KR19990027220A - 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부 - Google Patents

Abstract

본 발명은 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트가 안착되는 탑재부에 복수개의 센서를 설치하고, 각각의 센서들을 직렬로 연결함으로써, 탑재부에 불량으로 안착된 카세트를 감지할 수 있게 된다. 즉, 카세트가 탑재부에 들떠 있거나 위치 불량으로 있을 때, 복수개의 센서들 중 작동되지 않는 센서에 의해서 경고음과 함께 다음 작업이 진행이 되지 않기 때문에, 카세트가 탑재부에 정확히 안착되지 않은 상태에서 웨이퍼 이송시 발생하는 웨이퍼의 떨어짐이나 깨짐, 긁힘 등을 방지할 수 있으며, 안전하게 웨이퍼를 이송할 수 있어 생산성과 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있게 된다.

Description

직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부(Cassette loading part having a plurality of sensors in series)

본 발명은 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트가 안착되는 탑재부에 복수개의 센서를 설치하고, 각각의 센서를 직렬로 연결함으로써, 탑재부에 불량으로 안착된 카세트를 감지할 수 있게 한 카세트 탑재부에 관한 것이다.

반도체 소자들의 고집적화, 고밀도화의 요구에 따라서, 반도체 제조공정은 박막의 다층화, 회로선폭의 미세화 등으로 더욱 어렵고 복잡하게 되어 가고 있다. 예컨대, 64 M DRAM의 경우 회로선폭은 0.35μm이며, 앞으로는 더욱 미세한 회로선폭이 요구된다. 이와 같은 고집적화를 가능하게 하는 제조공정 기술은 모든 제조변수들을 감안하여 그 만큼 정밀하게 제어되어야 한다. 여러 제조공정 중 제어장치는 센서와 같은 감지기와 전기적 또는 기계적으로 연결되어 이용되고 있다.

도 1은 종래기술에 따른 카세트 탑재부의 사시도이고, 도 2는 종래기술에 따른 카세트 탑재부에 카세트가 탑재된 상태의 사시도이다.

도 1과 도 2를 참조하여 카세트 탑재부를 설명하면, 탑재부(10)의 상면에는 카세트(20)가 안착될 때, 카세트(20)가 정확한 위치에 안착되게 하며, 움직임을 방지하기 위한 고정대(12, 14)가 돌출·형성되어 있다. 탑재부(10) 중심부에는 관통구멍(26)이 형성되어 있고, 센서(18)가 이 관통구멍(16)에 삽입되어 탑재부(10) 상면으로 돌출되어 있다. 센서(18)는 감지 스위치(19)와 전기적으로 연결되어 있어 카세트가 탑재부(10) 상면에 안착될 때, 카세트의 압력에 의해서 작동하고 감지 스위치(19)에 신호를 주게 된다. 감지 스위치(19)는 제어 장치(도시 안됨)와 연결되어 있다.

카세트를 설명하면, 카세트(20)는 복수개의 웨이퍼(26)가 수납될 수 있도록, 일방향으로 개구된 공간이 형성되어 있으며, 그 내벽에 횡방향으로 형성된 복수개의 웨이퍼 삽입홈(22)들을 갖고 있다. 그리고 개구된 방향의 양측과 그 반대면 양측은 카세트 몸체에 대해서 돌출되어 있고, 카세트(20)의 상면에는 카세트 손잡이(24)가 있다.

카세트(20)를 탑재부(10)에 안착할 때는 작업자가 카세트(20)의 상면에 형성된 손잡이(24)로 직접 탑재부(10)에 올려놓게 된다. 카세트(20)가 정확하게 탑재부(10)에 안착되면, 카세트(20) 하면이 탑재부(10) 중심부의 관통구멍(16)에서 돌출된 센서(18)를 가압하여 신호를 감지 스위치(19)에 보내게 되고, 다음작업인 웨이퍼 이송이 웨이퍼 이송장치(30)에 의해서 이루어진다. 웨이퍼 이송장치(30)의 로봇 팔(32)에는 진공흡착구멍(34)이 형성되어 있어, 이부분이 웨이퍼(26)의 하면을 진공흡착하여 이송하게 된다.

그러나 작업자가 직접 카세트를 탑재부에 올려야 하기 때문에, 작업시 실수로 카세트를 탑재부 상면에 돌출된 고정대에 걸쳐서 안착시키는 경우가 발생하게 된다. 즉, 카세트가 들뜨는 현상이 발생하게 되는데, 이러한 경우에도 카세트 하면이 탑재부 중심부에 있는 센서를 가압하여, 신호를 감지 스위치에 보내기 때문에 다음 작업이 진행된다. 이렇게 카세트가 들뜬 상태에서 웨이퍼 이송장치가 웨이퍼를 이송하게 되면, 정확히 안착되지 않은 카세트로 인해서 웨이퍼가 카세트와 충돌하여 떨어지거나, 깨짐, 긁힘 등이 발생하기 때문에, 웨이퍼를 못쓰게 되는 문제점이 발생하게 된다. 특히, 하나의 카세트에는 복수개의 웨이퍼가 적재되기 때문에, 처음 카세트가 탑재부에 잘못 안착이 되면 카세트에 적재된 모든 웨이퍼가 손상을 입을 수 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 카세트가 탑재부의 정확한 위치에 안착되지 않고도 센서가 카세트를 감지함으로써, 웨이퍼 이송장치가 다음 작업을 위해서 카세트에 있는 웨이퍼를 이송하거나 또는 작업이 끝난 웨이퍼를 카세트로 이송할 때, 웨이퍼와 카세트의 충돌에 의한 떨어짐, 깨짐, 긁힘 등이 발생하게 되는데, 이를 방지하여 안전하게 웨이퍼를 이송하고 생산성과 신뢰성을 향상시킬 수 있는 카세트 탑재부를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래기술에 따른 카세트 탑재부의 사시도,

도 2는 종래기술에 따른 카세트 탑재부에 카세트가 탑재된 상태의 사시도,

도 3은 본 발명에 따른 카세트 탑재부의 사시도,

도 4는 카세트에서 웨이퍼가 이송되는 것을 보여주는 사시도이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 40 : 카세트 탑재부 12, 14, 42, 44 : 고정대

16, 46 : 관통구멍 18, 48 : 센서

20, 50 : 카세트 30, 60 : 웨이퍼 이송장치

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 카세트 탑재부에 복수개의 센서를 설치하고 각각의 센서들을 직렬로 연결시킴으로써, 탑재부에서 카세트의 들뜸이나 위치불량을 감지하고, 카세트의 위치불량에 따른 웨이퍼 손상을 방지할 수 있는 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부를 제공한다.

아하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 3은 본 발명에 따른 카세트 탑재부의 사시도이고, 도 4는 카세트에서 웨이퍼가 이송되는 것을 보여주는 사시도이다.

도 3과 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 탑재부(40)의 상면에는 카세트(50)를 정확한 위치에 안착시키기 위한 고정대(42, 44)가 돌출·형성되어 있다. 탑재부(40)의 중심부와 고정대(42, 44) 안쪽의 카세트(50)가 안착되는 곳에는 관통구멍들(46)이 형성되어 있고, 센서들(48)이 이 관통구멍들(46)에 삽입되어 탑재부(40) 상면으로 돌출되어 있다. 센서들(48)은 감지 스위치(49)와 직렬로 연결되어 있어 카세트(50)가 탑재부(40) 위에 안착될 때, 카세트(50)의 압력에 의해서 모든 센서들이 반응하면 감지 스위치(49)에 신호를 주게 된다. 그리고 감지 스위치는 전기적으로 제어장치(도시 안됨)와 연결되어 있다.

카세트(50)가 탑재부(40)에 정확히 안착되면, 웨이퍼 이송장치(60)는 로봇 팔(62)을 웨이퍼가 적재되어 있는 카세트(50)로 뻗어, 웨이퍼(56)의 하면을 진공흡착하고 이송시킨다.

이러한 센서들은 모두 직렬로 연결되어 있기 때문에, 한 센서라도 작동이 되지 않으면, 다음 작업이 진행이 되지 않게 된다. 즉, 카세트가 탑재부에서 들떠 있거나 위치불량이 생겼을 때, 복수개의 센서들 중 작동이 되지 않는 센서가 있을 것이다. 이러한 작동이 되지 않는 센서에 의해서 경고음이 발생하게 되고 다음 작업이 진행되지 않기 때문에, 작업자는 카세트의 위치 불량을 감지하고, 올바른 위치에 카세트를 안착시킬 수 있게 된다. 그러므로 웨이퍼 이송장치가 웨이퍼 이송시, 카세트의 위치 불량에 따른 웨이퍼의 손상을 근본적으로 방지할 수 있게 된다.

따라서, 본 발명의 구조를 따르면, 복수개의 센서가 모두 직렬로 연결되어 있기 때문에 하나의 센서라도 작동되지 않으면, 다음 작업이 진행이 되지 않게 된다. 즉, 카세트가 탑재부의 탑재부에 들떠 있거나 위치 불량으로 있을 때, 복수개의 센서들 중 작동되지 않는 센서에 의해서 경고음과 함께 다음 작업이 진행이 되지 않기 때문에, 카세트가 탑재부에 정확히 안착되지 않은 상태에서 웨이퍼 이송시 발생하는 웨이퍼의 떨어짐이나 깨짐, 긁힘 등을 방지할 수 있으며, 생산성과 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이점이 있게 된다.

Claims (4)

1. 카세트가 안착되는 탑재부에 있어서,

   카세트를 정확한 위치에 안착시키기 위해 상기 탑재부 상면에 돌출된 복수개의 고정대들;

   상기 탑재부의 중심부와 상기 복수개의 고정대 안쪽 카세트가 안착되는 곳에 형성된 복수개의 관통구멍들;

   상기 복수개의 관통구멍들에 삽입되어, 상기 탑재부 상면으로 돌출된 복수개의 센서들;

   상기 복수개의 센서들과 전기적으로 연결되어, 센서가 발생시키는 신호를 받는 감지 스위치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재부
2. 제 1항에 있어서, 상기 복수개의 센서는 2개 이상인 것을 특징으로 하는 카세트 탑재부.
3. 제 1항에 있어서, 상기 복수개의 센서는 서로 직렬로 연결된 것을 특징으로 하는 카세트 탑재부.
4. 제 1항에 있어서, 상기 탑재부에 설치되는 상기 복수개의 센서는 압력을 감지하는 압력센서인 것을 특징으로 하는 카세트 탑재부.