센서들(2230)이 제공하는 신호를 통해 핸드(2210, 2220)에 위치된 기판(S1, S2)의 중심의 위치를 산출할 수 있다. 그리고, 기판(S1, S2)을 플레이싱 할 때, 제어부(900)는 산출된 중심이 설정 위치에 놓이도록 인덱스 로봇(220)을 제어할 수 있다.
일 예시에 따르면 제어부(900)에서는 센서들에서 측정한 값을 통해 기판의 위치가 정상적인지 여부를 판단할 수도 있다. 제어부는 웨이퍼가 존재하지 않는 경우를 기준으로 하여 센서 데이터를 측정하고, 이를 기준값으로 처리할 수 있다. 일 예시에 따르면 기준값은 0.000일 수 있다. 그러나 볼트가 풀리거나, 진동 및 P/C 등에 의한 센서의 틀어짐이 발생할 수 있다. 진단 시 웨이퍼가 없는 상태에서 센서의 값을 읽었을 때 정해진 한계치보다 높거나 낮을 시 센서의 기준점이 틀어진 것으로 간주하여 알람을 발생시킬 수 있다.
일 예시에 따르면 한계치는 0.300mm으로 설정되어 있는데, 측정한 값이 0.314mm로 측정되는 경우 한계치를 오버한 것으로 보고 알람을 발생시킬 수 있다. 알람이 발생될 경우, 센서를 다시 세팅할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 반송 챔버를 나타내는 단면도이다.
본 발명에 따르면, 반송 로봇의 컨디션을 진단하여 문제가 발생하기 전 조치를 할 수 있는 시스템이 제공된다. 일 예시에 따르면 반송 로봇의 컨디션은 하드웨어 틀어짐 혹은 웨이퍼 측정 센서 기준의 틀어짐 여부를 진단하는 것을 통해 판단할 수 있다.
도 6을 참조하면, 기판을 반송하는 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있는 판단 시스템의 일 예시가 개시된다.
도 6은 도포부 로봇(432)의 일 예시를 나타낸다. 도 6에 따르면, 핸드(434), 아암(435), 지지대(436), 그리고 받침대(437)를 가진다. 이전에서 설명한 구성에 대해서는 생략하고 이하에서 본 발명의 특징적인 부분에 대해 설명하도록 한다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 판단 시스템은 센서 감지 부재(1200)와 센서 부재(1100), 그리고 판단부(미도시)를 포함할 수 있다. 일 예시에 따르면 센서 감지 부재(1200)는 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재에 부착될 수 있다. 일 예시에 따르면 센서 감지 부재(1200)는 핸드(434)에 부착될 수 있다. 그러나 이는 일 예시에 불과하고, 핸드 외에도 움직이는 주체가 되는 부재에 센서 감지 부재(1200)가 부착될 수 있다. 일 예시에 따르면 센서 감지 부재(1200)는 도그바일 수 있다. 일 예시에 따르면 센서 감지 부재(1200)는 움직이는 주체가 되는 부재의 일단 또는 하단에 부착될 수 있다. 일 예시에 따르면 센서 감지 부재(1200)는 후술할 센서 부재(1100)를 통해 감지될 수 있는 위치에 접근 가능한 위치에 배치될 수 있다.
일 예시에 따르면, 센서 부재(1100)는 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재를 지지하는 지지 부재에 부착될 수 있다. 일 예시에 따르면, 센서 부재(1100)는 지지대(436)에 부착될 수 있다. 센서 부재(1100)는 고정된 부재에 부착되어, 고정된 채로 제공될 수 있다. 센서 부재(1100)는 센서 감지 부재(1200)의 존재 여부를 감지할 수 있다. 센서 부재(1100)는 홈센서일 수 있다.
일 예시에 따르면, 판단부(미도시)는 센서 감지 부재(1200)와 센서 부재(1100)와의 거리를 통해 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있다. 일 예시에 따르면, 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재는 모터를 통해 구동될 수 있다. 모터는 반송 챔버 내에 내장되어 제공될 수 있다. 일 예시에 따르면 모터는 지지 부재 혹은 움직이는 부재 내에 내장되어 제공될 수 있다.
일 예시에 따르면, 판단부는 모터에서의 Z상을 이용하여 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있다. Z상이란, 원점 출력상을 의미하는 것으로써, 모터와 연결된 엔코더가 1회전할 때마다 1개의 펄스가 출력되는 것을 의미한다.
즉 모터에서의 Z상을 이용하는 경우, 구동되는 모터와 연결된 엔코더가 1회전을 수행하여, 1개의 펄스가 출력되고, 그에 대응하는 만큼 움직이는 부재가 이동할 수 있다.
본 발명에 따르면, 판단부는 센서 부재(1100)에 센서 감지 부재(1200)가 감지될 수 있는 위치를 제1 위치로 설정할 수 있다. 제1 위치로부터 모터에서의 Z상에 대응되는 만큼 움직이는 부재가 이동한 위치를 제2 위치로 설정할 수 있다. 이를 통해, 판단부는, 제2 위치에서 제1 위치와의 차이값을 기준으로 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있다.
보다 상세하게는, 본 발명에 따른 판단부는 미리 계측한 제2 위치에서 제1 위치와의 차이값을 기준값으로 하여, 주기적으로 제2 위치와 제1 위치와의 차이값을 측정하여, 일정 범위 이상 상기 기준값과 차이가 발생하는 경우 알람을 발생하도록 제어할 수 있다. 이를 통해 이상이 발생하는 경우 신속하게 에러를 확인할 수 있고, 그에 따른 조치를 취할 수 있다.
본 발명에 따르면, 최초로 계측한 포인트 지점, 즉 제1 위치와 센서 감지 부재(1200)와의 거리를 기준으로 하여, 최초의 오리진(Origin) 시 측정되는 거리와, 기준으로 설정한 거리와 비교하여 미리 설정한 오차 범위를 벗어나는 경우 알람을 발생시킬 수 있다. 이를 통해 문제가 발생 시 기록된 데이터를 활용하여 트렌드의 존재 여부 및 일시적 현상을 확인 가능한 효과가 있다.
즉 본 발명에 따르면, 로봇의 컨디션을 사전 진단하는 것을 통해, 구동 중 문제가 발생하여 설비 운용 및 웨이퍼의 손실을 사전 예방할 수 있다.
도 6의 경우, Z축으로 이동이 가능한 반송 로봇의 경우로 예시를 들어 설명하였으나, 본 발명은 여기에 한정되지 아니하고, 모터를 통해 구동되는 경우라면 다양한 축에서 움직이는 반송 로봇에 적용될 수 있다. 일 예시에 따르면, X축, Y축, 축에서 움직이는 반송 로봇에도 동일하게 적용될 수 있다.
본 발명에 따르면 운영 중 주기적으로 진단을 수행함으로써, 반송 로봇의 컨디션에 이상이 발생할 경우 보다 신속하게 확인이 가능할 수 있다. 일 예시에 따르면 24시간 단위로 진단을 수행할 수 있다. 일 예시에 따르면 12시간 단위로 진단을 수행할 수 있다. 또는 일 예시에 따르면 로봇의 운영의 대기 상황에서 진단을 수행하도록 설정할 수도 있다. 즉 본 발명에서는, 각각의 축에서의 모터의 Z상 거리 검사 및 웨이퍼의 포지션을 검출하기 위한 센서의 틀어짐 검사를 주기적으로 수행함으로써, 로봇의 진단을 수행할 수 있는 효과가 있다.
이를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 반송 챔버를 이용하여 로봇 진단을 수행하는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a를 참조하면, 로봇 진단을 수행하기 위한 주기, 예를 들면 24시간이 경과한 경우, 움직이는 부재에 부착된 센서 감지 부재(1200)를 센서 부재(1100)를 통해 감지될 수 있도록 제1 위치로 이동하도록 제어할 수 있다. 이는 도 7b를 통해 나타난다. 도 7b를 참조하면, 고정된 위치에 배치된 센서 부재(1100)는 움직이는 부재에 부착된 센서 감지 부재(1200)를 감지하고, 해당 위치를 기준 위치, 기준점으로 삼을 수 있다. 그 후, 도 7c를 참조하면, 모터의 Z상에 대응하는 만큼 모터를 구동하여 움직이는 부재를 구동시킬 수 있다. 그 후 센서 감지 부재(1200)와 센서 부재(1100)와의 거리를 d라 한다. 여기서 얻은 d의 값을 기준값과 비교하여 일정한 오차 범위 이상 차이나는 경우 알람을 발생시킴으로써 용이하게 반송 로봇의 정상 여부를 진단할 수 있다.
즉 본 발명에서는 모터의 기본 속성에 해당하는 Z상을 이용하여 이를 구동 거리를 통해 환산함으로써, 반송 로봇의 정상 여부를 손쉽게 판단할 수 있는 장점이 있다.
이를 수치를 적용하여 다시 한번 설명하면 다음과 같다.
본 발명에서는 반송하는 부재에서 움직임을 제공하는 모터의 Z상을 이용하여, 센서 부재(1100)와 센서 감지 부재(1200)와의 거리를 비교할 수 있다.
반송 로봇이 진단을 시작하고자 하면, 모터는 센서 부재(1100)를 감지하기 위해 이동할 수 있고, 센서 부재(1100)를 감지한 후 Z상을 찾기 위해 이동할 수 있다. 모터에는 Z상(Z Phase)라는 고유의 펄스가 존재한다. 이는 모터 한바퀴에 1포인트로 대응될 수 있다. 일 예시에 따른 제1 위치에서 제2 위치까지의 대응되는 펄스 값이 10000펄스인 경우가 기준값이라고 가정한다.
주기적인 진단을 통해 측정하였을 때, 제1 위치에서 제2 위치까지의 대응되는 펄스 값이 9000펄스로 측정되는 경우를 가정하면, 1000펄스만큼의 차이가 발생하고, 상기 차이가 발생한 1000펄스가 정해진 오차 범위 밖으로 판단되는 경우 알람을 발생할 수 있다. 일 예시에 따르면 모터의 펄스 기준으로 비교를 통해 진단을 수행할 수도 있고, 이를 환산한 거리를 비교하는 것을 통해 진단을 수행할 수도 있다.
도 8은 본 발명에 따른 로봇 진단 방법을 나타내는 순서도이다.
도 8에 따르면, 진단 주기를 24시간으로 설정한 예시에 따른 진단 방법이 개시된다. 24시간이 지난 경우, 홈의 위치, 즉 제1 위치에서 Z상만큼 위치 변경된 제2 위치와의 거리를 측정할 수 있다. 미리 설정한 한계치와 제2 위치에서 제1 위치와의 차이값을 비교하여, 한계치보다 차이값이 큰 경우 알람을 발생시킬 수 있다.
보다 상세하게 설명하면 이하와 같이 설명할 수 있다.
반송 로봇의 정상 여부를 판단하기 위한 기준값을 측정하는 단계; 상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계; 상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계; 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값과 상기 기준값을 비교하는 단계;를 포함할 수 있다. 일 예시에 따르면, 상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계;는, 상기 반송 로봇을 구동하기 위한 제1 부재에 부착되는 센서 감지 부재(1200)에, 상기 제1 부재를 지지하기 위한 제2 부재에 부착되는 센서 부재(1100)가 감지되는 위치로 반송 로봇을 위치시킬 수 있다. 그 후, 상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계; 는, 상기 제1 부재를 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 구동시켰을 때의 위치로 반송 로봇을 위치시킬 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값과 상기 기준값을 비교하는 단계;는, 상기 기준값의 오차 범위 밖에 상기 차이값이 위치하는 경우, 알람을 발생시킬 수 있다.
일 예시에 따르면, 상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계; 상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계; 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값과 상기 기준값을 비교하는 단계; 는, 일정 주기로 반복될 수 있다. 일 예시에 따르면, 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하기 위한 기준값을 측정하는 단계;는, 상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 차이값을 측정하여 평균을 낸 값을 기준값으로 설정할 수 있다.
또한 기판 위치를 체크할 수 있는 센서의 측정값이 한계치보다 높은 경우 마찬가지로 알람을 발생시킬 수 있다.
이상의 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시 예들도 본 발명의 범위에 속하는 것임을 이해하여야 한다. 본 발명에서 제공되는 도면은 본 발명의 최적의 실시예를 도시한 것에 불과하다. 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.
1100: 센서 부재
1200 : 센서 감지 부재

Claims (16)

  1. 기판을 반송하는 반송 로봇의 정상 여부를 판단할 수 있는 판단 시스템에 있어서,
    상기 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재에 부착된 센서 감지 부재; 및
    상기 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재를 지지하는 지지부재에 부착된 센서 부재;를 포함하고,
    상기 센서 감지 부재와 상기 센서 부재와의 거리를 통해 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하는 판단부;를 포함하고,
    상기 기판을 반송하기 위해 움직이는 부재는 모터를 통해 구동되며,
    상기 판단부는,
    상기 모터에서의 Z상을 이용하여 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하고,
    상기 센서 부재에 상기 센서 감지 부재가 감지될 수 있는 위치를 제1 위치로 설정하고,
    상기 제1 위치로부터 상기 모터에서의 Z상 만큼 상기 움직이는 부재가 이동한 위치를 제2 위치로 설정하고,
    상기 제1위치에서 상기 제2위치까지 대응되며 상기 모터와 연결된 엔코더에 의해 측정되는 측정 펄스 값과 미리 설정된 기준 값과의 차이가 기 설정된 오차 범위 내인지 여부에 따라 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하는 반송 로봇의 정상 여부 판단 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 판단부는
    상기 측정 펄스 값이 일정 범위 이상 상기 기준값과 차이가 발생하는 경우 알람을 발생하도록 제어하는 반송 로봇의 정상 여부 판단 시스템.
  6. 기판을 반송하기 위한 반송 챔버를 포함하는 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 반송 챔버는,
    상기 기판이 놓여지는 핸드;
    상기 핸드에 연결되는 아암;
    상기 핸드 및 아암을 지지하며, 상기 기판의 반송을 위해 움직이는 제1 부재;
    상기 제1 부재를 지지하기 위해 제공되는 제2 부재;
    상기 제1 부재에 부착되는 센서 감지 부재; 및
    상기 제2 부재에 부착된 센서 부재;를 포함하며,
    상기 센서 감지 부재와 상기 센서 부재와의 거리를 통해 상기 반송 챔버에서의 반송의 정상 여부를 판단하는 판단부;를 포함하고,
    상기 제1부재는 모터를 통해 구동되며,
    상기 판단부는,
    상기 모터에서의 Z상을 이용하여 상기 반송 챔버에서의 정상 여부를 판단하고,
    상기 센서 부재에 상기 센서 감지 부재가 감지될 수 있는 위치를 제1 위치로 설정하고,
    상기 제1 위치로부터 상기 모터에서의 Z상 만큼 상기 움직이는 부재가 이동한 위치를 제2 위치로 설정하고,
    상기 제1위치에서 상기 제2위치까지 대응되며 상기 모터와 연결된 엔코더에 의해 측정되는 측정 펄스 값과 미리 설정된 기준 값과의 차이가 기 설정된 오차 범위 내인지 여부에 따라 상기 반송 챔버에서의 반송 정상 여부를 판단하는 기판 처리 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제6항에 있어서,
    상기 판단부는
    상기 측정 펄스 값이 일정 범위 이상 상기 기준값과 차이가 발생하는 경우 알람을 발생하도록 제어하는 기판 처리 장치.
  11. 기판을 반송하는 반송 로봇의 정상 여부를 판단하는 방법에 있어서,
    상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하기 위한 기준값을 측정하는 단계;
    상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계;
    상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계;
    상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치까지 대응하며 상기 모터와 연결된 엔코더에 의해 측정되는 측정 펄스 값과 상기 기준값을 비교하는 단계;를 포함하고,
    상기 측정 펄스 값과 상기 기준값의 차이가 기 설정된 오차 범위 내인지 여부에 따라 상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하는 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계;는,
    상기 반송 로봇을 구동하기 위한 제1 부재에 부착되는 센서 감지 부재에, 상기 제1 부재를 지지하기 위한 제2 부재에 부착되는 센서 부재가 감지되는 위치로 반송 로봇을 위치시키는 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계; 는,
    상기 제1 부재를 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 구동시켰을 때의 위치로 반송 로봇을 위치시키는 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 측정 펄스 값과 상기 기준 값과의 차이가 상기 오차 범위 밖인 경우 알람을 발생시키는 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법.
  15. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 로봇의 기준 위치로 상기 반송 로봇을 위치시키는 단계;
    상기 반송 로봇을 구동하는 모터의 Z상에 대응하는 만큼 상기 반송 로봇을 이동시키는 단계;
    상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치까지 대응되는 측정 펄스 값과 상기 기준값을 비교하는 단계; 는,
    일정 주기로 반복되는 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 반송 로봇의 정상 여부를 판단하기 위한 기준값을 측정하는 단계;는,
    상기 기준 위치와 상기 반송 로봇을 이동시킨 위치 사이의 펄스 값을 측정하여 평균을 낸 값을 기준값으로 설정하는 반송 로봇의 정상 여부 판단 방법.
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