KR970018335A - 반도체 제조용 로더 스테이션의 카세트 안착불량 검출장치 - Google Patents

반도체 제조용 로더 스테이션의 카세트 안착불량 검출장치 Download PDF

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KR970018335A
KR970018335A KR1019950032522A KR19950032522A KR970018335A KR 970018335 A KR970018335 A KR 970018335A KR 1019950032522 A KR1019950032522 A KR 1019950032522A KR 19950032522 A KR19950032522 A KR 19950032522A KR 970018335 A KR970018335 A KR 970018335A
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KR
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cassette
detection device
grooves
semiconductor manufacturing
failure detection
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KR1019950032522A
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English (en)
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곽희수
안재혁
조은환
석종규
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 제조용 로더 스테이션내에 구비된 카세트 스테이지의 안착부상에 카세트가 안착될 때 카세트의 안착불량을 검출하는 장치에 관한 것으로, 상기 카세트 스테이지(...21)의 양측 안착부(22)에 홈(22a)을 각각 형성하고, 상기 각각의 홈부위에 안착부를 관통하는 수직방향의 관통구멍(22b)을 형성하며, 이 관통구멍을 관통하여 일부가 상기 홈으로 노출되도록 감지센서(23)를 설치하고, 상기 감지센서와 대응하는 위치인 카세트(24)의 저면에는 안착시 감지센서를 각각 동작시키는 돌기(24a)를 양측에 형성된 구성이다. 따라서 카세트 안착불량을 더욱 정확하게 검출할 수 있고, 이로써 오동작으로 인한 웨이퍼의 손상이 방지되어 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 로더 스테이션의 카세트 안착불량 검출장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 따른 로더 스테이션의 카세트 스테이지를 나타낸 평면도이다.
제6도 및 제7도는 본 발명에 따른 로더 스테이션에 의한 카세트 안착불량 겸출과정을 나타내는 정면도이다.

Claims (2)

  1. 반도체 제조용 로더 스테이션내에 구비된 카세트 스테이지의 안착부상에 카세트가 안착될 때 카세트의 안착불량을 검출하는 장치에 있어서, 상기 카세트 스테이지의 양측에 안착불량 검출장치를 설치하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 로더 스테이션의 카세트 제조용 로더 스테이션의 카세트 안착불량 검출장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 안착불량 검출장치는 안착부에 홈을 각각 형성하고, 상기 각각의 홈부위에 안착부를 관통하는 수직방향의 관통구멍을 형성하며, 이 관통구멍을 관통하여 일부가 상기 홈으로 노출되도록 감지센서를 설치하고, 상기 감지센서와 대응하는 위치인 카세트의 저면에는 안착시 감지센서를 각각 동작시키는 돌기를 형성하여 됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 로더 스테이션의 카세트 안착불량 검출장치.
KR1019950032522A 1995-09-28 1995-09-28 반도체 제조용 로더 스테이션의 카세트 안착불량 검출장치 KR970018335A (ko)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990027220A (ko) * 1997-09-29 1999-04-15 윤종용 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부
KR100377218B1 (ko) * 2000-07-14 2003-03-26 삼성전자주식회사 카세트용 픽업 장치
KR100410991B1 (ko) * 2001-02-22 2003-12-18 삼성전자주식회사 반도체 제조장치의 로드포트
KR100526868B1 (ko) * 1999-01-14 2005-11-09 삼성전자주식회사 웨이퍼 카세트 위치 고정장치
KR20230012668A (ko) * 2017-06-23 2023-01-26 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 측면 저장 포드들, 장비 전단부 모듈들, 및 기판들을 처리하기 위한 방법들

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